JPH0621168A - プローブカード基板 - Google Patents
プローブカード基板Info
- Publication number
- JPH0621168A JPH0621168A JP17537292A JP17537292A JPH0621168A JP H0621168 A JPH0621168 A JP H0621168A JP 17537292 A JP17537292 A JP 17537292A JP 17537292 A JP17537292 A JP 17537292A JP H0621168 A JPH0621168 A JP H0621168A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- probe needle
- card board
- tip position
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】摩耗、破損等によるプローブ針の交換時に、作
業工数を少なく、熟練性も不要とする、プローブカード
基板を提供する。 【構成】プローブカード基板４とプローブカードサブ基
板５上に、プローブ針３の先端位置が、適正位置に来る
ように、プローブ針先端位置調整用貫通穴１とプローブ
針先端位置調整用貫通穴２を設ける。 更に、曲線を持
ったプローブ針３を、プローブ針先端位置調整用貫通穴
１とプローブ針先端位置調整用貫通穴２を通過させ、半
田付け部６をプローブカード基板４に半田付け等により
接続させる。プローブ針先端位置７が摩耗したり破損し
た場合は、半田付け部６を取り外し上方向に引き抜くこ
とで、プローブ針３を取り外す。更に新しいプローブ針
３を、プローブ針先端位置調整用貫通穴１とプローブ針
先端位置調整用貫通穴２を通過させ半田付け部６をプロ
ーブカード基板４に半田付けする。
業工数を少なく、熟練性も不要とする、プローブカード
基板を提供する。 【構成】プローブカード基板４とプローブカードサブ基
板５上に、プローブ針３の先端位置が、適正位置に来る
ように、プローブ針先端位置調整用貫通穴１とプローブ
針先端位置調整用貫通穴２を設ける。 更に、曲線を持
ったプローブ針３を、プローブ針先端位置調整用貫通穴
１とプローブ針先端位置調整用貫通穴２を通過させ、半
田付け部６をプローブカード基板４に半田付け等により
接続させる。プローブ針先端位置７が摩耗したり破損し
た場合は、半田付け部６を取り外し上方向に引き抜くこ
とで、プローブ針３を取り外す。更に新しいプローブ針
３を、プローブ針先端位置調整用貫通穴１とプローブ針
先端位置調整用貫通穴２を通過させ半田付け部６をプロ
ーブカード基板４に半田付けする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気的測定対象が微細
である際に使用されるプローブカードに関するものであ
る。
である際に使用されるプローブカードに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来プローブ針は、先端の位置を決定
後、プローブカード基板に絶縁性の樹脂類で固定してい
た。
後、プローブカード基板に絶縁性の樹脂類で固定してい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】かかる従来の方法だと
プローブ針が摩耗したり破損して交換する場合、樹脂類
の固定物の除去、プローブ針全数の再位置調整、樹脂類
での再固定、等の多大の作業が必要であった。しかもこ
れら作業は熟練度を要するものである。本発明はかかる
従来の課題を解決し、プローブ針交換時に、作業工数を
少なく、熟練性も不要とする、プローブカード基板を提
供することを目的とする。
プローブ針が摩耗したり破損して交換する場合、樹脂類
の固定物の除去、プローブ針全数の再位置調整、樹脂類
での再固定、等の多大の作業が必要であった。しかもこ
れら作業は熟練度を要するものである。本発明はかかる
従来の課題を解決し、プローブ針交換時に、作業工数を
少なく、熟練性も不要とする、プローブカード基板を提
供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、プローブカー
ド基板上に２ケ以上のプローブ針先端位置調整用貫通穴
を有し、しかもその２ケの穴はプローブ針先端位置が任
意の位置になるような構造であることを特徴とする。
ド基板上に２ケ以上のプローブ針先端位置調整用貫通穴
を有し、しかもその２ケの穴はプローブ針先端位置が任
意の位置になるような構造であることを特徴とする。
【０００５】
【実施例】図１に本発明の一実施例を示す。
【０００６】従来のプローブカードだとプローブ針３が
摩耗したり破損して交換する場合、樹脂類の固定物の除
去、プローブ針全数の再位置調整、樹脂類での再固定、
等の多大の作業が必要であった。
摩耗したり破損して交換する場合、樹脂類の固定物の除
去、プローブ針全数の再位置調整、樹脂類での再固定、
等の多大の作業が必要であった。
【０００７】しかもこれら作業は熟練度を要するもので
ある。
ある。
【０００８】本発明はかかる従来の課題を解決し、プロ
ーブ針交換時に、作業工数を少なく、熟練性も不要とす
る、プローブカード基板を提供する。
ーブ針交換時に、作業工数を少なく、熟練性も不要とす
る、プローブカード基板を提供する。
【０００９】図１に示すように、プローブカード基板４
とプローブカードサブ基板５上に、プローブ針３の先端
位置が、適正位置に来るように、プローブ針先端位置調
整用貫通穴１とプローブ針先端位置調整用貫通穴２を設
ける。
とプローブカードサブ基板５上に、プローブ針３の先端
位置が、適正位置に来るように、プローブ針先端位置調
整用貫通穴１とプローブ針先端位置調整用貫通穴２を設
ける。
【００１０】又、プローブ針先端位置調整用貫通穴１と
プローブ針先端位置調整用貫通穴２の穴径は、プローブ
針３が通過動作可能で、しかも、精度良く先端位置決め
ができる程度の大きさとする。
プローブ針先端位置調整用貫通穴２の穴径は、プローブ
針３が通過動作可能で、しかも、精度良く先端位置決め
ができる程度の大きさとする。
【００１１】更に、図１に示すような曲線を持ったプロ
ーブ針３を、プローブ針先端位置調整用貫通穴１とプロ
ーブ針先端位置調整用貫通穴２を通過させ、半田付け部
６をプローブカード基板４に半田付け等により接続させ
る。
ーブ針３を、プローブ針先端位置調整用貫通穴１とプロ
ーブ針先端位置調整用貫通穴２を通過させ、半田付け部
６をプローブカード基板４に半田付け等により接続させ
る。
【００１２】プローブ針先端位置７が摩耗したり破損し
た場合のプローブ針３の交換作業時には、半田付け部６
を取り外し上方向に引き抜くことで、プローブ針３を取
り外すことができる。
た場合のプローブ針３の交換作業時には、半田付け部６
を取り外し上方向に引き抜くことで、プローブ針３を取
り外すことができる。
【００１３】更に新しいプローブ針３を、プローブ針先
端位置調整用貫通穴１とプローブ針先端位置調整用貫通
穴２を通過させ半田付け部６をプローブカード基板４に
半田付けする事でプローブ針３の装着が可能となる。
端位置調整用貫通穴１とプローブ針先端位置調整用貫通
穴２を通過させ半田付け部６をプローブカード基板４に
半田付けする事でプローブ針３の装着が可能となる。
【００１４】又、プローブ針３の先端位置の調整は、プ
ローブ針先端位置調整用貫通穴１とプローブ針先端位置
調整用貫通穴２は、プローブ針３がそれぞれの穴を貫通
する事だけで、プローブ針３の先端が任意位置になるよ
うな構造となっているため、調整作業は不要となる。
ローブ針先端位置調整用貫通穴１とプローブ針先端位置
調整用貫通穴２は、プローブ針３がそれぞれの穴を貫通
する事だけで、プローブ針３の先端が任意位置になるよ
うな構造となっているため、調整作業は不要となる。
【００１５】これにより、プローブ針３の交換作業は大
幅に短縮され、しかも非熟練作業者でも交換が可能であ
る。
幅に短縮され、しかも非熟練作業者でも交換が可能であ
る。
【００１６】プローブ針３の接触圧力は曲線部８により
加えることができ、接触圧力の強弱は曲線の半径の大小
で調整が可能である。
加えることができ、接触圧力の強弱は曲線の半径の大小
で調整が可能である。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、プローブ針３の交換作
業、調整作業が短縮可能となり、更に熟練度も不要とな
る。
業、調整作業が短縮可能となり、更に熟練度も不要とな
る。
【図１】本発明の斜視図。
１ プローブ針先端位置調整用貫通穴 ２ プローブ針先端位置調整用貫通穴 ３ プローブ針 ４ プローブカード基板 ５ プローブカードサブ基板 ６ 半田付け部
Claims (1)
- 【請求項１】電気的測定対象が微細である際に使用され
るプローブカードに於て、２ケ以上のプローブ針が貫通
する位置決め穴を有することを特徴とするプローブカー
ド基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17537292A JPH0621168A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | プローブカード基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17537292A JPH0621168A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | プローブカード基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621168A true JPH0621168A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=15994950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17537292A Pending JPH0621168A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | プローブカード基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621168A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6363721A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-22 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 微球晶性ポリアリ−レンチオエ−テル及びその製造法 |
| AU698335B2 (en) * | 1995-12-22 | 1998-10-29 | Hoogovens Staal Bv | Method and apparatus for the manufacture of formable steel |
| JPH1194875A (ja) * | 1997-09-16 | 1999-04-09 | Japan Electronic Materials Corp | プローブ及びそれを用いたプローブカード |
-
1992
- 1992-07-02 JP JP17537292A patent/JPH0621168A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6363721A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-22 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 微球晶性ポリアリ−レンチオエ−テル及びその製造法 |
| AU698335B2 (en) * | 1995-12-22 | 1998-10-29 | Hoogovens Staal Bv | Method and apparatus for the manufacture of formable steel |
| JPH1194875A (ja) * | 1997-09-16 | 1999-04-09 | Japan Electronic Materials Corp | プローブ及びそれを用いたプローブカード |
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