JPH06192880A - シャドウマスクの製造方法 - Google Patents
シャドウマスクの製造方法Info
- Publication number
- JPH06192880A JPH06192880A JP30594692A JP30594692A JPH06192880A JP H06192880 A JPH06192880 A JP H06192880A JP 30594692 A JP30594692 A JP 30594692A JP 30594692 A JP30594692 A JP 30594692A JP H06192880 A JPH06192880 A JP H06192880A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shadow mask
- conductor
- electric iron
- sheet
- plating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrolytic Production Of Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シャドウマスクを極力歪ませることなく導体
基板から剥離することができるめっき法によるシャドウ
マスクの製造方法を提供する。 【構成】 導体にレジスト層を形成し、パターニングし
た後、露出した導体部に電気鉄めっきを施し、その後導
体より電気鉄めっき被膜を剥離することによってシャド
ウマスクを得る方法において、該電気鉄めっき被膜表面
にシート表面に塗布された接着剤を接着させ、該導体よ
りシートと共に該電気鉄めっき被膜を剥離した後、シー
トと該電気鉄めっき被膜を分離することを特徴とする。
基板から剥離することができるめっき法によるシャドウ
マスクの製造方法を提供する。 【構成】 導体にレジスト層を形成し、パターニングし
た後、露出した導体部に電気鉄めっきを施し、その後導
体より電気鉄めっき被膜を剥離することによってシャド
ウマスクを得る方法において、該電気鉄めっき被膜表面
にシート表面に塗布された接着剤を接着させ、該導体よ
りシートと共に該電気鉄めっき被膜を剥離した後、シー
トと該電気鉄めっき被膜を分離することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、導体にレジスト層を形
成し、パターニングした後、露出した導体部に電気鉄め
っきによりシャドウマスクを形成させることにより、シ
ャドウマスクを製造する方法の改良に関する。
成し、パターニングした後、露出した導体部に電気鉄め
っきによりシャドウマスクを形成させることにより、シ
ャドウマスクを製造する方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シャドウマスクは、鋼板にレジス
ト層を形成し所望の形状をパターニングした後、塩化第
二鉄溶液でエッチングを施し、多数の穴を形成し、その
後レジストを除去するエッチング法で製造されている。
通常、電子ビーム通過孔部は、丸穴、楕円もしくは格子
状であるがトリニトロン方式に使用するストライプ状の
スリットを有したアパチャーグリルと呼ばれるシャドウ
マスクもある。然るに、高精密、高精細の画面が要求さ
れるハイビジョンや産業用ディスプレイ用のカラー受像
管に内装するシャドウマスクは、この画面に対応するよ
うに電子ビーム通過孔部の孔径およびピッチも極めて微
細なものが使用されるようになってきた。このため、従
来のエッチング法で作製されたシャドウマスクは寸法精
度における不良発生が多く、製品歩留りが低い。また廃
エッチング液の廃液処理に手間がかかるなどの欠点があ
る。
ト層を形成し所望の形状をパターニングした後、塩化第
二鉄溶液でエッチングを施し、多数の穴を形成し、その
後レジストを除去するエッチング法で製造されている。
通常、電子ビーム通過孔部は、丸穴、楕円もしくは格子
状であるがトリニトロン方式に使用するストライプ状の
スリットを有したアパチャーグリルと呼ばれるシャドウ
マスクもある。然るに、高精密、高精細の画面が要求さ
れるハイビジョンや産業用ディスプレイ用のカラー受像
管に内装するシャドウマスクは、この画面に対応するよ
うに電子ビーム通過孔部の孔径およびピッチも極めて微
細なものが使用されるようになってきた。このため、従
来のエッチング法で作製されたシャドウマスクは寸法精
度における不良発生が多く、製品歩留りが低い。また廃
エッチング液の廃液処理に手間がかかるなどの欠点があ
る。
【０００３】これに対して、最近では、めっき法による
シャドウマスクの製造が試みられている。このめっき法
により形成されるシャドウマスクは、導体基板にレジス
ト層を形成しパターニングした後、露出した導体部に電
気鉄めっきを施し、シャドウマスクを形成し、その後、
導体基板を外的な応力等により歪ませて、めっき被膜の
端の部分を剥離し、その部分よりめっき被膜全体を剥離
して製造される。
シャドウマスクの製造が試みられている。このめっき法
により形成されるシャドウマスクは、導体基板にレジス
ト層を形成しパターニングした後、露出した導体部に電
気鉄めっきを施し、シャドウマスクを形成し、その後、
導体基板を外的な応力等により歪ませて、めっき被膜の
端の部分を剥離し、その部分よりめっき被膜全体を剥離
して製造される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
めっき法を用いてシャドウマスクを製造した場合、導体
上に電気鉄めっき被膜が形成された時点では、寸法精度
を満足するものの、導体基板を歪ませてシャドウマスク
を剥離した場合、得られるシャドウマスクは歪が生じ、
寸法精度の要求を満たすことが大変難しい状態に陥って
いる。よって本発明の目的は、得られるシャドウマスク
を極力歪ませることなく導体基板から剥離することがで
きる方法を提供することにある。
めっき法を用いてシャドウマスクを製造した場合、導体
上に電気鉄めっき被膜が形成された時点では、寸法精度
を満足するものの、導体基板を歪ませてシャドウマスク
を剥離した場合、得られるシャドウマスクは歪が生じ、
寸法精度の要求を満たすことが大変難しい状態に陥って
いる。よって本発明の目的は、得られるシャドウマスク
を極力歪ませることなく導体基板から剥離することがで
きる方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために鋭意研究した結果、寸法精度の要求を満
たさない原因は主として、シャドウマスクにかける剥離
力に対してシャドウマスクの強度が弱いことに着眼し本
発明に至った。即ち、上記課題を解決するための本発明
の方法は、導体にレジスト層を形成し、パターニングし
た後、露出した導体部に電気鉄めっきを施し、その後導
体より電気鉄めっき被膜を剥離することによってシャド
ウマスクを得る方法において、該電気鉄めっき被膜表面
にシート表面に塗布された接着剤を接着させ、該導体よ
りシートと共に該電気鉄めっき被膜を剥離した後、シー
トと該電気鉄めっき被膜を分離することを特徴とするも
のである。
達成するために鋭意研究した結果、寸法精度の要求を満
たさない原因は主として、シャドウマスクにかける剥離
力に対してシャドウマスクの強度が弱いことに着眼し本
発明に至った。即ち、上記課題を解決するための本発明
の方法は、導体にレジスト層を形成し、パターニングし
た後、露出した導体部に電気鉄めっきを施し、その後導
体より電気鉄めっき被膜を剥離することによってシャド
ウマスクを得る方法において、該電気鉄めっき被膜表面
にシート表面に塗布された接着剤を接着させ、該導体よ
りシートと共に該電気鉄めっき被膜を剥離した後、シー
トと該電気鉄めっき被膜を分離することを特徴とするも
のである。
【０００６】
【作用】高精細ディスプレイ用に電気鉄めっき法により
得られたシャドウマスクは、通常寸法精度の要求を満た
すため３０〜５０μｍ程度の薄膜となり、また、スリッ
ト部の鉄帯幅は２００μｍ程度のため強度はさほど無
く、剥離の際シャドウマスクに歪みが生じやすい。本発
明において、導体よりシャドウマスクを剥離する工程に
おいて、めっき被膜にシート表面に塗布された接着剤層
を接着させた後、めっき被膜をシートと共に導体より剥
離することによりシャドウマスクに歪みを生じさせるこ
と無くシャドウマスクを製造することができる。これ
は、めっき被膜をシートと共に導体より剥離することに
より、見掛上めっき被膜の強度が大幅に向上したためと
考えられる。電気鉄めっき被膜と接着させたシートを分
離するには、用いる接着剤の種類によってアセトン、ト
ルエン等の有機溶剤を用い、接着剤を溶解させる方法等
を用いることができる。
得られたシャドウマスクは、通常寸法精度の要求を満た
すため３０〜５０μｍ程度の薄膜となり、また、スリッ
ト部の鉄帯幅は２００μｍ程度のため強度はさほど無
く、剥離の際シャドウマスクに歪みが生じやすい。本発
明において、導体よりシャドウマスクを剥離する工程に
おいて、めっき被膜にシート表面に塗布された接着剤層
を接着させた後、めっき被膜をシートと共に導体より剥
離することによりシャドウマスクに歪みを生じさせるこ
と無くシャドウマスクを製造することができる。これ
は、めっき被膜をシートと共に導体より剥離することに
より、見掛上めっき被膜の強度が大幅に向上したためと
考えられる。電気鉄めっき被膜と接着させたシートを分
離するには、用いる接着剤の種類によってアセトン、ト
ルエン等の有機溶剤を用い、接着剤を溶解させる方法等
を用いることができる。
【０００７】
実施例 導体基板に縦２００ｍｍ、横１５０ｍｍ、厚さ０．３ｍ
ｍのステンレス鋼板を用い、その表面にフォトレジスト
を厚み４０μｍに塗布し、幅２５０μｍ、間隔５０μｍ
のスリットを持つ写真製板用マスクを乗せ、露光を行
い、現像し、パターニングを行った。その後、表１に示
すめっき液組成および条件で、露出した導体表面に電気
鉄めっきを行い、シャドウマスクを形成し、形成された
シャドウマスク上にゴム系接着剤を有したプラスチック
フィルム（厚み０．１ｍｍ）を張り付け、シャドウマス
クをシートと共にステンレス鋼板より剥離した。その
後、アセトンに浸し、揺動させることによりシャドウマ
スクより接着剤およびプラスチックフィルムを除去し
た。上記方法により得られたシャドウマスクを、上から
５ｍｍ厚のガラスの板で抑え、最小読みとり幅１μｍの
光学式測長機を用いて、形成されたシャドウマスクの全
てのスリット幅をスリットの端から１ｍｍの部分を測定
し、隣接する各々の寸法の差を求めた。その結果、隣接
した各々のスリット幅の寸法差が±３μｍとなり、シャ
ドウマスクに要求される寸法精度±５μｍ以内の要求を
満たすことができた。
ｍのステンレス鋼板を用い、その表面にフォトレジスト
を厚み４０μｍに塗布し、幅２５０μｍ、間隔５０μｍ
のスリットを持つ写真製板用マスクを乗せ、露光を行
い、現像し、パターニングを行った。その後、表１に示
すめっき液組成および条件で、露出した導体表面に電気
鉄めっきを行い、シャドウマスクを形成し、形成された
シャドウマスク上にゴム系接着剤を有したプラスチック
フィルム（厚み０．１ｍｍ）を張り付け、シャドウマス
クをシートと共にステンレス鋼板より剥離した。その
後、アセトンに浸し、揺動させることによりシャドウマ
スクより接着剤およびプラスチックフィルムを除去し
た。上記方法により得られたシャドウマスクを、上から
５ｍｍ厚のガラスの板で抑え、最小読みとり幅１μｍの
光学式測長機を用いて、形成されたシャドウマスクの全
てのスリット幅をスリットの端から１ｍｍの部分を測定
し、隣接する各々の寸法の差を求めた。その結果、隣接
した各々のスリット幅の寸法差が±３μｍとなり、シャ
ドウマスクに要求される寸法精度±５μｍ以内の要求を
満たすことができた。
【０００８】 表１ めっき液組成および条件 （液組成） ＦｅＣｌ2 ・４Ｈ2 Ｏ ２．０１モル／リットル ＣａＣｌ2 １．６２モル／リットル サッカリン ９．１３ミリモル／リットル ＣＨ3(ＣＨ2)6 ＣＨ2 ＯＳＯ3 Ｎａ ０．３０ミリモル／リットル （めっき条件） 温度 ９０℃ 陰極電流密度 ５Ａ／ｄｍ2 陽極 Ｐｔ 時間 ４６分
【０００９】比較例 導体からのシャドウマスクの剥離を、導体基板に外力を
加え、めっき被膜の端の部分を剥離することによって行
った以外は、実施例と同様の手順でシャドウマスクの製
造を行った。得られたシャドウマスクは、歪みが生じ、
シャドウマスクに要求される寸法精度すなわち、隣接し
た各々のスリットの寸法差が±１０μｍ程度となり、寸
法精度の要求を満たすことはできなかった。
加え、めっき被膜の端の部分を剥離することによって行
った以外は、実施例と同様の手順でシャドウマスクの製
造を行った。得られたシャドウマスクは、歪みが生じ、
シャドウマスクに要求される寸法精度すなわち、隣接し
た各々のスリットの寸法差が±１０μｍ程度となり、寸
法精度の要求を満たすことはできなかった。
【００１０】
【発明の効果】本発明によるめっき法により形成された
シャドウマスクの製造法を用いれば、シャドウマスク
を、歪みを生じさせること無く製造することが可能とな
り、本発明法により製造されたシャドウマスクは、機械
的信頼性、特に寸法精度の要求を満足させる点において
優れる。
シャドウマスクの製造法を用いれば、シャドウマスク
を、歪みを生じさせること無く製造することが可能とな
り、本発明法により製造されたシャドウマスクは、機械
的信頼性、特に寸法精度の要求を満足させる点において
優れる。
Claims (1)
- 【請求項１】 導体にレジスト層を形成し、パターニン
グした後、露出した導体部に電気鉄めっきを施し、その
後導体より電気鉄めっき被膜を剥離することによってシ
ャドウマスクを得る方法において、該電気鉄めっき被膜
表面にシート表面に塗布された接着剤を接着させ、該導
体よりシートと共に該電気鉄めっき被膜を剥離した後、
シートと該電気鉄めっき被膜を分離することを特徴とす
るシャドウマスクの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30594692A JPH06192880A (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | シャドウマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30594692A JPH06192880A (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | シャドウマスクの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06192880A true JPH06192880A (ja) | 1994-07-12 |
Family
ID=17951204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30594692A Pending JPH06192880A (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | シャドウマスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06192880A (ja) |
-
1992
- 1992-10-21 JP JP30594692A patent/JPH06192880A/ja active Pending
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