JP2000173461A - アパチャーグリルの製造方法 - Google Patents

アパチャーグリルの製造方法

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JP2000173461A
JP2000173461A JP10349550A JP34955098A JP2000173461A JP 2000173461 A JP2000173461 A JP 2000173461A JP 10349550 A JP10349550 A JP 10349550A JP 34955098 A JP34955098 A JP 34955098A JP 2000173461 A JP2000173461 A JP 2000173461A
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resist layer
plating film
slit
exposure amount
shaped
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JP10349550A
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English (en)
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Noriaki Sugamoto
憲明 菅本
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Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 画面端部においても画像にハレーションが起
こらないアパチャーグリルの製造。 【解決手段】 レジスト層にスリット状のパターニング
を際す際に、スリット方向に垂直な方向に対して両方向
から導体基板表面に対して70〜30°の角度で、レジ
スト層の最適露光量の10〜30%の露光量あるいは最
適露光量の40〜200%の露光量で露光を行うことに
よってスリット部のパターニングを施し、露出した導体
基板部めっき皮膜を形成することによって、アパチャー
グリルのスリットを構成するテープ状めっき被膜のスリ
ット方向に垂直な断面を、ビーム照射面から蛍光面に向
かって狭まる幅と所定の厚さをもってほぼ台形に形成す
る、導体基面表面にレジスト層を形成し、該レジスト層
の中央部分にスリット状のパターニングを施した後、露
出した導体基板部上にめっき法でめっき被膜を形成し、
該導体基板から該めっき被膜を剥離する、アパチャーグ
リルの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はめっき法によってア
パチャーグリルを製造する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、アパチャーグリルは、鋼板表面の
レジスト層にスリット状のパターニングを施した後、塩
化第二鉄溶液でエッチングを施してスリット部を形成
し、その後レジスト層を除去する、いわゆるエッチング
法によって製造されている。近年高精密、高精細ディス
プレイの要求が高くなっており、それに伴ってディスプ
レイ用のカラー受像管に内装するアパチャーグリルにも
高精細品が求められるようになってきた。しかし前記エ
ッチング法によるアパチャーグリルでは寸法精度におけ
る不良品の発生が多く、製品歩留まりが悪くなるといっ
た問題があった。
【0003】このため最近では、めっき法によるアパチ
ャーグリルの製造が試みられている。このアパチャーグ
リルは、導体基板にレジスト層を形成しスリット状のパ
ターニングを施した後、露出した導体基板部に電気鉄め
っきを施し、その後該導体基板を外的な応力などにより
歪ませて、電気鉄めっき皮膜の端の部分を剥離し、その
部分よりめっき皮膜全体をはぎ取って製造される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしめっき法により
作製されたアパチャーグリルは、スリット部のテープ状
めっき皮膜の断面が長方形となっているため、ブラウン
管内に装着した時に画面端部の画像にハレーションが起
こる。この問題を解決するために、めっき皮膜作製後、
スリット部のテープ状めっき皮膜にエッチングを施して
いるが、エッチングによる寸法精度の低下や廃エッチン
グ液の廃液処理に手間がかかるという問題が生じた。
【0005】本発明は、めっき法により作製されたアパ
チャーグリルを使用する際の上記した問題点を解決し、
画面端部においても画像にハレーションが起こらないア
パチャーグリルの製造方法を提供することを目的とする
ものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者は、画面端部に
おいても画像にハレーションが起こらないアパチャーグ
リルについて種々検討した結果、レジスト層の最適露光
量の特定割合で該レジスト層を露光すればテープ状めっ
き皮膜のスリット方向に垂直な断面を、ビーム照射面か
ら蛍光面に向かって狭まる幅と所定の厚さをもつほぼ台
形に形成でき、また断面をほぼ台形とすることにより上
記問題点を解決することを見出し本発明を完成するに至
った。
【0007】すなわち本発明は、導体基板表面にレジス
ト層を形成し、該レジスト層の中央部分にスリット状の
パタ−ニングを施した後、露出した導体基板部上にめっ
き法でめっき皮膜を形成し、該導体基板から該めっき皮
膜を剥離してアパチャーグリルを製造する方法であっ
て、該レジスト層にスリット状のパターニングを施す際
に、前記スリット方向に垂直な方向に対して両方向から
導体基板表面に対して70°〜30°の角度で、レジス
ト層の最適露光量の10%〜30%の露光量あるいは最
適露光量の40%〜200%の露光量で露光を行うこと
によって、スリット部のパターニングを施し、露出した
導体基板部めっき皮膜を形成することによってアパチャ
ーグリルのスリットを構成するテープ状めっき皮膜のス
リット方向に垂直な断面を、ビーム照射面から蛍光面に
向かって狭まる幅と所定の厚さをもつほぼ台形に形成す
ることを特徴とするものであり、前記レジスト層の最適
露光量の10%〜30%の露光量で露光を行うことによ
って、前記レジスト層のスリット方向に垂直な断面が導
体基板表面に向かって狭まる幅をもつほぼ台形となるよ
うに成形してパターニングを施し、露出した導体基板表
面にめっき皮膜を形成することによって、前記テープ状
めっき皮膜のスリット方向に垂直な断面を、所定のほぼ
台形に形成するか、または、前記レジスト層の最適露光
量の40%〜200%の露光量で露光を行うことによっ
て、前記レジスト層のスリット方向に垂直な断面が導体
基板表面に向かって広がる幅をもつほぼ台形となるよう
成形してパターニングを施し、露出した導体基板表面に
めっき皮膜を形成することによって、前記テープ状めっ
き皮膜のスリット方向に垂直な断面を、所定のほぼ台形
に形成し、さらに前記めっき皮膜が、鉄、ニッケルある
いは鉄−ニッケル合金の少なくとも1種から選ばれた金
属で構成された単層あるいは複層のめっき皮膜であるア
パチャーグリルの製造方法を特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明は上記したようにめっき法
を用いてアパチャーグリルを製造するに際して、導体基
板表面のレジスト層にパターニングを施す際に、スリ
ット方向に垂直な方向に対して両方向から導体基板表面
に対して70°〜30°の角度で、レジスト層の最適露
光量の10%〜30%の露光量で露光を行うことによっ
て、スリット部を形成するレジスト層のスリット方向に
垂直な断面が導体基板表面に向かって狭まる幅をもつほ
ぼ台形となるよう成形してパターニングを施し、あるい
はスリット方向に垂直な方向に対して両方向から導体
基板表面に対して70°〜30°の角度で、レジストの
最適露光量の40%〜200%の露光量で露光を行うこ
とによって、スリット部を形成するレジスト層のスリッ
ト方向に垂直な断面が導体基板表面に向かって広がる幅
をもつほぼ台形となるように成形してパターニングを施
し、露出した導体基板表面にめっき皮膜を形成すること
によって、アパチャーグリルのスリットを構成するテー
プ状めっき皮膜のスリット方向に垂直な断面を、ビーム
照射面から蛍光面に向かって狭まる幅と所定の厚さをも
つほぼ台形に形成することを要旨とするものである。こ
れによりスリット部のテープ状めっき皮膜にエッチング
を施すことなく、画面端部においても画像にハレーショ
ンが起こらないアパチャーグリルを提供することが可能
となる。
【0009】本発明において、スリット方向に垂直な方
向に対して両方向から導体表面に対して70°〜30°
の角度で、レジスト層の最適露光量の10%〜30%の
露光量で露光を行うことにした理由は、前記レジスト層
への露光量をレジスト層の最適露光量の10%未満とし
た場合には、レジスト層の硬化不足によりレジスト層が
流れてしまい、一方露光量が30%を超えるとレジスト
層が完全に硬化してしまい、スリット部を形成するレジ
スト層のスリット方向に垂直な断面が導体表面に向かっ
て狭まる幅をもつほぼ台形形状が得られないからであ
る。
【0010】また本発明において、スリット方向に垂直
な方向に対して両方向から導体表面に対して70°〜3
0°の角度で、レジスト層の最適露光量の40%〜20
0%の露光量で露光を行うことにした理由は、前記レジ
スト層への露光量をレジスト層の最適露光量の40%未
満とした場合には、レジスト層の硬化不足により、スリ
ット部を形成するレジスト層のスリット方向に垂直な断
面が導体表面に向かって広がる幅をもつほぼ台形形状が
得られず、一方露光量が200%を超えると過露光によ
ってレジスト層の解像度が低下してしまうからである。
なお本発明において断面形状をほぼ台形としなければな
らない理由はハレーションを防止するためにであり、ま
たレジスト層の最適露光量は、使用するレジストの種類
や形成するパターンの違いによって変化するが、一般的
には80mJ/cm〜120mJ/cmである。
【0011】本発明においてレジスト層への露光は、ス
リット方向に垂直な方向に対して70°〜30°の角度
をもって、両方向から行う必要があるが、同時に両方向
から露光しても、また片方向ずつ露光しても差支えな
く、また露光角度を70°〜30°とした理由は、角度
が70°を超えると画面端部にハレーションが生じてし
まい、一方30°未満の角度では紫外線のマスク表面で
の反射によってパターニングができなくなるからであ
り、さらにそして本発明で用いられるレジスト層は特に
限定されず、ドライフィルムレジスト、液状レジストな
どを使用することができ、また用いられる写真製版用マ
スクは特に限定されずフィルムマスク、ガラスマスクな
どを適宜選択して使用することができる。
【0012】さらに本発明のめっき皮膜は、鉄、ニッケ
ルあるいは鉄−ニッケル合金の少なくとも1種から選ば
れた金属で構成された単層あるいは複層のめっき皮膜と
することが好ましい。
【0013】
【実施例】つぎに本発明の実施例について説明する。 (実施例1)導体基板に縦300mm、横400mm、
厚さ0.3mmのステンレス鋼板を用い、そのステンレ
ス鋼板表面に厚さ30μmのドライフィルムレジストA
Q−3058(旭化成社製:商品名)を塗布し、幅20
0μm、間隔50μm、縦方向長さ250mmのスリッ
トを持つ写真製版用マスクを載置した後、前記レジスト
層をスリット方向に垂直な方向に導体基板から60°の
角度で片方ずつ順番に露光し、その後現像してパターニ
ングを行った。
【0014】上記の作製工程において、 ア)露光量8mJ/cm(最適露光量の9%) イ)露光量16mJ/cm(最適露光量の20%) ウ)露光量25mJ/cm(最適露光量の31%) でレジスト層の露光を行い、各露光量のスリット部のレ
ジスト層の断面形状を観察したところ、ア)ではレジス
ト層が流れてしまった。一方イ)では導体基板表面に向
かって狭まる幅を持つほぼ台形断面のレジスト層が得ら
れ、またウ)では横長の長方形断面のレジスト層が得ら
れた。
【0015】つぎに、イ)、ウ)の条件を用いてパター
ニングまで行った後、それぞれの露出した導体表面に、
表1に示すめっき液組成および条件で電気鉄めっきを行
い、その後表2に示すめっき液組成および条件でニッケ
ルを析出させた後、再度表1に示す条件で鉄を析出させ
た。
【0016】
【表1】めっき液組成および条件 (液組成) FeCl・4HO 2.01M CaCl 1.62M サッカリン 9.13mM ドデシル硫酸ナトリウム 0.30mM (めっき条件) 温度 90℃ 陰極電流密度 5A/dm 陽極 Pt pH 1 めっき膜厚 10μm
【0017】
【表2】めっき液組成および条件 (液組成) スルファミン酸ニッケル 1.60M 塩化ニッケル 0.15M ほう酸 0.65M ドデシル硫酸ナトリウム 1.50mM (めっき条件) 温度 50℃ 陰極電流密度 3A/dm 陽極 Pt pH 4 めっき膜厚 10μm
【0018】上記方法により得られたイ)のアパチャー
グリルをブラウン管内に装着し、映像を写したところ、
画面端部において画像にハレーションが起こることなく
鮮明な画像が得られた。しかしウ)のアパチャーグリル
では、画面端部において画像にハレーションが起こり、
鮮明な画像は得られなかった。
【0019】(実施例2)実施例1と同様にしてレジス
ト層を形成し、かつ実施例1と同様な写真製版用マスク
を載置した後、実施例1と同様な手順でレジスト層を露
光し、現像してパターニングを行った。上記の作製工程
において、 エ)露光量28mJ/cm(最適露光量の35%) オ)露光量40mJ/cm(最適露光量の50%) カ)露光量176mJ/cm(最適露光量の220%) でレジスト層の露光を行い、各露光量のスリット部のレ
ジスト層の断面形状を観察したところ、エ)では横長の
長方形断面のレジスト層が得られ、またオ)では導体基
板表面に向かって広がる幅を持つほぼ台形断面のレジス
ト層が得られたが、カ)では現像不可であった。
【0020】つぎに、エ)、オ)の条件を用いてパター
ニングまで行った後、それぞれの露出した導体表面に、
上記表1に示すめっき液組成および条件で電気鉄めっき
を行い、その後上記表2に示すめっき液組成および条件
でニッケルを析出させた後、再度上記表1に示す条件で
鉄を析出させた。
【0021】上記方法により得られたオ)のアパチャー
グリルをブラウン管内に装着し、映像を写したところ、
画面端部において画像にハレーションが起こることなく
鮮明な画像が得られた。しかしエ)のアパチャーグリル
では、画面端部において画像にハレーションが起こり、
鮮明な画像は得られなかった。
【0022】
【発明の効果】以上述べた通り本発明により製造された
アパチャーグリルによれば、該アパチャーグリルをブラ
ウン管に装着し映像を写したところ、画面の端部におい
てハレーションを起こすことなく鮮明な映像を得ること
ができるので、その工業的な効果は大きい。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 導体基板表面にレジスト層を形成し、該
    レジスト層の中央部分にスリット状のパタ−ニングを施
    した後、露出した導体基板部上にめっき法でめっき皮膜
    を形成し、該導体基板から該めっき皮膜を剥離してアパ
    チャーグリルを製造する方法であって、該レジスト層に
    スリット状のパターニングを施す際に、前記スリット方
    向に垂直な方向に対して両方向から導体基板表面に対し
    て70°〜30°の角度で、レジスト層の最適露光量の
    10%〜30%の露光量あるいは最適露光量の40%〜
    200%の露光量で露光を行うことによってスリット部
    のパターニングを施し、露出した導体基板部めっき皮膜
    を形成することによって、アパチャーグリルのスリット
    を構成するテープ状めっき皮膜のスリット方向に垂直な
    断面を、ビーム照射面から蛍光面に向かって狭まる幅と
    所定の厚さをもつほぼ台形に形成することを特徴とする
    アパチャーグリルの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記レジスト層の最適露光量の10%〜
    30%の露光量で露光を行うことによって、前記レジス
    ト層のスリット方向に垂直な断面が導体基板表面に向か
    って狭まる幅をもつほぼ台形となるように成形してパタ
    ーニングを施し、露出した導体基板表面にめっき皮膜を
    形成することによって、前記テープ状めっき皮膜のスリ
    ット方向に垂直な断面を、所定のほぼ台形に形成するこ
    とを特徴とする請求項1記載のアパチャーグリルの製造
    方法。
  3. 【請求項3】 前記レジスト層の最適露光量の40%〜
    200%の露光量で露光を行うことによって、前記レジ
    スト層のスリット方向に垂直な断面が導体基板表面に向
    かって広がる幅をもつほぼ台形となるよう成形してパタ
    ーニングを施し、露出した導体基板表面にめっき皮膜を
    形成することによって、前記テープ状めっき皮膜のスリ
    ット方向に垂直な断面を、所定のほぼ台形に形成するこ
    とを特徴とする請求項1記載のアパチャーグリルの製造
    方法。
  4. 【請求項4】 前記めっき皮膜が、鉄、ニッケルあるい
    は鉄−ニッケル合金の少なくとも1種から選ばれた金属
    で構成された単層あるいは複層のめっき皮膜であること
    を特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のアパチ
    ャーグリルの製造方法。
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