JPH06189571A - 圧電モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 撓み羽根を回転子の弾性ボデー内に直接形成
し、該ボデーと実質的に一体にすることによって、時計
に実装できる、厚さが薄い圧電モータを製造する。 【構成】 支持体２と、支持体２に固定された固定子Ｓ
_２と、固定子に振動運動を誘発するために電気的に励振
するようにされた圧電装置１０と、支持体２と相対的に
回転するように取り付けられた回転子Ｒ_２を有する。そ
の回転子は固定子の振動運動を前記回転子に伝動するよ
うにされ、且つその回転子を回転駆動させるための伝動
装置を形成するように撓み羽根を配設したボデーを備え
ている。その回転子のボデーが、少なくとも固定子の方
向に弾力的に変形自在であり且つ前記支持手段の少なく
とも一部を形成する構造体によって形成されている。前
記撓み羽根は回転子の弾性ボデー内に直接形成され、そ
のボデーと実質的に一体にされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は例えば時計に応用できる
圧電モータに関する。特に厚さが薄い時計を製造できる
圧電モータに関する。

【０００２】

【従来の技術】上記の用途に利用できるサイズが小さい
圧電モータは本件出願人の名義で１９９１年８月３０日
に出願されたスイス特許出願第０２ ５５３／９１−０
号に開示されている。添付図面、図１、図２及び図３に
図示され、後に詳述するこのような圧電モータは標準的
に、一方では圧電装置と連結された固定子と、他方では
その固定子上で回転するように組立てられた回転子とを
備えている。圧電装置は固定子に振動運動を誘発するた
めに電気的に励振可能な有極セラミックによって構成さ
れ、一方、回転子には固定子上に弾力的に支承された撓
み羽根が備えられている。

【０００３】前記伝動羽根を介した固定子上での回転子
の弾力的な支承は、ドーム状のばねを含む支持手段によ
って確保される。このようなばねは固定された段付きス
ピンドルに係合する頭付きねじによって軸向きに保持さ
れ、支持体を形成し、且つ回転子を前記スピンドルに沿
って推進する。ころ軸受がねじの頭部とばねとの間に配
設され、回転子−ばねアセンブリの共回転を可能にす
る。このようなモータは高さの点でスペースを要し、従
って通常のように厚さが薄い時計に取り付けることはで
きない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従って本発明の課題
は、時計のサイズ上の特徴を損なわずに時計に取り付け
ることができる厚さが薄い圧電モータを製造する上での
上記の欠点を克服することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、支持体と、そ
の支持体に固定された固定子と、その固定子に振動運動
を誘発させるように電気的に励振する圧電装置と、前記
固定子の振動運動を伝える伝動手段を備え、その伝動手
段により回転させられるボデーを含み、支持体に対して
相対的に回転する回転子と、固定子上の回転子用の弾性
支持手段とを備え、回転子のボデーが、少なくとも固定
子の方向に弾力的に変形自在であり且つ前記支持手段の
少なくとも一部を形成する構造体によって形成されてい
ることを特徴とするものである。本発明のその他の特徴
と利点は、例示したに過ぎない添付図面を参照した本発
明の以下の詳細な説明によって明らかにされる。

【０００６】

【実施例】図１を参照しつつ、スイス特許出願第０２
５５３／９１−０号に開示されているような標準型の圧
電モータを以下に説明する。参照符号Ｍ１で全体的に示
した前記のモータはこの例では脚部４によって構成され
ている支持体２を備えている。前記の脚部４内には特に
プレスばめによって段付きスピンドル、すなわち植込み
ボルト６が埋設されている。そのボルトは脚部から突起
している。

【０００７】植込みボルト６は回転子Ｒ１の中心となる
幾何回転軸を形成する幾何軸Ｘ１を形成している。脚部
４並びに植込みボルト６は黄銅又はステンレス鋼の種類
の合金のような金属材料から形成されている。このよう
に脚部４−植込みボルト６のアセンブリはこの圧電モー
タの支持体を形成する固定構造を形成している。更にモ
ータＭ１は同様にプレスばめ又は接着によってボルト６
に固定された固定子Ｓ１を備えている。

【０００８】前記固定子には圧電装置１０が組立てられ
る。この圧電装置は一方では厚さに応じて均一に分極さ
れたセラミックのような圧電素子１０ａと、他方では標
準的に電源ＡＬ（概略的に図示）と結合された２個の電
極１０ｂ及び１０ｃによって構成されている。このよう
にして圧電装置１０は変換器を形成し、これは電源ＡＬ
により電極１０ｂ及び１０ｃを介して行われる電気的励
振に応答して振動運動を供給る。このような圧電現象、
並びにこの種類のモータの圧電変換器の設計と構成は専
門家には公知であるので、ここでは詳細には説明しな
い。

【０００９】固定子Ｓ１は中心に貫通孔１４を備えたデ
ィスク１２から構成され、このディスクはこの例では植
込みボルト６に固定的に保持されている。固定子Ｓ１の
フレーム構造を形成するディスク１２は前記植込みボル
トの肩１６上の軸方向支持部に載置されている。特に図
１に示すように、脚部４を向き、背面と呼ばれるディス
ク１２の面Ｆ１は、脚部４の方向に開放されためくら
穴、すなわち座ぐり１８を残すために中心部が切欠かれ
ている。上記の空洞１８はディスク１２の背面Ｆ１に環
状フランジ２０を形成し、このフランジに同じ環状の形
状の圧電装置１０が固定されている。

【００１０】回転子Ｒ１に関して説明すると、これはデ
ィスク１２の面Ｆ１とは反対側の面Ｆ２上の軸方向支持
体部に載置され、同時に植込みボルト６上の中心孔３２
と回動自在に係合している。回転子Ｒ１はこの実施例で
は金属、セラミック又は硬質プラスチックのような材料
製の厚さが薄いディスクＤ１から形成されたボデーを備
えている。この構成では、ディスクＤ１は連結手段（図
示せず）と係合可能な剛性担持構造を形成している。

【００１１】圧電モータＭ１は更に回転子Ｒ１に固定子
Ｓ１の振動運動を伝動し、且つ回転子Ｒ１をその軸Ｘ１
に直角な中間変位面Ｐｄｍで回転軸を中心に回転させる
伝動装置３６をも備えている。前記伝動装置３６は撓み
羽根３８によって構成された弾力的に変形可能な部材か
ら形成されている。撓み羽根３８は図１の例では担持構
造、すなわち回転子Ｒ１のボデーを形成するディスクＤ
１内に埋設されている。

【００１２】図１を続けて参照すると、回転子Ｒ１が軸
受装置３９を介して軸方向に固定子Ｓ１の方向に押され
ていることに留意されたい。回転子Ｒ１を固定子Ｓ１上
に軸方向に支持することができる前記軸受装置３９は、
この例では植込みボルト６上に装着され、ころ軸受４４
によって軸方向に押されるドーム４２状のばねによって
構成されている。前記ころ軸受自体は植込みボルト６上
に配設され、前記植込みボルトの自由端に取り付けられ
た頭付きねじＶ１によって植込みボルトに保持されてい
る。このような支持装置によって、ねじＶ１を締め、又
は弛めることによって固定子Ｓ１上での回転子Ｒ１の軸
受圧を調整することができる。

【００１３】図２及び図３は前述のスイス特許出願で説
明した回転子の特殊な実施例を示している。この実施例
では、弾力的に変形可能な部材３６は完全ディスク５２
上に形成された曲げ戻し撓み羽根５０（一個だけを図
示）から形成されており、前記ディスクと前記撓み羽根
とは実質的に一体である。ディスク５２は回転子Ｒ１の
ボデーとなるディスクＤ１の下部に強固に固定されてい
る。この実施例では、撓み羽根５０は冷間変形工程、特
にスエージ加工によってディスク５２の周囲に形成され
る。

【００１４】以後、図４ないし図１５を参照して、本発
明に従った圧電モータを説明する。これらの図面では、
これまでに説明した部材と同類の部材を示すために、こ
れまでの図面と同じ参照符号を用いている。最初に、図
４及び図５に本発明の第１の実施例に従った圧電モータ
を説明し、これを参照符号Ｍ２で総称する。

【００１５】モータＭ２は脚部４内に埋設された固定子
Ｓ２上の幾何軸Ｘ１を中心に回転するように取り付けら
れた回転子Ｒ２を備えている。固定子Ｓ２は回転子Ｒ２
の支持を保証する担持構造を備えており、このような担
持構造は基本的に脚部４内に固定的に保持された環状縣
架板Ｐ２によって構成されている。板Ｐ２は一方では弾
力的に変形自在なディスク６０によって形成され、前記
ディスクの下部には圧電装置１０が固定され、前記ディ
スクの厚さは０．１ｍｍ（０．１・１０^-3ｍ）の均一な
薄い厚さである。板Ｐ２は反対側にディスク６０から突
起し、ディスクと実質的に一体である円筒管６２を備え
ている。管６２は脚部４の孔（図示せず）内にプレスば
め又は接着によりはめ込まれている。

【００１６】管６２は中心貫通孔６４を設けており、こ
の孔内に平滑な円筒状の頭付き植込みボルトＶ２が打ち
込まれ、それによって軸Ｘ１に形成された２つの同軸ジ
ャーナル（図示せず）により軸Ｘ１を中心にした回転子
Ｒ２の回転時の軸方向の保持と心立てが保証される。そ
のために、回転子Ｒ２は植込みボルトＶ２上で軸Ｘ１を
中心に回転するように取り付けられた剛性構造の段付き
円筒状ハブ６６を備えている。

【００１７】このハブ６６は例えば周囲に配設された外
歯６７によって形成された機械的駆動装置を備えてい
る。歯６７は駆動される機構（図示せず）と噛み合うよ
うに構成されている。ハブ６６は更に（モータＭ２が図
４に示した位置にあると想定した場合）歯６７の下部に
肩付きジャーナル６８を備えており、このジャーナルに
回転子Ｒ２のボデーが固定的に係合する。

【００１８】回転子Ｒ２のボデーは基本的に穴あき可撓
性ディスクＤ２から構成されることが望ましい。特に図
５及び図６に示すように、ディスクＤ２は中心開口部７
２を設け、且つ肩付き支持面６８上に固定的に係合する
際に前記開口部でハブと境界を接する環状の中心部７０
（図６）を備えている。ディスクＤ２は更に周辺リング
７２を備えており、その上には撓み羽根５０が形成され
ている。

【００１９】更に、ディスクＤ２は中心部７０と周辺リ
ング７２とを弾力的に連結する撓みアーム７４を備えて
おり、その個数はこの例では４個であり、一個だけを図
示してある。撓み羽根５０によって形成された伝動装置
３６は周辺リング７２から固定子Ｓ２の方向に延びてい
る。撓みアーム７４と、中心部７０と、リング７２とは
実質的に一体であり、一体の回転体を形成している。周
辺リング７２と、撓みアーム７４と中心部７０とは厚さ
が同じであり、共通の平面（図示せず）に設けられた載
置面（図７及び図９）上に位置することに留意された
い。

【００２０】上記のとおり、回転子Ｒ２のボデーは少な
くとも固定子Ｓ２の方向に弾力的に変形自在であり、少
なくとも一部は固定子Ｓ２上での回転子Ｒ２の弾力的軸
受装置を形成する構造によって形成されており、前記軸
受装置は参照符号７９で示してある。前記弾力的軸受装
置の一部は又、ハブ６６によって形成され、このハブに
よってディスクＤ２は埋設された植込みボルトＶ２の頭
部（図示せず）によって保持されつつ、軸方向に（軸Ｘ
１に対して）軸対称に固定子方向に押しつけられてい
る。

【００２１】言い換えると、回転子Ｒ２のボデーは基本
的に弾力的に変形自在のディスクＤ２によって形成さ
れ、このディスクは前記伝動装置３６と、前記弾力的軸
受装置とを一体に形成している。図４に示すように、組
立てた機能できる状態で、ハブ６６は植込みボルトＶ２
の動作によって回転子のボデーを変形し、回転子に初期
応力を与え、回転子を水鉢状の形にする。更に、圧電装
置１０の電極１０ｂ及び１０ｃは双方とも正面に張りだ
した全体構造、すなわち切欠きがなく、標準構造のよう
に有極セグメントによって構成されていない構造である
ことを指摘しておく。

【００２２】ここで、固定子Ｓ２を形成するディスクＤ
２は、できれば硬質金属、特にクローム又は窒化チタン
の薄層で表面処理した黄同、ステンレス鋼合金又はアル
ミニウムのような金属材料から形成されることが好まし
いことを指摘しておく。

【００２３】ここで図９を参照して回転子Ｒ２と固定子
Ｓ２の構造に関して更に幾つか指摘しておく。すなわち
撓み羽根５０は回転子Ｒ２から、特にディスクＤ２か
ら、回転軸Ｘ１と平行な線を基点にして傾斜角βで固定
子Ｓ２の正面方向に突起している。角度βは１０°ない
し３０°であることが好ましい。

【００２４】更に、平行六面体の平坦な形状を有する各
撓み羽根５０は０．１ないし０．５ｍｍ（０．１ないし
０．５・１０^-3ｍ）の間の値から選択することが好まし
い自由長さＬｃｓを越えて回転子Ｒ２から突起してい
る。各羽根５０は０．０２５ないし０．１ｍｍ（０．０
２５ないし０．１・１０^-3ｍ）の厚さｅｃと、０．１な
いし０．３ｍｍ（０．１ないし０．３・１０^-3ｍ）の幅
ｌｃを有することが好ましい。このように、回転子Ｒ２
と固定子Ｓ２との間に装入された撓み羽根５０は固定子
Ｓ２の平坦な正面Ｆ２で終端し、そこに直接休止し、正
面Ｆ２は平滑で突起又は突出部材が全くないことに留意
されたい。撓み羽根５０はベリリューム−銅型又はステ
ンレス型合金のような材質で形成されている。

【００２５】次に図１０ないし図１２を参照して本発明
に従った固定子の振動運動の第１のバリエーションを例
示する。図１０に示した固定子２の断面半図が示すよう
に、固定子Ｓ２は参照符号Ａ１で示した休止位置の両側
に撓み変形を行う。このような変形は高位置及び低位置
Ｂ及びＣで大幅に誇張して示してあり、実際には固定子
の周辺（ピーク）で５μｍ（５・１０^-6ｍ）のうなり振
幅を超えるものではない。このような変形によって固定
子Ｓ２は水鉢形の形状になる。このような水鉢形の変形
は圧電装置１０により固定子Ｓ２内に生成される撓み応
力に因るものである。このような撓み応力は固定子Ｓ２
上の圧電装置１０の剛性の組立てにより形成された非均
質のバイモル(bimorph) 構造に因るものである。

【００２６】ここで指摘すべきことは、固定子Ｓ２の所
望の変形を達成するために、電極を介して特定の電気的
励振がなさされると半径方向に変形するようにされた特
殊なセラミックが使用されたことである。より詳細に述
べると、高い圧電定数ｄ₃₁を呈するセラミックが選択さ
れ、この定数は印加された電界に対して達成された変形
率を表すものである。

【００２７】上記のような振動運動は軸対称の運動であ
り、固定子に対して同じ形態の変形を与える。このこと
は図１１の曲線Ｃ１及びＣ２によって確証され、ここで
指摘すべきことはこの曲線では、固定子Ｓ２の半径Rbの
関数としての固定子の振幅振動Amp は同じ正負符号、す
なわち固定子Ｓ２の中心から周辺へと増大することであ
る。曲線Ｃ１及びＣ２は撓み点を示すものではなく、ゼ
ロ振幅値の通過を示すものでもない。従って、このよう
な振動モードでは固定子Ｓ２に節円を生じせしめるもの
ではない。このような特性はゼロではない全ての振幅値
を示す曲線Ｃ３ないしＣn によって確証される。これら
の曲線Ｃ３ないしＣn は角位置の関数としての固定子の
振幅振動を示し、このような振動は図１１の曲線Ｃ１に
対応する正の振幅振動について測定される。更に、これ
らの曲線は直線であり、相互に平行であることが認めら
れ、このことは前記振動モードが節直径を誘発しないこ
とを意味している。このようにして形態Ｂ00の国際規格
Ｂnm（ｎは節円の数であり、ｍは節直径の数である）に
準拠した振動が得られる。

【００２８】更に、このような振動運動、及びこのよう
な軸対称の変形は回転軸Ｘ１上で心立てされることも指
摘しておく。このようにして、平坦なステップ・モータ
が得られた。すなわち、基本的に平坦で重畳形の固定子
と回転子が得られ、このモータは回転軸上で心立てさ
れ、この軸に沿った向きの軸対称運動に因り、軸Ｘ１に
対して基本的に軸振動運動を有する種類のモータであ
る。

【００２９】このような振動モード、及び振幅が極めて
小さい軸対称変形に因り、固定子Ｓ２の各ポイント、例
えばｐｔ１ないしｐｔ３（図９）は、少なくとも軸Ｘ１
上の突起部において、所定の半径（例えばRb1 ないしRb
n ）レベル及び同相で回転子に内接した各円について、
同じ振幅の回転軸Ｘ１と平行な方向に沿ったほぼ直線的
な変位を行う。

【００３０】固定子の全てのポイント、及び特に固定子
と回転子との接触領域において、本発明に従った圧電モ
ータの軸対称振動モードによって、回転子Ｒ２の変位面
Pdmとほぼ垂直な速度成分Ｔ（図９上ではＴ１−Ｔ３の
３つのものだけが示されている）が得られる。従って固
定子Ｓ２には極めて低い振動振幅によって、変位面Pdm
に速度成分がほとんど生じない。従って固定子Ｓ２には
かなり大きくなるかもしれない半径方向、遠心又は求心
加速が生じない。更に重要な点は、このような固定子に
は接線方向の加速が生じない。これに対して進行波又は
定常波振動モードを有する標準形の圧電モータの固定子
には接線方向の加速が認められる。

【００３１】図１３は本発明に従った軸対称の振動運動
の第２のバリエーションを受けた場合の固定子Ｓ２の変
形を示しており、参照符号Ｄは休止位置を示し、一方、
参照符号Ｅ及びＦは固定子が励磁された場合の固定子の
最終変形位置での性質を示している。この場合は前記運
動は特に半径Rb3 （図１４及び図１５）に示された節円
を生ずる。実際に、図１４の曲線Ｃ１及びＣ２がゼロ値
の振幅を通過し、固定子内の振動節点をマークすること
が分かる。図１５の曲線Ｃ３ないしＣｎは振動モード、
及び固定子Ｓ２の変形の軸対称特性を示し、固定子の所
定の半径Rbx について、固定子に内接する全ての円は３
６０°に亘って一定の振幅（ピーク値）を生じ、図１５
の曲線Ｃ３ないしＣｎは互いに平行な直線であることを
示している。このよらな曲線Ｃ３ないしＣｎは角位置の
関数としての固定子の振幅振動を表し、この振動は図１
４の曲線Ｃ２と対応する振幅振動について測定される。
このような振動モードは固定子Ｓ２に節点直径を誘発し
ない。従ってこのような振動モードはＢ10形の振動であ
る。

【００３２】上記のようなＢ00形及びＢ10形の軸対称振
動モードを得るために、例えば図９に示した方法に従っ
て固定子と圧電装置との寸法を測定した後、電源ＡＬに
よって周波数Ｆの交流が発生され、このようなモードの
寸法と周波数は次の値を有するものであった。

【００３３】

【００３４】上記の表において、Hbは固定子の全高（デ
ィスク６０プラス圧電装置１０）、hbは圧電装置１０を
除いた固定子の高さ、Rbは固定子の最大半径（ディスク
６０の周囲で測定）、raは圧電装置１０を形成するリン
グの谷の半径、haは前記圧電装置１０の全高（ここでは
電極の厚さは無視できる）、laは圧電装置１０の幅、及
びＦは固定子Ｓ２の振動周波数である。ディスク６０は
この場合、ステンレス鋼合金から成り、一方圧電素子１
０ａはＰＺＴ形の圧電セラミック（ジルコニウムをドー
ピングしたチタン酸塩鉛）から成っている。ここで軸対
称振動モードの２つのバリエーション（Ｂ00及びＢ10）
が既に説明されたことを前提とすると、本発明に従った
モータの振動モードはＢxo形という表記法に一般化でき
ることが理解されよう。（ここにｘは０から数値ｎまで
変化することができる。）

【００３５】動作に際しては、圧電装置１０は電源ＡＬ
によって励振され、それによって圧電装置が振動する。
圧電装置の振動の半径方向成分は専門家には公知である
非均質の二重構造原理によってディスク６０の撓み振動
を生成する。電源ＡＬは所望のモードＢxoの共振周波数
に対応する周波数Ｆの交流信号を供給する。上記のよう
に固定子Ｓ２の全体が前述したような軸対称振動運動に
対応するモードＢxoで共振して励振される。

【００３６】固定子の撓み変形、ひいては達成されたピ
ークに因る固定子上の各基本ポイントの本質的に直線的
な変位（特に回転軸Ｘ１上の突起部における変位）は変
位面Pdm における回転子Ｒ２の回転での付随的な変位へ
と変換され、これは撓み羽根５０によって形成される弾
力的に変形自在な部材３６に因るものである。このよう
な部材３６は推進される際に曲がり、回転子Ｒ２内への
回転子の周囲と接し、且つ回転子Ｒ２の変位面Pdm と平
行でその中に位置する速度成分を誘発する。

【００３７】このように撓み羽根５０によって形成され
た弾力的に変形可能な部材３６は固定子の基本的に軸向
きの直進（すなわち垂直）運動を伝達し、同時に回転子
の垂直な回転運動へと変換する。次に前述の部材と類似
の部材を特定するために先行図と同じ参照符号を用いた
図８を参照しつつ、参照符号Ｍ３で総称する本発明に従
ったモータの第２の実施例を以後説明する。

【００３８】モータＭ３は前述のとおり圧電素子１０と
環状ディスク６０とを備えた固定子Ｓ３を備えている。
この固定子Ｓ３上には回転子Ｒ３が組立てられ、そのボ
デーは回転子Ｒ２と同一であり、前記回転子はディスク
Ｄ２と同じ構造の可撓有孔ディスクＤ３を備えている。
回転子Ｒ３が前述の回転子と異なっている点は、懸架板
Ｐ３のディスク６０と実質的に一体の管８４を経て固定
子Ｓ３を横切る駆動スピンドル８２上へと駆動される段
付きハブ８０を備えていることにある。

【００３９】ハブ８０は図８に示すように可撓有孔ディ
スクＤ３を弾性応力のもとで回転子Ｒ３の板Ｐ３の方向
に推進し続けるために可撓有孔ディスクＤ３を支持する
役割だけを果たす。駆動スピンドル８２は、軸受８８内
で回転するように取り付けられたピボット８６によって
形成された第１案内装置８６（同一符号）によって組立
てられ、前記軸受はこの例では時計の基板又はブリッジ
（ここでは部分的に図示）によって形成された第２支持
体８９へ打ち込まれた石によって形成される。

【００４０】前記スピンドル８２は、スピンドル８２の
上に軸受９２内で回転するように取り付けられた円筒状
の軸受表面９０によって形成された第２案内装置９０
（同一符号）によって回転するように支持され、前記軸
受９２も同様に管８４内に形成された座ぐり（図示せ
ず）内に打ち込まれた石によって形成される。更に指摘
すると、軸Ｘ１を中心にスピンドルの案内を保証するた
めにハブ８０を介して回転子Ｒ３と共に回転するように
固定された駆動スピンドル８２は、支持体２の外部に突
起し、且つ機械的噛合い装置９６と連動するために、少
なくとも前記スピンドルが横切る支持体２の内部で回転
するように取り付けられていることである。

【００４１】前記機械的噛合い装置９６は例えば被動機
構（図示せず）と噛合うようにされた外歯ピニオンによ
って構成されている。固定子Ｓ３は例えば前述と同様の
振動モードを有し、モータＭ３及びＭ２は例えば同じ寸
法である。

【００４２】

【発明の効果】以上のように、圧電モータで撓み羽根を
回転子の弾性ボデー内に直接形成し、該ボデーと実質的
に一体にすることによって、時計に取り付けることがで
きる厚さが薄い圧電モータを製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】スイス特許出願第０２ ５５３／９１−０号に
開示されているような標準型の圧電モータの縦断面図で
ある。

【図２】前記スイス特許出願に開示されているモータの
回転子の特別の実施例を示した図３の矢印IIに沿った底
面図である。

【図３】図３は図２の矢印IIIに沿った側面図である
が、 図１のモータに装備するように標準形の回転子を
形成するために剛性ディスクと関連する図２の部材を示
している。

【図４】本発明の第１実施例に従ったモータを示す縦断
面図である。

【図５】図４のモータの上面図である。

【図６】本発明に従ったモータに装備する回転子のボデ
ーと伝動羽根だけを示した図４及び図７の矢印IVに沿っ
た断面図である。

【図７】図６の矢印VII に沿った断面図であり、図６の
ボデー−羽根アセンブリの側面からの、休止位置を示し
ている。

【図８】本発明の第２実施例に従ったモータを示す縦断
面図である。

【図９】図４の回転子と固定子だけの側面図であるが、
図面を明解にするために縮尺を変えて示してある。

【図１０】図４及び図８の固定子の断面半図であり、実
線では休止位置を、又、混合破線では、本発明に従った
振動運動の第１バリエーションに基づく振動へと固定子
が励振された場合の固定子の変形の両極位置を示してい
る。

【図１１】固定子の半径の関数としての、本発明に従っ
た固定子の変形の振幅運動曲線を示すグラフである。

【図１２】固定子上の角位置の関数としての、本発明に
従った固定子の変形の振幅運動曲線を示すグラフであ
る。

【図１３】図１０と同様の断面半図であるが、本発明に
従った振動運動の第２のバリエーションを示している。

【図１４】図１１と同様の図面であるが、固定子が図１
３の振動モードのバリエーションに基づいて振動状態に
なった場合の固定子の振幅の変化形を示している。

【図１５】図１２と同様の図面であるが、固定子が図１
３の振動モードのバリエーションに基づいて振動状態に
なった場合の固定子の振幅の変化形を示している。

【符号の説明】

Ｍ モータ Ｒ 回転子 Ｓ
固定子 ２ 支持体 ４ 脚部 ６
植込みボルト １０ 圧電装置 １０ａ 圧電素子 １０
ｂ 電極 １０ｃ 電極 １２ ディスク １４
貫通孔 １６ 肩 １８ 座ぐり

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電モータにおいて、 支持体（２）と、 支持体（２）に固定された固定子（Ｓ２、Ｓ３）と、 固定子（Ｓ２、Ｓ３）に振動運動を誘発するために電気
   的に励振するようにされた圧電装置（１０）と、 支持体（２）に対して相対的に回転するように取り付け
   られた回転子（Ｒ２、Ｒ３）であって、固定子（Ｓ２、
   Ｓ３）の振動運動を前記回転子（Ｒ２、Ｒ３）に伝動し
   てその回転子を回転駆動させるための伝動装置（３６）
   を形成するように撓み羽根（５０）を配設したボデーを
   備えた前記回転子と、 固定子へ回転子を弾性的に取り付けるための弾性支持手
   段とを備え、 回転子のボデーが、少なくとも固定子の方向に弾力的に
   変形自在であって、前記弾性支持手段を形成する構造体
   （Ｄ２、Ｄ３）によって形成されると共に、前記撓み羽
   根（５０）が回転子のボデー内に直接形成され、そのボ
   デーと実質的に一体であることを特徴とする圧電モー
   タ。