JPH06188208A - 拡散炉装置 - Google Patents

拡散炉装置

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JPH06188208A
JPH06188208A JP33686992A JP33686992A JPH06188208A JP H06188208 A JPH06188208 A JP H06188208A JP 33686992 A JP33686992 A JP 33686992A JP 33686992 A JP33686992 A JP 33686992A JP H06188208 A JPH06188208 A JP H06188208A
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雅人 沢村
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Abstract

(57)【要約】 【目的】拡散炉装置において、ヒーター温度を検出する
熱電対と補償導線との接続端子部に生ずる温度変化が、
ヒーター熱起電力に上乗せされてヒーター実温からずれ
た温度表示をすることを防止する。 【構成】接続端子部３の温度変化を検出する温度センサ
ー７と、この検出された温度をもとに熱電対２の起電力
を補正する補正回路６とを有する。これにより、接続端
子部３の温度変化に関係なくヒーター５の実温を正確に
モニターすることが出来る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は拡散炉装置に関し、特に
熱処理の熱源であるヒーターの温度制御手段を備えた拡
散炉装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の拡散炉装置は、図３のブロック図
に示すように、温度制御部１と、温度検出用熱電対２
と、検出した熱起電力を補償導線へ伝える接続端子部３
と、ヒーター５への出力を制御するヒーター制御部４
と、熱源であるヒーター５とにより構成されている。
【０００３】拡散炉の温度制御は、ヒーター５の温度を
熱電対２により検出し、検出した温度と設定された温度
とを温度制御部１にて比較し、検出温度と設定温度の差
が無くなるように、ヒーター制御部４により熱源である
ヒーター５を制御している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の温度制御方
法では、熱電対と補償導線とを接続している接続端子部
の温度が上昇すると、熱電対の素線と補償導線との接続
部も熱電対として作用する為、熱電対の検出した起電力
に、接続端子部が熱電対として作用した分の起電力が上
のせされて、モニターすべきヒーターの実温以上の温度
を表示してしまう不具合が生じ、そのためヒーターの実
温は目的の温度よりも下がってしまうという問題があっ
た。
【０００５】例えば、ＰＲタイプの補償導線において
は、接続点の温度が０〜１５０℃の範囲で＋３〜−７℃
の測定誤差が生じてしまう（ＪＩＳの誤差許容差）。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の拡散炉装置は、
装置を加熱するヒーター温度を制御するための熱電対を
備え、この熱電対素線と補償導線との接続端子部での温
度を検知する温度センサーと、この熱電対素線と補償導
線との接続端子部で生じる起電力を温度センサーの検出
温度をもとに補正する補正回路とを有している。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の第１実施例のブロック図である。
【０００８】ヒーター５の温度は熱電対２により熱起電
力として検出され、接続端子部３で補償導線へ伝えられ
る。このとき、接続端子３の温度を接続端子部３に取り
付けた温度センサー７で検出し、補正回路６で温度セン
サー７により検出された温度をもとに接続端子部３が熱
電対として作用した起電力分を補正し、温度制御部１へ
出力する。これにより、熱電対２により検出したヒータ
ー５の実温が、接続端子部３の温度変化に関係なく正確
に温度制御部１へ入力され、ヒーター制御部４によりヒ
ーター５を制御する。
【０００９】次に図２を用いた第２実施例を説明する。
図２は本発明の第２実施例のブロック図である。
【００１０】ヒーター５の温度は熱電対２により、熱起
電力として検出され、接続端子部３で補償導線へ伝えら
れる。接続端子部３の横に零接点補償回路８が設置され
ており、接続端子部３の温度変化と同様に零接点補償回
路８の温度も変化する構造となっている。この零接点補
償回路８により、接続端子部３の温度補償を行ない、補
正回路６で補償導線より入力される起電力を補正し、温
度制御部１へ出力する。これにより、熱電対２により検
出したヒーター５の実温が、接続端子部３の温度変化に
関係なく正確に温度制御部１へ入力される。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、接続端子
部の温度を検出することによって、熱電対素線と補償導
線の接続端子部が熱電対として作用する為に生じる測定
誤差分を補正する機能を持つため、接続端子部の温度が
変化しても、ヒーターの温度を安定かつ正確にモニター
出来るという効果を持ち、ヒーターの温度を安定に保つ
ことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例のブロック図である。
【図２】本発明の第２実施例のブロック図である。
【図３】従来の拡散炉の温度制御方式のブロック図であ
る。
【符号の説明】
１ 温度制御部 ２ 熱電対 ３ 接続端子部 ４ ヒーター制御部 ５ ヒーター ６ 補正回路 ７ 温度センサー ８ 零接点補償回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 温度制御部により制御されるヒーターを
    備え半導体基板の熱処理及び不純物の拡散を行なう拡散
    炉装置において、前記ヒーター温度を検出する熱電対と
    補償導線との接続端子部の温度変化を検出する温度セン
    サと、この検出した温度をもとに前記接続端子部の起電
    力の補正をする補正回路とを有することを特徴とする拡
    散炉装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100219419B1 (ko) * 1996-08-26 1999-10-01 윤종용 반도체 제조장비의 열교환 시스템

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100219419B1 (ko) * 1996-08-26 1999-10-01 윤종용 반도체 제조장비의 열교환 시스템

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