JP2000299323A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】温度制御対象物と温度制御装置との距離が離れ
ていたり、周囲の環境が厳しい場合でも、外部ノイズや
電圧降下による温度モニター誤差の発生を防止し、ノイ
ズに強い温度制御装置を提供する。 【解決手段】熱伝対３により検出された熱電位信号を温
度調節器７に送り、該温度調節器７を介してヒータ５に
より温度制御対象物１内の設定温度を維持する様にした
熱処理装置に於いて、熱伝対に接続した補償導線４に電
圧−光変換器８を介して光ケーブル９の一端側を接続
し、該光ケーブルの他端側を光−電圧変換器１０を介し
て温度調節器に接続し、検出温度信号を光ケーブルによ
り伝達する様にして、外部ノイズ、電圧降下の影響を無
くする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置等に
於ける酸化拡散処理、化合物処理等の温度制御を必要と
する熱処理装置に関するもので、温度制御対象物と温度
調節ユニットとが離れていても、ノイズの影響、電圧降
下等の影響を受けない温度制御システムを備えた熱処理
装置に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の温度制御システムの構成は図２に
示す様に、温度制御対象物１に温度制御装置２が配設さ
れ、該温度制御対象物１内に設けられた熱伝対３が補償
導線４を介して温度制御装置２に接続され、前記熱伝対
３からの温度測定値に関しての電圧信号が温度制御装置
２に伝送される。該温度制御装置２に於いて前記熱電対
３からの電圧信号に基づきモニタ温度が演算される。更
にこのモニタ温度と設定温度との偏差が求められる。前
記温度制御対象物１内に設置されたヒータ５に電力が供
給され、前記モニタ温度が、設定温度になる様、前記温
度制御装置２によりヒータ５への供給電力が制御され
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】然し、温度制御対象物
１と温度制御装置２との距離が離れている場合、熱伝対
３と温度制御装置２とを接続する補償導線４が長くなっ
てしまう。これに対し、前記熱伝対３で発生される電圧
信号は微少である為、前記補償導線４での伝送中の電力
降下の影響が大きく、又ヒータ５に供給される電流によ
る発生する電磁界或は飛来する外部ノイズの影響により
Ｓ／Ｎ比が低下し、温度制御装置２で正しく温度をモニ
タできない場合が生じてしまう。これは温度制御対象物
１と温度制御装置２との距離が離れれば離れる程、その
影響は大きくなる。

【０００４】本発明は斯かる実情に鑑み、温度制御対象
物１と温度制御装置２との距離が離れていたり、周囲の
ノイズ環境が厳しい場合、電圧降下や外部ノイズによる
モニタ温度の誤差の発生を防止し、ノイズに強い温度制
御システムを備えた熱処理装置を提供しようとするもの
である。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、熱伝対により
検出された電圧信号を温度調節器に送り、該温度調節器
によりヒータを介して温度制御対象物内の設定温度を維
持する様にした熱処理装置に於いて、熱伝対に接続した
補償導線に電圧−光変換器を介して光ケーブルの一端側
を接続し、該光ケーブルの他端側を光−電圧変換器を介
して温度調節器に接続した熱処理装置に係るものであ
る。

【０００６】熱伝対により検出された電圧信号は熱伝対
側の電圧−光変換器により光に変換され、光ケーブル内
を電気的ノイズ等の影響を受けずに且つ光ケーブルの長
さに拘らず確実に伝達され、温度調節器側の光−電圧変
換器により電圧信号に変換されて該温度調節器に送ら
れ、該温度調節器により温度制御対象物内の設定温度が
維持される様ヒータに供給される電力が制御される。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。

【０００８】図１に於いて本発明の実施の形態を説明す
る。

【０００９】尚、図１中、図２中と同等のものには同符
号を付し、説明は省略する。

【００１０】熱処理炉等の温度制御対象物１を加熱する
ヒータ５は電力ケーブル６を介して温度調節器７に接続
されている。前記温度制御対象物１内の所要位置に設け
られた熱伝対３からの補償導線４は、電圧−光変換器８
を介して光ケーブル９の一端側に接続され、該光ケーブ
ル９の他端側は光−電圧変換器１０を介して温度調節器
７に接続されている。該光ケーブル９の材質はプラスチ
ック、石英等が用いられる。前記温度調節器７は、熱伝
対３により検出され補償導線４、電圧−光変換器８、光
ケーブル９、光−電圧変換器１０を介して入力された温
度電圧信号に基づきモニタ温度を演算し、モニタ温度が
設定温度未満の場合、前記ヒータ５に電力を供給し、設
定温度以上になると該ヒータ５への電力供給を停止或は
減少する機能を有する。

【００１１】前記熱伝対３により検出された前記温度制
御対象物１内の温度は電圧信号として出力され、補償導
線４を経て電圧−光変換器８に送られ、該電圧−光変換
器８により電圧信号が光信号に変換され、光ケーブル９
内を減衰も殆どなく又光信号であるので外部からの電気
的なノイズの影響も受けることなく遠隔部迄伝達され
る。

【００１２】該光ケーブル９を介して伝達された光信号
は、該光ケーブル９の他端側に設けられた光−電圧変換
器１０により再び電圧信号に変換される。前述した様に
光ケーブル９内での減衰が殆どないので再び電圧信号に
変換した場合の電圧降下も殆どない。再変換された電圧
信号に基づきモニタ温度が演算され、モニタ温度は温度
調節器７により前記温度制御対象物１の設定温度と比較
され、設定温度未満の場合電力ケーブル６を介してヒー
タ５に電力が供給される。

【００１３】該ヒータ５による加熱によって前記温度制
御対象物１内の温度が上昇して、前記熱伝対３により検
出され、光ケーブル９を介して温度調節器７に伝達され
る信号が、前記温度制御対象物１の設定温度に達する
と、前記温度調節器７によりヒータ５への電力供給が設
定温度維持の電力へ切換わる。

【００１４】従って、熱伝対３により検出された炉内温
度は電圧信号として補償導線４により電圧−光変換器８
を介して光ケーブル９によって伝達されるので、電気的
なノイズや電送途中での電圧降下の影響もなく、正確な
温度制御ができる。特に、温度制御対象物１と温度調節
器７との間に距離がある場合でも高精度な温度制御が為
し得る。

【００１５】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、熱伝対
により検出された温度制御対象物内の温度電圧信号が、
電圧−光変換器を介して光ケーブルにより温度制御対象
物外の温度調節器まで伝達されるので、従来の補償導線
が外部ノイズの影響を受けやすく、又電圧降下しやすい
のに対し、光伝達はノイズに強く、電圧降下の問題も無
く、正確な温度制御ができる。特に温度制御対象物の場
所と温度制御器との間に距離がある場合、従来に比べ温
度制御の正確性が著しく向上する。従って、正確な温度
制御が実現される結果、温度制御対象物により制作され
る製品の品質並びに生産効率も向上される等種々の優れ
た効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す説明図である。

【図２】従来の温度制御システムの説明図である

【符号の説明】

１ 温度制御対象物 ２ 温度制御装置 ３ 熱伝対 ４ 補償導線 ５ ヒータ ７ 温度調節器 ８ 電圧−光変換器 ９ 光ケーブル １０ 光−電圧変換器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 熱伝対により検出された熱電位信号を温
   度調節器に送り、該温度調節器によりヒータを介して温
   度制御対象物内の設定温度を維持する様にした熱処理装
   置に於いて、熱伝対に接続した補償導線に電圧−光変換
   器を介して光ケーブルの一端側を接続し、該光ケーブル
   の他端側を光−電圧変換器を介して温度調節器に接続し
   たことを特徴とする熱処理装置。