JPH06187045A - 位置決め装置 - Google Patents

位置決め装置

Info

Publication number
JPH06187045A
JPH06187045A JP23248993A JP23248993A JPH06187045A JP H06187045 A JPH06187045 A JP H06187045A JP 23248993 A JP23248993 A JP 23248993A JP 23248993 A JP23248993 A JP 23248993A JP H06187045 A JPH06187045 A JP H06187045A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
value
acceleration
mass
position command
command value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP23248993A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Aihara
隆司 藍原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP23248993A priority Critical patent/JPH06187045A/ja
Publication of JPH06187045A publication Critical patent/JPH06187045A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Numerical Control (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 位置指令手段や位置制御手段の各種パラメー
タ設定時に発生する不安定動作を解消する。パラメータ
調整作業を不要にする。 【構成】 制御対象3に対する位置指令値を出力する位
置指令手段1Aと、制御対象3の位置実際値を位置指令
値に一致させるように制御する位置制御手段2とを備え
た位置決め装置に関する。制御対象3の質量または慣性
値を推定する質量推定手段4と、位置指令値の2階時間
微分値を制限値以内に抑える加速度リミッタ11とを備
える。質量推定手段4により推定された質量または慣性
値と位置制御手段2が出力可能な最大推力またはトルク
とに基づく最大加速度を加速度リミッタ11における制
限値とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、移動ロボットや各種搬
送装置等の駆動装置において、物体を駆動してある位置
から他の位置にまで移動させるサーボ制御を行うための
位置決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】位置指令手段及び位置制御手段からなる
位置決め装置では、一般に、位置制御手段の出力推力ま
たはトルクがその手段の出力可能な最大値以下である必
要がある。もしそうでないと、位置制御手段の出力し得
る最大推力以上の加速度となるような位置指令値を位置
制御手段に与えても、位置実際値がこれに追従できない
ため、過大な位置偏差を生じてしまい、オーバシュート
やハンチング等の不安定動作を引き起こしてしまう。
【0003】従って従来の位置決め装置では、位置指令
手段や位置制御手段の各種パラメータの設定内容によっ
ては上述のような不安定動作を引き起こす危険性を持っ
ており、実際に不安定動作が起きた場合にはこれを抑制
するべく各種パラメータを調整しなければならなかっ
た。
【0004】例えば、図9は従来の位置決め装置の構成
を示すブロック図である。図において、位置指令手段1
により加速度設定値X"*を積分器12a,12bを介し
て生成した第1の位置指令値X1 *は、位置制御手段2に
与えられ、最終的に制御対象3を駆動する。このとき、
上記位置指令値X1 *は位置制御手段2内のフィルタ5a
を介して第2の位置指令値X2 *に変換される。そして、
この位置指令値X2 *と制御対象3からの位置実際値Xと
の偏差が加算器21により演算されると共に、上記偏差
に位置調節器22のゲインKpを乗じたものが速度指令
値n*として速度制御手段23に入力され、推力Fによ
って制御対象3を駆動する。
【0005】ここで、位置制御手段2が出力し得る最大
推力以上の加速度となるような位置指令値X1 *が与えら
れる場合には、前述のごとく位置実際値Xが追従できな
いため不安定動作を引き起こす。従って、この不安定動
作を未然に防止するために加速度を抑制する方法として
は、まず位置指令手段1において加速度設定値X"*を小
さくすること、フィルタ5aの時定数を大きくするこ
と、更に、位置調節器22のゲインKpを小さくするこ
とが考えられる。
【0006】これらの方法のうち最良のものは、位置指
令手段1において加速度設定値X"*を小さくすることで
あるが、比較的安価なシステム等では、位置指令手段が
加速度を任意に設定できる機能を持たないものがある。
従ってこの場合には、次善策としてフィルタ5aの時定
数を大きくする必要があるが、このようなフィルタを持
たないシステムでは位置調節器22のゲインKpを調節
してこれを小さくしなくてはならない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】このように従来の位置
決め装置では、制御対象とのセッティングに際し、位置
指令手段や位置制御手段の各種パラメータの設定内容に
よっては不安定動作を引き起こす危険性を内包してお
り、実際に不安定動作が起きた場合にはこれを抑制する
べく各種パラメータを調整しなければならなかった。こ
のような調整動作は通常、長時間を要するものであり、
また、動作条件によっては調整値が異なるため再調整が
必要になるという煩雑さを有していた。
【0008】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、その目的とするところは、各種パラメータ
の設定内容に起因する不安定動作をなくし、しかも、煩
雑な調整動作を不要にした位置決め装置を提供すること
にある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第1の発明は、制御対象に対する位置指令値を出力
する位置指令手段と、制御対象の位置実際値を位置指令
値に一致させるように制御する位置制御手段とを備えた
位置決め装置において、制御対象の質量または慣性値を
推定する質量推定手段と、位置指令値の2階時間微分値
を制限値以内に抑える加速度制限手段とを備え、質量推
定手段により推定された質量または慣性値と位置制御手
段が出力可能な最大推力またはトルクとに基づく最大加
速度を加速度制限手段における制限値とするものであ
る。
【0010】第2の発明は、位置指令手段と位置制御手
段とが別ユニットに分かれていて位置指令値以外の情報
交換を行えない場合や位置指令値演算において位置指令
値の2階時間微分値を最大加速度以下にするような複雑
な演算を行えない場合に有効である。すなわち、第2の
発明は、制御対象の質量または慣性値を推定する質量推
定手段と、位置指令手段からの第1の位置指令値を時間
的に平滑化して第2の位置指令値を出力する平滑化手段
と、この第2の位置指令値の2階時間微分値を制限値以
内に抑えるべく平滑化手段の定数を調節する加速度制限
手段とを備え、質量推定手段により推定された質量また
は慣性値と位置制御手段が出力可能な最大推力またはト
ルクとに基づく最大加速度を加速度制限手段における制
限値とするものである。
【0011】第3の発明は、更に安価なシステムによっ
て第2の発明のごとき平滑化演算さえ行えないような場
合に有効である。すなわち、第3の発明は、位置制御手
段を、位置指令値と位置実際値との偏差に対しゲインを
乗じて速度指令値を得る位置調節器と、制御対象の速度
実際値を速度指令値に一致させるべく制御する速度制御
手段とにより構成し、制御対象の質量または慣性値を推
定する質量推定手段と、位置調節器から出力される速度
指令値の1階時間微分値を制限値以内に抑えるべく位置
調節器のゲインを調節する加速度制限手段とを備え、質
量推定手段により推定された質量または慣性値と位置制
御手段が出力可能な最大推力またはトルクとに基づく最
大加速度を加速度制限手段における制限値とするもので
ある。
【0012】第4の発明は、位置制御手段と速度制御手
段とが別ユニットに構成されていて速度指令値以外の情
報交換を行えない場合に有効である。すなわち、第4の
発明は、制御対象に対する位置指令値を出力する位置指
令手段と、制御対象の位置実際値を位置指令値に一致さ
せるように制御対象に対する速度指令値を出力する位置
制御手段と、制御対象の速度実際値を速度指令値に一致
させるように制御する速度制御手段とを備えた位置決め
装置において、制御対象の質量または慣性値を推定する
質量推定手段と、この質量推定手段により推定された質
量または慣性値と速度制御手段が出力可能な最大推力ま
たはトルクとに基づく最大加速度または加減速時間を表
示する表示手段とを備えたものである。
【0013】
【作用】第1の発明では、位置指令値の2階時間微分値
が最大加速度以下になるように加速度制限手段により制
限を加えることで、位置制御手段による推力が出力可能
な最大値以下となり、位置指令値と位置実際値との偏差
が過大になることもなく常に安定した位置決め動作を実
現する。また、パラメータの調整も不要となる。
【0014】第2の発明では、第1の位置指令値を時間
的に平滑化してその結果を第2の位置指令値とする平滑
化手段を設け、第2の位置指令値の2階時間微分値を最
大加速度以内に制限するべく平滑化手段の定数を調節す
ることにより、位置制御手段による推力が出力可能な最
大値以下となって常に安定した位置決め動作を実現する
と共に、調整を不要にする。
【0015】第3の発明では、位置調節器の出力である
速度指令値の1階時間微分値が最大加速度以下になるよ
うに位置調節器のゲインを調整することにより、位置制
御手段による推力が出力可能な最大値以下となって常に
安定した位置決め動作を実現する。
【0016】第4の発明では、位置指令手段等の各種パ
ラメータの調整作業が不可欠であるが、一度の試運転に
より質量推定手段が求めた最大加速度または加減速時間
等を表示させることによってパラメータの調整値が判明
するため、試行錯誤を行うことなく調整作業を簡略化す
ることができる。
【0017】
【実施例】以下、図に沿って各発明の実施例を説明す
る。図1は第1の発明の実施例を示すブロック図であ
る。図1において、1Aは位置指令手段であり、図9の
位置指令手段1に後述の加速度リミッタ11を付加した
ものである。また、2は図9と同様の位置制御手段、3
は同じく制御対象を示す。
【0018】更に、4は新たに付加された質量推定手段
である。この推定手段4は、制御対象3の質量または慣
性値を動作特性から推定すると共に、これらの推定値
と、位置制御手段2が出力可能な最大推力またはトルク
とに基づき、最大加速度αmax(または最大角加速度)
を演算して位置指令手段1A内の加速度リミッタ11に
出力するものである。
【0019】位置指令手段1A内の加速度リミッタ11
には加速度設定値X"*が入力されており、加速度リミッ
タ11は質量推定手段4からの最大加速度αmaxを越え
ないように加速度設定値X"*を制限する。そして、位置
指令手段1Aはこの加速度リミッタ11の出力に基づき
位置指令演算を行う。
【0020】このように本実施例では、位置指令値X*
の2階時間微分値X"*が最大加速度αmax以下になるよ
うに加速度リミッタ11によって制限することにより、
位置制御手段2から出力される推力Fが出力可能な最大
値以下になるため、位置偏差が過大になる不都合がな
く、常に安定した動作を実現することができる。なお、
本実施例は最大加速度αmaxを越える加速度設定値X"*
に対して制限を加えるものであるから、最大加速度α
maxを越えない加速度設定値X"*に対しては従来と同様
の動作で何ら差し支えない。
【0021】次に、図2は第2の発明の実施例を示して
いる。この実施例は実質上、図9における位置制御手段
2を平滑化手段としてのフィルタ5aと位置制御手段2
Aとに分離し、かつ、質量推定手段4と加速度制限手段
としての加速度調節器5bとを付加して構成されてい
る。なお、位置指令手段1は図9のものと同一である。
上記加速度調節器5bには、質量推定手段4からの最大
加速度αmaxとフィルタ5aからの第2の位置指令値X2
*とが入力されており、フィルタ5aに対してその時定
数を調節する信号を出力する。
【0022】すなわち、加速度調節器5bは、第2の位
置指令値X2 *の2階時間微分値が最大加速度αmaxより
も大きくなったときに、フィルタ5aの時定数を操作し
てこれが最大値以下になるように動作する。以下に、フ
ィルタ5aが離散時間系1次フィルタである場合の時定
数の操作について説明する。まず、この時のフィルタ演
算は次の数式1により表される。
【0023】
【数1】 X2 * (i)=X2 * (i-1)+{X1 * (i)−X2 * (i-1)}・Ts
f
【0024】なお、数式1において、Tsはサンプリン
グ周期、Tfはフィルタ5aの時定数である。
【0025】ここで、第2の位置指令値X2 *の2階時間
微分値に関し、最大加速度αmaxとの間で数式2が成立
する場合には、数式3によりX2 * (i)を再計算し、フィ
ルタ5aの時定数Tfを数式4により再度演算する。
【0026】
【数2】 {X2 * (i)−X2 * (i-1)}−{X2 * (i-1)−X2 * (i-2)}>
αmax
【0027】
【数3】 X2 * (i)=2X2 * (i-1)−X2 * (i-2)+αmax
【0028】
【数4】 Tf=Ts・{X1 * (i)−X2 * (i-1)}/{X2 * (i)−X2 *
(i-1)
【0029】なお、加減速調整器5bによる調整過程に
おいて、フィルタ5aの時定数Tfを一度大きくした後
は通常、小さくしない方が良い。なぜなら、加速時に最
大加速度αmaxを越えたならば減速時にもこれを越える
可能性が高いからである。フィルタ5aは位置に関する
フィルタであるため、移動時には時定数に比例する遅れ
を伴っている。従って、一度大きくした時定数Tfを移
動中に小さくすると、遅れも比例して小さくなってしま
い、そこで減速を開始すると位置指令値に追従できずに
大きくオーバシュートしてしまうことになる。従って、
安定な動作を確保するだけならば、時定数Tfを大きく
する一方で良く、小さくする必要はない。
【0030】しかるに、図3、図4に示すように、移動
速度の大きさによって同じ加速度に制限するために必要
なフィルタの時定数は異なっている。なお、これらの図
は、高速加減速時(図3)及び低速加減速時(図4)に
ついて、第1及び第2の位置指令値X1 *,X2 *の1階時
間微分値X1'*,X2'*及び最大加速度αmaxと時間との
関係を示したものである。
【0031】すなわち、図3の高速加減速時では、加速
度が最大加速度αmaxを越えないためには時定数Tf=T
1でなくてはならないが、図4の低速加減速時では、Tf
=T2で良い。ここで、T1>T2である。図4の場合に
おいてTf=T1とすることは、不必要に動作を遅くする
だけである。通常、1回の動作を終了したときにフィル
タの入出力が一致することから、この時にフィルタ5a
の時定数を初期値に戻すことにより、常に最適な時定数
を採ることができる。なお、フィルタ5aは例えばS字
特性を得ることも兼ねて、2次または3次フィルタとし
ても良い。
【0032】また、第1の位置指令値X1 *の1階時間微
分値がステップ状に変化する場合(加速度は無限大)、
フィルタ演算を数式5のようにすることで第2の位置指
令値X2 *の1階時間微分値を直線加減速波形にすること
ができ、かつ、そのときの加速度を最大加速度αmax
抑えることができる。
【0033】
【数5】 dX2 */dt=√{(X1 *−X2 *)・2αmax
【0034】次に、図5は第3の発明の実施例を示して
いる。この実施例は、図1、図2と同様の質量推定手段
4を備え、かつ、位置制御手段2Aからの速度指令値n
*と最大加速度αmaxとに基づき位置制御手段2A内の位
置調節器22のゲインKpを調節する加速度制限手段と
しての加速度調節器5を備えたものである。
【0035】加速度調節器5は、位置調節器22の出力
である速度指令値n*の1階時間微分値が最大加速度α
maxを越えたときに位置調節器22のゲインKpを調節
し、これが最大値以下になるように動作する。ここで、
前記速度指令値n*は、離散時間系における演算では次
の数式6によって求められる。
【0036】
【数6】 n* (i)={X* (i)−X(i)}・Kp
【0037】よって加速度調節器5は、n* (i)−n*
(i-1)>αmaxとなったときに数式7、数式8によりn*
(i),Kpを演算する。
【0038】
【数7】 n* (i)=n* (i-1)+αmax
【0039】
【数8】 Kp=n* (i)/{X* (i)−X(i)
【0040】第2の発明の実施例と同様の理由により、
ゲインKpを一度小さくした後は通常、大きくしない方
が良い。位置調節器22のゲインKpは、一種のフィル
タ時定数のような役割を果たすため、移動時の位置実際
値Xは位置指令値X*に対してゲインKpに反比例する遅
れを伴っている。従って、一度小さくしたゲインKp
移動中に大きくすると、遅れも反比例して小さくなって
しまい、そこで減速を開始すると位置指令値に追従でき
ずに大きくオーバシュートしてしまうことになる。従っ
て、安定な動作を確保するだけならば、ゲインKpを小
さくする一方で良く、大きくする必要はない。
【0041】しかるに、図6、図7に示すように、移動
速度の大きさによって同じ加速度に制限するために必要
なゲインKpは異なっている。なお、これらの図は、高
速加減速時(図6)及び低速加減速時(図7)につい
て、位置指令値X*の1階時間微分値X'*、速度指令値
*及び最大加速度αmaxと時間との関係を示したもので
ある。
【0042】すなわち、図6の高速加減速時では、加速
度が最大加速度αmaxを越えないためにはゲインKp=1
/T1でなくてはならないが、図7の低速加減速時では
p=1/T2で良い。ここで、T1>T2である。図7の
場合においてKp=1/T1とすることは、不必要に動作
を遅くするだけである。通常、1回の動作を終了したと
きに位置実際値Xが位置指令値X*に一致することか
ら、この時にゲインKpを初期値に戻すことにより、常
に最適なゲインを採ることができる。
【0043】次に、図8は第4の発明の実施例を示して
いる。この実施例は、前記図9における位置制御手段2
が、フィルタ5a、加算器21及び位置調節器22から
なる位置制御手段2Bと、速度制御手段23との別ユニ
ットに構成されていて、速度指令値n*以外の情報交換
が行えない場合を考慮したものであり、実質上、図9の
構成に質量推定手段4と加速度表示器6と付加したもの
である。
【0044】この実施例では、質量推定手段4により演
算された最大加速度αmax(または最大角加速度)を、
加速度表示器6により表示することとした。すなわち、
この実施例では、図1の実施例の加速度制限手段による
制限や図2の実施例の平滑化手段の定数調節、更には図
5の実施例のような位置調節器のゲイン調整といった調
節ループが存在しないため、位置指令手段1の加速度パ
ラメータ等、各種パラメータの調整が不可欠となる。こ
のため、最大加速度αmaxを表示させて各種パラメータ
の調整値を明確にさせ、調整時の試行錯誤を解消して調
整作業の簡略化、迅速化を可能にしたものである。
【0045】具体的には、図8のシステムにより一度試
運転を行って質量推定手段4により質量推定を行わせ、
その結果表示される最大加速度αmaxの値を用いて位置
制御手段1の加速度パラメータ等を設定する。このよう
に一度の試運転によりパラメータの調整値が決まるた
め、調整時に試行錯誤する必要がなくなる。なお、加速
度表示器6に表示する値としては最大加速度の逆数(例
えば速度零から定格速度までの加速に要する加減速時間
等)であっても良い。
【0046】なお、以上で述べている最大加速度αmax
を求めるにあたり、位置制御手段が出力可能な最大推力
に負荷力分も考慮して実質の加速力とすることで、より
精度を上げることができる。
【0047】
【発明の効果】以上のように第1、第2または第3の発
明によれば、位置指令値の2階時間微分値または速度指
令値の1階時間微分値が最大加速度を越えないように制
限することにより、位置制御手段から制御対象に加えら
れる推力が出力可能な最大値以下になるようにできるた
め、制御対象の位置指令値と位置実際値との偏差が過大
になる不都合がなく、オーバシュートやハンチングの発
生を防止して常に安定した動作を確保することができ
る。これにより、制御対象とのセッティングに際しての
危険をなくし、しかも、場合によってはパラメータの調
整や動作条件変更時の再調整をも不要にすることが可能
である。
【0048】第4の発明によれば、各種パラメータの調
整が不可欠となるが、表示された最大加速度等に基づい
てパラメータの調整値が求まるため、1回の試運転を行
うだけで済み、調整作業の大幅な簡略化、迅速化を図る
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の発明の実施例を示すブロック図である。
【図2】第2の発明の実施例を示すブロック図である。
【図3】図2の実施例の動作を説明するための高速加減
速時の動作波形図である。
【図4】図2の実施例の動作を説明するための低速加減
速時の動作波形図である。
【図5】第3の発明の実施例を示すブロック図である。
【図6】図5の実施例の動作を説明するための高速加減
速時の動作波形図である。
【図7】図5の実施例の動作を説明するための低速加減
速時の動作波形図である。
【図8】第4の発明の実施例を示すブロック図である。
【図9】従来の技術を示すブロック図である。
【符号の説明】
1,1A 位置指令手段 11 加速度リミッタ 12a,12b 積分器 2,2A,2B 位置制御手段 21 加算器 22 位置調節器 23 速度制御手段 3 制御対象 4 質量推定手段 5a フィルタ 5,5b 加速度調節器 6 加速度表示器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G05D 17/02 8610−3H

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 制御対象に対する位置指令値を出力する
    位置指令手段と、制御対象の位置実際値を位置指令値に
    一致させるように制御する位置制御手段とを備えた位置
    決め装置において、 制御対象の質量または慣性値を推定する質量推定手段
    と、位置指令値の2階時間微分値を制限値以内に抑える
    加速度制限手段とを備え、 質量推定手段により推定された質量または慣性値と位置
    制御手段が出力可能な最大推力またはトルクとに基づく
    最大加速度を加速度制限手段における制限値とすること
    を特徴とする位置決め装置。
  2. 【請求項2】 制御対象に対する位置指令値を出力する
    位置指令手段と、制御対象の位置実際値を位置指令値に
    一致させるように制御する位置制御手段とを備えた位置
    決め装置において、 制御対象の質量または慣性値を推定する質量推定手段
    と、位置指令手段からの第1の位置指令値を時間的に平
    滑化して第2の位置指令値を出力する平滑化手段と、こ
    の第2の位置指令値の2階時間微分値を制限値以内に抑
    えるべく平滑化手段の定数を調節する加速度制限手段と
    を備え、 質量推定手段により推定された質量または慣性値と位置
    制御手段が出力可能な最大推力またはトルクとに基づく
    最大加速度を加速度制限手段における制限値とすること
    を特徴とする位置決め装置。
  3. 【請求項3】 加速度制限手段により、平滑化手段によ
    る平滑の度合いが強くなるようにのみ平滑化手段の定数
    を変更する請求項2記載の位置決め装置。
  4. 【請求項4】 平滑化手段の入出力が一致した時にのみ
    平滑化手段の定数を初期値に戻す請求項3記載の位置決
    め装置。
  5. 【請求項5】 制御対象に対する位置指令値を出力する
    位置指令手段と、制御対象の位置実際値を位置指令値に
    一致させるように制御する位置制御手段とを備えた位置
    決め装置において、 位置制御手段を、位置指令値と位置実際値との偏差に対
    しゲインを乗じて速度指令値を得る位置調節器と、制御
    対象の速度実際値を速度指令値に一致させるべく制御す
    る速度制御手段とにより構成し、 制御対象の質量または慣性値を推定する質量推定手段
    と、位置調節器から出力される速度指令値の1階時間微
    分値を制限値以内に抑えるべく位置調節器のゲインを調
    節する加速度制限手段とを備え、 質量推定手段により推定された質量または慣性値と位置
    制御手段が出力可能な最大推力またはトルクとに基づく
    最大加速度を加速度制限手段における制限値とすること
    を特徴とする位置決め装置。
  6. 【請求項6】 加速度制限手段により、位置調節器のゲ
    インが小さくなるようにのみ前記ゲインを変更する請求
    項5記載の位置決め装置。
  7. 【請求項7】 位置指令値と位置実際値とが一致した時
    にのみ位置調節器のゲインを初期値に戻す請求項6記載
    の位置決め装置。
  8. 【請求項8】 制御対象に対する位置指令値を出力する
    位置指令手段と、制御対象の位置実際値を位置指令値に
    一致させるように制御対象に対する速度指令値を出力す
    る位置制御手段と、制御対象の速度実際値を速度指令値
    に一致させるように制御する速度制御手段とを備えた位
    置決め装置において、 制御対象の質量または慣性値を推定する質量推定手段
    と、この質量推定手段により推定された質量または慣性
    値と速度制御手段が出力可能な最大推力またはトルクと
    に基づく最大加速度または加減速時間を表示する表示手
    段とを備えたことを特徴とする位置決め装置。
JP23248993A 1992-09-02 1993-08-25 位置決め装置 Withdrawn JPH06187045A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23248993A JPH06187045A (ja) 1992-09-02 1993-08-25 位置決め装置

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25897292 1992-09-02
JP4-258972 1992-09-30
JP28683592 1992-09-30
JP4-286835 1992-09-30
JP23248993A JPH06187045A (ja) 1992-09-02 1993-08-25 位置決め装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06187045A true JPH06187045A (ja) 1994-07-08

Family

ID=27331882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23248993A Withdrawn JPH06187045A (ja) 1992-09-02 1993-08-25 位置決め装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06187045A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004342082A (ja) * 2003-03-06 2004-12-02 Asml Netherlands Bv 特にリソグラフ装置における質量の位置の制御
JP2005224896A (ja) * 2004-02-13 2005-08-25 Brother Ind Ltd 搬送装置,搬送装置の搬送加速度決定方法及びコンピュータプログラム
JP2008027246A (ja) * 2006-07-21 2008-02-07 Yaskawa Electric Corp 位置決め制御装置とその位置決め制御方法
JP2009187180A (ja) * 2008-02-05 2009-08-20 Yamatake Corp 制御機器および制御方法
JP2011164680A (ja) * 2010-02-04 2011-08-25 Fuji Electric Co Ltd 位置指令生成器

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004342082A (ja) * 2003-03-06 2004-12-02 Asml Netherlands Bv 特にリソグラフ装置における質量の位置の制御
JP2005224896A (ja) * 2004-02-13 2005-08-25 Brother Ind Ltd 搬送装置,搬送装置の搬送加速度決定方法及びコンピュータプログラム
JP2008027246A (ja) * 2006-07-21 2008-02-07 Yaskawa Electric Corp 位置決め制御装置とその位置決め制御方法
JP2009187180A (ja) * 2008-02-05 2009-08-20 Yamatake Corp 制御機器および制御方法
JP2011164680A (ja) * 2010-02-04 2011-08-25 Fuji Electric Co Ltd 位置指令生成器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0683403A (ja) 適応pi制御方式
JPH07104856A (ja) 振動制御方法
CA2057237C (en) Sliding mode control system
JPH10329063A (ja) ロボット制御装置
JPH0991025A (ja) 動作デューティを考慮したロボットの最短時間制御方法
JPH06187045A (ja) 位置決め装置
KR970003192B1 (ko) 속도 제어시 2-매스 시스템의 관성을 추정하기 위한 방법 및 시스템
JP3252695B2 (ja) 電動機制御装置
JPH0317703A (ja) 速度依存型外乱推定オブザーバによるゼロイング方法
JP2850075B2 (ja) 可変構造制御方法
JPH0974783A (ja) モータ制御装置
GB2270998A (en) Positioning system
JPH08278821A (ja) サーボ制御系の制振方法
JP2733881B2 (ja) Pi制御ループをベースにした適応スライディングモード制御方式
JP3582541B2 (ja) スライディングモード制御による位置決め制御方法
JPH10177402A (ja) 単純適応制御装置
JPH10161706A (ja) 単純適応制御装置
JP4300384B2 (ja) 位置決めサーボコントローラ
JP3200496B2 (ja) 多関節型ロボット制御装置
JP2918269B2 (ja) ロボットの移動制御方法
JPH02232702A (ja) 制御装置
KR100194144B1 (ko) 피이드포워드에 의한 서보모터의 위치 제어방법 및 제어기
JPH117303A (ja) サーボ系の駆動制御装置
JP3097104B2 (ja) オブザーバによるサーボモータ制御装置
JPH06214656A (ja) 制振要素を持つスライディングモード制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20001031