JPH06186416A - Color filter and its production - Google Patents

Color filter and its production

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Publication number
JPH06186416A
JPH06186416A JP4356692A JP35669292A JPH06186416A JP H06186416 A JPH06186416 A JP H06186416A JP 4356692 A JP4356692 A JP 4356692A JP 35669292 A JP35669292 A JP 35669292A JP H06186416 A JPH06186416 A JP H06186416A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
color
color filter
partition walls
partition wall
Prior art date
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Pending
Application number
JP4356692A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiko Nishimura
一彦 西村
Takao Sano
高男 佐野
Shunei Sekido
俊英 関戸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP4356692A priority Critical patent/JPH06186416A/en
Publication of JPH06186416A publication Critical patent/JPH06186416A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide the color filter which obviates blurring of picture elements and can be produced at a low cost and the process for production of such color filter. CONSTITUTION:Partition walls 2 are provided in patterns arranged with the picture elements in stripe forms on the main surface of a glass substrate 1. Color ink 4 of R, G, B are put in prescribed arrangement and the pricture elements in stripe forms are formed in recessed parts 3 enclosed by these partition walls 2. The surface of the partition walls 2 is formed of a material (for example, composite plating, etc.) into which a fluorine compd. (for example, PTFE) is dispersed and incorporated at 1 to 3Owt.% to have an ink repulsive property. The colored ink 4 does not remain on the partition wall 2 even if the colored ink 4 sticks onto the partition walls 2. The blurring of the picture elements is thus prevented. This color filter is easily produced at a low cost by utilizing electroplating, electroless plating or electrodeposition coating.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、主に液晶表示用として
使用されるカラーフィルタの構造、およびそのカラーフ
ィルタの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a color filter mainly used for liquid crystal display, and a method for manufacturing the color filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示用として使用されるカラーフィ
ルタは、基本的に透光性を有するガラス等の基板の主面
上に、加色混合の3原色(R(赤)、G(緑)、B
(青))の画素を一組とする絵素が多数配列されて構成
されている。また、各画素間には、表示コントラストを
高めるために、所定幅の遮光領域(一般に黒色でブラッ
クマトリクスと称されている)が設けられている。
2. Description of the Related Art A color filter used for a liquid crystal display basically has three primary colors (R (red), G (green)) of additive color mixture on a main surface of a substrate such as glass having a light transmitting property. , B
A large number of picture elements each having a set of (blue) pixels are arranged. In addition, a light-shielding region (generally black and referred to as a black matrix) having a predetermined width is provided between each pixel in order to enhance display contrast.

【0003】透光性基板の主面上に各画素(絵素)を所
定のパターンに配列する方法として、従来、電子写真法
や電着法などのほか、低コストの製造法として熱転写を
利用した印刷法やインクジェット法などがある。
As a method for arranging each pixel (picture element) in a predetermined pattern on the main surface of a light-transmissive substrate, conventionally, in addition to electrophotography and electrodeposition, thermal transfer is used as a low-cost manufacturing method. There is a printing method or an inkjet method.

【0004】従来の製造法の内、低コストでカラーフィ
ルタを製造できる印刷法やインクジェット法では、各画
素を形成する領域、すなわち、ブラックマトリクスで囲
まれた領域に色インクを、インクジェットノズルなどを
用いて入れるのであるが、このとき、他の画素を形成す
る領域にインクが流れ込んだり、インクがブラックマト
リクス上に残ったりすることによる画素のにじみを防止
して高精度の着色を実現するために、インクを入れる量
に応じてブラックマトリクスの厚みを調整し、また、ブ
ラックマトリクスの上面を撥インク性に形成するなどし
て、色インクを目的の領域に収めるようにすることが求
められている。ブラックマトリクスの厚みは、画素を形
成する領域に入れるインクの量が決まれば、インクが他
の領域に流れ込むのを防止する厚みにブラックマトリク
スを形成すればよい。一方、ブラックマトリクスの上面
を撥インク性に形成する技術として、例えば、本願出願
人が特開平4-195102号公報に示すようなものを提案して
いる。
Among the conventional manufacturing methods, in the printing method and the inkjet method which can manufacture a color filter at a low cost, colored ink is applied to an area where each pixel is formed, that is, an area surrounded by a black matrix, and an inkjet nozzle is used. At this time, in order to realize highly accurate coloring by preventing ink bleeding due to ink flowing into the area forming other pixels or ink remaining on the black matrix at this time. It is required to adjust the thickness of the black matrix according to the amount of ink to be inserted, and to make the upper surface of the black matrix ink-repellent so that the color ink can be contained in the target area. . As for the thickness of the black matrix, the black matrix may be formed to a thickness that prevents the ink from flowing into other regions if the amount of ink to be filled in the regions where the pixels are formed is determined. On the other hand, as a technique for forming the upper surface of the black matrix to be ink repellent, for example, the applicant of the present application has proposed a technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-195102.

【0005】この方法では、まず、透光性基板の主面上
に遮光性の薄膜を所定のパターンで形成し、基板全面に
感光性樹脂層とシリコーンゴム層をその順で塗布し、基
板の下面から露光し、現像して、感光性樹脂層とシリコ
ーンゴム層の一部を除去し、感光性樹脂層とシリコーン
ゴム層で囲まれたインクを入れる領域を形成し、その領
域に可染媒体を塗布し、インクを入れて可染媒体を着色
した後、基板の主面から露光し、現像してインクのにじ
みを防止するために用いた感光性樹脂層とシリコーンゴ
ム層を除去するものである。この方法によれば、シリコ
ーンゴム層を上面にした隔壁でインクを入れる凹状の領
域を形成することにより、隔壁上面は撥インク性となる
ので、凹状の領域にインクを入れたとき、隔壁上面にイ
ンクが付いてもそのインクは弾かれてインクのにじみが
防止される。
In this method, first, a light-shielding thin film is formed in a predetermined pattern on the main surface of a transparent substrate, and a photosensitive resin layer and a silicone rubber layer are applied in that order on the entire surface of the substrate to form a substrate. The photosensitive resin layer and the silicone rubber layer are partially removed by exposing and developing from the lower surface, and an area for containing ink surrounded by the photosensitive resin layer and the silicone rubber layer is formed, and a dyeable medium is formed in the area. Is applied, and the ink is put in to color the dyeable medium, then exposed from the main surface of the substrate and developed to remove the photosensitive resin layer and silicone rubber layer used to prevent ink bleeding. is there. According to this method, by forming a concave region for containing ink in the partition with the silicone rubber layer on the upper surface, the upper surface of the partition becomes ink-repellent. Even if ink is attached, the ink is repelled and bleeding of the ink is prevented.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、インクのにじみを防止するためにシリ
コーンゴム層を用いた上記の方法では、多数の複雑な処
理工程が必要であるので、製造コストの低減が図れない
という問題がある。
However, the conventional example having such a structure has the following problems. That is, the above-mentioned method using the silicone rubber layer for preventing ink bleeding requires a number of complicated treatment steps, and thus there is a problem that the manufacturing cost cannot be reduced.

【0007】また、露光後の現像工程において、シリコ
ーンゴム層が感光性樹脂層ほど充分に除去されないの
で、後処理を行う必要があり、製造コストがかさむとい
う問題もある。
Further, since the silicone rubber layer is not sufficiently removed as in the photosensitive resin layer in the developing step after exposure, it is necessary to carry out post-treatment, and there is a problem that the manufacturing cost is high.

【0008】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、画素のにじみがなく、かつ、低コスト
で製造できるカラーフィルタと、その製造方法を提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a color filter which is free from pixel bleeding and can be manufactured at low cost, and a manufacturing method thereof.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項1に記載の発明は、透光性基板の主面上に所
定のパターンで隔壁が設けられ、かつ、前記隔壁で囲ま
れた凹部に所定色の色インクを入れて複数個の画素が形
成されたカラーフィルタにおいて、前記隔壁の上面は、
1ないし30重量%のフッ素化合物が含まれる材料で形
成されるように、前記隔壁を構成したものである。
The present invention has the following constitution in order to achieve such an object. That is, the invention according to claim 1 is that a plurality of partition walls are provided in a predetermined pattern on the main surface of the translucent substrate, and a plurality of color inks of a predetermined color are placed in the recesses surrounded by the partition walls. In the color filter in which pixels are formed, the upper surface of the partition wall is
The partition wall is formed of a material containing 1 to 30% by weight of a fluorine compound.

【0010】また、請求項2に記載の発明は、透光性基
板の主面上に所定のパターンで隔壁が設けられ、かつ、
前記隔壁で囲まれた凹部に所定色の色インクを入れて複
数個の画素を形成するカラーフィルタの製造方法におい
て、前記基板の主面上に、形成したい隔壁のパターンに
合わせて導電性の薄膜を形成し、前記形成された薄膜上
に、電気めっきにより1ないし30重量%のフッ素化合
物が分散含有された複合めっきを析出させて前記隔壁を
形成し、前記隔壁で囲まれた凹部に、前記色インクを所
定配列で入れるものである。
The invention according to claim 2 is characterized in that partition walls are provided in a predetermined pattern on the main surface of the translucent substrate, and
In a method of manufacturing a color filter in which a plurality of pixels are formed by putting a color ink of a predetermined color in a concave portion surrounded by the partition wall, a conductive thin film is formed on the main surface of the substrate according to a partition wall pattern to be formed. And depositing a composite plating containing 1 to 30% by weight of a fluorine compound dispersed therein by electroplating on the formed thin film to form the partition wall, and forming the partition wall in the recess surrounded by the partition wall. The color inks are put in a predetermined arrangement.

【0011】また、請求項3に記載の発明は、透光性基
板の主面上に所定のパターンで隔壁が設けられ、かつ、
前記隔壁で囲まれた凹部に所定色の色インクを入れて複
数個の画素を形成するカラーフィルタの製造方法におい
て、前記基板の主面上に、形成したい隔壁部分が凹状に
残るパターンでマスク層を形成し、前記基板の主面上の
前記マスク層が形成されていない凹状部分に、1ないし
30重量%のフッ素化合物が分散含有された複合めっき
を形成し、前記マスク層のみを除去することにより前記
隔壁を形成し、前記隔壁で囲まれた凹部に、前記色イン
クを所定配列で入れるものである。
According to a third aspect of the present invention, partition walls are provided in a predetermined pattern on the main surface of the transparent substrate, and
In a method of manufacturing a color filter in which a plurality of pixels are formed by inserting a predetermined color ink into a recess surrounded by the partition wall, a mask layer having a pattern in which the partition wall portion to be formed remains concave on the main surface of the substrate. And forming a composite plating containing 1 to 30% by weight of a fluorine compound in a dispersed manner on the main surface of the substrate where the mask layer is not formed, and removing only the mask layer. The partition walls are formed by, and the color inks are put in a predetermined array in the recesses surrounded by the partition walls.

【0012】また、請求項4に記載の発明は、透光性基
板の主面上に所定のパターンで隔壁が設けられ、かつ、
前記隔壁で囲まれた凹部に所定色の色インクを入れて複
数個の画素を形成するカラーフィルタの製造方法におい
て、前記基板の主面上全面に、1ないし30重量%のフ
ッ素化合物が分散含有された複合めっきを形成し、前記
基板の主面上に形成された前記複合めっき上に、形成し
たい隔壁のパターンに合わせてマスク層を形成し、前記
マスク層が形成されていない部分の前記複合めっきを除
去した後、前記複合めっき上に残った前記マスク層を除
去して前記隔壁を形成し、前記隔壁で囲まれた凹部に、
前記色インクを所定配列で入れるものである。
According to the invention of claim 4, partition walls are provided in a predetermined pattern on the main surface of the translucent substrate, and
In a method of manufacturing a color filter in which a plurality of pixels are formed by inserting a predetermined color ink into a recess surrounded by the partition wall, 1 to 30% by weight of a fluorine compound is dispersed and contained on the entire main surface of the substrate. A composite layer formed on the main surface of the substrate, and a mask layer is formed on the composite plating formed on the main surface of the substrate in accordance with the pattern of the partition wall to be formed. After removing the plating, the mask layer remaining on the composite plating is removed to form the partition wall, and in the recess surrounded by the partition wall,
The color inks are put in a predetermined arrangement.

【0013】また、請求項5に記載の発明は、上記請求
項2から請求項4のいずれかに記載のカラーフィルタの
製造方法において、前記複合めっきに代えて、高分子内
に1ないし30重量%のフッ素化合物が分散含有された
塗膜を電着塗装するものである。
The invention according to claim 5 is the method for producing a color filter according to any one of claims 2 to 4, in which 1 to 30 parts by weight in a polymer is used instead of the composite plating. % Of the fluorine compound is dispersed and contained in the coating film, and the coating film is subjected to electrodeposition coating.

【0014】[0014]

【作用】請求項1に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。すなわち、インクを入れて画素を形成するための凹
部を囲む隔壁の上面を、1ないし30重量%のフッ素化
合物が含まれる材料で形成する。このフッ素化合物は、
表面エネルギーが低いため、水や油等との濡れ性が極め
て悪いので、凹部にインクを入れるときに、インクが隔
壁上に付いても、付着力が弱くそのインクは弾かれて隔
壁上にインクが残らない。また、弾かれたインクは、目
的の凹部に入れられたインク自体の凝縮力で引っ張られ
その凹部内に収まる。従って、画素のにじみが防止され
る。なお、フッ素化合物の量を1ないし30重量%とし
ているのは、この範囲よりも少ないと充分な撥インク性
が得られず、逆に、この範囲よりも多いとフッ素化合物
の分散が困難で隔壁組成の均一性も低下するからであ
る。
The operation of the invention described in claim 1 is as follows. That is, the upper surface of the partition wall that surrounds the recess for forming the pixel by forming the ink is formed of a material containing 1 to 30% by weight of a fluorine compound. This fluorine compound is
Since the surface energy is low, the wettability with water, oil, etc. is extremely poor. Even when the ink adheres to the partition walls when the ink is put into the recesses, the adhesion is weak and the ink is repelled and the ink is deposited on the partition walls. Does not remain. Further, the repelled ink is pulled by the condensation force of the ink itself put in the intended recess and is settled in the recess. Therefore, pixel blurring is prevented. The reason why the amount of the fluorine compound is 1 to 30% by weight is that if the amount is less than this range, sufficient ink repellency cannot be obtained. On the contrary, if the amount is more than this range, it is difficult to disperse the fluorine compound and the partition wall is formed. This is because the compositional uniformity is also reduced.

【0015】また、請求項2ないし請求項4に記載の発
明によれば、隔壁の上面を1ないし30重量%のフッ素
化合物が分散含有された複合めっきで形成する。この製
造方法は、電気めっき法や無電解めっき法などを用い、
簡単な製造工程で撥インク性の隔壁を製造することがで
き、画素のにじみが防止されたカラーフィルタを低コス
トで製造できる。
According to the second to fourth aspects of the present invention, the upper surface of the partition wall is formed by the composite plating containing 1 to 30% by weight of the fluorine compound dispersed therein. This manufacturing method uses an electroplating method or an electroless plating method,
The ink repellent partition wall can be manufactured by a simple manufacturing process, and the color filter in which the pixel bleeding is prevented can be manufactured at low cost.

【0016】また、請求項5に記載の発明によれば、上
記請求項2ないし請求項4に記載のカラーフィルタの製
造方法において、複合めっきに代えて、高分子内に1な
いし30重量%のフッ素化合物が分散含有された塗膜を
電着塗装する構成であり、簡単な製造工程で撥インク性
の隔壁を製造することができ、画素のにじみが防止され
たカラーフィルタを低コストで製造できる。
According to a fifth aspect of the present invention, in the method for producing a color filter according to the second to fourth aspects, instead of the composite plating, 1 to 30% by weight is contained in the polymer. With a structure in which a coating film containing a dispersed fluorine compound is electrodeposited, ink-repellent partition walls can be manufactured by a simple manufacturing process, and a color filter in which pixel bleeding is prevented can be manufactured at low cost. .

【0017】[0017]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。図1は、本発明で製造するカラーフィルタの一
部の外観を示す図であり、図2は、図1のA−A矢視図
である。本実施例では、液晶表示用に使用されるカラー
フィルタにおいて、ストライプ状にR(赤)、G
(緑)、B(青)の色インクを配列して画素を構成する
ものを例に採っているが、その他の配列に画素を形成す
るカラーフィルタ、例えば、格子状にR、G、Bの色イ
ンクを配列して画素を構成するカラーフィルタ等であっ
ても同様に製造することが可能である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an appearance of a part of a color filter manufactured by the present invention, and FIG. 2 is a view taken along the line AA of FIG. In this embodiment, in a color filter used for liquid crystal display, stripes of R (red) and G are formed.
Although an example in which (green) and B (blue) color inks are arranged to form pixels is used, a color filter that forms pixels in other arrangements, for example, R, G, and B in a grid pattern is used. A color filter or the like in which color inks are arranged to form pixels can be similarly manufactured.

【0018】図中、符号1は透光性を有するガラス基板
を示し、このガラス基板1の主面上には、ストライプ状
に画素を配列するパターンで隔壁2が設けられている。
また、隔壁2で囲まれた凹部3には、R、G、Bの色イ
ンク4(但し、図2における4R は赤インク、4G は緑
インク、4B は青インクをそれぞれ示す)が入れられ、
ストライプ状の画素が形成されている。
In the figure, reference numeral 1 indicates a glass substrate having a light-transmitting property, and partition walls 2 are provided on the main surface of the glass substrate 1 in a pattern in which pixels are arranged in stripes.
Further, in the concave portion 3 surrounded by the partition wall 2, R, G, and B color inks 4 (however, 4 R in FIG. 2 is red ink, 4 G is green ink, and 4 B is blue ink, respectively). Put in,
Striped pixels are formed.

【0019】このカラーフィルタは、10インチサイズ
の大きさのものであり、各部のサイズを説明すると、ガ
ラス基板1の厚みH1 は約1.0mm、各凹部3の幅W
3 は約110μm、各隔壁2の幅W2 は約40μm、各
隔壁2の厚みH2 は約3.5μmである。凹部3の幅W
3 や隔壁2の幅W2 は、液晶画像の高密度化に伴い、さ
らに微細化することも可能である。また、隔壁2の厚み
2 は、各凹部3に入れるインクの量に応じて調整する
ことにより、目的の凹部31 内からインク4が他の凹部
2 、33 に拡がるのが防止でき、そのことによる画素
のにじみが防止できる。一般的には、0.5μmないし
20μmの範囲内であればよく、1μmないし5μmで
あることが好ましい。隔壁2の厚みH2 を0.5μm未
満にするには、後述するように隔壁2を形成するのに用
いるフッ素化合物の平均粒径の関係から困難であり、ま
た、20μmを越える場合には、形成された隔壁2の形
状や組成等が不均一になり、さらに形成に時間を要する
ことからいずれも好ましくない。
This color filter has a size of 10 inches. To describe the size of each part, the thickness H 1 of the glass substrate 1 is about 1.0 mm and the width W of each recess 3 is W.
3 is about 110 μm, the width W 2 of each partition 2 is about 40 μm, and the thickness H 2 of each partition 2 is about 3.5 μm. Width W of recess 3
3 and the width W 2 of the partition wall 2 can be further miniaturized as the liquid crystal image becomes higher in density. Further, the thickness H 2 of the partition wall 2 can be adjusted according to the amount of ink to be filled in each recess 3 to prevent the ink 4 from spreading from the target recess 3 1 to the other recesses 3 2 , 3 3. Bleeding of pixels due to this can be prevented. Generally, it may be in the range of 0.5 μm to 20 μm, preferably 1 μm to 5 μm. It is difficult to reduce the thickness H 2 of the partition walls 2 to less than 0.5 μm because of the average particle diameter of the fluorine compound used to form the partition walls 2 as described later, and when it exceeds 20 μm, The shape and composition of the formed partition walls 2 are not uniform, and it takes time to form them, which is not preferable.

【0020】隔壁2は、その上面が撥インク性を有する
とともに、可視光線を遮蔽するように構成されている。
隔壁2の上面を撥インク性にするのは、凹部3に色イン
ク4を入れる製造工程において、目的の凹部31 の周辺
の隔壁21 、22 上に色インク4が付いても、その色イ
ンク4を隔壁2上で弾き、隔壁2上に色インク4を残さ
ない(隔壁2上面を着色したり、染み込んだりしない)
ようにし、成形されたカラーフィルタの画素のにじみを
防止するためである。なお、隔壁2上で弾かれた色イン
ク4は、目的の凹部31 に入れられた色インク4自体の
凝縮力により凹部31 内に収まる。
The upper surface of the partition wall 2 has ink repellency and is constructed so as to shield visible light.
In order to make the upper surface of the partition wall 2 ink-repellent, even if the colored ink 4 is attached to the partition walls 2 1 and 2 2 around the target recessed portion 3 1 in the manufacturing process in which the colored ink 4 is put in the recessed portion 3, The color ink 4 is repelled on the partition wall 2 and the color ink 4 is not left on the partition wall 2 (the top surface of the partition wall 2 is not colored or impregnated).
This is to prevent bleeding of pixels of the molded color filter. The color ink 4 repelled on the partition 2 is settled in the recess 3 1 due to the condensing force of the color ink 4 itself put in the target recess 3 1 .

【0021】このように、隔壁2の上面を撥インク性に
するために、隔壁2の上面を1ないし30重量%のフッ
素化合物が含まれた材料で形成する。このフッ素化合物
は、表面エネルギーが低いため、水や油等との濡れ性が
極めて悪いので、充分な撥インク性を得ることができ
る。フッ素化合物としては、PTFE(ポリテトラフロ
ルエチレン)を使用するのが好ましい。これは、PTF
Eがフッ素化合物として一般的に用いられており、ま
た、比較的安価に製造できるので、カラーフィルタの製
造コストの低減を図ることができるからである。なお、
その他のフッ素化合物、例えば、フッ化黒鉛((CF)
n )等を用いてもよい。
As described above, in order to make the upper surface of the partition wall 2 ink-repellent, the upper surface of the partition wall 2 is formed of a material containing 1 to 30% by weight of a fluorine compound. Since this fluorine compound has a low surface energy, it has very poor wettability with water, oil, etc., so that sufficient ink repellency can be obtained. It is preferable to use PTFE (polytetrafluoroethylene) as the fluorine compound. This is PTF
Since E is generally used as a fluorine compound and can be manufactured at a relatively low cost, the manufacturing cost of the color filter can be reduced. In addition,
Other fluorine compounds such as graphite fluoride ((CF))
n) or the like may be used.

【0022】フッ素化合物粒子の平均粒径は10μm以
下であることが好ましい。平均粒径が10μm以上にな
ると、隔壁2を形成したとき、その厚みに比べ粒径が大
きく、その厚みが不均一になったり、残留物質(後述す
る第一ないし第三の製造方法では金属、第四ないし第六
の製造方法では高分子)内に安定的にフッ素化合物を分
散含有させるのが難しくなるので好ましくない。本実施
例では、平均粒径が約1μmのフッ素化合物を使用して
いる。本発明では、より細かい平均粒径のフッ素化合物
を用いることにより、発明の効果を一層発揮させること
ができるのであるが、粒子半径を細かくすることに伴っ
て、フッ素化合物の製造コストが高くなるので、現在の
技術で比較的安価に製造できる平均粒径1μmのフッ素
化合物を用いるのが好ましい。なお、フッ素化合物の製
造技術が向上し、1μmより細かい平均粒径のフッ素化
合物が安価に製造できるようになれば、1μm以下のフ
ッ素化合物を用いる方が好ましい。
The average particle size of the fluorine compound particles is preferably 10 μm or less. When the average particle size is 10 μm or more, when the partition walls 2 are formed, the particle size is larger than the thickness thereof, the thickness becomes uneven, and residual substances (metals in the first to third manufacturing methods described later, In the fourth to sixth production methods, it is difficult to stably disperse and contain the fluorine compound in the polymer, which is not preferable. In this embodiment, a fluorine compound having an average particle size of about 1 μm is used. In the present invention, the effect of the invention can be further exerted by using a fluorine compound having a finer average particle diameter, but the production cost of the fluorine compound increases with the reduction of the particle radius. It is preferable to use a fluorine compound having an average particle size of 1 μm, which can be manufactured at a relatively low cost by the current technology. It should be noted that it is preferable to use a fluorine compound having a particle diameter of 1 μm or less if the production technology of the fluorine compound is improved and a fluorine compound having an average particle size smaller than 1 μm can be manufactured at low cost.

【0023】また、隔壁2を形成する材料に含有される
フッ素化合物の量は、1ないし30重量%であればよ
く、特に、5ないし10重量%であることが好ましい。
フッ素化合物の量が、1重量%よりも少ないと、充分な
撥インク性が得られず、また、30重量%よりも多い
と、隔壁2内のフッ素化合物の分散が困難で隔壁組成の
均一性も低下するからである。なお、フッ素化合物以外
の残留成分は、後述する製造方法により異なる。第一な
いし第三の製造方法では、残留成分としてクロム(C
r)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、または、
ニッケル(Ni)とリン(P)合金等の金属を用いて複
合めっきにし、電気めっきや無電解めっき技術を利用し
て隔壁2を形成する。また、第四ないし第六の製造方法
では、残留成分としてアクリル樹脂等の高分子を用い、
電着塗装技術を利用して隔壁2を形成する。
The amount of the fluorine compound contained in the material forming the partition walls 2 may be 1 to 30% by weight, and particularly preferably 5 to 10% by weight.
If the amount of the fluorine compound is less than 1% by weight, sufficient ink repellency cannot be obtained, and if it is more than 30% by weight, it is difficult to disperse the fluorine compound in the partition walls 2 and the partition wall composition is uniform. Is also reduced. The residual components other than the fluorine compound differ depending on the manufacturing method described later. In the first to third production methods, chromium (C
r), nickel (Ni), cobalt (Co), or
Composite plating is performed using a metal such as nickel (Ni) and phosphorus (P) alloy, and the partition walls 2 are formed by using electroplating or electroless plating technology. In the fourth to sixth manufacturing methods, a polymer such as acrylic resin is used as the residual component,
The partition walls 2 are formed by using the electrodeposition coating technique.

【0024】また、可視光線を遮蔽するように隔壁2を
構成するのは、製造されたカラーフィルタの表示コント
ラストを高めるためのブラックマトリクスとして機能さ
せるためである。
The reason why the partition wall 2 is constructed so as to shield visible light is to function as a black matrix for enhancing the display contrast of the manufactured color filter.

【0025】上記したように、第一ないし第三の製造方
法では、フッ素化合物と遮光性の金属とからなる複合め
っきで隔壁2の上面を形成するので、可視光線を遮蔽す
るように隔壁2を構成することができる。また、第四な
いし第六の製造方法では、後述するように、高分子内に
フッ素化合物と、遮光性の黒鉛とを分散含有させた塗膜
で隔壁2の上面を形成するので、可視光線を遮蔽するよ
うに隔壁2を構成することができる。
As described above, in the first to third manufacturing methods, since the upper surface of the partition wall 2 is formed by the composite plating composed of the fluorine compound and the light-shielding metal, the partition wall 2 is shielded from visible light. Can be configured. Further, in the fourth to sixth manufacturing methods, as will be described later, since the upper surface of the partition wall 2 is formed with a coating film in which a fluorine compound and a light-shielding graphite are dispersedly contained in a polymer, visible light rays are not generated. The partition 2 can be configured to shield.

【0026】上述の構成のカラーフィルタを製造する方
法は種々あるが、その中でも特に、簡単で、かつ、製造
コストが安い方法を以下に説明する。
There are various methods of manufacturing the color filter having the above-mentioned structure. Among them, a method which is particularly simple and has a low manufacturing cost will be described below.

【0027】まず、第一の製造方法について図3を参照
して説明する。この第一の製造方法は、ガラス基板1上
に、所定のパターンで導電性の薄膜を形成し、その薄膜
上に金属とフッ素化合物とからなる複合めっきを電気め
っきで析出させ隔壁2を形成することを特徴とする。な
お、この第一の製造方法は、請求項2に記載の製造方法
に相当する。
First, the first manufacturing method will be described with reference to FIG. In this first manufacturing method, a conductive thin film is formed on a glass substrate 1 in a predetermined pattern, and a composite plating made of a metal and a fluorine compound is deposited on the thin film by electroplating to form a partition wall 2. It is characterized by The first manufacturing method corresponds to the manufacturing method described in claim 2.

【0028】まず、ガラス基板1の主面上に、形成した
い隔壁2のパターン(ストライプ状に画素を配列するパ
ターン)に合わせて導電性の薄膜を形成する。これを詳
述すると、化学銅めっきにより、約1.5μmの銅薄膜
11をガラス基板1の主面上に析出させ、その銅薄膜1
1上にスクリーン印刷により、形成したい隔壁2のパタ
ーンに合わせてマスキングし、塩銅エッチングで銅薄膜
11の一部(マスクされていない部分)を除去し、マス
クした薄膜を除去して図3(a)に示すように、ガラス
基板1の主面上に所定のパターンの導電性の銅薄膜11
を形成する。なお、この銅薄膜11をガラス基板1上に
形成する方法は他にも種々あり、例えば、スパッタリン
グ等により形成してもよいし、所定のパターンでマスキ
ングするのに、レジストを用いたフォトリソグラフィ法
でマスクを形成してもよい。
First, a conductive thin film is formed on the main surface of the glass substrate 1 in accordance with the pattern of the partition walls 2 to be formed (pattern in which pixels are arranged in stripes). More specifically, a copper thin film 11 of about 1.5 μm is deposited on the main surface of the glass substrate 1 by chemical copper plating, and the copper thin film 1 is deposited.
1 is screen-printed on 1 to match the pattern of the partition wall 2 desired to be formed, and a portion (unmasked portion) of the copper thin film 11 is removed by salt copper etching. As shown in a), a conductive copper thin film 11 having a predetermined pattern is formed on the main surface of the glass substrate 1.
To form. There are various other methods for forming the copper thin film 11 on the glass substrate 1. For example, the copper thin film 11 may be formed by sputtering or the like, and a photolithography method using a resist for masking with a predetermined pattern. You may form a mask with.

【0029】次に、必要に応じて銅薄膜11の表面を脱
脂処理後水洗いし、さらに、酸による活性化処理後水洗
いする。本実施例では、5%硫酸水溶液中で10分間浸
漬することにより、ガラス基板1上の銅薄膜11表面を
活性化する。
Next, if necessary, the surface of the copper thin film 11 is degreased and then washed with water, and further activated with an acid and then washed with water. In this embodiment, the surface of the copper thin film 11 on the glass substrate 1 is activated by immersing it in a 5% sulfuric acid aqueous solution for 10 minutes.

【0030】そして、水洗いした後、電気めっきにより
金属とフッ素化合物とからなる複合めっきを銅薄膜11
上に析出させ、所定のパターンの隔壁2を形成する。
After washing with water, electroless plating is applied to the copper thin film 11 to form a composite plating made of a metal and a fluorine compound.
The barrier ribs 2 having a predetermined pattern are formed by depositing them on top.

【0031】本実施例では、フッ素化合物以外の残留物
質としてニッケル(Ni)を用いており、スルファミン
酸ニッケル450g/l、塩化ニッケル45g/l、ほ
う酸40g/lよりなる電気ニッケルめっき浴中に、平
均粒径1μmに整粒されたPTFEの微粉末を100g
/lと、カオチン系界面活性剤を入れ、機械かくはんに
より強制的にかくはんし、PTFEが懸濁されためっき
浴とし、その中にガラス基板1上の銅薄膜11を陰極と
し、陰極電流密度1A/dm2 、温度50℃の条件で4
50秒間めっきし、銅薄膜11上に、Ni(93重量
%)−PTFE(7重量%)の複合めっき層12を約2
μm析出させる。そして、水洗いしてメタノールで洗浄
後、熱風で乾燥させ、図3(b)に示すように、ガラス
基板1の主面上に、厚さ約3.5μm(銅薄膜11が約
1.5μm、複合めっき層12が約2μm)、その上面
が撥インク性(撥インク性のPTFEが含有された複合
めっき層12が隔壁2の上面になる)の隔壁2を所定の
パターンで形成する。
In the present embodiment, nickel (Ni) is used as the residual substance other than the fluorine compound, and it is used in an electric nickel plating bath consisting of nickel sulfamate (450 g / l), nickel chloride (45 g / l) and boric acid (40 g / l). 100 g of fine PTFE powder sized to an average particle size of 1 μm
/ L and a KAOTIN-type surfactant were forcibly stirred by mechanical stirring to form a plating bath in which PTFE was suspended, and the copper thin film 11 on the glass substrate 1 was used as the cathode, and the cathode current density was 1A. / Dm 2 , 4 at 50 ℃
After plating for 50 seconds, a composite plating layer 12 of Ni (93% by weight) -PTFE (7% by weight) is deposited on the copper thin film 11 in an amount of about 2
μm precipitate. Then, after washing with water, washing with methanol, and drying with hot air, a thickness of about 3.5 μm (the copper thin film 11 is about 1.5 μm, on the main surface of the glass substrate 1 as shown in FIG. 3B). A partition 2 having a composite plating layer 12 of about 2 μm) and an upper surface thereof having ink repellency (the composite plating layer 12 containing the ink repellent PTFE becomes the upper surface of the partition 2) is formed in a predetermined pattern.

【0032】次に、形成した隔壁2で囲まれた凹部3
に、色インク4を所定配列で入れてカラーフィルタを成
形する。凹部3に色インク4を入れる方法として、イン
クジェット法や印刷法などがあるが、インク塗布位置の
位置決め精度が高いインクジェット法を用いるのが好ま
しい。インクジェット法を用いて凹部3に色インク4を
入れる状態を図4に示す。
Next, the recess 3 surrounded by the formed partition wall 2 is formed.
Then, the color ink 4 is put in a predetermined arrangement to form a color filter. An ink jet method, a printing method, or the like can be used as a method of putting the color ink 4 into the recessed portion 3, but it is preferable to use the ink jet method having high positioning accuracy of the ink application position. FIG. 4 shows a state in which the color ink 4 is put into the concave portion 3 by using the inkjet method.

【0033】図4に示すように、赤インク4R を噴射す
るインクジェットノズル6R 、緑インク4G を噴射する
インクジェットノズル6G 、青インク4B を噴射するイ
ンクジェットノズル6B が取り付けられたインクヘッド
7を移動させ、各インクジェットノズル6R 、6G 、6
B をそれぞれ目的とする凹部3R (赤インク4R を入れ
る凹部)、3G (緑インク4G を入れる凹部)、3
B (青インク4B を入れる凹部)の上部に位置付け、各
凹部3R 、3G 、3B に目的の色インク4R 、4G、4
B を噴射して入れる。各凹部3R 、3G 、3B に入れら
れた色インク4R 、4G 、4B は、凹部3R 、3G 、3
B から盛り上がっている(図の点線)が、所定時間が経
過すると、インクの収縮力により収縮し(図の実線)、
各凹部3R 、3G 、3B に収まる。このとき、上記した
ように隔壁2の上面を撥インク性に形成しているので、
隔壁2上に色インク4が付いても、そのインク4は弾か
れ、隔壁2上を着色したり染み込んだりしないので、カ
ラーフィルタ成形後の画素のにじみが防止される。ま
た、隔壁2上に付いた色インク4は、目的の凹部3に入
れられた色インク4自体の凝縮力によりその凹部3内に
引っ張られる。
As shown in FIG. 4, the red ink 4 jet nozzles 6 for injecting R R, green ink 4 jet nozzles 6 for injecting G G, and blue ink 4 ink jet nozzles 6 B is attached for injecting B The head 7 is moved to move each ink jet nozzle 6R , 6G , 6
Recess 3 R (recess for red ink 4 R ) and 3 G (recess for green ink 4 G ) for B respectively 3
B positioned at the top (blue ink 4 B recess put), each recess 3 R, 3 G, 3 B to the desired color ink 4 R, 4 G, 4
B is sprayed in. Each recess 3 R, 3 G, 3 color inks was placed in a B 4 R, 4 G, 4 B , the recess 3 R, 3 G, 3
It rises from B (dotted line in the figure), but after a predetermined time elapses, it contracts due to the contraction force of the ink (solid line in the figure),
Fit into each recess 3 R , 3 G , 3 B. At this time, since the upper surface of the partition wall 2 is formed to be ink repellent as described above,
Even if the colored ink 4 is attached to the partition walls 2, the ink 4 is repelled and does not color or soak into the partition walls 2, so that the bleeding of pixels after the color filter molding is prevented. Further, the color ink 4 attached on the partition walls 2 is pulled into the recess 3 by the condensing force of the color ink 4 itself put in the target recess 3.

【0034】また、印刷法を用いた場合でも、印刷時の
印刷のブレなどにより、隔壁2上に色インク4が付いて
も上記と同様にインク4は弾かれ、カラーフィルタ成形
後の画素のにじみが防止される。
Even when the printing method is used, the ink 4 is repelled in the same manner as described above even if the color ink 4 is attached to the partition walls 2 due to the blurring of the printing at the time of printing. Bleeding is prevented.

【0035】なお、凹部3に色インク4を所定配列で入
れ終わった後、必要ならば図5に示すように、色インク
4と隔壁2の上部をコーティングして、色インク4を保
護するようにしてもよい。図中、符号8は、約2μm±
0.1μmにコーティングされたコーティング層を示
す。このコーティング層8の厚みの誤差は上記のように
0.1μm以下であることが好ましい。これは、コーテ
ィング層8の表面が波打つことによる光の乱反射を防止
するためである。
After the color inks 4 are placed in the recesses 3 in a predetermined arrangement, the color inks 4 and the upper portions of the partition walls 2 are coated, if necessary, to protect the color inks 4 as shown in FIG. You may In the figure, reference numeral 8 is about 2 μm ±
The coating layer coated to 0.1 μm is shown. The thickness error of the coating layer 8 is preferably 0.1 μm or less as described above. This is to prevent irregular reflection of light due to waviness on the surface of the coating layer 8.

【0036】次に、第二の製造方法について図6を参照
して説明する。この第二の製造方法は、ガラス基板1上
に、形成したい隔壁2が凹状に残るようにマスク層を形
成し、マスク層が形成されていない凹状部分に金属とフ
ッ素化合物とからなる複合めっき層を形成した後、マス
ク層を除去して隔壁2を形成することを特徴とする。な
お、この第二の製造方法は、請求項3に記載の製造方法
に相当する。
Next, the second manufacturing method will be described with reference to FIG. In this second manufacturing method, a mask layer is formed on the glass substrate 1 so that the partition walls 2 to be formed remain in a concave shape, and a composite plating layer composed of a metal and a fluorine compound is formed in the concave portion where the mask layer is not formed. Is formed, and then the mask layer is removed to form the partition walls 2. The second manufacturing method corresponds to the manufacturing method described in claim 3.

【0037】まず、ガラス基板1の主面上に、形成した
い隔壁2が凹状に残るパターンにマスク層を形成する。
これは、例えば、レジストを用いたフォトリソグラフィ
法等により、図6(a)に示すように、マスク層21を
形成する。なお、このマスク層21の形成方法は他の方
法、例えばスクリーン印刷で実現することも可能であ
る。
First, a mask layer is formed on the main surface of the glass substrate 1 in a pattern in which the partition walls 2 to be formed remain concave.
For this, the mask layer 21 is formed as shown in FIG. 6A by, for example, a photolithography method using a resist. The method for forming the mask layer 21 can be realized by another method, for example, screen printing.

【0038】次に、マスク層21が形成されていない凹
状部分に金属とフッ素化合物とからなる複合めっき層を
形成する。この複合めっき層を形成する方法は電気めっ
きや無電解めっき等、種々の方法により実現することが
できるが、処理時間の短縮を図れる電気めっきを利用し
た方法で複合めっき層を形成する場合について以下に説
明する。
Next, a composite plating layer made of a metal and a fluorine compound is formed in the concave portion where the mask layer 21 is not formed. The method of forming the composite plating layer can be realized by various methods such as electroplating and electroless plating. However, the case of forming the composite plating layer by the method utilizing electroplating which can shorten the processing time is as follows. Explained.

【0039】まず、図6(b)に示すように、マスク層
21が形成されていない凹状部分に導電性の薄膜22を
形成する。この薄膜22の形成方法を以下に説明する。
First, as shown in FIG. 6B, a conductive thin film 22 is formed in the concave portion where the mask layer 21 is not formed. The method of forming the thin film 22 will be described below.

【0040】まず、SnCl2 (20g)と、HCl
(40ml)と、H2 O(1000ml)とからなるセンシ
タイジング液中に、ガラス基板1を浸漬し、かくはんし
ながら約40℃ないし50℃で5分間、感受性化処理し
水洗いする。
First, SnCl 2 (20 g) and HCl
The glass substrate 1 is dipped in a sensitizing solution composed of (40 ml) and H 2 O (1000 ml), and is subjected to a sensitizing treatment at about 40 ° C. to 50 ° C. for 5 minutes while stirring, followed by washing with water.

【0041】次に、PdCl2 (0.2gないし1.0
g)と、HCl(10mlないし20ml)と、H2 O(1
000ml)とからなる塩化パラジウム溶液中に、前記感
受性化処理したガラス基板1を、約50℃で0.5分な
いし1分間浸漬し、水洗い後乾燥させて活性化する。
Next, PdCl 2 (0.2 g to 1.0
g), HCl (10 ml to 20 ml) and H 2 O (1
The sensitized glass substrate 1 is dipped in a palladium chloride solution consisting of 2,000 ml) at about 50 ° C. for 0.5 to 1 minute, washed with water and dried to be activated.

【0042】そして、無電解ニッケルめっき液〔ニムデ
ン(商品名、上村工業株式会社製)の5倍希釈液〕中
に、約90℃で5分間、前記活性化したガラス基板1を
浸漬して、図6(b)に示すような、厚さ約1.5μm
の導電性の薄膜22を、マスク層21が除去されたガラ
ス基板1上、すなわち、隔壁2を形成する場所に形成す
る。
Then, the activated glass substrate 1 is dipped in an electroless nickel plating solution [5-fold dilution of Nimden (trade name, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.)] at about 90 ° C. for 5 minutes. Thickness of about 1.5 μm as shown in FIG.
The conductive thin film 22 is formed on the glass substrate 1 from which the mask layer 21 is removed, that is, at the place where the partition 2 is formed.

【0043】次に、電気めっきにより、図6(c)に示
すように、前記導電性の薄膜22上にNiとPTFEと
からなる複合めっき層23(厚みは約2μm)を形成す
る。この形成条件等は、上記した第一の製造方法と同じ
であるのでここでの説明は省略する。次に、前記マスク
層21のみを除去し、図6(d)に示すように、約3.
5μm(銅薄膜22が約1.5μm、複合めっき層23
が約2μm)の隔壁2(撥インク性の複合めっき層23
が上面にある)を形成する。
Next, as shown in FIG. 6C, a composite plating layer 23 (having a thickness of about 2 μm) made of Ni and PTFE is formed on the conductive thin film 22 by electroplating. Since the forming conditions and the like are the same as those in the above-mentioned first manufacturing method, the description thereof is omitted here. Next, only the mask layer 21 is removed, and as shown in FIG.
5 μm (copper thin film 22 is about 1.5 μm, composite plating layer 23
Of about 2 μm) (partition 2 (ink-repellent composite plating layer 23)
Are on the top surface).

【0044】そして、形成した隔壁2で囲まれた凹部3
に、上記した第一の製造方法と同様の方法により、色イ
ンク4を所定配列で入れてカラーフィルタを成形する。
The recess 3 surrounded by the formed partition wall 2 is formed.
Then, by the same method as the above-mentioned first manufacturing method, the color ink 4 is put in a predetermined arrangement to form a color filter.

【0045】次に、第三の製造方法について図7を参照
して説明する。この第三の製造方法は、ガラス基板1上
全面に、金属とフッ素化合物とからなる複合めっき層を
形成し、複合めっき層上に形成したい隔壁2のパターン
に合わせてマスク層を形成し、複合めっき層の内、マス
ク層が形成されていない部分を除去した後、マスク層を
除去して隔壁2を形成することを特徴とする。なお、こ
の第三の製造方法は、請求項4に記載の製造方法に相当
する。
Next, the third manufacturing method will be described with reference to FIG. In this third manufacturing method, a composite plating layer made of a metal and a fluorine compound is formed on the entire surface of the glass substrate 1, and a mask layer is formed according to the pattern of the partition walls 2 desired to be formed on the composite plating layer. The partition wall 2 is formed by removing the portion of the plating layer where the mask layer is not formed and then removing the mask layer. The third manufacturing method corresponds to the manufacturing method described in claim 4.

【0046】まず、ガラス基板1の主面全面に、金属と
フッ素化合物とからなる複合めっき層を形成する。この
複合めっき層を形成する方法は、例えば、電気めっきや
無電解めっき、あるいは、塗装など種々あるが、処理が
簡単で、処理速度が速い電気めっきを利用した方法を以
下に説明する。まず、ガラス基板1上全面に導電性の銅
薄膜層(厚さ約1.5μm)を形成する。これは、上記
した第一の製造方法で説明したように化学銅めっき等に
より実施する。
First, a composite plating layer made of a metal and a fluorine compound is formed on the entire main surface of the glass substrate 1. There are various methods for forming the composite plating layer, for example, electroplating, electroless plating, and coating, but a method using electroplating that is easy to process and has a high processing speed will be described below. First, a conductive copper thin film layer (thickness: about 1.5 μm) is formed on the entire surface of the glass substrate 1. This is performed by chemical copper plating or the like as described in the first manufacturing method above.

【0047】形成された銅薄膜を、脱脂、水洗い、酸洗
浄(活性化処理)、水洗いの後、電気めっきにより、図
7(a)に示すように、NiとPTFEとからなる複合
めっき層32(厚みは約2μm)を、前記導電性の銅薄
膜31上に形成する。この形成条件等は、上記した第一
の製造方法と同じであるのでここでの説明は省略する。
The copper thin film thus formed is degreased, washed with water, washed with an acid (activation treatment), washed with water, and then electroplated to form a composite plating layer 32 of Ni and PTFE as shown in FIG. 7A. (Thickness is about 2 μm) is formed on the conductive copper thin film 31. Since the forming conditions and the like are the same as those in the above-mentioned first manufacturing method, the description thereof is omitted here.

【0048】次に、図7(b)に示すように、複合めっ
き層32上に、形成したい隔壁2のパターンに合わせて
スクリーン印刷等によりマスク層33を形成する。そし
て、例えば、剥離剤〔アサヒリップS−1、S−2(商
品名、上村工業株式会社製)〕を用いてウエットエッチ
ングを行い、図7(c)に示すように、複合めっき層3
2の内、マスク層33が形成されていない部分を除去す
る。さらに、前記マスク層33も除去して、図7(d)
に示すように、厚さ約3.5μm(銅薄膜31が約1.
5μm、複合めっき層32が約2μm)の隔壁2(撥イ
ンク性の複合めっき層32が上面にある)を形成する。
Next, as shown in FIG. 7B, a mask layer 33 is formed on the composite plating layer 32 by screen printing or the like in accordance with the pattern of the partition wall 2 to be formed. Then, for example, wet etching is performed by using a release agent [Asahi Lip S-1, S-2 (trade name, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.)], and as shown in FIG.
Of 2, the portion where the mask layer 33 is not formed is removed. Further, the mask layer 33 is also removed, and the result shown in FIG.
As shown in FIG. 3, the thickness is about 3.5 μm (the copper thin film 31 is about 1.
A partition wall 2 (having an ink-repellent composite plating layer 32 on the upper surface) having a thickness of 5 μm and a composite plating layer 32 of about 2 μm) is formed.

【0049】そして、形成した隔壁2で囲まれた凹部3
に、上記した第一の製造方法と同様の方法により、色イ
ンク4を所定配列で入れてカラーフィルタを成形する。
Then, the concave portion 3 surrounded by the formed partition wall 2 is formed.
Then, by the same method as the above-mentioned first manufacturing method, the color ink 4 is put in a predetermined arrangement to form a color filter.

【0050】次に、第四ないし第六の製造方法について
説明する。この第4四ないし第六の製造方法は、上記し
た第一ないし第三の製造方法において、複合めっき層1
2、23、32(図3、図6、図7参照)を電気めっき
により析出させる場合に、複合めっき層12、23、3
2に代えて、アクリル樹脂にPTFEが分散含有された
(遮光性のために黒鉛も分散含有されている)塗膜を電
着塗装することを特徴とする。なお、この第四ないし第
六の製造方法は、請求項5に記載の製造方法に相当す
る。
Next, the fourth to sixth manufacturing methods will be described. The fourth to sixth manufacturing methods are the same as those in the above-described first to third manufacturing methods.
In the case of depositing 2, 23, 32 (see FIGS. 3, 6, and 7) by electroplating, the composite plating layers 12, 23, 3
In place of 2, the coating film in which PTFE is dispersedly contained in the acrylic resin (graphite is also dispersedly contained for the light shielding property) is characterized by electrodeposition coating. The fourth to sixth manufacturing methods correspond to the manufacturing method described in claim 5.

【0051】具体的には、例えば、第一の製造方法を例
に採ると、図3(a)に示すように、導電性の銅薄膜1
1を形成した後、銅薄膜11に10Vの電圧をかけ、塗
膜浴〔エレコート(商品名、株式会社シミズ)〕にガラ
ス基板1を浸漬し、浴温25℃で2分間電着塗装して、
約2μmの撥インク性の塗膜(図3では複合めっき層1
2に相当する)を形成する。そして、190℃で30分
間オーブン乾燥して塗膜の焼付けを行い、厚さ約3.5
μm(銅薄膜11が約1.5μm、塗膜が約2μm)の
隔壁2(撥インク性のPTFEが含有された塗膜が隔壁
2の上面になる)を形成するものである。
Specifically, for example, taking the first manufacturing method as an example, as shown in FIG. 3A, a conductive copper thin film 1 is formed.
After forming No. 1, a voltage of 10 V was applied to the copper thin film 11, the glass substrate 1 was immersed in a coating film bath [Elecoat (trade name, Shimizu Co., Ltd.)], and electrodeposition coating was performed at a bath temperature of 25 ° C. for 2 minutes. ,
Ink-repellent coating of about 2 μm (composite plating layer 1 in FIG. 3)
2) is formed. Then, the coating film is baked by oven drying at 190 ° C. for 30 minutes, and the thickness is about 3.5
The partition walls 2 (the coating film containing ink-repellent PTFE is the upper surface of the partition walls 2) having a thickness of μm (the copper thin film 11 is about 1.5 μm and the coating film is about 2 μm) are formed.

【0052】第二の製造方法や第三の製造方法(図6、
図7参照)においても、同様に複合めっき層23、32
を電気めっきで形成する場合には、それぞれ銅薄膜2
2、31上に上記と同様の条件で塗膜を(複合めっき層
23、32に代えて)形成し、隔壁2を形成することが
できる。
The second manufacturing method and the third manufacturing method (FIG. 6,
7) as well, the composite plating layers 23, 32 are similarly formed.
When forming by electroplating, copper thin film 2
The partition wall 2 can be formed by forming a coating film (in place of the composite plating layers 23 and 32) on the layers 2 and 31 under the same conditions as above.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1に記載の発明によれば、撥インク性の高いフッ素化合
物を所定量含んだ材料からなる層を、インクを入れて画
素を形成するための凹部を囲む隔壁の上面に形成してお
り、凹部にインクを入れるときに、インクが隔壁上に付
いても、そのインクは弾かれて隔壁上にインクが残らな
いので、画素のにじみがないカラーフィルタを実現する
ことができる。
As is apparent from the above description, according to the first aspect of the invention, a layer made of a material containing a predetermined amount of a fluorine compound having high ink repellency is filled with ink to form a pixel. It is formed on the upper surface of the partition wall that surrounds the recessed portion, and when ink is put into the recessed portion, even if the ink adheres to the partition wall, the ink is repelled and the ink does not remain on the partition wall. It is possible to realize a color filter that does not include

【0054】また、請求項2に記載の発明によれば、透
光性基板上に、所定のパターンで導電性の薄膜を形成
し、その薄膜上に1ないし30重量部のフッ素化合物が
分散含有された複合めっきを電気めっきで析出させ隔壁
を形成し、隔壁で囲まれた凹部に色インクを入れる構成
であり、簡単な処理で画素のにじみを防止したカラーフ
ィルタを製造することができ、しかも、製造コストを安
くすることもできる。
According to the second aspect of the invention, a conductive thin film is formed in a predetermined pattern on a transparent substrate, and 1 to 30 parts by weight of a fluorine compound is dispersed and contained on the thin film. The composite plating is deposited by electroplating to form partition walls, and the color ink is put in the recesses surrounded by the partition walls, and it is possible to manufacture a color filter that prevents pixel bleeding with a simple process. The manufacturing cost can also be reduced.

【0055】また、請求項3に記載の発明によれば、透
光性基板上に、形成したい隔壁が凹状に残るようにマス
ク層を形成し、マスク層が形成されていない凹状部分に
1ないし30重量部のフッ素化合物が分散含有された複
合めっきを形成した後、マスク層を除去して隔壁を形成
し、隔壁で囲まれた凹部に色インクを入れる構成であ
り、簡単な処理で画素のにじみを防止したカラーフィル
タを製造することができ、しかも、製造コストを安くす
ることもできる。
According to the third aspect of the invention, the mask layer is formed on the translucent substrate so that the partition wall to be formed remains concave, and 1 to 1 are formed in the concave portion where the mask layer is not formed. After formation of composite plating containing 30 parts by weight of a fluorine compound dispersed therein, the mask layer is removed to form partition walls, and color ink is put into the recesses surrounded by the partition walls. It is possible to manufacture a color filter in which bleeding is prevented, and it is possible to reduce the manufacturing cost.

【0056】また、請求項4に記載の発明によれば、透
光性基板上全面に、1ないし30重量部のフッ素化合物
が分散含有された複合めっきを形成し、複合めっき上に
形成したい隔壁のパターンに合わせてマスク層で形成
し、複合めっきの内、マスク層が形成されていない部分
を除去した後、マスク層を除去して隔壁を形成し、隔壁
で囲まれた凹部に色インクを入れる構成であり、簡単な
処理で画素のにじみを防止したカラーフィルタを製造す
ることができ、しかも、製造コストを安くすることもで
きる。
Further, according to the invention of claim 4, the composite plating containing 1 to 30 parts by weight of the fluorine compound dispersed therein is formed on the entire surface of the transparent substrate, and the partition wall to be formed on the composite plating is formed. The mask layer is formed according to the pattern of No. 3, and after removing the portion of the composite plating where the mask layer is not formed, the mask layer is removed to form partition walls, and color ink is applied to the recesses surrounded by the partition walls. With such a configuration, it is possible to manufacture a color filter in which pixel bleeding is prevented by simple processing, and it is also possible to reduce the manufacturing cost.

【0057】また、請求項5に記載の発明によれば、請
求項2ないし請求項4に記載のカラーフィルタの製造方
法において、複合めっきに代えて、高分子内に1ないし
30重量%のフッ素化合物が分散含有された塗膜を電着
塗装する構成であり、簡単な処理で画素のにじみを防止
したカラーフィルタを製造することができ、しかも、製
造コストを安くすることもできる。
According to a fifth aspect of the present invention, in the method for producing a color filter according to the second to fourth aspects, instead of the composite plating, 1 to 30% by weight of fluorine is contained in the polymer. With a constitution in which a coating film containing a dispersed compound is applied by electrodeposition, a color filter in which pixel bleeding is prevented can be manufactured by a simple process, and the manufacturing cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明で製造するカラーフィルタの一部の外観
を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an appearance of a part of a color filter manufactured by the present invention.

【図2】図1のA−A矢視図である。FIG. 2 is a view on arrow AA of FIG.

【図3】第一の製造方法による製造工程を示す図であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing a manufacturing process according to a first manufacturing method.

【図4】インクジェット法で色インクを入れる状態を示
す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where color inks are put in by an inkjet method.

【図5】カラーフィルタの上面をコーティングした状態
を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state in which the upper surface of the color filter is coated.

【図6】第二の製造方法による製造工程を示す図であ
る。
FIG. 6 is a diagram showing a manufacturing process according to a second manufacturing method.

【図7】第三の製造方法による製造工程を示す図であ
る。
FIG. 7 is a diagram showing a manufacturing process according to a third manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 … ガラス基板(透光性基板) 2 … 隔壁 3 … 隔壁で囲まれた凹部 4 … 色インク 6R 、6G 、6B … インクジェットノズル 7 … インクヘッド 8 … コーティング層 11、22、31 … 銅薄膜(導電性薄膜) 12、23、32 … NiとPTFEとからなる複合
めっき(層)または、アクリル樹脂(高分子)とPTF
Eとからなる塗膜 21、33 … マスク層
1 ... glass substrate (translucent substrate) 2 ... partition wall 3 ... recess 4 ... color inks surrounded by the partition walls 6 R, 6 G, 6 B ... inkjet nozzles 7 ... ink heads 8 ... coating layer 11,22,31 ... Copper thin film (conductive thin film) 12, 23, 32 ... Composite plating (layer) made of Ni and PTFE, or acrylic resin (polymer) and PTF
Coating film consisting of E, 21, 33 ... Mask layer

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透光性基板の主面上に所定のパターンで
隔壁が設けられ、かつ、前記隔壁で囲まれた凹部に所定
色の色インクを入れて複数個の画素が形成されたカラー
フィルタにおいて、 前記隔壁の上面は、1ないし30重量%のフッ素化合物
が含まれる材料で形成されるように、前記隔壁を構成し
たことを特徴とするカラーフィルタ。
1. A color in which partition walls are provided in a predetermined pattern on a main surface of a transparent substrate, and a plurality of pixels are formed by inserting color ink of a predetermined color into the recesses surrounded by the partition walls. In the filter, the partition wall is configured so that the upper surface of the partition wall is formed of a material containing 1 to 30% by weight of a fluorine compound.
【請求項2】 透光性基板の主面上に所定のパターンで
隔壁が設けられ、かつ、前記隔壁で囲まれた凹部に所定
色の色インクを入れて複数個の画素を形成するカラーフ
ィルタの製造方法において、 前記基板の主面上に、形成したい隔壁のパターンに合わ
せて導電性の薄膜を形成し、前記形成された薄膜上に、
電気めっきにより1ないし30重量%のフッ素化合物が
分散含有された複合めっきを析出させて前記隔壁を形成
し、前記隔壁で囲まれた凹部に、前記色インクを所定配
列で入れることを特徴とするカラーフィルタの製造方
法。
2. A color filter in which partition walls are provided in a predetermined pattern on a main surface of a light-transmissive substrate, and a plurality of pixels are formed by inserting color ink of a predetermined color into the recesses surrounded by the partition walls. In the manufacturing method of, on the main surface of the substrate, to form a conductive thin film in accordance with the pattern of the partition to be formed, on the formed thin film,
It is characterized in that composite plating containing 1 to 30% by weight of a fluorine compound dispersed therein is deposited by electroplating to form the partition wall, and the color ink is put in a predetermined array in the recess surrounded by the partition wall. Color filter manufacturing method.
【請求項3】 透光性基板の主面上に所定のパターンで
隔壁が設けられ、かつ、前記隔壁で囲まれた凹部に所定
色の色インクを入れて複数個の画素を形成するカラーフ
ィルタの製造方法において、 前記基板の主面上に、形成したい隔壁部分が凹状に残る
パターンでマスク層を形成し、前記基板の主面上の前記
マスク層が形成されていない凹状部分に、1ないし30
重量%のフッ素化合物が分散含有された複合めっきを形
成し、前記マスク層のみを除去することにより前記隔壁
を形成し、前記隔壁で囲まれた凹部に、前記色インクを
所定配列で入れることを特徴とするカラーフィルタの製
造方法。
3. A color filter in which partition walls are provided in a predetermined pattern on a main surface of a translucent substrate, and a plurality of pixels are formed by inserting color ink of a predetermined color into the recesses surrounded by the partition walls. In the manufacturing method of 1., a mask layer is formed on the main surface of the substrate in a pattern in which a partition wall portion to be formed remains in a concave shape, and 1 to 1 are formed in the concave portion on the main surface of the substrate where the mask layer is not formed. Thirty
Forming a partition by forming a composite plating in which a fluorine compound is dispersed and contained by weight% and removing only the mask layer, and putting the color ink in a predetermined array in the recess surrounded by the partition. A method for manufacturing a characteristic color filter.
【請求項4】 透光性基板の主面上に所定のパターンで
隔壁が設けられ、かつ、前記隔壁で囲まれた凹部に所定
色の色インクを入れて複数個の画素を形成するカラーフ
ィルタの製造方法において、 前記基板の主面上全面に、1ないし30重量%のフッ素
化合物が分散含有された複合めっきを形成し、前記基板
の主面上に形成された前記複合めっき上に、形成したい
隔壁のパターンに合わせてマスク層を形成し、前記マス
ク層が形成されていない部分の前記複合めっきを除去し
た後、前記複合めっき上に残った前記マスク層を除去し
て前記隔壁を形成し、前記隔壁で囲まれた凹部に、前記
色インクを所定配列で入れることを特徴とするカラーフ
ィルタの製造方法。
4. A color filter in which partition walls are provided in a predetermined pattern on a main surface of a translucent substrate, and a plurality of pixels are formed by inserting color ink of a predetermined color into the recesses surrounded by the partition walls. In the manufacturing method of 1., a composite plating containing 1 to 30% by weight of a fluorine compound dispersed therein is formed on the entire main surface of the substrate, and the composite plating is formed on the main surface of the substrate. A mask layer is formed according to the pattern of the partition wall that is desired to be formed, the composite plating is removed from a portion where the mask layer is not formed, and then the mask layer remaining on the composite plating is removed to form the partition wall. A method for manufacturing a color filter, characterized in that the color ink is put in a predetermined array in a recess surrounded by the partition wall.
【請求項5】 請求項2から請求項4のいずれかに記載
のカラーフィルタの製造方法において、 前記複合めっきに代えて、高分子内に1ないし30重量
%のフッ素化合物が分散含有された塗膜を電着塗装する
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
5. The method for manufacturing a color filter according to claim 2, wherein the composite plating is replaced with a coating containing 1 to 30% by weight of a fluorine compound dispersed in a polymer. A method for producing a color filter, characterized in that the film is electrodeposited.
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