JPH0995762A - Jig for sputtering - Google Patents
Jig for sputteringInfo
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- JPH0995762A JPH0995762A JP25613595A JP25613595A JPH0995762A JP H0995762 A JPH0995762 A JP H0995762A JP 25613595 A JP25613595 A JP 25613595A JP 25613595 A JP25613595 A JP 25613595A JP H0995762 A JPH0995762 A JP H0995762A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置用等
のカラーフィルタを製造する工程に用いられ、カラーフ
ィルタ上に所定形状の透明電極膜を形成するためのスパ
ッタ用治具に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sputtering jig used for manufacturing a color filter for a liquid crystal display device or the like and for forming a transparent electrode film having a predetermined shape on the color filter.
【0002】[0002]
【従来の技術】先ず、カラーフィルタの製造方法の1例
について図3により説明する。ガラス基板3上に真空成
膜法、フォトリソグラフィー法等を用いて所定形状のブ
ラック遮光層8を形成する(A)。次に、ブラック遮光
層8の上から、1色目、例えばレッドの着色層形成用感
材を塗布した後、フォトマスクを配置し露光した後、現
像を行いレッド着色層9を形成し(B)、2色目以降
は、例えば、グリーン、ブルーの着色層形成用感材を塗
布した後、フォトマスクを配置し露光した後、現像を行
いグリーン、ブルーの着色層10、11を形成する
(C、D)。次に、物理化学的保護、表面の整面化、平
坦化を目的として、カラー着色層の上に透明なオーバー
コート層12を形成する(E)。さらに、オーバーコー
ト層12の上に透明電極層13を形成しカラーフィルタ
を製造する(F)。2. Description of the Related Art First, an example of a method of manufacturing a color filter will be described with reference to FIG. The black light shielding layer 8 having a predetermined shape is formed on the glass substrate 3 by using a vacuum film forming method, a photolithography method or the like (A). Next, a first color, for example, a red color layer forming photosensitive material is applied from above the black light shielding layer 8, a photomask is arranged and exposed, and then development is performed to form a red color layer 9 (B). For the second and subsequent colors, for example, a green and blue colored layer forming photosensitive material is applied, a photomask is arranged and exposed, and then development is performed to form green and blue colored layers 10 and 11 (C, D). Next, a transparent overcoat layer 12 is formed on the color coloring layer for the purpose of physicochemical protection, surface leveling, and flattening (E). Further, the transparent electrode layer 13 is formed on the overcoat layer 12 to manufacture a color filter (F).
【0003】前記工程のうち透明電極層13を形成する
方法には、蒸着、イオンプレーティング、スパッタ等の
各種の方法があるが、カラーフィルタの透明電極の基体
となるオーバーコート層12は合成樹脂で形成されてい
るので、オーバーコート層12の耐熱性の面から比較的
低温での成膜が可能なスパッタ法が広く用いられてい
る。There are various methods of forming the transparent electrode layer 13 in the above steps, such as vapor deposition, ion plating, and sputtering. The overcoat layer 12 serving as the base of the transparent electrode of the color filter is made of synthetic resin. Therefore, the sputtering method is widely used because it can form a film at a relatively low temperature in terms of heat resistance of the overcoat layer 12.
【0004】自動化ラインにおいては、治具内にガラス
基板とマスクを所定位置に固定し、数10個程度の治具
をスパッタ装置内に収納しスパッタを行っている。従来
のスパッタ用治具は、開口部を有するマスク上に、ガラ
ス基板を適宜位置決めし、さらに内部に多数の磁石が設
けられたマスクホルダーを載置して、マスク/ガラス基
板/マスクホルダーの一体物をスプリング、ネジ等で締
結する手段により機械的に固定している。In an automated line, a glass substrate and a mask are fixed at predetermined positions in a jig, and several tens of jigs are housed in a sputtering apparatus to perform sputtering. In the conventional sputtering jig, a glass substrate is appropriately positioned on a mask having an opening, and a mask holder having a large number of magnets inside is placed to integrate the mask / glass substrate / mask holder. Objects are mechanically fixed by means of fastening springs, screws or the like.
【0005】しかしながら、上記スパッタ用治具におい
ては、強磁性材料からなるマスクがマスクホルダーの磁
石により吸引され、マスクとガラス基板とが強固に密着
し、またスパッタ装置内は200℃程度の高温になるた
め、マスクとガラス基板との熱膨張率の差により、両者
の間にズレが生じ透明基板上のカラーパターンの周辺部
のオーバーコート層表面に傷が付き、微細な割れが生じ
るという問題を有していた。However, in the above-mentioned sputtering jig, the mask made of a ferromagnetic material is attracted by the magnet of the mask holder to firmly adhere the mask to the glass substrate, and the inside of the sputtering apparatus is heated to a high temperature of about 200.degree. Therefore, due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the mask and the glass substrate, there is a gap between the mask and the glass substrate, which causes scratches on the surface of the overcoat layer in the periphery of the color pattern on the transparent substrate, resulting in fine cracks. Had.
【0006】液晶表示装置において、前記のガラス基板
3上のカラーパターンの周辺部に傷が付くと、スペーサ
によりカラーフィルタと対向基板とのギャップ(一般に
5μm程度)を正確に出せなくなり不良品となる問題が
あった。In the liquid crystal display device, if the peripheral portion of the color pattern on the glass substrate 3 is scratched, the gap between the color filter and the counter substrate (generally about 5 μm) cannot be accurately produced by the spacer, resulting in a defective product. There was a problem.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、カラ
ーフィルタ周辺部への傷付きや微細な割れを防止するこ
とができるスパッタ用治具を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a sputtering jig which can prevent scratches and fine cracks in the peripheral portion of a color filter.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、このよう
な問題を解決するために鋭意検討した結果、マスクに特
定の樹脂をコートすることによりカラーフィルタ周辺部
への傷付きを防止することができることを見出し、本発
明に到達した。即ち、本発明は、開口部が形成されたマ
スクと、内部に多数の磁石が設けられたマスクホルダー
とを備え、該マスクとマスクホルダーとの間にカラーパ
ターンが形成されるべくしてなるガラス基板を、該マス
クに対して固定するスパッタ用治具であって、該マスク
は、該ガラス基板に形成されるべくしてなるカラーパタ
ーンに対応して開口部を有し、かつ、該ガラス基板に対
向する面にフッ素樹脂からなるコーティング層を有する
ことを特徴とするスパッタ用治具に係るものである。以
下、本発明を詳細に説明する。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to solve such a problem, the inventors of the present invention prevent damage to the peripheral portion of the color filter by coating the mask with a specific resin. The inventors have found that it is possible to achieve the present invention. That is, the present invention comprises a mask having an opening formed therein and a mask holder having a large number of magnets provided therein, and a glass for forming a color pattern between the mask and the mask holder. A sputtering jig for fixing a substrate to the mask, the mask having openings corresponding to color patterns to be formed on the glass substrate, and the glass substrate. And a coating layer made of a fluororesin on the surface facing to the sputtering jig. Hereinafter, the present invention will be described in detail.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】具体的に図面を参照しつつ説明す
る。図1、図2は本発明のスパッタ用治具の1実施例を
示し、図1は斜視図、図2は図1の治具内にガラス基板
をセットした状態を示す一部拡大断面図である。図1に
おいて、本発明のスパッタ用治具は、開口部7が形成さ
れたマスク5と、マスクホルダー1からなり、マスクホ
ルダー1内には多数の磁石2が埋め込まれている。磁石
2としては、200℃程度の高温に耐える耐熱性に優れ
た強磁性材料が好ましく、具体的にはNd−B(ネオジ
ウムボロン)系、Sm−Co(サマリウムコバルト)系
の磁石などが挙げられる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A detailed description will be given with reference to the drawings. 1 and 2 show one embodiment of a sputtering jig of the present invention, FIG. 1 is a perspective view, and FIG. 2 is a partially enlarged sectional view showing a state where a glass substrate is set in the jig of FIG. is there. In FIG. 1, the sputtering jig of the present invention comprises a mask 5 having an opening 7 and a mask holder 1, and a large number of magnets 2 are embedded in the mask holder 1. The magnet 2 is preferably a ferromagnetic material having excellent heat resistance that can withstand a high temperature of about 200 ° C., and specific examples thereof include Nd-B (neodymium boron) -based magnets and Sm-Co (samarium cobalt) -based magnets. .
【0010】マスク5のガラス基板3に対向する面にフ
ッ素樹脂からなるコーティング層6を形成し、マスク5
をコーティング層6を介してガラス基板3に当接させ
る。フッ素樹脂を採用するのは、200℃程度の高温に
耐える耐熱性材料であり、かつ、ガスを発生することが
ないため、カラーパターンに悪影響を与えることがない
からである。該フッ素樹脂として、4フッ化エチレン・
パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(以下、
PFAということがある。)、ポリ4フッ化エチレン
(以下、PTFEということがある。)、4フッ化エチ
レン・6フッ化プロピレン共重合体(以下、FEPとい
うことがある。)などが挙げられる。該フッ素樹脂に本
発明の目的を損なわない範囲で耐熱性樹脂や充填材を添
加してもよい。A coating layer 6 made of fluororesin is formed on the surface of the mask 5 facing the glass substrate 3, and the mask 5 is formed.
Is brought into contact with the glass substrate 3 through the coating layer 6. The reason why the fluororesin is adopted is that it is a heat-resistant material that can withstand a high temperature of about 200 ° C., and does not generate gas, so it does not adversely affect the color pattern. As the fluororesin, tetrafluoroethylene
Perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (hereinafter,
Sometimes called PFA. ), Polytetrafluoroethylene (hereinafter sometimes referred to as PTFE), tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer (hereinafter sometimes referred to as FEP), and the like. A heat resistant resin or a filler may be added to the fluororesin within a range not impairing the object of the present invention.
【0011】フッ素樹脂のコーティング方法としては、
ディスパージョン系塗料を用いた塗装法、即ちスプレー
塗装法、静電塗装法、エアレススプレー塗装法、電着塗
装法等や粉体塗料を用いた塗装法、即ち吹き付け法、静
電吹き付け法、流動浸漬法、静電流動浸漬法等が挙げら
れる。ディスパージョン系塗料を用いた塗装法では、一
般的に、脱脂、表面処理、プライマー塗装、乾燥、プラ
イマー焼成、上塗り、乾燥、焼成、冷却等の各工程を経
てコーティングが行われる。基材に油分が付着している
とフッ素樹脂膜が剥がれやすくなったり塗装にムラがで
きたりするため、最初に、溶剤脱脂や空焼きによって脱
脂処理を行うことが好ましい。次に、膜の付着性を高め
るために、基材表面を粗面化するのが表面処理工程であ
る。粗面化するには、サンドブラスト、液体ホーニン
グ、化学的エッチング等の方法がある。プライマーとは
フッ素樹脂のディスパージョンの中に基材との付着性を
増すために、特定の成分を加えたものである。プライマ
ーの焼成が終わると上塗りを行うが、上塗りは一度に厚
く塗るとクラックが発生するので、希望の膜厚になるま
で何回か塗装、乾燥、焼成を繰り返すことが好ましい。
一般に、一度の塗装でPTFEは20μm以下、最大で
は40μm程度の層厚のコーティングが可能である。F
EPはそれよりいくらか厚く、最大では50μm程度の
層厚までコーティングが可能である。一方、粉体塗料を
用いた塗装法では、塗料の回収が行えるため経済的なメ
リットが大きい。一般的に、脱脂、表面処理、プライマ
ー塗装、乾燥、プライマー焼成、予熱、粉体塗装、焼
成、冷却等の各工程を経てコーティングが行われる。一
般に、粉体を用いた塗装法はディスパージョン系塗料の
塗装法より一度に厚く塗ることができ、一度の塗装で1
00μm程度までの層厚が可能である。コーティング層
の層厚としては、具体的には、好ましくは10〜200
μm、更に好ましくは20〜100μmである。層厚が
10μm未満では本発明の効果が充分でなく、200μ
mを超えるとコストアップとなるのであまり好ましくな
い。The fluororesin coating method is as follows:
Coating method using dispersion type paint, namely spray coating method, electrostatic coating method, airless spray coating method, electrodeposition coating method, etc. and coating method using powder coating material, ie spraying method, electrostatic spraying method, flow An immersion method, an electrostatic fluidized immersion method and the like can be mentioned. In a coating method using a dispersion type coating, coating is generally performed through steps such as degreasing, surface treatment, primer coating, drying, primer firing, top coating, drying, firing, and cooling. If oil adheres to the substrate, the fluororesin film may be easily peeled off or coating may be uneven. Therefore, it is preferable to first perform a degreasing treatment by solvent degreasing or baking. Next, the surface treatment step is to roughen the surface of the base material in order to enhance the adhesion of the film. For roughening, there are methods such as sandblasting, liquid honing, and chemical etching. The primer is a dispersion of a fluororesin, to which specific components are added in order to increase the adhesion to the substrate. When the primer is completely baked, the topcoat is applied. If the topcoat is thickly applied at one time, cracks occur. Therefore, it is preferable to repeat the coating, drying, and baking until the desired film thickness is achieved.
Generally, it is possible to coat PTFE with a layer thickness of 20 μm or less, and a maximum layer thickness of about 40 μm with one coating. F
EP is somewhat thicker than that, and can be coated up to a layer thickness of about 50 μm. On the other hand, the coating method using the powder coating material has great economic merit because the coating material can be collected. Generally, coating is performed through steps such as degreasing, surface treatment, primer coating, drying, primer firing, preheating, powder coating, firing and cooling. Generally, the coating method using powder can be applied thicker at one time than the coating method of dispersion type paint,
Layer thicknesses up to around 00 μm are possible. Specifically, the layer thickness of the coating layer is preferably 10 to 200.
μm, and more preferably 20 to 100 μm. If the layer thickness is less than 10 μm, the effect of the present invention is not sufficient,
If it exceeds m, the cost increases, which is not preferable.
【0012】マスク5とマスクホルダー1の間にガラス
基板3を適宜位置決めして固定する。ガラス基板3は、
カラーパターン4が形成されるべくしてなるものであ
る。即ち、ガラス基板3には、カラーパターン4が形成
されているか、又はカラーパターン4が形成されるよう
になっている。通常はガラス基板3には、カラーパター
ン4が形成されているが、ガラス基板3として、カラー
パターン4が形成される前のものであっても、本発明の
スパッタ用治具は好適に用いることができる。マスク5
にはカラーパターン4に対向するように開口部7が形成
されている。なお、カラーパターン4及び開口部7の数
は任意である。The glass substrate 3 is appropriately positioned and fixed between the mask 5 and the mask holder 1. The glass substrate 3 is
The color pattern 4 is to be formed. That is, the color pattern 4 is formed on the glass substrate 3, or the color pattern 4 is formed. Normally, the color pattern 4 is formed on the glass substrate 3, but the sputtering jig of the present invention is preferably used even when the glass substrate 3 is before the color pattern 4 is formed. You can Mask 5
An opening 7 is formed in the so as to face the color pattern 4. The numbers of the color patterns 4 and the openings 7 are arbitrary.
【0013】図2に示すように、マスクホルダー1とマ
スク5の間にガラス基板3をセットすると、マスク5は
マスクホルダー1内の多数の磁石2により引きつけら
れ、ガラス基板3はマスクホルダー1およびマスク5間
に均一な力で固定される。このとき、コーティング層6
の介在によりガラス基板3のカラーパターン4の外周に
傷が付くのが防止される。そして、マスク5の開口部7
側からスパッタが行われ、カラーパターン4の表面に透
明電極層が形成される。As shown in FIG. 2, when the glass substrate 3 is set between the mask holder 1 and the mask 5, the mask 5 is attracted by a large number of magnets 2 in the mask holder 1, and the glass substrate 3 is held by the mask holder 1 and the mask holder 1. The masks 5 are fixed with a uniform force. At this time, the coating layer 6
This prevents the outer circumference of the color pattern 4 on the glass substrate 3 from being scratched. Then, the opening 7 of the mask 5
Sputtering is performed from the side to form a transparent electrode layer on the surface of the color pattern 4.
【0014】即ち、本発明においては、マスクとマスク
ホルダーとからなるスパッタ用治具内にガラス基板をセ
ットすると、マスクはマスクホルダー内の多数の磁石に
より引きつけられ、ガラス基板はマスクとマスクホルダ
ーとの間に均一な力で固定される。このとき、マスクの
ガラス基板に対向する面にフッ素樹脂からなるコーティ
ング層を形成するため、ガラス基板のカラーパターンの
外周に傷が付くのが防止される。That is, in the present invention, when the glass substrate is set in the sputtering jig consisting of the mask and the mask holder, the mask is attracted by the many magnets in the mask holder, and the glass substrate is separated from the mask and the mask holder. Fixed with a uniform force between. At this time, since the coating layer made of fluororesin is formed on the surface of the mask facing the glass substrate, it is possible to prevent the outer periphery of the color pattern of the glass substrate from being scratched.
【0015】[0015]
【実施例】以下、本発明を実施例を挙げて説明するが、
本発明はこれに限定されるものではない。具体的に実施
例を図面を参照しつつ説明する。 〔カラーフィルタのオーバーコート層表面の割れ欠陥数
の測定方法〕マスクスパッタ後の基板を洗浄して、ガラ
ス基板表面検査装置(日立電子エンジニアリング社製、
GI−4600S)により、基板表面の欠陥(割れ欠
陥、付着物など)を測定する。その後、該ガラス基板表
面検査装置が出力した欠陥の座標値をもとに、光学顕微
鏡により個々の欠陥を観察し、割れ欠陥の個数を数え
て、マスク単位面積当たりの個数をもってオーバーコー
ト層表面の傷付き、微細な割れとして評価した。割れ欠
陥の大きさにより、10μm以上20μm未満の割れ欠
陥をM、20μm以上の割れ欠陥をLとして区別して評
価した。The present invention will be described below with reference to examples.
The present invention is not limited to this. A specific example will be described with reference to the drawings. [Measuring method of the number of crack defects on the overcoat layer surface of the color filter] The substrate after the mask sputtering is washed, and a glass substrate surface inspection device (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co.
GI-4600S) measures defects (cracking defects, deposits, etc.) on the substrate surface. After that, based on the coordinate values of the defects output by the glass substrate surface inspection apparatus, each defect is observed by an optical microscope, the number of cracking defects is counted, and the number of cracking defects per mask unit area is measured. It was evaluated as scratches and fine cracks. According to the size of the cracking defect, the cracking defect of 10 μm or more and less than 20 μm was distinguished as M, and the cracking defect of 20 μm or more was distinguished as L.
【0016】実施例1 図1に示すスパッタ用治具を用いた。該スパッタ用治具
は、開口部7が形成されたマスク5と、マスクホルダー
1からなり、マスクホルダー1内には多数の磁石2が埋
め込まれている。マスク5とマスクホルダー1の間にガ
ラス基板3を位置決めして固定した。ガラス基板3に
は、カラーパターン4が形成されていて、マスク5には
カラーパターン4に対応するように開口部7が形成され
ている。Example 1 The sputtering jig shown in FIG. 1 was used. The sputtering jig comprises a mask 5 having an opening 7 and a mask holder 1, and a large number of magnets 2 are embedded in the mask holder 1. The glass substrate 3 was positioned and fixed between the mask 5 and the mask holder 1. Color patterns 4 are formed on the glass substrate 3, and openings 7 are formed on the mask 5 so as to correspond to the color patterns 4.
【0017】マスク5のガラス基板3に対向する面にフ
ッ素樹脂PFAからなる層厚50μmのコーティング層
6を形成し、マスク5をコーティング層6を介してガラ
ス基板3に当接させた。透明電極層を形成した後、ガラ
ス基板のオーバーコート層表面の割れ欠陥数を測定し
た。得られた結果を表1に示す。A coating layer 6 of fluororesin PFA having a layer thickness of 50 μm was formed on the surface of the mask 5 facing the glass substrate 3, and the mask 5 was brought into contact with the glass substrate 3 through the coating layer 6. After forming the transparent electrode layer, the number of crack defects on the surface of the overcoat layer of the glass substrate was measured. The results obtained are shown in Table 1.
【0018】比較例1 フッ素樹脂PFAからなる層を設けない以外は、実施例
1と同様にしてガラス基板をスパッタ用治具で挟み、透
明電極層を形成した後、ガラス基板のオーバーコート層
表面の割れ欠陥数を測定した。得られた結果を表1に示
す。Comparative Example 1 A glass substrate was sandwiched between jigs for sputtering to form a transparent electrode layer in the same manner as in Example 1 except that a layer made of fluororesin PFA was not provided. Then, the surface of the overcoat layer of the glass substrate was formed. The number of crack defects was measured. The results obtained are shown in Table 1.
【0019】[0019]
【表1】 表1から本発明のスパッタ用治具を用いると、割れ欠陥
Mも割れ欠陥Lも1/10以下に削減できたことがわか
る。[Table 1] It can be seen from Table 1 that the cracking defect M and the cracking defect L could be reduced to 1/10 or less by using the sputtering jig of the present invention.
【0020】[0020]
【発明の効果】本発明によれば、マスクの表面にフッ素
樹脂からなるコーティング層を形成することにより、カ
ラーフィルタ周辺部への傷付き、微細な割れを防止する
ことができ、工業的価値が大きい。According to the present invention, by forming a coating layer made of a fluororesin on the surface of the mask, it is possible to prevent scratches and fine cracks in the peripheral portion of the color filter, which has industrial value. large.
【図1】本発明のスパッタ用治具の1実施例を示す斜視
図FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a sputtering jig of the present invention.
【図2】本発明のスパッタ用治具の1実施例を示す一部
拡大断面図FIG. 2 is a partially enlarged sectional view showing an embodiment of a sputtering jig of the present invention.
【図3】カラーフィルタの製造工程を説明するための拡
大断面図FIG. 3 is an enlarged sectional view for explaining a manufacturing process of a color filter.
1・・・マスクホルダー 2・・・磁石 3・・・ガラス基板 4・・・カラーパターン 5・・・マスク 6・・・コーティング層 7・・・開口部 8・・・ブラック遮光層 9・・・レッド着色層 10・・・グリーン着色層 11・・・ブルー着色層 12・・・オーバーコート層 13・・・透明電極層 1 ... Mask holder 2 ... Magnet 3 ... Glass substrate 4 ... Color pattern 5 ... Mask 6 ... Coating layer 7 ... Opening portion 8 ... Black light-shielding layer 9 .... -Red colored layer 10 ... Green colored layer 11 ... Blue colored layer 12 ... Overcoat layer 13 ... Transparent electrode layer
Claims (1)
の磁石が設けられたマスクホルダーとを備え、該マスク
とマスクホルダーとの間にカラーパターンが形成される
べくしてなるガラス基板を、該マスクに対して固定して
なるスパッタ用治具であって、該マスクが、該ガラス基
板に形成されるべくしてなるカラーパターンに対応した
開口部を有し、かつ、該ガラス基板に対向する面にフッ
素樹脂からなるコーティング層を有することを特徴とす
るスパッタ用治具。1. A glass substrate comprising a mask having an opening and a mask holder having a large number of magnets provided therein, and a color pattern is formed between the mask and the mask holder. A jig for sputtering which is fixed to the mask, wherein the mask has an opening corresponding to a color pattern to be formed on the glass substrate, and the glass substrate A sputter jig having a coating layer made of a fluororesin on the surface facing to.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25613595A JPH0995762A (en) | 1995-10-03 | 1995-10-03 | Jig for sputtering |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25613595A JPH0995762A (en) | 1995-10-03 | 1995-10-03 | Jig for sputtering |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0995762A true JPH0995762A (en) | 1997-04-08 |
Family
ID=17288394
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25613595A Pending JPH0995762A (en) | 1995-10-03 | 1995-10-03 | Jig for sputtering |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0995762A (en) |
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