JPH06180226A - 探針走査型顕微鏡 - Google Patents
探針走査型顕微鏡Info
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- JPH06180226A JPH06180226A JP4332886A JP33288692A JPH06180226A JP H06180226 A JPH06180226 A JP H06180226A JP 4332886 A JP4332886 A JP 4332886A JP 33288692 A JP33288692 A JP 33288692A JP H06180226 A JPH06180226 A JP H06180226A
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- JP
- Japan
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- position control
- actuator
- circuit
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 大きな測定領域の測定を行う場合はアクチュ
エータの非線形性を除去できる。 【構成】 探針または試料を走査する位置決め機構は、
圧電素子などから構成されるアクチュエータ、アクチュ
エータの移動量を検出する変位検出装置、変位検出装置
の出力と上位の位置制御装置からの第１の位置信号を基
にアクチュエータを位置決めする位置制御回路と位置制
御回路の出力を保持するサンプルホールド回路とその回
路の出力と上位の位置制御装置からの第２の位置信号を
加算する加算回路からなるＸＹ位置制御回路を備え、大
きな測定領域の測定を行う場合には、上位の位置制御装
置からの第１の位置信号と変位検出装置の出力を基にア
クチュエータの位置決めを行い、小さな測定領域の測定
を行う場合には、サンプルホールド回路の出力に上位の
位置制御装置からの第２の位置信号を加算してアクチュ
エータの位置決めを行う。
エータの非線形性を除去できる。 【構成】 探針または試料を走査する位置決め機構は、
圧電素子などから構成されるアクチュエータ、アクチュ
エータの移動量を検出する変位検出装置、変位検出装置
の出力と上位の位置制御装置からの第１の位置信号を基
にアクチュエータを位置決めする位置制御回路と位置制
御回路の出力を保持するサンプルホールド回路とその回
路の出力と上位の位置制御装置からの第２の位置信号を
加算する加算回路からなるＸＹ位置制御回路を備え、大
きな測定領域の測定を行う場合には、上位の位置制御装
置からの第１の位置信号と変位検出装置の出力を基にア
クチュエータの位置決めを行い、小さな測定領域の測定
を行う場合には、サンプルホールド回路の出力に上位の
位置制御装置からの第２の位置信号を加算してアクチュ
エータの位置決めを行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型トンネル顕微鏡
（以下、単にＳＴＭという）や原子間力顕微鏡（以下、
単にＡＦＭという）など、先端を鋭く尖らせた探針を試
料に対して微小距離まで近づけ、両者の間に流れるトン
ネル電流や両者の間に働く原子間力などの物理量を検出
し、探針を試料表面上を走査させることにより、試料の
形状や表面の物性などを測定するようにした探針走査型
顕微鏡に関し、特に、その測定性能を向上させるもので
ある。
（以下、単にＳＴＭという）や原子間力顕微鏡（以下、
単にＡＦＭという）など、先端を鋭く尖らせた探針を試
料に対して微小距離まで近づけ、両者の間に流れるトン
ネル電流や両者の間に働く原子間力などの物理量を検出
し、探針を試料表面上を走査させることにより、試料の
形状や表面の物性などを測定するようにした探針走査型
顕微鏡に関し、特に、その測定性能を向上させるもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来の探針走査型顕微鏡においては、探
針または試料を走査するための位置決め機構として圧電
素子を用いたアクチュエータを使用し、試料表面内の方
向の位置決めは圧電素子に印加する電圧を変えることで
行っていた。このような構成において、一般的には、電
圧を等間隔で変化させ、位置決めを行い、また測定領域
を大きくしたときに現れる圧電素子に印加する電圧と変
形量との間のヒステリシスなどに起因する非線形な成分
の除去は、画像処理ソフトウェアにおいて補正すること
により行われていた。しかし、充分な精度を得るまでに
は至っていない。
針または試料を走査するための位置決め機構として圧電
素子を用いたアクチュエータを使用し、試料表面内の方
向の位置決めは圧電素子に印加する電圧を変えることで
行っていた。このような構成において、一般的には、電
圧を等間隔で変化させ、位置決めを行い、また測定領域
を大きくしたときに現れる圧電素子に印加する電圧と変
形量との間のヒステリシスなどに起因する非線形な成分
の除去は、画像処理ソフトウェアにおいて補正すること
により行われていた。しかし、充分な精度を得るまでに
は至っていない。
【０００３】また、特に測定領域の大きい装置において
は、アクチュエータの移動量を他の変位検出方式を用い
て検出し、その結果を基に位置決めを行うことで圧電素
子の非線形性を除去する方法も行われているが、この場
合、分解能はその変位検出方式に依存するため、探針走
査型顕微鏡本来の分解能が実現されていない。
は、アクチュエータの移動量を他の変位検出方式を用い
て検出し、その結果を基に位置決めを行うことで圧電素
子の非線形性を除去する方法も行われているが、この場
合、分解能はその変位検出方式に依存するため、探針走
査型顕微鏡本来の分解能が実現されていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の課題を踏まえて成されたものであり、探針または試
料を走査するアクチュエータの位置決め機構において、
高分解能な測定を行うときには、探針走査型顕微鏡本来
の分解能を有し、かつ大きな測定領域の測定を行う場合
においては、アクチュエータの非線形性を除去すること
のできる探針走査型顕微鏡を提供することを目的とした
ものである。
術の課題を踏まえて成されたものであり、探針または試
料を走査するアクチュエータの位置決め機構において、
高分解能な測定を行うときには、探針走査型顕微鏡本来
の分解能を有し、かつ大きな測定領域の測定を行う場合
においては、アクチュエータの非線形性を除去すること
のできる探針走査型顕微鏡を提供することを目的とした
ものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は、走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕
微鏡などの先端を鋭く尖らせた探針を試料に対して微少
距離まで近づけ、両者の間に流れるトンネル電流や、両
者の間に働く原子間力などの物理量を検出し、前記探針
を前記試料表面上を走査させることにより、前記試料の
形状や表面の物性などを測定するようにした探針走査型
顕微鏡において、前記探針または試料を走査する位置決
め機構は、圧電素子などから構成されるアクチュエータ
と、このアクチュエータの移動量を検出する変位検出装
置と、この変位検出装置の出力と上位の位置制御装置か
らの第１の位置信号を基に前記アクチュエータを位置決
めする位置制御回路と、この位置制御回路の出力を保持
するサンプルホールド回路と、このサンプルホールド回
路の出力と前記上位の位置制御装置からの第２の位置信
号を加算する加算回路とからなるＸＹ位置制御回路とを
備え、大きな測定領域の測定を行う場合には、前記位置
制御回路において、前記上位の位置制御装置からの第１
の位置信号と前記変位検出装置の出力を基に前記アクチ
ュエータの位置決めを行い、また、小さな測定領域の測
定を行う場合には、前記サンプルホールド回路におい
て、前記位置制御回路の出力を保持すると共に、前記加
算回路において、前記サンプルホールド回路の出力に前
記上位の位置制御装置からの第２の位置信号を加算して
前記アクチュエータの位置決めを行うことを特徴とす
る。
の本発明の構成は、走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕
微鏡などの先端を鋭く尖らせた探針を試料に対して微少
距離まで近づけ、両者の間に流れるトンネル電流や、両
者の間に働く原子間力などの物理量を検出し、前記探針
を前記試料表面上を走査させることにより、前記試料の
形状や表面の物性などを測定するようにした探針走査型
顕微鏡において、前記探針または試料を走査する位置決
め機構は、圧電素子などから構成されるアクチュエータ
と、このアクチュエータの移動量を検出する変位検出装
置と、この変位検出装置の出力と上位の位置制御装置か
らの第１の位置信号を基に前記アクチュエータを位置決
めする位置制御回路と、この位置制御回路の出力を保持
するサンプルホールド回路と、このサンプルホールド回
路の出力と前記上位の位置制御装置からの第２の位置信
号を加算する加算回路とからなるＸＹ位置制御回路とを
備え、大きな測定領域の測定を行う場合には、前記位置
制御回路において、前記上位の位置制御装置からの第１
の位置信号と前記変位検出装置の出力を基に前記アクチ
ュエータの位置決めを行い、また、小さな測定領域の測
定を行う場合には、前記サンプルホールド回路におい
て、前記位置制御回路の出力を保持すると共に、前記加
算回路において、前記サンプルホールド回路の出力に前
記上位の位置制御装置からの第２の位置信号を加算して
前記アクチュエータの位置決めを行うことを特徴とす
る。
【０００６】
【作用】本発明によれば、探針または試料を走査するア
クチュエータの位置決め機構において、大きな測定領域
の測定を行う場合においては、アクチュエータの変位量
を変位計により測定しながら位置決めを行い、高分解能
な測定を行うときは、従来の探針走査型顕微鏡と同様の
方法で位置決めを行うように構成している。
クチュエータの位置決め機構において、大きな測定領域
の測定を行う場合においては、アクチュエータの変位量
を変位計により測定しながら位置決めを行い、高分解能
な測定を行うときは、従来の探針走査型顕微鏡と同様の
方法で位置決めを行うように構成している。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１は本発明の探針走査型顕微鏡の一実施例を示す構成図
である。なお、図１では、原子間力顕微鏡として図示し
ている。図１において、レーザ光源３より出力したレー
ザ光がカンチレバー状の探針１上に照射され、その反射
光が２分割フォトダイオード４に入射する。その出力が
変位検出回路５に入力され、その出力がサーボ回路６に
入力される。サーボ回路６の出力は、Ｚアクチュエータ
７に入力されると共に、フィルタ１２を介してコンピュ
ータ１４に取り付けられたＡ／Ｄ変換器１４１に入力さ
れる。また、コンピュータ１４から位置制御をホールド
するためのサンプルホールド（以下、Ｓ／Ｈという）信
号と、Ｄ／Ａ変換器１４２を介して、ＸＹ方向の走査信
号Ｘ1 ，Ｘ 2 ，Ｙ1 ，Ｙ2 がＸＹ位置制御回路１３に入
力される。このＸＹ位置制御回路１３には、Ｘ，Ｙ方向
変位計１０，１１の出力が入力される。ＸＹ位置制御回
路１３の出力は、Ｘ，Ｙアクチュエータ８，９に入力さ
れる。２は測定対象の試料である。
１は本発明の探針走査型顕微鏡の一実施例を示す構成図
である。なお、図１では、原子間力顕微鏡として図示し
ている。図１において、レーザ光源３より出力したレー
ザ光がカンチレバー状の探針１上に照射され、その反射
光が２分割フォトダイオード４に入射する。その出力が
変位検出回路５に入力され、その出力がサーボ回路６に
入力される。サーボ回路６の出力は、Ｚアクチュエータ
７に入力されると共に、フィルタ１２を介してコンピュ
ータ１４に取り付けられたＡ／Ｄ変換器１４１に入力さ
れる。また、コンピュータ１４から位置制御をホールド
するためのサンプルホールド（以下、Ｓ／Ｈという）信
号と、Ｄ／Ａ変換器１４２を介して、ＸＹ方向の走査信
号Ｘ1 ，Ｘ 2 ，Ｙ1 ，Ｙ2 がＸＹ位置制御回路１３に入
力される。このＸＹ位置制御回路１３には、Ｘ，Ｙ方向
変位計１０，１１の出力が入力される。ＸＹ位置制御回
路１３の出力は、Ｘ，Ｙアクチュエータ８，９に入力さ
れる。２は測定対象の試料である。
【０００８】また、図２は図１装置に示すＸＹ位置制御
回路１３の具体的な構成を示す図である。なお、Ｘ，Ｙ
方向は各々同様の構成であるため、図２ではＸ方向の構
成のみ示してある。図２において、コンピュータ１４か
ら出力される第１の走査信号Ｘ1 は、位置制御回路１３
１に入力される。また、位置制御回路１３１には、Ｘ方
向変位計１０の出力が入力される。位置制御回路１３１
の出力は、Ｓ／Ｈ回路１３２を介して、加算回路１３３
に入力される。また、Ｓ／Ｈ回路１３２には、コンピュ
ータ１４よりＳ／Ｈ信号が入力される。また、加算回路
１３３には、コンピュータ１４よりの第２の走査信号Ｘ
2 が入力される。加算回路１３３の出力は、Ｘアクチュ
エータ８に入力される。
回路１３の具体的な構成を示す図である。なお、Ｘ，Ｙ
方向は各々同様の構成であるため、図２ではＸ方向の構
成のみ示してある。図２において、コンピュータ１４か
ら出力される第１の走査信号Ｘ1 は、位置制御回路１３
１に入力される。また、位置制御回路１３１には、Ｘ方
向変位計１０の出力が入力される。位置制御回路１３１
の出力は、Ｓ／Ｈ回路１３２を介して、加算回路１３３
に入力される。また、Ｓ／Ｈ回路１３２には、コンピュ
ータ１４よりＳ／Ｈ信号が入力される。また、加算回路
１３３には、コンピュータ１４よりの第２の走査信号Ｘ
2 が入力される。加算回路１３３の出力は、Ｘアクチュ
エータ８に入力される。
【０００９】このような構成において、図１に戻り、図
１装置の動作を説明する。探針１と試料２は原子間力な
どの力が働く微小な距離まで近づけられる。探針１と試
料２との間に働く力により、カンチレバー状の探針１が
変形する。その変形をレーザ光源３から出射されるレー
ザ光の探針１からの反射光を２分割フォトダイオード４
で受光し、その２分割されている上下の検出素子それぞ
れに入射する光量から変位検出回路５で求める。また、
サーボ回路６により、この変位検出回路５の出力が一定
となるように、Ｚアクチュエータ７を制御する。この状
態で、コンピュータ１４より、Ｄ／Ａ変換器１４２を介
して、Ｘ，Ｙ方向の走査信号Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｙ1 ，Ｙ2 を
出力し、ＸＹ位置制御回路１３を介して、Ｘ，Ｙアクチ
ュエータ８，９を駆動し、探針１を試料２上を走査し、
そのときのＺアクチュエータ７の制御信号であるサーボ
回路６の出力をフィルタ１２を介して、Ａ／Ｄ変換器１
４１により、コンピュータ１４に取り込むことにより、
試料２の形状を測定する。
１装置の動作を説明する。探針１と試料２は原子間力な
どの力が働く微小な距離まで近づけられる。探針１と試
料２との間に働く力により、カンチレバー状の探針１が
変形する。その変形をレーザ光源３から出射されるレー
ザ光の探針１からの反射光を２分割フォトダイオード４
で受光し、その２分割されている上下の検出素子それぞ
れに入射する光量から変位検出回路５で求める。また、
サーボ回路６により、この変位検出回路５の出力が一定
となるように、Ｚアクチュエータ７を制御する。この状
態で、コンピュータ１４より、Ｄ／Ａ変換器１４２を介
して、Ｘ，Ｙ方向の走査信号Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｙ1 ，Ｙ2 を
出力し、ＸＹ位置制御回路１３を介して、Ｘ，Ｙアクチ
ュエータ８，９を駆動し、探針１を試料２上を走査し、
そのときのＺアクチュエータ７の制御信号であるサーボ
回路６の出力をフィルタ１２を介して、Ａ／Ｄ変換器１
４１により、コンピュータ１４に取り込むことにより、
試料２の形状を測定する。
【００１０】次に、図２に示したＸＹ位置制御回路１３
の動作を説明する。まず、大きな測定領域を測定する場
合、コンピュータ１４から第１の走査信号Ｘ1 が位置制
御回路１３１に入力される。位置制御回路１３１では、
第１の走査信号Ｘ1 とＸ方向変位計１０の出力が一致す
るように、Ｓ／Ｈ回路１３２と加算回路１３３を介し
て、Ｘアクチュエータ８を駆動することにより、試料２
を位置決めする。このとき、Ｓ／Ｈ回路１３２は、位置
制御回路１３１の出力をホールドしない状態、また、第
２の走査信号Ｘ2 は所定の一定値が加算回路１３３に出
力されている。
の動作を説明する。まず、大きな測定領域を測定する場
合、コンピュータ１４から第１の走査信号Ｘ1 が位置制
御回路１３１に入力される。位置制御回路１３１では、
第１の走査信号Ｘ1 とＸ方向変位計１０の出力が一致す
るように、Ｓ／Ｈ回路１３２と加算回路１３３を介し
て、Ｘアクチュエータ８を駆動することにより、試料２
を位置決めする。このとき、Ｓ／Ｈ回路１３２は、位置
制御回路１３１の出力をホールドしない状態、また、第
２の走査信号Ｘ2 は所定の一定値が加算回路１３３に出
力されている。
【００１１】次に、小さな測定領域を測定する場合に
は、上記の動作で測定したい位置に試料２を位置決めし
ておく。コンピュータ１４よりのＳ／Ｈ信号により、Ｓ
／Ｈ回路１３２において、位置制御回路１３１の出力を
ホールドする。加算回路１３３においては、Ｓ／Ｈ回路
１３２の出力に第２の走査信号Ｘ2 を加算し、Ｘアクチ
ュエータ８を駆動し、試料２を位置決めする。
は、上記の動作で測定したい位置に試料２を位置決めし
ておく。コンピュータ１４よりのＳ／Ｈ信号により、Ｓ
／Ｈ回路１３２において、位置制御回路１３１の出力を
ホールドする。加算回路１３３においては、Ｓ／Ｈ回路
１３２の出力に第２の走査信号Ｘ2 を加算し、Ｘアクチ
ュエータ８を駆動し、試料２を位置決めする。
【００１２】図３は本発明の探針走査形顕微鏡の他の実
施例を示す構成図である。なお、図３においては、図２
と同様にＸＹ位置制御回路１３のＸ方向について示した
ものである。図３において、まず、大きな測定領域を測
定する場合について説明する。コンピュータ１４から走
査信号Ｘが位置制御回路１３１に入力される。位置制御
回路１３１では、走査信号ＸとＸ方向変位計１０の出力
が一致するように、スイッチ１３６を介して、Ｘアクチ
ュエータ８を駆動することにより、試料２を位置決めす
る。
施例を示す構成図である。なお、図３においては、図２
と同様にＸＹ位置制御回路１３のＸ方向について示した
ものである。図３において、まず、大きな測定領域を測
定する場合について説明する。コンピュータ１４から走
査信号Ｘが位置制御回路１３１に入力される。位置制御
回路１３１では、走査信号ＸとＸ方向変位計１０の出力
が一致するように、スイッチ１３６を介して、Ｘアクチ
ュエータ８を駆動することにより、試料２を位置決めす
る。
【００１３】次に、小さな測定領域を測定する場合につ
いて説明する。上記動作により、測定したい位置に試料
２を位置決めしておく。コンピュータ１４よりのＳ／Ｈ
信号により、Ｓ／Ｈ回路１３２において、位置制御回路
１３１の出力をホールドすると共に、スイッチ１３６を
加算回路１３３側に切り換える。Ｓ／Ｈ回路１３２の出
力は、フィルタ１３４でノイズを除去され、加算回路１
３３に入力される。走査信号Ｘは、ゲインアンプ１３５
で信号の大きさを調整され、加算回路１３３に入力され
る。加算回路１３３で両者を加算し、スイッチ１３６を
介して出力する。この状態で、走査信号Ｘを変えて、試
料２の位置決めを行う。
いて説明する。上記動作により、測定したい位置に試料
２を位置決めしておく。コンピュータ１４よりのＳ／Ｈ
信号により、Ｓ／Ｈ回路１３２において、位置制御回路
１３１の出力をホールドすると共に、スイッチ１３６を
加算回路１３３側に切り換える。Ｓ／Ｈ回路１３２の出
力は、フィルタ１３４でノイズを除去され、加算回路１
３３に入力される。走査信号Ｘは、ゲインアンプ１３５
で信号の大きさを調整され、加算回路１３３に入力され
る。加算回路１３３で両者を加算し、スイッチ１３６を
介して出力する。この状態で、走査信号Ｘを変えて、試
料２の位置決めを行う。
【００１４】この第２の実施例では、第１の実施例に比
べて、フィルタ１３４によりＳ／Ｈ回路１３２の出力の
ノイズが除去でき、また、第１の走査信号と第２の走査
信号を共通の出力を用いるため、Ｄ／Ａ変換器１４２が
各方向１台で構成できるという利点がある。ただし、ス
イッチ１３６の切り換えを伴うため、その時に少し位置
決めが不安定になる可能性がある。
べて、フィルタ１３４によりＳ／Ｈ回路１３２の出力の
ノイズが除去でき、また、第１の走査信号と第２の走査
信号を共通の出力を用いるため、Ｄ／Ａ変換器１４２が
各方向１台で構成できるという利点がある。ただし、ス
イッチ１３６の切り換えを伴うため、その時に少し位置
決めが不安定になる可能性がある。
【００１５】このように上記実施例によれば、探針また
は試料を走査するアクチュエータの位置決め機構におい
て、大きな測定領域の測定を行う場合においては、アク
チュエータの変位量を変位計により測定しながら位置決
めを行い、高分解能な測定を行うときは、従来の探針走
査型顕微鏡と同様の方法で位置決めを行うように構成し
ているので、大きな測定領域の測定では、アクチュエー
タの非線形性を除去することができ、高分解能な測定を
行うときには、探針走査型顕微鏡本来の分解能を有する
ことができる。
は試料を走査するアクチュエータの位置決め機構におい
て、大きな測定領域の測定を行う場合においては、アク
チュエータの変位量を変位計により測定しながら位置決
めを行い、高分解能な測定を行うときは、従来の探針走
査型顕微鏡と同様の方法で位置決めを行うように構成し
ているので、大きな測定領域の測定では、アクチュエー
タの非線形性を除去することができ、高分解能な測定を
行うときには、探針走査型顕微鏡本来の分解能を有する
ことができる。
【００１６】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本発明によれば、探針または試料を走査するアク
チュエータの位置決め機構において、高分解能な測定を
行うときには、探針走査型顕微鏡本来の分解能を有し、
かつ大きな測定領域の測定を行う場合においては、アク
チュエータの非線形性を除去することができ、探針走査
型顕微鏡の測定性能を向上することができる。
うに、本発明によれば、探針または試料を走査するアク
チュエータの位置決め機構において、高分解能な測定を
行うときには、探針走査型顕微鏡本来の分解能を有し、
かつ大きな測定領域の測定を行う場合においては、アク
チュエータの非線形性を除去することができ、探針走査
型顕微鏡の測定性能を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の探針走査型顕微鏡の一実施例を示す構
成図である。
成図である。
【図２】図１装置に用いるＸＹ位置制御回路の具体例の
構成図である。
構成図である。
【図３】図１装置に用いるＸＹ位置制御回路の他の具体
例の構成図である。
例の構成図である。
１ 探針 ２ 試料 ７、８、９ アクチュエータ １０、１１ 変位計 １３ ＸＹ位置制御回路 １４ コンピュータ １３１ 位置制御回路 １３２ Ｓ／Ｈ回路 １３３ 加算回路
Claims (1)
- 【請求項１】 走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡
などの先端を鋭く尖らせた探針を試料に対して微少距離
まで近づけ、両者の間に流れるトンネル電流や、両者の
間に働く原子間力などの物理量を検出し、前記探針を前
記試料表面上を走査させることにより、前記試料の形状
や表面の物性などを測定するようにした探針走査型顕微
鏡において、 前記探針または試料を走査する位置決め機構は、 圧電素子などから構成されるアクチュエータと、 このアクチュエータの移動量を検出する変位検出装置
と、 この変位検出装置の出力と上位の位置制御装置からの第
１の位置信号を基に前記アクチュエータを位置決めする
位置制御回路と、この位置制御回路の出力を保持するサ
ンプルホールド回路と、このサンプルホールド回路の出
力と前記上位の位置制御装置からの第２の位置信号を加
算する加算回路とからなるＸＹ位置制御回路とを備え、 大きな測定領域の測定を行う場合には、前記位置制御回
路において、前記上位の位置制御装置からの第１の位置
信号と前記変位検出装置の出力を基に前記アクチュエー
タの位置決めを行い、また、小さな測定領域の測定を行
う場合には、前記サンプルホールド回路において、前記
位置制御回路の出力を保持すると共に、前記加算回路に
おいて、前記サンプルホールド回路の出力に前記上位の
位置制御装置からの第２の位置信号を加算して前記アク
チュエータの位置決めを行うことを特徴とする探針走査
型顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4332886A JPH06180226A (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | 探針走査型顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4332886A JPH06180226A (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | 探針走査型顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06180226A true JPH06180226A (ja) | 1994-06-28 |
Family
ID=18259902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4332886A Pending JPH06180226A (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | 探針走査型顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06180226A (ja) |
-
1992
- 1992-12-14 JP JP4332886A patent/JPH06180226A/ja active Pending
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