JPH06174661A - Ｘ線回折装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 放射線画像蓄積板を画像蓄積位置および画像
読取位置に移動させる移動機構をコンパクトにするとと
もに、位置の再現性を向上させ、かつ、連続して多数の
Ｘ線回折像を蓄積するを可能にする。 【構成】 移動機構１１は、回転中心軸１４を有すると
ともにこの回転中心軸１４からの離間距離を等しくして
前記複数枚の放射線画像蓄積板９，１０を回転中心軸１
４の回りに支持した蓄積板支持梁１５と、この蓄積板支
持梁１５をその回転中心軸１４の回りに回転操作する支
持梁回転駆動手段１６とを具備した構成とする。そし
て、前記支持梁回転駆動手段１６によって蓄積板支持梁
１５を回転操作することによって、蓄積板支持梁１５上
の任意の放射線画像蓄積板を前記画像読取位置あるいは
画像蓄積位置に位置決めする構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、放射線画像蓄積板に試
料のＸ線回折像を蓄積させ、これを読み取ることによっ
て前記試料のＸ線回折情報を得るようにしたＸ線回折装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】これまで、放射線画像蓄積板に結晶性試
料のＸ線回折像を蓄積させ、これを読み取ることによっ
て前記試料のＸ線回折情報を得るようにしたＸ線回折装
置が種々開発されている。この種のＸ線回折装置では、
Ｘ線ゴニオメータ等の試料支持手段で回転自在に保持し
た試料にＸ線源から射出されたＸ線を照射し、このとき
前記試料からの回折Ｘ線を所定位置（画像蓄積位置）に
配置した放射線画像蓄積板に蓄積し、しかるのち、この
蓄積が終了した放射線画像蓄積板を放射線画像読取装置
における画像読取位置にセットして、蓄積されている画
像を読み取る。

【０００３】ところで、この種のＸ線回折装置は、当初
は、前記放射線画像蓄積板を一つしか備えておらず、一
つの画像蓄積が終了した場合、その蓄積されている画像
を読み取って蓄積画像を消去するまでは、次の画像蓄積
作業が始められないという欠点があり、例えば、結晶の
形態が時々刻々変化するような試料について結晶の時間
分解解析を行うような場合には、その時間分解能を向上
させることに一定の限界が生じていた。

【０００４】そこで、このような欠点を解消することか
ら、従来、図２および図３に示すＸ線回折装置が提案さ
れた。このＸ線回折装置は、特開平３−５７９４７号公
報に開示されたもので、試料１に対するＸ線照射方向を
変化させるために試料１を回転自在に保持したＸ線ゴニ
オメータ２と、前記試料１にＸ線を照射したときに該試
料から生ずるＸ線回折像を蓄積するための２枚の放射線
画像蓄積板３１，３２と、前記放射線画像蓄積板３１，
３２に蓄積された放射線画像を読み取る放射線画像読取
装置４と、前述の２枚の放射線画像蓄積板３１，３２の
内の一方を画像蓄積位置に移動させ他方を前記放射線画
像読取装置４による画像読取位置に移動させるための移
動機構５とを具備した構成である。なお、図中の矢印Ｘ
は、入射Ｘ線を示している。

【０００５】ここに、前記放射線画像蓄積板３１，３２
は、共に略円弧板状を呈している。図２および図３にお
いて、第１の放射線画像蓄積板３１の存在している位置
が画像蓄積位置であり、また、第２の放射線画像蓄積板
３２の存在している位置が画像読取位置である。

【０００６】第１の放射線画像蓄積板３１は、前記移動
機構５の第１のねじ棒５１に螺合した第１の移動台５１
ｃに取り付けられていて、第１のねじ棒５１の回転によ
って画像蓄積位置と画像読取位置との間を直線的に往復
移動可能にされている。一方、第２の放射線画像蓄積板
３２は、補助移動台３２ａに取り付けられており、この
補助移動台３２ａが第２のねじ棒５２に螺合した第２の
移動台５２ｃに取り付けられている。前記第２のねじ棒
５２は、前述の第１のねじ棒５１と平行に配備されてい
る。また、前記補助移動台３２ａは、第２の移動台５２
ｃ上に装備されたねじ棒５２ｇに螺合しており、このね
じ棒５２ｇの回転によって、第２の移動台５２ｃの移動
方向（第２のねじ棒５２の軸線方向）とは直交する方向
に直線的に進退可能にされている。このような構成によ
って、第２の放射線画像蓄積板３２は、前記第２のねじ
棒５２の軸線方向（即ち、画像蓄積位置と画像読取位置
とが並ぶ方向）への往復移動と、第２のねじ棒５２の軸
線に直交する方向の進退移動とが可能にされており、こ
れらの移動動作を組み合わせて移動操作することによっ
て、第１の放射線画像蓄積板３１とぶつからずに位置を
入れ替えることができる。

【０００７】なお、前記放射線画像読取装置４は、詳細
はしないが、読取装置本体４２に回転可能に装備された
回転プローブ４１の先端から、励起光の照射や発光光の
検出を行う方式のものである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】図２および図３に示し
た従来のＸ線回折装置では、最初は、例えば、第１の放
射線画像蓄積板３１を画像蓄積位置に位置させるととも
に、第２の放射線画像蓄積板３２を画像読取位置に位置
させておく。そして、この状態で第１の放射線画像蓄積
板３１にＸ線回折像を蓄積する。

【０００９】そして、Ｘ線回折像の蓄積が終了したら、
第１および第２の放射線画像蓄積板３１，３２の位置を
互いに入れ替えて、今度は、第２の放射線画像蓄積板３
２にＸ線回折像を蓄積するとともに、第１の放射線画像
蓄積板３１に蓄積されているＸ線回折像を放射線画像読
取装置４に読み取らせる。

【００１０】そして、第２の放射線画像蓄積板３２への
Ｘ線回折像の蓄積と第１の放射線画像蓄積板３１からの
Ｘ線回折像の読み取りとが終了したら、また、それぞれ
の放射線画像蓄積板３１，３２の位置を入れ替えて、Ｘ
線回折像の蓄積と、Ｘ線回折像の読み取りとを繰り返
す。

【００１１】以上の動作を次々と繰り返すことによっ
て、一つのＸ線回折像蓄積動作を終了した場合に、その
蓄積した画像の読み取りが終了するまで待たずに、直に
次のＸ線回折像の蓄積動作に移ることができ、したがっ
て、極めて能率的な測定が可能になり、例えば、結晶の
時間分解解析測定等における時間分解能の著しい向上も
期待できることとなる。

【００１２】しかし、図２および図３に示したＸ線回折
装置の場合、２枚の放射線画像蓄積板３１，３２同士を
蓄積板の面に沿う方向に離間させて同一面上に並べた構
造であるため、各放射線画像蓄積板３１，３２を移動操
作する移動機構５としては、図示のように、放射線画像
蓄積板の３枚分あるいはそれ以上の長さに渡って放射線
画像蓄積板を往復動させる機構（ねじ棒５１，５２や案
内用のレール等）や、一方の放射線画像蓄積板を面と直
交する方向に往復動させる機構（ねじ棒５２ｇや案内用
のレール等）が必要で、移動機構５の構成が複雑化する
とともに、ねじ棒５１，５２や案内レールやこれらを支
えるベース部品などの長大化する部品の加工精度の維持
が困難になり、その結果、大きな設置スペースが必要に
なると同時に、それぞれの放射線画像蓄積板の位置を入
れ替える際の位置の再現性を向上させることが困難にな
るという問題が生じていた。

【００１３】また、２枚の放射線画像蓄積板しか取り扱
うことができないため、時間的な間隔をあけずに多数の
回折像の測定が必要となる回折測定には利用することが
できず、回折測定の用途が限られてしまうという問題も
あった。

【００１４】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、放射線画像蓄積板を画像蓄積位置および画像読取位
置に移動させる移動機構をコンパクトな構成とすること
ができて、Ｘ線回折装置としての設置スペースをコンパ
クトにすることができ、かつ、前記移動機構によって放
射線画像蓄積板を画像蓄積位置あるいは画像読取位置に
移動させる際の位置の再現性に優れ、しかも、連続して
多数のＸ線回折像を蓄積することもできて、測定処理の
能率向上を図ると同時に、多様な回折測定を可能にする
ことのできるＸ線回折装置を提供することを目的とす
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明に係るＸ線回折装
置は、入射Ｘ線の進路上となる所定位置に試料を支持す
るための試料支持手段と、この試料支持手段によって所
定位置に支持された試料に対して入射Ｘ線を照射するＸ
線発生手段と、該Ｘ線発生手段が前記試料支持手段によ
って所定位置に支持されている試料に入射Ｘ線を照射し
たときに該試料から生ずるＸ線回折像を蓄積するための
複数枚の放射線画像蓄積板と、これらの複数枚の放射線
画像蓄積板を画像読取位置あるいは画像蓄積位置に移動
操作する移動機構と、前記移動機構によって画像読取位
置に位置設定されている放射線画像蓄積板から放射線画
像を読み取る放射線画像読取装置とを備えた構成をなし
ている。

【００１６】ここに、前記移動機構は、回転中心軸を有
するとともにこの回転中心軸からの離間距離を等しくし
て前記複数枚の放射線画像蓄積板を回転中心軸の回りに
支持した蓄積板支持梁と、この蓄積板支持梁をその回転
中心軸の回りに回転操作する支持梁回転駆動手段とを具
備し、かつ、前記蓄積板支持梁上の各放射線画像蓄積板
は放射線画像を蓄積する放射線画像蓄積面を前記回転中
心軸に対して外方に向けた姿勢で支持された構成をなし
ている。

【００１７】また、前記放射線画像蓄積板が試料支持手
段に支持された試料と対峙する前記画像蓄積位置や、放
射線画像蓄積板が前記放射線画像読取装置に対峙する画
像読取位置は、いずれも、蓄積板支持梁の周囲に設定し
ている。

【００１８】そして、前記支持梁回転駆動手段によって
蓄積板支持梁を回転操作することによって、蓄積板支持
梁上の任意の放射線画像蓄積板を前記画像読取位置ある
いは画像蓄積位置に位置決めする。

【００１９】

【作用】本発明に係るＸ線回折装置では、装備した放射
線画像蓄積板の画像蓄積位置あるいは画像読取位置への
移動には、放射線画像蓄積板を支持している蓄積板支持
梁の回転動作を利用する構成であるため、放射線画像蓄
積板を画像蓄積位置あるいは画像読取位置へ移動させる
場合の位置の再現性を向上させることが可能で、また、
放射線画像蓄積板を画像蓄積位置あるいは画像読取位置
に移動させるための移動機構のコンパクト化を図って、
Ｘ線回折装置としての設置スペースをコンパクトにする
ことができる。

【００２０】また、装備する放射線画像蓄積板は、３枚
以上の任意に設定することも可能で、連続して多数のＸ
線回折像を蓄積することもできて、測定処理の能率向上
を図ると同時に、多様な回折測定を可能にすることので
きる。

【００２１】

【実施例】図１および図４は、本発明に係るＸ線回折装
置の一実施例を示したものである。この一実施例のＸ線
回折装置は、入射Ｘ線６の進路上となる所定位置に試料
１を支持するための試料支持手段７と、この試料支持手
段７によって所定位置に支持された試料１に対して入射
Ｘ線６を照射するＸ線発生手段８と、該Ｘ線発生手段８
が前記試料支持手段７によって所定位置に支持されてい
る試料１に入射Ｘ線６を照射したときに該試料１から生
ずるＸ線回折像を蓄積するための２枚の放射線画像蓄積
板９，１０と、これらの放射線画像蓄積板９，１０を画
像読取位置あるいは画像蓄積位置に移動操作する移動機
構１１と、この移動機構１１によって画像読取位置に位
置設定されている放射線画像蓄積板から放射線画像を読
み取る放射線画像読取装置１２とを備えた構成とされて
いる。

【００２２】ここに、前記試料１は、結晶性試料であ
り、例えば、結晶の形態が時々刻々変化するコバロキシ
ム錯体等も対象とされ得る。

【００２３】前記試料支持手段７は、この一実施例の場
合は、前記試料１に対するＸ線照射方向を変化させるた
めに保持した試料１を軸線１ａの回りに回転操作するＸ
線ゴニオメータとしての機能を備えている。なお、前記
軸線１ａは、図１では、入射Ｘ線６に直交している。

【００２４】前記放射線画像蓄積板９，１０は、いずれ
も、円柱の外周面に密着する如く湾曲した円弧板状の基
板の内周面に放射線画像蓄積性物質を塗布したもので、
放射線画像蓄積性物質が塗布された内周面全域が放射線
画像蓄積面９ａ，１０ａとなっている。これらの放射線
画像蓄積板９，１０に塗布されている放射線画像蓄積性
物質は、Ｘ線等の放射線が照射されると、その放射線照
射による像を潜像として蓄積し、その潜像に所定の励起
用の光を照射すると、その潜像に対応して輝尽発光を行
う性質を有するものである。なお、この放射線画像蓄積
性物質自体は、公知のものである。前記放射線画像蓄積
板９，１０は、寸法、形状が全く同一のものである。

【００２５】前記移動機構１１は、図４にも示すよう
に、回転中心軸１４を有するとともにこの回転中心軸１
４からの離間距離を等しくして前記２枚の放射線画像蓄
積板９，１０を回転中心軸の回りに支持した蓄積板支持
梁１５と、この蓄積板支持梁１５をその回転中心軸１４
の回りに回転操作する支持梁回転駆動手段１６と、前記
蓄積板支持梁１５上で各放射線画像蓄積板９，１０を回
転中心軸１４方向に移動操作するための蓄積板進退手段
１７とを具備した構成とされている。

【００２６】以下、図１および図４に基づいて、移動機
構１１の各部の構成について詳述する。

【００２７】前記蓄積板支持梁１５は、前記放射線画像
蓄積板９を回転中心軸１４に沿って移動自在に支持する
ための２本のガイド部材１９ａ，１９ｂと、前記放射線
画像蓄積板１０を回転中心軸１４に沿って移動自在に支
持するための２本のガイド部材２０ａ，２０ｂと、前記
回転中心軸１４を提供している軸部材２１と、この軸部
材２１の両端に固設されて前述の各ガイド部材１９ａ，
１９ｂ，２０ａ，２０ｂを固定支持している円板状の端
部部材２２，２３とを備えた構成とされている。前述の
ガイド部材１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂと、軸部材
２１と、端部部材２２，２３とは、一体化され、前記支
持梁回転駆動手段１６によって回転中心軸１４回りに回
転駆動される。

【００２８】以上の蓄積板支持梁１５上では、前記放射
線画像蓄積板９は、外周部に固設したブロック９ｂに前
記ガイド部材１９ａ，１９ｂが挿通することによって、
前記回転中心軸１４に沿って移動自在に支持されてお
り、また、放射線画像蓄積板１０は、外周部に固設した
ブロック１０ｂに前記ガイド部材２０ａ，２０ｂが挿通
することによって、前記回転中心軸１４に沿って移動自
在に支持されている。

【００２９】なお、前記蓄積板支持梁１５上の各放射線
画像蓄積板９，１０は、放射線画像を蓄積する放射線画
像蓄積面９ａ，１０ａを前記回転中心軸に対して外方に
向けてた姿勢で、回転中心軸１４を挟んで対称に装備さ
れている。このような装備によって、放射線画像蓄積板
が試料支持手段７に支持された試料１と対峙する画像蓄
積位置と、放射線画像蓄積板が前記放射線画像読取装置
１２に対峙する画像読取位置とは、いずれも、蓄積板支
持梁１５の周囲で、回転中心軸１４を挟んで反対側に位
置した関係になっている。

【００３０】前記支持梁回転駆動手段１６は、前記蓄積
板支持梁１５を回転自在に支持する支持構造物としても
機能するもので、前記端部部材２２側で前記軸部材２１
を回転自在に支持する軸受体１６ａと、端部部材２３側
で軸部材２１を回転自在に支持した軸受体１６ｂとで構
成されており、一方の軸受体１６ａ内には、前記軸部材
２１を回転駆動する駆動機構が装備され、この駆動機構
による軸部材２１の回転量（即ち、蓄積板支持梁１５の
回転量）は、図示略の制御装置によって制御される構成
となっている。

【００３１】前記蓄積板進退手段１７は、前記軸部材２
１と並行に装備されるとともに前記ブロック９ｂに螺合
した第１のねじ棒１７ａと、前記軸部材２１と並行に装
備されるとともに前記ブロック１０ｂに螺合した第２の
ねじ棒１７ｂと、これらのねじ棒１７ａ，１７ｂを回転
駆動するために端部部材２３に取り付けられたねじ棒駆
動機構１７ｃ，１７ｄとで構成される。それぞれのねじ
棒駆動機構１７ｃ，１７ｄは小型のパルスモータを利用
したもので、ねじ棒１７ａ，１７ｂはそれぞれ独立して
回転量を制御することができる。

【００３２】この蓄積板進退手段１７は、前記放射線画
像読取装置１２による読取処理時に、放射線画像蓄積板
を回転中心軸１４の方向に移動させることによって、読
取処理時における軸線方向の読取走査を実現する。ま
た、前記支持梁回転駆動手段１６によって蓄積板支持梁
１５を回転駆動する前に各放射線画像蓄積板９，１０を
画像読取位置や画像蓄積位置から退避させることによっ
て、蓄積板支持梁１５を回転駆動させた時に蓄積板支持
梁１５上の各放射線画像蓄積板９，１０が試料支持手段
７や放射線画像読取装置１２と干渉することを防止す
る。

【００３３】なお、図４では、実線で描いた放射線画像
蓄積板９の位置が画像蓄積位置に相当し、実線で描いた
放射線画像蓄積板１０の位置が画像読取位置にあること
を示している。また、図４上で、２点鎖線で描いた放射
線画像蓄積板９，１０は、前記蓄積板進退手段１７によ
って退避させた状態を示している。

【００３４】前記試料支持手段７による試料支持位置
は、画像蓄積位置にある放射線画像蓄積板の湾曲面の曲
率中心に一致する。

【００３５】前記放射線画像読取装置１２は、図１に示
すように、前記軸受体１６ａに支持された読取装置本体
２５と、この読取装置本体２５に回転自在に支持された
中空軸２６と、この中空軸２６の先端に設けられたプロ
ーブ２７とバランスアーム２８とを具備した構成とされ
ている。

【００３６】前記読取装置本体２５は、図４に示すよう
に、前記軸受体１６ａから水平に張り出した第１のアー
ム部２５ａと、この第１のアーム部２５ａの先端部から
回転中心軸１４に沿って延出した第２のアーム部２５ｂ
とを備えたもので、第２のアーム部２５ｂの中心軸は画
像読取位置に位置した放射線画像蓄積板の湾曲面の曲率
中心軸に一致している。

【００３７】また、この読取装置本体２５内には、図示
はしないが、前記中空軸２６を回転駆動する駆動機構の
他に、励起光の光源や発光光の検出装置等が装備されて
いる。

【００３８】前記中空軸２６は、前記第２のアーム部２
５ｂに回転自在に支持されるとともに、読取装置本体２
５内に装備された駆動機構によって回転駆動される。

【００３９】前記プローブ２７およびバランスアーム２
８は、前記中空軸２６の先端寄りの位置から当該中空軸
２６の半径方向に張り出して設けられている。そして、
前記中空軸２６およびプローブ２７の内部には、前記励
起光を読取装置本体２５内に装備された光源からプロー
ブ２７の先端部まで導くとともに、放射線画像蓄積板上
での発光光を読取装置本体２５内に装備された発光光検
出装置まで導く導光手段が挿通されている。このような
構成により、放射線画像読取装置１２は、プローブ２７
の先端部から励起光の照射および発光光の検出を行う。
なお、読取装置本体２５内に装備された発光光検出手段
は、コンピュータ等の画像処理装置に接続されている。

【００４０】前記中空軸２６の中心軸は、前記第２のア
ーム部２５ｂの中心軸に一致しており、従って、画像読
取位置にある放射線画像蓄積板の湾曲面（円弧面）の曲
率中心に一致している。したがって、前記プローブ２７
を回転させたとき、該プローブ２７の先端が描く円筒と
画像読取位置に位置した放射線画像蓄積板の放射線画像
蓄積面のなす円筒とは同心であり、プローブ２７の描く
円の僅かに外側に、前記放射線画像蓄積面が位置する。

【００４１】なお、前記第２のアーム部２５ｂの先端寄
りの位置には、読取走査が終了した放射線画像蓄積板の
放射線画像蓄積面を初期化するための消去用ハロゲンラ
ンプ３０が装備されている。

【００４２】以上の一実施例のＸ線回折装置における測
定処理について説明する。

【００４３】まず、一方の放射線画像蓄積板９を画像蓄
積位置に位置させた状態で、放射線画像の蓄積処理を行
う。他方の放射線画像蓄積板１０は、画像読取位置で待
機させておくか、あるいは次に画像蓄積位置に移動させ
るときのために、放射線画像読取装置１２と干渉しない
範囲に退避させる。

【００４４】そして、前記放射線画像蓄積板９に対する
蓄積処理が終了したら、前記放射線画像蓄積板９および
放射線画像蓄積板１０を図４に２点鎖線で示した位置に
退避させ、支持梁回転駆動手段１６によって蓄積板支持
梁１５を１８０度だけ回転させる。

【００４５】そして、放射線画像蓄積板９および放射線
画像蓄積板１０を蓄積板進退手段１７によって画像読取
位置および画像蓄積位置に移動させ、放射線画像蓄積板
１０に対しては蓄積処理を実行し、放射線画像蓄積板９
に対しては読取処理を実行する。

【００４６】放射線画像読取装置１２による読取処理
は、放射線画像蓄積板を退避位置から画像読取位置側に
移動させて、放射線画像蓄積板の端部が読取開始位置か
ら読取終了位置に到達するまで、前記プローブ２７が中
空軸２６の回転によって１回転する毎に放射線画像蓄積
板を回転中心軸１４方向に一定量ずつ移動させることに
よって、放射線画像蓄積板上の放射線画像蓄積面の全域
を読取走査することが可能になる。

【００４７】そして、放射線画像蓄積板９に対する読取
処理と、放射線画像蓄積板１０に対する蓄積処理とが終
了したら、それぞれの放射線画像蓄積板９，１０を蓄積
板進退手段１７によって退避位置に移動させ、再度、蓄
積板支持梁１５を１８０度回転させることによって、そ
れぞれの放射線画像蓄積板の位置を入れ替える。

【００４８】そして、放射線画像蓄積板９を画像蓄積位
置に、放射線画像蓄積板１０を画像読取位置に位置させ
て、蓄積処理と読取処理とを並行して実行する。

【００４９】以上のように、放射線画像蓄積板９，１０
の一方を画像蓄積位置に位置させて蓄積処理をする間、
他方は画像読取位置で読取処理をさせるという手順を繰
り返すことによって、連続して蓄積処理を続行すること
ができる。

【００５０】なお、蓄積処理に要する時間と比較して、
読取処理に要する時間の方が長くなるような場合には、
読取処理は行わずに、先に、２枚の放射線画像蓄積板
９，１０の双方に蓄積処理を済ませた後で、２枚の放射
線画像蓄積板９，１０に蓄積されている放射線画像を読
取るといった利用も考えられる。

【００５１】以上の一実施例では、各放射線画像蓄積板
９，１０の回転中心軸１４方向への移動は、放射線画像
読取装置１２等との干渉を避けるためのもので、図２，
３に示した従来の場合と比較すると、放射線画像蓄積板
９，１０の移動範囲を小さくすることができ、移動機構
１１の長大化を避けて、移動機構１１のコンパクト化を
図ることができ、Ｘ線回折装置としての設置スペースを
コンパクトにすることができる。

【００５２】また、前記移動機構１１は、蓄積板支持梁
１５を１８０゜回転させるという動作によって、放射線
画像蓄積板の位置を画像蓄積位置側から画像読取位置側
へ入れ替えるもので、位置の入れ替えに回転動作を利用
しているため、位置決め精度を高め易く、放射線画像蓄
積板を画像蓄積位置あるいは画像読取位置に移動させる
際の位置の再現性に優れる。

【００５３】しかも、蓄積処理と読取処理とを並行して
実行することができるから、連続して多数のＸ線回折像
を蓄積することもできて、測定処理の能率向上を図ると
同時に、多様な回折測定を可能にすることのできる。

【００５４】なお、前述の一実施例の場合には、装備す
る放射線画像蓄積板は２枚であったため、移動機構１１
は蓄積板支持梁１５を１８０゜回転させることによっ
て、画像蓄積位置から画像読取位置への位置の入れ替え
を行うこととした。しかし、蓄積板支持梁１５上に装備
する放射線画像蓄積板の枚数は、前述の一実施例におけ
る２枚に限定するものではない。蓄積板支持梁１５の回
転中心軸１４を中心として、３枚以上の任意枚数だけ放
射線画像蓄積板を装備することも可能である。

【００５５】例えば、蓄積板支持梁１５上に４枚の放射
線画像蓄積板を装備する場合は、隣接する放射線画像蓄
積板相互が、回転中心軸１４を中心として９０゜の間隔
で並ぶ構成として、蓄積板支持梁１５を９０゜回転させ
る毎に、画像蓄積位置および画像読取位置に位置する放
射線画像蓄積板が一つずつずれるようにすれば良い。

【００５６】放射線画像蓄積板の装備枚数を増加させれ
ば、連続して多数のＸ線回折像を蓄積する効果は、一段
と向上し、測定処理の大幅な能率向上や多様な回折測定
の実現が可能になる。

【００５７】また、前述の一実施例では、放射線画像読
取装置１２は回転中心軸１４の軸線方向には動かない構
成としたため、蓄積板支持梁１５の回転動作時に、放射
線画像蓄積板が放射線画像読取装置１２等と干渉するこ
とを防止することから、放射線画像蓄積板９，１０を回
転中心軸１４方向に移動可能な構成とした。しかし、放
射線画像読取装置１２を回転中心軸１４方向に移動可能
に装備しておけば、移動機構１１の蓄積板進退手段１７
を削除することも可能である。そして、移動機構１１か
ら蓄積板進退手段１７を削除した場合には、単純に蓄積
板支持梁１５の回転動作だけで、画像蓄積位置から画像
読取位置への位置の入れ替えが可能になり、位置の入れ
替え時の位置の再現性がさらに向上すると同時に、移動
機構１１がさらにコンパクト化されることになる。

【００５８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係るＸ線回折装置では、装備した放射線画像蓄積板の
画像蓄積位置あるいは画像読取位置への移動には、放射
線画像蓄積板を支持している蓄積板支持梁の回転動作を
利用する構成であるため、放射線画像蓄積板を画像蓄積
位置あるいは画像読取位置へ移動させる場合の位置の再
現性を向上させることが可能で、また、放射線画像蓄積
板を画像蓄積位置あるいは画像読取位置に移動させるた
めの移動機構のコンパクト化を図って、Ｘ線回折装置と
しての設置スペースをコンパクトにすることができる。

【００５９】また、装備する放射線画像蓄積板は、３枚
以上の任意に設定することも可能で、連続して多数のＸ
線回折像を蓄積することもできて、測定処理の能率向上
を図ると同時に、多様な回折測定を可能にすることので
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の横断面図である

【図２】従来のＸ線回折装置の斜視図である。

【図３】従来のＸ線回折装置の平面図である。

【図４】本発明の一実施例の平面図である。

【符号の説明】

１ 試料 ６ 入射Ｘ線 ８ Ｘ線発生手段 ９，１０ 放射線画像蓄積板 １１ 移動機構 １２ 放射線画像読取装置 １４ 回転中心軸 １５ 蓄積板支持梁 １６ 支持梁回転駆動手段 １７ 蓄積板進退手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入射Ｘ線の進路上となる所定位置に試料
   を支持するための試料支持手段と、この試料支持手段に
   よって所定位置に支持された試料に対して入射Ｘ線を照
   射するＸ線発生手段と、該Ｘ線発生手段が前記試料支持
   手段によって所定位置に支持されている試料に入射Ｘ線
   を照射したときに該試料から生ずるＸ線回折像を蓄積す
   るための複数枚の放射線画像蓄積板と、これらの複数枚
   の放射線画像蓄積板を画像読取位置あるいは画像蓄積位
   置に移動操作する移動機構と、前記移動機構によって画
   像読取位置に位置設定されている放射線画像蓄積板から
   放射線画像を読み取る放射線画像読取装置とを備えたＸ
   線回折装置であって、 前記移動機構は、回転中心軸を有するとともにこの回転
   中心軸からの離間距離を等しくして前記複数枚の放射線
   画像蓄積板を回転中心軸の回りに支持した蓄積板支持梁
   と、この蓄積板支持梁をその回転中心軸の回りに回転操
   作する支持梁回転駆動手段とを具備し、かつ、前記蓄積
   板支持梁上の各放射線画像蓄積板は放射線画像を蓄積す
   る放射線画像蓄積面を前記回転中心軸に対して外方に向
   けた姿勢で支持された構成をなし、 前記放射線画像蓄積板が試料支持手段に支持された試料
   と対峙する前記画像蓄積位置や、放射線画像蓄積板が前
   記放射線画像読取装置に対峙する画像読取位置は、いず
   れも、蓄積板支持梁の周囲に設定し、 前記支持梁回転駆動手段によって蓄積板支持梁を回転操
   作することによって、蓄積板支持梁上の任意の放射線画
   像蓄積板を前記画像読取位置あるいは画像蓄積位置に位
   置決めすることを特徴とするＸ線回折装置。