JPH0617293Y2 - 半導体製造装置用自動搬送機の搬送機構 - Google Patents
半導体製造装置用自動搬送機の搬送機構Info
- Publication number
- JPH0617293Y2 JPH0617293Y2 JP3244087U JP3244087U JPH0617293Y2 JP H0617293 Y2 JPH0617293 Y2 JP H0617293Y2 JP 3244087 U JP3244087 U JP 3244087U JP 3244087 U JP3244087 U JP 3244087U JP H0617293 Y2 JPH0617293 Y2 JP H0617293Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- guide
- drive shaft
- guides
- pitch
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は半導体製造装置の自動搬送機に関し、搬送物の
搬送ピッチを複数段切り換えすることができるようにし
た搬送機構に関するものである。
搬送ピッチを複数段切り換えすることができるようにし
た搬送機構に関するものである。
［従来の技術］ 従来、この種の搬送機構は第５図，第６図(a),(b)に示
すように搬送用駆動軸１を中心として直径方向に伸びた
アーム２上に搬送ピッチを直径として円運動をする位置
にローラー3a,3bを取付け、ガイド４に搬送ピッチ毎に
設けた水平方向の長溝７に該ローラー3a,3bを嵌合さ
せ、駆動軸１の駆動によりアーム２を回動させローラー
3a,3bを長溝７に沿って転動しガイド４を中心としてロ
ーラー3a,3bの円運動を直線運動に変え、搬送ピッチＰ
ずつの等ピッチ搬送を行なう機構になっている。
すように搬送用駆動軸１を中心として直径方向に伸びた
アーム２上に搬送ピッチを直径として円運動をする位置
にローラー3a,3bを取付け、ガイド４に搬送ピッチ毎に
設けた水平方向の長溝７に該ローラー3a,3bを嵌合さ
せ、駆動軸１の駆動によりアーム２を回動させローラー
3a,3bを長溝７に沿って転動しガイド４を中心としてロ
ーラー3a,3bの円運動を直線運動に変え、搬送ピッチＰ
ずつの等ピッチ搬送を行なう機構になっている。
［考案が解決しようとする問題点］ 上述した従来の搬送機構を有する搬送機は、等ピッチ搬
送しかできないため、搬送の途中で搬送ピッチを変えた
い場合、別に搬送機を装備し、搬送機同士が中継を行な
う方法をとらなければならず、また長ピッチ，短ピッチ
搬送を繰り返し行う搬送は実現がほとんど不可能である
という欠点がある。
送しかできないため、搬送の途中で搬送ピッチを変えた
い場合、別に搬送機を装備し、搬送機同士が中継を行な
う方法をとらなければならず、また長ピッチ，短ピッチ
搬送を繰り返し行う搬送は実現がほとんど不可能である
という欠点がある。
本考案の目的は前記問題点を解消した搬送機構を提供す
ることにある。
ることにある。
［考案の従来技術に対する相違点］ 上述した従来の搬送機構に対し、本考案は複数段のアー
ム，ローラー及びガイドを有し、１台の搬送機により搬
送の途中で搬送ピッチを複数段切り換えすることができ
るという独創的内容を有する。
ム，ローラー及びガイドを有し、１台の搬送機により搬
送の途中で搬送ピッチを複数段切り換えすることができ
るという独創的内容を有する。
［問題点を解決するための手段］ 前記目的を達成するため、本考案に係る半導体製造装置
用自動搬送機の搬送機構は、駆動軸と、複数のアーム
と、ローラーと、複数のガイドとを有し、駆動軸の回動
運動を直線運動に変換して複数のガイドを異なる搬送ピ
ッチで個別に搬送する半導体製造装置用自動搬送機の搬
送機構であって、 駆動軸は、回動可能に支持されたものであり、 複数のアームは、前記駆動軸を中心とした直径方向の長
さが異なり、該駆動軸により回動運動されるものであ
り、 ローラーは、各アームの両端に軸支され、前記駆動軸を
中心として各アームの長さを直径とする円軌道上を円運
動するものであり、 複数のガイドは、各アームに対応して平行に移動可能に
配列され、各ガイドは、長溝を有しており、 各ガイドの長溝は、ガイドの移動方向とは直交する方向
に刻設され、かつ対応するアームのローラー間間隔のピ
ッチでガイドの移動方向に沿って配置され、アームのロ
ーラーを脱着可能に受け入れるものであり、 アームのローラーを対応するガイドの長溝内にそれぞれ
摺動させてアームの回動運動をガイドの直線運動に変換
し、ガイドに送りを与えるようにしたものである。
用自動搬送機の搬送機構は、駆動軸と、複数のアーム
と、ローラーと、複数のガイドとを有し、駆動軸の回動
運動を直線運動に変換して複数のガイドを異なる搬送ピ
ッチで個別に搬送する半導体製造装置用自動搬送機の搬
送機構であって、 駆動軸は、回動可能に支持されたものであり、 複数のアームは、前記駆動軸を中心とした直径方向の長
さが異なり、該駆動軸により回動運動されるものであ
り、 ローラーは、各アームの両端に軸支され、前記駆動軸を
中心として各アームの長さを直径とする円軌道上を円運
動するものであり、 複数のガイドは、各アームに対応して平行に移動可能に
配列され、各ガイドは、長溝を有しており、 各ガイドの長溝は、ガイドの移動方向とは直交する方向
に刻設され、かつ対応するアームのローラー間間隔のピ
ッチでガイドの移動方向に沿って配置され、アームのロ
ーラーを脱着可能に受け入れるものであり、 アームのローラーを対応するガイドの長溝内にそれぞれ
摺動させてアームの回動運動をガイドの直線運動に変換
し、ガイドに送りを与えるようにしたものである。
［実施例］ 以下、本考案の実施例を図により説明する。
（実施例１） 第１図，第２図(a),(b),(c)において、本実施例に係る
搬送機構は、駆動軸１と、２本のアーム２１，２２と、
ローラー３ａ，３ｂ，５ａ，５ｂと、２つのガイド
４１，４２とを有し、駆動軸１の回動運動を直線運動に
変換して２つのガイド４１，４２を異なる搬送ピッチで
個別に搬送する半導体製造装置用自動搬送機の搬送機構
である。
搬送機構は、駆動軸１と、２本のアーム２１，２２と、
ローラー３ａ，３ｂ，５ａ，５ｂと、２つのガイド
４１，４２とを有し、駆動軸１の回動運動を直線運動に
変換して２つのガイド４１，４２を異なる搬送ピッチで
個別に搬送する半導体製造装置用自動搬送機の搬送機構
である。
駆動軸１は、搬送機に回動可能に支持されたものであ
り、２本のアーム２１，２２は、駆動軸１を中心とした
直径方向の長さが異なり、駆動軸１に内外に平行に配置
して取付けられ、駆動軸１により回動運動されるもので
ある。
り、２本のアーム２１，２２は、駆動軸１を中心とした
直径方向の長さが異なり、駆動軸１に内外に平行に配置
して取付けられ、駆動軸１により回動運動されるもので
ある。
ローラー３ａ，３ｂ，５ａ，５ｂは、各アーム２１，２
２の両端に軸支され、駆動軸１を中心として各アーム２
１，２２の長さを直径とする円軌道上を円運動するよう
になっている。
２の両端に軸支され、駆動軸１を中心として各アーム２
１，２２の長さを直径とする円軌道上を円運動するよう
になっている。
２つのガイド４１，４２は、各アーム２１，２２に対応
して平行に移動可能に配列され、各ガイド４１，４
２は、長溝７１，７２を有しており、各ガイド４１，４
２の長溝７１，７２は、ガイド４１，４２の移動方向と
は直交する方向に刻設され、かつ対応するアーム２１，
２２のローラー３ａ，３ｂ，５ａ，５ｂ間間隔のピッチ
でガイド４１，４２の移動方向に沿って配置され、アー
ム２１，２２のローラー３ａ，３ｂ，５ａ，５ｂを脱着
可能に受け入れるものであり、アーム２１，２２のロー
ラー３ａ，３ｂ，５ａ，５ｂを対応するガイド４１，４
２の長溝７１，７２内に摺動させてアームの回動運動を
ガイドの直線運動に変換し、ガイドに送りを与えるよう
になっている。したがって、２つのガイド４１，４
２は、いずれか１段の長溝７１又は７２を介してローラ
ー３ａ，３ｂ，又は５ａ，５ｂからの動力の伝達が行わ
れ、同時に２段以上の長溝がローラーと干渉しない位置
関係で平行に配列され、かつ一定ピッチずらせて配置さ
れ、搬送途中で搬送ピッチの複数段の切り換えが行われ
るようになっている。
して平行に移動可能に配列され、各ガイド４１，４
２は、長溝７１，７２を有しており、各ガイド４１，４
２の長溝７１，７２は、ガイド４１，４２の移動方向と
は直交する方向に刻設され、かつ対応するアーム２１，
２２のローラー３ａ，３ｂ，５ａ，５ｂ間間隔のピッチ
でガイド４１，４２の移動方向に沿って配置され、アー
ム２１，２２のローラー３ａ，３ｂ，５ａ，５ｂを脱着
可能に受け入れるものであり、アーム２１，２２のロー
ラー３ａ，３ｂ，５ａ，５ｂを対応するガイド４１，４
２の長溝７１，７２内に摺動させてアームの回動運動を
ガイドの直線運動に変換し、ガイドに送りを与えるよう
になっている。したがって、２つのガイド４１，４
２は、いずれか１段の長溝７１又は７２を介してローラ
ー３ａ，３ｂ，又は５ａ，５ｂからの動力の伝達が行わ
れ、同時に２段以上の長溝がローラーと干渉しない位置
関係で平行に配列され、かつ一定ピッチずらせて配置さ
れ、搬送途中で搬送ピッチの複数段の切り換えが行われ
るようになっている。
本実施例は搬送途中で搬送ピッチＰｌからＰｓに切り換
える場合の搬送機構である。第２図(a)の状態にあった
搬送機は動力源Ｍによる駆動軸１の回転でアーム２１を
回転させてローラー3a,3bを長溝７１に沿って誘導しロ
ーラー3a,3bの円運動によりＦｌを支点として搬送ピッ
チＰｌだけ横移動し、第２図(b)の状態となる。動力源
Ｍが引き続き回転すると、今度はアーム２２のローラー
5a,5bがガイド４２の長溝７２に嵌合する。一方アーム
２１のローラー3a,3bはガイド４１の長溝７１から離脱
する。したがって、アーム２２のローラー5a,5bとガイ
ド４２の長溝７２との組合せによりＦｓを支点として搬
送ピッチＰｓだけ横移動し第２図(c)の状態となる。
える場合の搬送機構である。第２図(a)の状態にあった
搬送機は動力源Ｍによる駆動軸１の回転でアーム２１を
回転させてローラー3a,3bを長溝７１に沿って誘導しロ
ーラー3a,3bの円運動によりＦｌを支点として搬送ピッ
チＰｌだけ横移動し、第２図(b)の状態となる。動力源
Ｍが引き続き回転すると、今度はアーム２２のローラー
5a,5bがガイド４２の長溝７２に嵌合する。一方アーム
２１のローラー3a,3bはガイド４１の長溝７１から離脱
する。したがって、アーム２２のローラー5a,5bとガイ
ド４２の長溝７２との組合せによりＦｓを支点として搬
送ピッチＰｓだけ横移動し第２図(c)の状態となる。
また、第２図(c)の状態から動力源Ｍを逆回転させる
と、Ｆｓ′及びＦｌ′を支点として上記と全く逆の動き
をする。
と、Ｆｓ′及びＦｌ′を支点として上記と全く逆の動き
をする。
（実施例２） 第３図は本考案の第２の実施例を示す平面図、第４図
(a),(b),(c),(d)は動作説明図である。本実施例は搬送
途中で搬送ピッチＱｌからＱｍに、更にＱｍからＱｓに
切り換える場合の搬送機構で、アーム２１，２２，
２３、ローラー3a,3b,5a,5b,6a,6b、ガイド４１，
４２，４３は各々３段となる。各段のガイド４１，
４２，４３には各搬送ピッチに合せてそれぞれ長溝
７１，７２，７３を設けてある。第４図(a)の状態にあ
った搬送機は動力源Ｍの回転によるアーム２１を介した
ローラー3a,3bの円運動とガイド４１の長溝７１との組
合せによりＧｌを支点として搬送ピッチＱｌだけ横移動
し、第４図(b)の状態となる。次にアーム２２を介した
ローラー5a,5bの円運動とガイド４２の長溝７２との組
合せによりＧｍを支点として搬送ピッチＱｍだけ移動し
第４図(c)の状態となる。さらにアーム２３を介したロ
ーラー6a,6bの円運動とガイド４３の長溝７３との組合
せによりＧｓを支点として搬送ピッチＱｓだけ横移動し
第４図(d)の状態となる。
(a),(b),(c),(d)は動作説明図である。本実施例は搬送
途中で搬送ピッチＱｌからＱｍに、更にＱｍからＱｓに
切り換える場合の搬送機構で、アーム２１，２２，
２３、ローラー3a,3b,5a,5b,6a,6b、ガイド４１，
４２，４３は各々３段となる。各段のガイド４１，
４２，４３には各搬送ピッチに合せてそれぞれ長溝
７１，７２，７３を設けてある。第４図(a)の状態にあ
った搬送機は動力源Ｍの回転によるアーム２１を介した
ローラー3a,3bの円運動とガイド４１の長溝７１との組
合せによりＧｌを支点として搬送ピッチＱｌだけ横移動
し、第４図(b)の状態となる。次にアーム２２を介した
ローラー5a,5bの円運動とガイド４２の長溝７２との組
合せによりＧｍを支点として搬送ピッチＱｍだけ移動し
第４図(c)の状態となる。さらにアーム２３を介したロ
ーラー6a,6bの円運動とガイド４３の長溝７３との組合
せによりＧｓを支点として搬送ピッチＱｓだけ横移動し
第４図(d)の状態となる。
また第４図(d)の状態から動力源Ｍを逆回転させると、
Ｇｓ′，Ｇｍ′，Ｇｌ′をそれぞれ支点として上記と全
く逆の動きが行なわれる。
Ｇｓ′，Ｇｍ′，Ｇｌ′をそれぞれ支点として上記と全
く逆の動きが行なわれる。
［考案の効果］ 以上説明したように本考案は円運動を行なうアームとロ
ーラー及びその円運動を搬送機の直線運動に変えるため
のガイドを所要の搬送ピッチの種類分だけ複数段に具備
することにより、１台の搬送機で搬送途中での搬送ピッ
チの複数段の切り換えができるという効果がある。
ーラー及びその円運動を搬送機の直線運動に変えるため
のガイドを所要の搬送ピッチの種類分だけ複数段に具備
することにより、１台の搬送機で搬送途中での搬送ピッ
チの複数段の切り換えができるという効果がある。
第１図は本考案の第１の実施例を示す平面図、第２図
(a)は同正面図、第２図(b)は第２図(a)の状態から搬送
ピッチＰｌだけ搬送された状態の正面図、第２図(c)は
第２図(b)の状態から搬送ピッチＰｓだけ搬送された状
態の正面図、第３図は本考案の第２の実施例を示す平面
図、第４図(a)は同正面図、第４図(b)は第４図(a)の状
態から搬送ピッチＱｌだけ搬送された状態の正面図、第
４図(c)は第４図(b)の状態から搬送ピッチＱｍだけ搬送
された状態の正面図、第４図(d)は第４図(c)の状態から
搬送ピッチＱｓだけ搬送された状態の正面図、第５図は
従来の搬送機構の平面図、第６図(a)は同正面図、第６
図(b)は第６図(a)の状態から搬送ピッチＰだけ搬送され
た状態の正面図である。 １……駆動軸 ２１，２２，２３……アーム ４１，４２……ガイド 3a,3b,5a,5b,6a,6b……ローラー ７１，７２，７３……長溝
(a)は同正面図、第２図(b)は第２図(a)の状態から搬送
ピッチＰｌだけ搬送された状態の正面図、第２図(c)は
第２図(b)の状態から搬送ピッチＰｓだけ搬送された状
態の正面図、第３図は本考案の第２の実施例を示す平面
図、第４図(a)は同正面図、第４図(b)は第４図(a)の状
態から搬送ピッチＱｌだけ搬送された状態の正面図、第
４図(c)は第４図(b)の状態から搬送ピッチＱｍだけ搬送
された状態の正面図、第４図(d)は第４図(c)の状態から
搬送ピッチＱｓだけ搬送された状態の正面図、第５図は
従来の搬送機構の平面図、第６図(a)は同正面図、第６
図(b)は第６図(a)の状態から搬送ピッチＰだけ搬送され
た状態の正面図である。 １……駆動軸 ２１，２２，２３……アーム ４１，４２……ガイド 3a,3b,5a,5b,6a,6b……ローラー ７１，７２，７３……長溝
Claims (1)
- 【請求項１】駆動軸と、複数のアームと、ローラーと、
複数のガイドとを有し、駆動軸の回動運動を直線運動に
変換して複数のガイドを異なる搬送ピッチで個別に搬送
する半導体製造装置用自動搬送機の搬送機構であって、 駆動軸は、回動可能に支持されたものであり、 複数のアームは、前記駆動軸を中心とした直径方向の長
さが異なり、該駆動軸により回動運動されるものであ
り、 ローラーは、各アームの両端に軸支され、前記駆動軸を
中心として各アームの長さを直径とする円軌道上を円運
動するものであり、 複数のガイドは、各アームに対応して平行に移動可能に
配列され、各ガイドは、長溝を有しており、 各ガイドの長溝は、ガイドの移動方向とは直交する方向
に刻設され、かつ対応するアームのローラー間間隔のピ
ッチでガイドの移動方向に沿って配置され、アームのロ
ーラーを脱着可能に受け入れるものであり、 アームのローラーを対応するガイドの長溝内にそれぞれ
摺動させてアームの回動運動をガイドの直線運動に変換
し、ガイドに送りを与えるようにしたものであることを
特徴とする半導体製造装置用自動搬送機の搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3244087U JPH0617293Y2 (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | 半導体製造装置用自動搬送機の搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3244087U JPH0617293Y2 (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | 半導体製造装置用自動搬送機の搬送機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140632U JPS63140632U (ja) | 1988-09-16 |
| JPH0617293Y2 true JPH0617293Y2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=30839121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3244087U Expired - Lifetime JPH0617293Y2 (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | 半導体製造装置用自動搬送機の搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617293Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-03-05 JP JP3244087U patent/JPH0617293Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63140632U (ja) | 1988-09-16 |
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