JPH06169023A - 半導体パッケージ用セラミックリッド - Google Patents

半導体パッケージ用セラミックリッド

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JPH06169023A
JPH06169023A JP43A JP34126792A JPH06169023A JP H06169023 A JPH06169023 A JP H06169023A JP 43 A JP43 A JP 43A JP 34126792 A JP34126792 A JP 34126792A JP H06169023 A JPH06169023 A JP H06169023A
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soldering
solder
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thickness
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JP43A
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Koji Sugawara
幸二 菅原
Haruhiko Murata
晴彦 村田
Kazuo Kimura
賀津雄 木村
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Niterra Co Ltd
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NGK Spark Plug Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16195Flat cap [not enclosing an internal cavity]

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  • Die Bonding (AREA)
  • Casings For Electric Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体パッケージをセラミックリッドと半田封
止する場合において、リッドに設けたはんだ層のうち、
リッド側面に形成されたはんだ層の最大厚みを一定以上
にコントロールすることにより、パッケージ本体のメタ
ライズ層に流れるはんだ量が少ないために生ずる、はん
だメスニカスの不形成、不十分形成を防止し、良好な気
密封止構造形成できるリッドを提供することを目的とす
る。 【構成】リッドの側面部にはんだ層を設けたセラミック
リッドにおいて、当該側面部のはんだ層の最大厚みを4
0μm以上とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体パッケージ本体
を封止するためのセラミックリッドに関する。
【0002】
【従来の技術】半導体素子を保護するため、パッケージ
に入れて気密封止構造にすることが、一般的に行われて
いる。中でも、セラミックは強度、耐候性等の点でプラ
スチックに比較して優れており、半導体素子パッケージ
として好適に使用されている。かかるパッケージは、セ
ラミック製の容器本体に半導体素子を収容した後、リッ
ドを被せて封着し、気密封止構造としており、ピン数や
形態により、PGA等多くの種類がある。リッドには、
金属製や樹脂製と共に、気密性、強度、耐腐食性におい
て良好であるため、セラミック製のものも広く使用され
ている。
【0003】
【解決しようとする課題】パッケージ本体とリッドの両
方にセラミックを使用する場合に、リッドにはんだ層を
設け、はんだにより封着する方法がある。はんだ封着法
は、たとえば特公平3−76784等に記載されており
公知である。この方法の利点は、封着リング等のろう付
け工程が不要であり、パッケージ本体とリッドを密着
し、リフロー炉で加熱するのみで封着が行われることで
ある。
【0004】ところで、この方法においては、図2に示
す如く封着が完全な場合と、図3に示す如く封着が不完
全な場合があった。以下に、図2と図3について説明す
る 図2の完全な封着の場合には、パッケージ2のメタライ
ズ層6に対して、リッドのはんだ層が、パッケージ2の
メタライズ層6を濡らし、なだらかに流れてはんだメス
ニカス10を形成する。このような場合には、耐候性テ
スト等にも合格する良好な気密封止構造となる。一方、
図3の不完全な封着の場合には、はんだ層の量が不足し
ているため、メタライズ層6にはんだが流れず、はんだ
メスニカスが形成されないか、形成が不十分となる。こ
のような場合には、封着部分の気密性が不十分なため、
耐候性テスト等を行うとリーク不良となる場合が多く、
外観上からも封着に対する完全性が疑われ好ましくな
い。
【0005】かかる問題点に鑑み、本発明は、リッドに
設けたはんだ層のうち、リッド側面に形成されたはんだ
層の最大厚みを一定以上にコントロールすることによ
り、パッケージ本体のメタライズ層に流れるはんだ量が
少ないために生ずる、はんだメスニカスの不形成、不十
分形成を防止し、良好な気密封止構造形成できるリッド
を提供することを目的とする。尚、かかる問題点に対
し、リッドに設けたはんだ層のうち、封着面の周囲部に
形成されたはんだ層の最大厚みを一定以上にコントロー
ルしても、パッケージの微妙な反り等により、パッケー
ジ2のメタライズ層6に均一にはんだが流れず、メスニ
カス形成が不十分となる。
【0006】
【問題を解決するための手段】本発明は、側面部にはん
だ層を設けたセラミックリッドにおいて、当該側面部の
はんだ層の最大厚みが、40μm以上としたことを特徴
とする。
【0007】本発明において、セラミックリッド本体の
材質は、アルミナの他、窒化アルミ、ムライト、窒化珪
素、ガラスセラミック等のパッケージに使用されるセラ
ミック材料であれば良い。セラミックの成形方法も、プ
レス法、グリーンシート法、押し出し法等、成形方法は
問わない。はんだの材質については、Pb/Sn系のは
んだが好適であるが、その他の成分を添加してもよく、
例えば更にIn、Agを添加したPb/Sn/In/A
g系はんだも好適に用いられる。その他、Au/Sn系
等の金系低温ろう材であっても良い。はんだ層の形成方
法は、溶融したはんだにディップする方法の他、ペース
ト状のはんだを印刷する方法や、はんだメッキによる方
法、あるいはこれらを組合せる方法もある。セラミック
にはんだ層を設けるための下地として、Ag−Pd、A
g−Pt等の貴金属ペーストをスクリーン印刷で塗布
し、焼成してメタライズ層を形成することが好適に行わ
れる。その他、蒸着、スパッタリングなどを用いたり、
更にニッケルメッキ等をかける等により複合層とするこ
ともある。
【0008】
【作用】本発明は、リッド側面に形成されるはんだ層に
おける最大厚みを40μm以上としたので、パッケージ
本体と密着させてリフロー炉で封着させたときに、パッ
ケージ本体上面のメタライズ層にはんだが必要十分に流
れ、良好なはんだメニスカスを形成出来る作用を有す
る。尚、リッド側面のはんだ層の厚みは、その形成方法
から考察すると、はんだ層の端部を除き、一部のみ極端
に厚くなったり薄くなったりすることはなく、概略均一
な厚みを有すると考えられる。従って、本発明では、は
んだ層の最大厚みをもって、はんだ層の厚みと考えるこ
ととした。側面部のはんだ層の厚みの測定方法は、例え
ば、マイクロメータを用いて、はんだ層(2層分)も含
めたリッド側面の寸法を測定し、リッド自体の寸法を差
し引いて、これを半分とすることにより算出する方法が
とられる。
【0009】
【実施例】本発明の実施例を図面と共に説明する。図1
は、本発明の実施例の断面図である。プレスによって成
形した90%アルミナからなるリッド本体1の一方の面
を封着面7とし、その周囲部4及び側面部5には、Ag
−Pdペーストをスクリーン印刷した後、焼成してはん
だ層の下地となるメタライズ層を形成する。当該周囲部
のメタライズ層4は、パッケージ本体と接合される部位
である。その後、溶融したはんだ層にリッド本体1を浸
漬すると、メタライズ層4、5の上に選択的にはんだ層
3a、3bが形成される。ここで、3aは封着面の周囲
部に形成されたはんだ層であり、3bは側面に形成され
たはんだ層である。はんだの温度や引き上げ速度等の調
整、あるいはスクリーン印刷法によるはんだペーストの
塗布を加えることにより、はんだ層3bの厚みの変化し
たものを作成し、かかるリッドをパッケージ本体2と密
着し、リフロー炉に通して、パッケージ本体とリッドを
気密封止して、封止部分の外観検査、温度サイクル試験
及び熱衝撃試験を行った後のリーク検査を行った。尚、
はんだ層3aの厚みは、50〜100μmで製作した。
但し、この厚みは気密性には特に影響はなく、100μ
mを越えてもよい。表に、側面部のはんだ層の厚みと封
止部外観及び上記テスト後のリーク検査の結果を示す。
【0010】結果を表に示す。
【表】
表の結果から明かなように、はんだ層3bの厚みが40
μm未満の場合には、外観不良やリーク不良が発生す
る。これは、はんだ層3bの厚みが薄い、すなわち側面
部のはんだ量が少ないために、封着時にメタライズ層4
に、はんだが十分流れず、はんだメスニカスの形成が出
来ないかあるいは不十分なためである。外観不良数がリ
ーク不良数より多いのは、テストではリークを起こさな
い程度のものも、外観では不良と判定してしまうからで
ある。一方、はんだ層3bが100μm以上になると、
はんだ量が多すぎるために、封着は完全ではあるが外観
上きれいなメニスカスにならず、不良と判定される場合
が生ずる。但し、この場合は、外観上の問題にすぎない
ため、外観の判断基準を変更することで足りる。はんだ
層3bの厚みの上限値は、封着の完全性の問題でなく、
主観の入り込む余地のある外観の問題やコスト、作業性
等の外的要因に依存することが多い。本発明の特許請求
の範囲において、はんだ層3bの上限値を設定しなかっ
たゆえんである。
【0011】
【発明の効果】以上で詳述したように、本発明によれ
ば、リッド側面に形成されるはんだ層の最大厚みを40
μm以上に制御することにより、容器との封着時に、良
好な半田メスニカスが形成され、良好な外観と気密性を
有する封止が出来るリッドを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す断面図である。
【図2】完全な封着状態を示す断面図である。
【図3】不完全な封着状態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 セラミック製リッド本体。 2 パッケージ本体。 3a、3b はんだ層。 4、5 リッド側メタライズ層。 6 パッケージ本体側メタライズ層。 7 リッド本体封着面 10 はんだメスニカス

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】側面部にはんだ層を設けたリッドにおい
    て、当該側面部のはんだ層の最大厚みが、40μm以上
    であることを特徴とする半導体パッケージ用セラミック
    リッド。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008047701A (ja) * 2006-08-16 2008-02-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光モジュール
EP2410371A1 (en) 2010-04-02 2012-01-25 Menicon Co., Ltd. Polymer material and ophthalmic lens
JP2014132610A (ja) * 2013-01-07 2014-07-17 Seiko Epson Corp パッケージ、光学モジュール、及び電子機器
CN114696777A (zh) * 2020-12-25 2022-07-01 Ngk电子器件株式会社 封装体及其制造方法

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