JPH06163227A - 窒化物磁性粉とその製造方法 - Google Patents
窒化物磁性粉とその製造方法Info
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Abstract
β) Nβで表され、Rは希土類元素、MはRe及び貴金
属元素で、3≦α≦20、3≦β≦30、0.001≦
γ≦0.5であり、かつそのR、Fe、M及びNを含ん
だ相が菱面体晶または六方晶の結晶構造を含有すること
を特徴とする磁性材料。 【効果】 本発明によれば、優れた耐酸化性を有し、磁
気特性の高い希土類−鉄−窒素系磁性材料を提供するこ
とができる。
Description
に優れた希土類−鉄−窒素系磁性材料で、特に小型モー
ター、アクチュエーターなどの用途に最適な磁性材料に
関する。
動車部品やコンピューターの周辺端末機まで、幅広い分
野で使用されており、エレクトロニクス材料としての重
要性は年々増大しつつある。特に最近、各種電気・電子
機器の小型化、高効率化が要求されてきたため、より高
性能の磁性材料が求められている。
d−Fe−B系などの希土類磁性材料の需要が急激に増
大している。しかし、Sm−Co系は原料供給が不安定
で原料コストが高く、Nd−Fe−B系は耐熱性、耐食
性に劣る問題点がある。一方、新しい希土類系磁性材料
として、希土類−鉄−窒素系磁性材料が発明されてい
る。(例えば特開平2−57663)この材料は、磁
化、異方性磁界、キュリー点が高く、Sm−Co系、N
d−Fe−B系の欠点を補う磁性材料として期待されて
いる。
粉砕して使用する場合、表面が酸化されて保磁力が低下
し、この材料が本来有している高磁気特性を充分発揮す
ることができない。この対策として、希土類−鉄−窒素
系材料に金属成分Mを含ませて磁性材料の特性を改善す
る方法が考えられる。この希土類−鉄−M−窒素組成を
有する材料については、特開昭61−9551(M=P
t、Pd、Rh、Re、Ru)に開示されている。
料は、製造上、窒化鉄、α−鉄、窒化希土類及びM単体
を多く含む材料となり、従って、保磁力を初めとする磁
気特性は著しく劣化して、これらの材料は高性能な磁石
材料とならない。このため、磁気特性が高い菱面体晶又
は六面体晶の結晶構造を有し、しかも耐酸化性に優れた
希土類−鉄−M−窒素系材料は現在知られておらず、そ
の出現が強く望まれている。
たは六方晶の結晶構造を有した希土類−鉄−窒素系材料
に金属元素Mを共存させて、高い磁気特性と優れた耐酸
化性を合わせ持つ希土類−鉄−M−窒素組成の磁性材料
とその製造法を提供するものである。
を有する希土類−鉄−窒素系磁性材料を得るために、母
合金に種々の元素(M)を添加した系について鋭意検討
した結果、磁気特性が高く耐酸化性の優れた組成及び結
晶構造を有する希土類(R)−鉄(Fe)−M−窒素
(N)組成を有する磁性材料を見いだし、本発明を成す
に至った。
(1- γ) Mγ)(100- α- β) Nβで表される磁性材料
であり、RはYを含む希土類元素のうち少なくとも一
種、Mは、Re、Ru、Os、Rh、Ir、Pd、P
t、Auの元素のうち少なくとも一種、α、βは原子百
分率で 3≦α≦20 3≦β≦30 γは原子比で 0.001≦γ≦0.5 であって、かつそのR、Fe、M及びNを含んだ相が菱
面体晶または六方晶の結晶構造を含有することを特徴と
する磁性材料、及び、(2)上記記載の磁性材料の成分
であるFeの0.01〜50原子%をCoで置換した組
成を有することを特徴とする磁性材料であり、(3)一
般式Rα/(100-β) (Fe(1- γ) Mγ)(100- α- β
)/(100- β) で表される合金を、窒素ガス、アンモニア
ガスのうち少なくとも一種を含む雰囲気下で、200〜
650℃の範囲で熱処理することを特徴とする上記
(1)又は(2)に記載の磁性材料の製造法である。
類(R)としては、Y、La、Ce、Pr、Nd、P
m、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、T
m、YbおよびLuのうち少なくとも一種を含めば良
く、従って、ミッシュメタルやジジム等の二種以上の希
土類元素の混合物を用いても良いが、好ましい希土類と
しては、Y、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Dy、E
rである。さらに好ましくは、Y、Ce、Pr、Nd、
Smである。
な純度でよく、製造上不可避の不純物、例えばO、H、
C、Al、Si、F、Na、Mg、Ca、Liなどが存
在していても差し支えない。鉄(Fe)は、強磁性を担
う本磁性材料の基本組成であり、Feのうち0.01〜
50原子%をCoで置換しても良く、この場合キュリー
点、磁化が高く、更に耐酸化性の高い材料となる。以
下、鉄成分と記述した場合、Coで最大50原子%まで
置換した場合も含むものとする。さらに、本発明の効果
を発揮するために必須な成分であるRe、Ru、Os、
Rh、Ir、Pd、Pt、Auの各元素(M)のうち1
種または2種以上をFeとMの合計量に対して0.1〜
50原子%の範囲で共存させる。
料の組成は、R成分が3〜20原子%、鉄及びM成分が
併せて50〜94原子%、Nが3〜30原子%の範囲に
あることが必要である。R成分が3原子%未満のとき、
鉄成分を多く含む軟磁性相が分離し、窒化物の保磁力が
低下して実用的な永久磁石とならない。またR成分が2
0原子%を越えると、残留磁束密度が低下して好ましく
ない。又、R成分の組成として好ましくは5〜15原子
%、更に好ましくは7〜12原子%である。
計に対し原子比で0.001〜0.5の範囲とする必要
がある。0.5を越えると飽和磁化が低下して好ましく
なく、0.001未満の場合は耐酸化性に対するMの添
加効果がほとんどない。さらに、Auについては、その
金属半径がFeと大きく異なるため、安定な菱面体晶系
や六方晶系を得るために、M共存量として0.3以下と
することが望ましい。
え合わせると、M置換量として、好ましくは0.01〜
0.2である。M成分としてのRe、Ru、Os、R
h、Ir、Pd、Pt、Auに加えて、Mn、Cr、N
i、Li、Na、K、Mg、Ca、Sr、Ba、Ti、
Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Cu、Ag、
Zn、B、Al、Ga、In、C、Si、Ge、Sn、
Pb、Biの元素のうち1種または2種以上(M’成
分)を添加しても良いが、これらの含有量はRe、R
u、Os、Rh、Ir、Pd、Pt、Auの合計量を越
えないで、しかもRe、Ru、Os、Rh、Ir、P
d、Pt、Auとの合計量がγ値の範囲にある様にしな
ければならない。
構造としては、六方晶並びに菱面体晶のうち少なくとも
一種を体積分率で全体の50%以上含むことが必要であ
る。ここにいう主相とは、少なくともR、Fe及びNを
含み、かつ菱面体晶又は六方晶の結晶構造を有する相の
ことであり、それ以外の組成、結晶構造を有する相を副
相と呼ぶ。
相といった正方晶を取る磁性の高い窒化物相を含んでい
ても良いが、本発明の耐酸化性の効果を充分発揮させる
ためには、その体積分率は本発明の磁性材料の体積分率
を越えてはならない。体積分率が75%を越える場合、
実用上極めて好ましい材料となる。本発明で得られるR
−Fe−M−N系材料の主相は、結晶構造がその原料と
するR−Fe−M合金の主原料相とほぼ同じ対称性を有
し、窒素が格子間に侵入するかもしくはM成分などと置
換して導入され、結晶格子が多くの場合膨張する。
びFeを含み、かつ菱面体晶又は六方晶の結晶構造を有
する相のことであり、それ以外の組成、結晶構造を有
し、かつNを含まない相を副原料相と呼ぶ。結晶格子の
膨張に伴い、耐酸化性及び磁気特性の各項目のうち一項
目以上が向上し、実用上好適な磁性材料となる。
(4πIs)、残留磁束密度(Br)、磁気異方性磁界
(Ha)、磁気異方性エネルギー(Ea)、磁気異方性
比、キュリー点(Tc)、固有保磁力(iHc)、角形
比(Br/4πIs)、最大エネルギー積[(BH)m
ax]、熱減磁率(α)、保磁力の温度変化率(β)の
うち少なくとも一つを言う。但し、磁気異方性比とは、
外部磁場を15kOe印加した時の困難磁化方向の磁化
(a)と容易磁化方向の磁化(b)の比(a/b)であ
り、磁気異方性比が小さいもの程、磁気異方性エネルギ
ーが高いと評価される。
面体構造を有するSm10.5(Fe0. 95Sn0.05)89.5を
選んだ場合、窒素を導入することによって、結晶磁気異
方性が面内異方性から硬磁性材料として好適な一軸異方
性に変化し、磁気異方性エネルギーを初めとする磁気特
性と耐酸化性が向上する。導入される窒素(N)量は、
3〜30原子%にしなければならない。30原子%を越
えると磁化が低く、磁石材料用途としては実用性が小さ
い。3原子%未満では原料合金の性能をあまり向上させ
ることができず、好ましくない。窒素量としてさらに好
ましくは、5〜25原子%、特に好ましくは10〜17
原子%である。
材料のR−Fe−M組成比や副相の量比さらに結晶構造
などによって、最適な窒素量は異なり、例えば菱面体構
造を有するNd10.5(Fe0.9 Re0.1 )89.5を原料合
金として選ぶと、最適な窒素量は13〜14原子%付近
となる。このときの最適な窒素量とは、目的に応じて異
なるが材料の耐酸化性及び磁気特性のうち少なくとも一
項目が最適となる窒素量であり、磁気特性が最適とは磁
気異方性比、減磁率及び保磁力の温度変化率の絶対値は
極小、その他は極大となることである。勿論、実用上磁
気特性と耐酸化性能を有する永久磁石材料を調整する場
合には窒素量が必ずしも最適である必要はない。
磁性材料には、水素(H)が0.01〜10原子%、さ
らに酸素(O)が0.01〜15原子%含まれることが
好ましい。更に好ましい水素量及び酸素量は、0.1〜
10原子%及び0.1〜10原子%である。従って、特
に好ましい本発明のR−Fe−M−N系材料の組成は、
一般式Rα(Fe(1- γ) Mγ)(100- α- β- δ- ε
) NβHδOεで表わしたとき、α、β、δ、εは原子
%で、 2.4≦α≦20 2.4≦β≦30 0.1≦δ≦10 0.1≦ε≦10 γは原子比で、 0.001≦γ≦0.5 の範囲である。
共存効果としては、主に耐酸化性の向上である。特に、
R−Fe−N系磁性材料の酸化による劣化では、磁化の
低下に比べ、保磁力の低下が問題となる。本発明の組成
物は酸化に対する保磁力の安定性に優れる特徴を有す
る。その効果の源は強磁性を担うR−Fe−N磁性材料
主相にM成分が共存することによるが、主相そのものが
酸化されづらくなって磁化の劣化を妨ぐだけに限らず、
若干の酸化により粒表面近傍に析出する鉄成分主体の軟
磁性成分にM成分が共存することで保磁力低下を防ぐの
にも寄与している。
加元素はあるが、本発明のM成分が貴金属及びReとい
う酸化に対して極めて安定な元素であるために、これら
を添加することによる酸化防止効果は、顕著であると考
える。また、本発明の目的とは別に、母合金の調整方法
や条件によっては、粒界近傍、或はRFe3 相などのR
リッチの窒化物相並びにα−Fe相またはその窒化物相
の様なR−Fe−N組成の材料では軟磁性を示す副相に
M成分が凝縮されて、非磁性相化されることにより、窒
化物の角形比や保磁力を向上させる効果もある。
M合金の主原料相は、R−Fe合金結晶中のFeサイト
にM成分が置き替わる構造、または副原料相がMの添加
によりR−Feの2成分系とは異なる組成、構造を取っ
て、本発明の効果を発揮する。従って、Mの添加は母合
金調整の段階で行うことが望ましい。
Fe、M金属を高周波により溶解し、鋳型などに鋳込む
高周波溶解法、銅などのボートに金属成分を仕込み、ア
ーク放電により溶かし込むアーク溶解法、高周波溶解し
た溶湯を、回転させた銅ロール上に落しリボン状の合金
を得る超急冷法、高周波溶解した溶湯をガスで噴霧して
合金粉体を得るガスアトマイズ法、Fe及びまたはMの
粉体またはFe−M合金粉体、R及びまたはMの酸化物
粉体、及び還元剤を高温下で反応させ、RまたはR及び
Mを還元しながら、RまたはR及びMを、Fe及びまた
はFe−M合金粉末中に拡散させるR/D法、各金属成
分単体及びまたは合金をボールミルなどで微粉砕しなが
ら反応させるメカニカルアロイング法、上記何れかの方
法で得た合金を水素雰囲気下で加熱し、一旦R及びまた
はMの水素化物と、Fe及びまたはMまたはFe−M合
金に分解し、この後高温下で低圧として水素を追い出し
ながら再結合させ合金化するHDDR法のいずれを用い
てもよい。
合、溶融状態から、合金が凝固する際にFe主体の軟磁
性成分が析出しやすく、特に窒化工程を経た後も保磁力
の低下をひきおこす。そこで、この軟磁性成分を消失さ
せたり、結晶性を向上させる目的として、アルゴン、ヘ
リウムなどの不活性ガス中もしくは真空中、800℃〜
1300℃の温度範囲で焼鈍を行うことが有効である。
この方法で作製した合金は、超急冷法などを用いた場合
に比べ、結晶粒径が大きく結晶性が良好であり、高い残
留磁束密度を有している。
粒が得られ、条件によってはサブミクロンの粒子も調製
できる。但し、冷却速度が大きい場合には、合金の非晶
質化が起こり、窒化後においても磁化などの磁気特性が
低下する。この場合も合金調製後の焼鈍は有効である。
ガスアトマイズ法で得た合金は、球状の形態を取ること
が多く、微粉体から粗粉体まで調製することが可能であ
る。この場合も条件によっては焼鈍を行い、結晶性を良
好にすることが必要となる。この方法に加えてR/D
法、メカニカルアロイング法、HDDR法により調製し
た合金は、微細な結晶粒を調整したり、M成分の組成に
分布を持たしたりすることが可能であるため、本発明の
効果をより顕著にすることが可能である。
晶相が異なる場合がある。例えば、R成分によっては、
焼鈍した場合と急冷した場合で、菱面体晶系をとる場合
と六方晶系をとる場合がある。従って、焼鈍の条件は充
分注意を要するし、また焼鈍条件を制御することで目的
とする結晶相を選ぶことができる。 (2)粗粉砕及び分級 上記方法で作製した合金インゴットを直接窒化すること
も可能であるが、結晶粒径が500μmより大きいと窒
化処理時間が長くなり、粗粉砕を行ってから窒化する方
が効率的である。
スタンプミル、ローターミル、ピンミル、コーヒーミル
などを用いて行う。また、ボールミルやジェットミルな
どのような粉砕機を用いても、条件次第では窒化に適当
な、合金粉末の調製が可能である。また、粗粉砕の後、
ふるい、振動式あるいは音波式分級機、サイクロンなど
を用いて粒度調整を行うことも、より均質な窒化を行う
ために有効である。
焼鈍を行うと構造の欠陥を除去することができ、場合に
よっては効果がある。以上で、本発明の製造法における
希土類−鉄合金の粉体原料またはインゴット原料の調製
法を例示したが、これらの原料の結晶粒径、粉砕粒径、
微構造、表面状態などにより、以下に示す窒化の最適条
件に違いが見られる。 (3)窒化・焼鈍 窒化はアンモニアガス、窒素ガスなどの窒素源を含むガ
スを、上記(1)または、(1)及び(2)で得たR−
Fe−M合金粉体またはインゴットに接触させて、結晶
構造内に窒素を導入する工程である。
させると、窒化効率が高いうえに、結晶構造が安定なま
ま窒化できる点で好ましい。またアルゴン、ヘリウム、
ネオンなどの不活性ガスなどを共存させる場合もある。
窒化反応は、ガス組成、加熱温度、加熱処理時間、加圧
力で制御し得る。このうち加熱温度は、母合金組成、窒
化雰囲気によって異なるが、200〜650℃の範囲で
選ばれる。200℃以下では窒素の侵入速度が遅く、反
応の時間がかかりすぎ好ましくなく、650℃以上では
主相が分解して磁気特性が劣化する。さらに好ましい温
度範囲は200℃〜600℃である。
水素ガス中で焼鈍することは磁気特性を向上させる点で
好ましい。窒化・焼鈍装置としては、横型、縦型の管状
炉、回転式反応炉、密閉式反応炉などが挙げられる。何
れの装置においても、本発明の磁性材料を調整すること
が可能であるが、特に窒素組成分布の揃った粉体を得る
ためには回転式反応炉を用いるのが好ましい。
ちながら1気圧以上の気流を反応炉の送り込む気流方
式、ガスを容器に加圧力0.01〜70気圧の領域で封
入する封入方式、或いはそれらの組合せなどで供給す
る。本磁性材料の製造法としては、(1)または、
(1)及び(2)で例示した方法でR−Fe−M組成の
母合金を調整してから、(3)に示した方法で窒化する
工程を用いるのが最も好ましく、この方法によれば融点
の高いM成分を母合金の所望の部分に含有させることが
可能になり、耐酸化性向上に特に効果的である。
料の製造法に関する説明であるが、特に実用的な硬磁性
材料として本発明の磁性材料を応用する際には、(4)
微粉砕、(5)磁場成形、(6)着磁を行う場合があ
る。以下、その例を簡単に示す。 (4)微粉砕 例えば、単磁区粒子型のR−Fe−M−N系磁性材料の
うち、特に、窒化処理後も大きな結晶粒径を保っていて
かつ大きな保磁力を発現させたい場合、窒化処理後も多
結晶粒体を保っていてかつ異方性の硬磁性材料としたい
場合などに微粉砕を行う。
振動ボールミル、遊星ボールミル、ウエットミル、ジェ
ットミル、カッターミル、ピンミル、自動乳鉢及びそれ
らの組合せなどが用いられる。水素や酸素の量の調整及
び目標とする粉砕粒径に応じて、微粉砕方法が選ばれ
る。
囲に制御する方法としては、例えばジェットミルを用い
る場合、粉砕ガス中のの酸素及び水蒸気濃度を所定の濃
度に保ったり、またアトライターなどの湿式粉砕を用い
る場合は、溶媒中の溶存酸素や水分量を調整するなどの
方法が挙げられる。 (5)磁場成形 例えば、(3)又は(4)で得た磁性粉体を異方性ボン
ド磁石に応用する場合、熱硬化性樹脂や金属バインダー
と混合したのち磁場中で圧縮成形したり、熱可塑性樹脂
と共に混練したのち磁場中で射出成形を行ったりして、
磁場成形する。
を充分に磁場配向せしめるため、好ましくは10kOe
以上、さらに好ましくは15kOe以上の磁場中で行
う。 (6)着磁 (5)で得た異方性ボンド磁石材料や、焼結磁石材料に
ついては、磁石性能を高めるために、通常着磁が行われ
る。
パルス磁場を発生するコンデンサー着磁器などによって
行う。充分着磁を行わしめるための、磁場強度は、好ま
しくは15kOe以上、さらに好ましくは30kOe以
上である。
る。評価方法は以下のとおりである。 (1)磁気特性 平均粒径約3μmのR−Fe−M−N系磁性材料を、外
部磁場15kOe中、12ton/cm2 で5mm×1
0mm×2mm程度に成形し、室温で60kOeの磁場
でパルス着磁した後、振動試料型磁力計(VSM)を用
いて、固有保磁力(iHc/kOe)を測定した。 (2)窒素量、窒素量及び水素量 Si3 N4 (SiO2 を定量含む)を標準試料として、
不活性ガス融解法により窒素量及び酸素量を定量した。
水素量は、高純度水素ガス(99.999%)を標準ガ
スとして、不活性ガス融解法により定量した。 (3)平均粒径 リー・ナース比表面積計を用いて、評価した。 (4)耐酸化性能 (1)で評価した平均粒径3μmの粉体の成形品を、1
10℃の恒温槽に入れ、200時間後の固有保磁力を
(1)と同様にして測定し、(1)の結果と比較して固
有保磁力の保持率(%)を求めた。保持率の高いものほ
ど、耐酸化性能が高い。特に、本試験では各種バインダ
ーを添加せずに評価しているため、保持率70%を越え
るものは、例えばボンド磁石とした時の実用物性として
充分使用可能な材料と判定できる。 (5)酸化試験 平均粒径15μmに調整した粗粉体試料10mgを熱天
秤に入れ、50ml/minの空気気流中、昇温速度1
0℃/minの条件で50℃から250℃までの重量変
化率(重量%)を測定した。重量変化率の小さいものほ
ど酸化されにくい。
Fe及び純度99.9%のPtを用いてアルゴンガス雰
囲気下アーク溶解炉で溶解混合し、さらにアルゴン雰囲
気中で、1050℃、50時間焼鈍することにより、S
m11.0(Fe0.9 Pt0.1 ) 89.0組成の合金を調製し
た。
し、次いで窒素雰囲気中コーヒーミルでさらに粉砕した
後、ふるいで粒度を調整して、平均粒径約50μmの粉
体を得た。このSm−Fe−Pt合金粉体を横型管状炉
に仕込み、450℃において、アンモニア分圧0.35
atm、水素ガス0.75atmの混合気流中で加熱処
理し、続いてアルゴン気流中で焼鈍したのち、平均粒径
約15μmに調整した。次いでジェットミルにより、窒
素を主体とし一部酸素及び水蒸気を混入させたガスを用
いて、該粉体を平均粒径約5μmに粉砕した。
成、耐酸化性能、酸化試験結果を表1に示した。また、
3μmに粉砕したSm−Fe−Pt−N系粉体の成形体
の保磁力は7.1kOe、残留磁束密度は9.0kGで
あった。なお、X線回折法により解析した結果、この材
料の結晶構造は主として菱面体晶であり、Pt単体に対
応する回折線は見られなかった。
変更する以外は実施例1と同様な操作によって、R−F
e−M−N系粉体を得た。その結果を表1に示す。な
お、X線回折法により解析した結果、これらの材料の結
晶構造は主として菱面体晶であり、M単体に対応する回
折線は見られなかった。
けFeを加える以外は実施例1と同様にして、Sm−F
e−N系粉体を得た。その結果を表1に示す。
9.2 (Fe0.9 Pt0.1 )74.6N14.2H0. 5 O1.5 組成
の粉体を、2ton/cm2 、15kOeの条件で磁場
成形したあと、アルゴン雰囲気下、800℃、1時間の
条件で熱処理を行った。これを急冷したときの成形体の
固有保磁力は0.06kOeであった。この成形体を再
び約3μmに粉砕した粉体の固有保磁力は0.08kO
eであった。なお、この材料の結晶構造をX線回折によ
り解析した結果、α−鉄、窒化鉄に対応する回折線が主
に検出された。
れた耐酸化性を有し、磁気特性の高い希土類−鉄−M−
窒素系磁性材料を提供することができる。
Claims (3)
- 【請求項1】一般式Rα(Fe(1- γ) Mγ)(100- α
- β) Nβで表される磁性材料であり、 RはYを含む希土類元素のうち少なくとも一種、 Mは、Re、Ru、Os、Rh、Ir、Pd、Pt、A
uの元素のうち少なくとも一種、α、βは原子百分率で 3≦α≦20 3≦β≦30 γは原子比で 0.001≦γ≦0.5 であって、かつそのR、Fe、M及びNを含んだ相が菱
面体晶または六方晶の結晶構造を含有することを特徴と
する磁性材料。 - 【請求項2】上記請求項1に記載の磁性材料の成分であ
るFeの0.01〜50原子%をCoで置換した組成を
有することを特徴とする磁性材料。 - 【請求項3】一般式Rα/(100-β) (Fe(1- γ) M
γ)(100- α- β)/(100- β) で表される合金を、窒素
ガス、アンモニアガスのうち少なくとも一種を含む雰囲
気下で、200〜650℃の範囲で熱処理することを特
徴とする上記請求項1又は2に記載の磁性材料の製造
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30852092A JP3200201B2 (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 窒化物磁性粉とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06163227A true JPH06163227A (ja) | 1994-06-10 |
JP3200201B2 JP3200201B2 (ja) | 2001-08-20 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP3200201B2 (ja) |
-
1992
- 1992-11-18 JP JP30852092A patent/JP3200201B2/ja not_active Expired - Lifetime
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