JPH06162984A - 電子顕微鏡用試料装置 - Google Patents
電子顕微鏡用試料装置Info
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- JPH06162984A JPH06162984A JP43A JP30702092A JPH06162984A JP H06162984 A JPH06162984 A JP H06162984A JP 43 A JP43 A JP 43A JP 30702092 A JP30702092 A JP 30702092A JP H06162984 A JPH06162984 A JP H06162984A
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- holder
- screw
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 上下磁極片間隙を利用してＸＹ移動できるよ
うにし、かつ振動による像への影響を少なくする。 【構成】 対物レンズの上磁極片の孔を通してＺ軸方向
に垂下する支持部材と、該支持部材により対物レンズの
上下磁極片の間隙位置に支持された案内機構と、該案内
機構に案内されてＸ，Ｙ方向に移動可能な試料ステージ
と、上下磁極片間隙を通して挿入され、切離し可能な動
力伝達軸を通して試料ステージをＸ，Ｙ方向に駆動する
Ｘ動及びＹ動手段とを備えたことを特徴とする。
うにし、かつ振動による像への影響を少なくする。 【構成】 対物レンズの上磁極片の孔を通してＺ軸方向
に垂下する支持部材と、該支持部材により対物レンズの
上下磁極片の間隙位置に支持された案内機構と、該案内
機構に案内されてＸ，Ｙ方向に移動可能な試料ステージ
と、上下磁極片間隙を通して挿入され、切離し可能な動
力伝達軸を通して試料ステージをＸ，Ｙ方向に駆動する
Ｘ動及びＹ動手段とを備えたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡用の試料装置
に関し、特にＸＹ動が可能な試料装置に関する。
に関し、特にＸＹ動が可能な試料装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子顕微鏡の鏡筒壁を通して電子
線光軸に直交する方向から試料操作棒の先端部に取付け
た試料ホルダを挿入セットし、試料操作棒を通してＸ
動、Ｙ動、Ｚ動、Ｘ傾斜、Ｙ傾斜等を行うサイドエント
リータイプのゴニオメータが使用されている。
線光軸に直交する方向から試料操作棒の先端部に取付け
た試料ホルダを挿入セットし、試料操作棒を通してＸ
動、Ｙ動、Ｚ動、Ｘ傾斜、Ｙ傾斜等を行うサイドエント
リータイプのゴニオメータが使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】サイドエントリータイ
プのゴニオメータにおいては、試料挿入する側と反対側
に設けたホルダ受けにより先端部を受けるようにしてい
るもの、或いは先端部をフリーにして受けないようにし
たものが用いられているが、試料の保持は基本的には片
持のため、トップエントリータイプのゴニオメータに比
較して観察像は振動の影響を受けやすい。サイドエント
リータイプのゴニオメータで性能（分解能）がとれなか
った場合、その原因がポールピースの形状によるもの
か、試料の保持の仕方によるかを突き止めるためには、
サイドエントリーゴニオメータを取り外し、振動の影響
が少ないＸＹステージに組み変えて試料の観察を行わな
ければならなかった。
プのゴニオメータにおいては、試料挿入する側と反対側
に設けたホルダ受けにより先端部を受けるようにしてい
るもの、或いは先端部をフリーにして受けないようにし
たものが用いられているが、試料の保持は基本的には片
持のため、トップエントリータイプのゴニオメータに比
較して観察像は振動の影響を受けやすい。サイドエント
リータイプのゴニオメータで性能（分解能）がとれなか
った場合、その原因がポールピースの形状によるもの
か、試料の保持の仕方によるかを突き止めるためには、
サイドエントリーゴニオメータを取り外し、振動の影響
が少ないＸＹステージに組み変えて試料の観察を行わな
ければならなかった。
【０００４】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、上下磁極片間隙を利用してＸＹ移動できるように
し、かつ振動による像への影響を少なくすることができ
る電子顕微鏡用試料装置を提供することを目的とする。
で、上下磁極片間隙を利用してＸＹ移動できるように
し、かつ振動による像への影響を少なくすることができ
る電子顕微鏡用試料装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の電子顕微鏡用試
料装置は、対物レンズの上磁極片の孔を通してＺ軸方向
に垂下する支持部材と、該支持部材により対物レンズの
上下磁極片の間隙位置に支持された案内機構と、該案内
機構に案内されてＸ，Ｙ方向に移動可能な試料ステージ
と、上下磁極片間隙を通して挿入され、切離し可能な動
力伝達軸を通して試料ステージをＸ，Ｙ方向に駆動する
Ｘ動及びＹ動手段とを備えたことを特徴とする。
料装置は、対物レンズの上磁極片の孔を通してＺ軸方向
に垂下する支持部材と、該支持部材により対物レンズの
上下磁極片の間隙位置に支持された案内機構と、該案内
機構に案内されてＸ，Ｙ方向に移動可能な試料ステージ
と、上下磁極片間隙を通して挿入され、切離し可能な動
力伝達軸を通して試料ステージをＸ，Ｙ方向に駆動する
Ｘ動及びＹ動手段とを備えたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明は、対物レンズの上磁極片の孔を通して
Ｚ軸方向に垂下する支持部材で対物レンズの上下磁極片
の間隙位置に支持された案内機構によって、試料移動用
ＸＹステージを移動できるようにしたものであり、切離
し可能な動力伝達シャフトで試料ホルダをＸ動、Ｙ動す
るようにしており、試料移動用ステージが支持部材を介
して磁極片に支持される構造であるため振動による像へ
の影響が少なく、また試料位置設定後には動力伝達シャ
フトを切り離すことができるので、動力伝達シャフトを
伝わってくる外部からの振動を遮断することが可能とな
る。
Ｚ軸方向に垂下する支持部材で対物レンズの上下磁極片
の間隙位置に支持された案内機構によって、試料移動用
ＸＹステージを移動できるようにしたものであり、切離
し可能な動力伝達シャフトで試料ホルダをＸ動、Ｙ動す
るようにしており、試料移動用ステージが支持部材を介
して磁極片に支持される構造であるため振動による像へ
の影響が少なく、また試料位置設定後には動力伝達シャ
フトを切り離すことができるので、動力伝達シャフトを
伝わってくる外部からの振動を遮断することが可能とな
る。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の施例を説明す
る。図１は本発明の一実施例の全体構成を示す断面図、
図２は図１のＢ方向からみた要部断面図、図３はＸＹス
テージを説明する斜視図である。図中、Ａは電子線、１
は鏡筒、２はスペーサ、３はポールピース、４はスペー
サ、５はポールピース、６はＹ方向ガイド、７はＹ方向
移動板、８は試料ホルダ、９は試料、１０は試料押え、
１１はスプリング、１２はＸ方向移動板、１３はＸ方向
ガイド、１４はブロック、１４´はビーム通り孔、１５
は位置決め用ピン、１６はホルダ、１７，１８は長孔、
１９はスクリュー、１９´はビーム通り孔、２０は熱絶
縁板、２１はホルダ、２２は熱絶縁パイプ、２３はスプ
リング、２４は熱絶縁板、２５は固定アーム、２６はレ
バー、２６´はビーム通り孔、２７，２８はピン、２９
はブッシュ、２９´はビーム通り孔、３０はスクリュ
ー、３０´は溝、３１はホルダ、３２，３２´はロー
ラ、３３，３３´はシャフト、３３ａ，３３ａ´は長
穴、３３ｂ，３３ｂ´はピン、３４，３４´，３４″は
シャフト、３５，３５´，３５″はピン、３６，３６
´，３６″，３７，３７´，３７″は軸受、３８，３８
´，３８″，３９，３９´，３９″はパイプ、４０，４
０´，４０″は長孔、４１，４１´，４１″はピン、４
２，４２´，４２″はシャフト、４３，４３´，４３″
はラック、４４，４４´，４４″は平歯車、４５，４５
´，４５″はシャフト、４６，４６´，４６″は傘歯
車、４７，４７´，４７″はシャフト、４８，４８´，
４８″はアダプタ、５０，５０´，５０″はケース、５
１、５１´，５１″，５２，５２´，５２″，５３，５
３´，５３″はＯリング、５４は冷却網線、５５は冷却
棒、５６，５６´，５６″は軸受である。
る。図１は本発明の一実施例の全体構成を示す断面図、
図２は図１のＢ方向からみた要部断面図、図３はＸＹス
テージを説明する斜視図である。図中、Ａは電子線、１
は鏡筒、２はスペーサ、３はポールピース、４はスペー
サ、５はポールピース、６はＹ方向ガイド、７はＹ方向
移動板、８は試料ホルダ、９は試料、１０は試料押え、
１１はスプリング、１２はＸ方向移動板、１３はＸ方向
ガイド、１４はブロック、１４´はビーム通り孔、１５
は位置決め用ピン、１６はホルダ、１７，１８は長孔、
１９はスクリュー、１９´はビーム通り孔、２０は熱絶
縁板、２１はホルダ、２２は熱絶縁パイプ、２３はスプ
リング、２４は熱絶縁板、２５は固定アーム、２６はレ
バー、２６´はビーム通り孔、２７，２８はピン、２９
はブッシュ、２９´はビーム通り孔、３０はスクリュ
ー、３０´は溝、３１はホルダ、３２，３２´はロー
ラ、３３，３３´はシャフト、３３ａ，３３ａ´は長
穴、３３ｂ，３３ｂ´はピン、３４，３４´，３４″は
シャフト、３５，３５´，３５″はピン、３６，３６
´，３６″，３７，３７´，３７″は軸受、３８，３８
´，３８″，３９，３９´，３９″はパイプ、４０，４
０´，４０″は長孔、４１，４１´，４１″はピン、４
２，４２´，４２″はシャフト、４３，４３´，４３″
はラック、４４，４４´，４４″は平歯車、４５，４５
´，４５″はシャフト、４６，４６´，４６″は傘歯
車、４７，４７´，４７″はシャフト、４８，４８´，
４８″はアダプタ、５０，５０´，５０″はケース、５
１、５１´，５１″，５２，５２´，５２″，５３，５
３´，５３″はＯリング、５４は冷却網線、５５は冷却
棒、５６，５６´，５６″は軸受である。
【０００８】図１、図２において、本発明の試料ホルダ
部は、ブロック１４とその下側に設けられたＸＹ方向に
移動可能な試料移動用ステージからなっている。ブロッ
ク１４は電子線光軸に沿って上方から垂下するホルダ１
６に取付け固定され、その下側には上側ポールピース３
と下側ポールピース５との隙間Ｇの中にＸＹ方向に移動
可能なステージが組み込まれている。
部は、ブロック１４とその下側に設けられたＸＹ方向に
移動可能な試料移動用ステージからなっている。ブロッ
ク１４は電子線光軸に沿って上方から垂下するホルダ１
６に取付け固定され、その下側には上側ポールピース３
と下側ポールピース５との隙間Ｇの中にＸＹ方向に移動
可能なステージが組み込まれている。
【０００９】試料移動用ステージは、図３に示すよう
に、３層構成になっていて、最下層のガイド６に沿って
試料が取り付けられた移動板７がＹ方向に移動し、また
中間層のＸ方向に移動する移動板１２が、最下層のガイ
ド６と最上層のガイド１３に取付けられ、移動板１２を
Ｘ方向に押すことにより、ホルダ１６を介してポールピ
ース３に固定されているブロック１４に対して、ガイド
１３がスライドして３層全てがＸ方向に移動して試料が
Ｘ方向に移動する。この移動は、後述するように鏡筒１
を通して電子線光軸に直交する操作軸によって行われ
る。
に、３層構成になっていて、最下層のガイド６に沿って
試料が取り付けられた移動板７がＹ方向に移動し、また
中間層のＸ方向に移動する移動板１２が、最下層のガイ
ド６と最上層のガイド１３に取付けられ、移動板１２を
Ｘ方向に押すことにより、ホルダ１６を介してポールピ
ース３に固定されているブロック１４に対して、ガイド
１３がスライドして３層全てがＸ方向に移動して試料が
Ｘ方向に移動する。この移動は、後述するように鏡筒１
を通して電子線光軸に直交する操作軸によって行われ
る。
【００１０】図２に示すように、移動板７には試料ホル
ダ８、試料押え１０が取付けられて試料９を装着するこ
とができ、移動板７、移動板１２はスクリュー３０のＸ
方向、Ｙ方向の動き（詳細は後述）に追従するようにス
プリング１１（但し、移動板１２のスプリングは図示せ
ず）が取付けられている。
ダ８、試料押え１０が取付けられて試料９を装着するこ
とができ、移動板７、移動板１２はスクリュー３０のＸ
方向、Ｙ方向の動き（詳細は後述）に追従するようにス
プリング１１（但し、移動板１２のスプリングは図示せ
ず）が取付けられている。
【００１１】また、図１に示すように、ブロック１４の
中央部には丸孔が開けられてその内面には雌ネジが刻ま
れており、これに上方よりスクリュー１９をネジ嵌合す
るようになっている。また、ブロック１４は上方より垂
下する両端開口の円筒形ホルダ１６の下側開口に嵌合し
ており、スクリュー１９をネジ嵌合してその上部のフラ
ンジ部でホルダ１６の上端フランジ部を下方へ押圧する
ことによりホルダ１６の下端でブロック１４を押さえつ
けて固定している。
中央部には丸孔が開けられてその内面には雌ネジが刻ま
れており、これに上方よりスクリュー１９をネジ嵌合す
るようになっている。また、ブロック１４は上方より垂
下する両端開口の円筒形ホルダ１６の下側開口に嵌合し
ており、スクリュー１９をネジ嵌合してその上部のフラ
ンジ部でホルダ１６の上端フランジ部を下方へ押圧する
ことによりホルダ１６の下端でブロック１４を押さえつ
けて固定している。
【００１２】上側ポールピース３には熱絶縁板２０、ホ
ルダ２１が取付けられ、ホルダ２１内にはブロック１４
が取付けられたホルダ１６が上下に摺動するように熱絶
縁パイプ２２が取付けられ、ホルダ１６はスプリング２
３の力で常にＺ2 方向（垂直方向）に押し上げられてい
る。また、ホルダ２１には熱絶縁板２４と固定アーム２
５、固定アーム２５に設けたピン２８を中心に回動可能
な扇形レバー２６、レバー２６の位置を決める溝３０´
が加工されているスクリュー３０が取付けられ、レバー
２６の先端はホルダ１９と接するブッシュ２９が設けら
れている。
ルダ２１が取付けられ、ホルダ２１内にはブロック１４
が取付けられたホルダ１６が上下に摺動するように熱絶
縁パイプ２２が取付けられ、ホルダ１６はスプリング２
３の力で常にＺ2 方向（垂直方向）に押し上げられてい
る。また、ホルダ２１には熱絶縁板２４と固定アーム２
５、固定アーム２５に設けたピン２８を中心に回動可能
な扇形レバー２６、レバー２６の位置を決める溝３０´
が加工されているスクリュー３０が取付けられ、レバー
２６の先端はホルダ１９と接するブッシュ２９が設けら
れている。
【００１３】なお、ホルダ１６の上端フランジには長穴
１７が設けられて、ホルダ２１上端に取付けられたピン
２７が嵌合し、またホルダ１６の下端部には長穴１８が
設けられてブロック１４に設けたピン１５が嵌合し、試
料の回転方向の位置決めができるようになっている。ま
た、電子ビームＡを試料９に照射するためにレバー２
６、ブッシュ２９、スクリュー１９、プローブ１４には
ビームの通り穴２６´，２９´，１９´，１４´がそれ
ぞれ加工されている。
１７が設けられて、ホルダ２１上端に取付けられたピン
２７が嵌合し、またホルダ１６の下端部には長穴１８が
設けられてブロック１４に設けたピン１５が嵌合し、試
料の回転方向の位置決めができるようになっている。ま
た、電子ビームＡを試料９に照射するためにレバー２
６、ブッシュ２９、スクリュー１９、プローブ１４には
ビームの通り穴２６´，２９´，１９´，１４´がそれ
ぞれ加工されている。
【００１４】次に、試料移動機構について説明する。鏡
筒１には３つのポートＣ，Ｄ，Ｆ（ボートＦはポートＤ
と直角な方向にあり、図示せず）にアダプタ４８，４８
´，４８″（ボートＦのアダプタ４８″は図示せず。以
後において、符合「″」が付されたポートＦに関する部
材は図示を省略する）が取り付られている。アダプタ４
８，４８´，４８″には軸受３７，３７´，３７″内に
Ｙ方向に摺動するパイプ３８，３８´，３８″があり、
これにラック４３，４３´，４３″が加工されている。
ラック４３，４３´，４３″は、シャフト４５，４５
´，４５″を中心に回転する平歯車４４，４４´，４
４″と噛み合っており（シャフト４５より先の伝達構造
は省略）、平歯車４４，４４´，４４″の回転によりパ
イプ３８，３８´，３８″はＹ方向に移動する。
筒１には３つのポートＣ，Ｄ，Ｆ（ボートＦはポートＤ
と直角な方向にあり、図示せず）にアダプタ４８，４８
´，４８″（ボートＦのアダプタ４８″は図示せず。以
後において、符合「″」が付されたポートＦに関する部
材は図示を省略する）が取り付られている。アダプタ４
８，４８´，４８″には軸受３７，３７´，３７″内に
Ｙ方向に摺動するパイプ３８，３８´，３８″があり、
これにラック４３，４３´，４３″が加工されている。
ラック４３，４３´，４３″は、シャフト４５，４５
´，４５″を中心に回転する平歯車４４，４４´，４
４″と噛み合っており（シャフト４５より先の伝達構造
は省略）、平歯車４４，４４´，４４″の回転によりパ
イプ３８，３８´，３８″はＹ方向に移動する。
【００１５】パイプ３８，３８´，３８″内には、それ
ぞれ軸受３６，３６´，３６″があってパイプ３９，３
９´，３９″を回動可能に支持している。また、パイプ
３９，３９´，３９″の先端にはスクリュー３０の溝３
０´と接続可能なシャフト３４，３４´，３４″がピン
３５，３５´，３５″でパイプ３９，３９´，３９″と
一体化されて嵌合しており、パイプ３９，３９´，３
９″を回すとシャフト３４，３４´，３４″が回転し、
その結果スクリュー３０が回転してＹ1 方向またはＹ2
方向に移動する。また、パイプ３９，３９´，３９″の
後端には、パイプ内を摺動可能なシャフト４２，４２
´，４２″が取り付けられ、シャフトに設けられたピン
４１，４１´，４１″がパイプ３９，３９´，３９″に
設けられた長穴４０，４０´，４０″に嵌合している。
シャフト４２，４２´，４２″の端部は一対の傘歯車４
６，４６´，４６″が付いたシャフト軸受５６，５６
´，５６″でケース５０、５０´，５０″に固定してい
る。傘歯車４６，４６´，４６″はシャフト４７，４７
´，４７″に接続していて、シャフト４７を駆動（駆動
機構については図示を省略）することで、シャフト４
２，４２´，４２″、ピン４１，４１´，４１″、パイ
プ３９，３９´，３９″が回転し、前述したようにスク
リュー３０を回転することができる。
ぞれ軸受３６，３６´，３６″があってパイプ３９，３
９´，３９″を回動可能に支持している。また、パイプ
３９，３９´，３９″の先端にはスクリュー３０の溝３
０´と接続可能なシャフト３４，３４´，３４″がピン
３５，３５´，３５″でパイプ３９，３９´，３９″と
一体化されて嵌合しており、パイプ３９，３９´，３
９″を回すとシャフト３４，３４´，３４″が回転し、
その結果スクリュー３０が回転してＹ1 方向またはＹ2
方向に移動する。また、パイプ３９，３９´，３９″の
後端には、パイプ内を摺動可能なシャフト４２，４２
´，４２″が取り付けられ、シャフトに設けられたピン
４１，４１´，４１″がパイプ３９，３９´，３９″に
設けられた長穴４０，４０´，４０″に嵌合している。
シャフト４２，４２´，４２″の端部は一対の傘歯車４
６，４６´，４６″が付いたシャフト軸受５６，５６
´，５６″でケース５０、５０´，５０″に固定してい
る。傘歯車４６，４６´，４６″はシャフト４７，４７
´，４７″に接続していて、シャフト４７を駆動（駆動
機構については図示を省略）することで、シャフト４
２，４２´，４２″、ピン４１，４１´，４１″、パイ
プ３９，３９´，３９″が回転し、前述したようにスク
リュー３０を回転することができる。
【００１６】次に、試料移動について説明する。先ず、
Ｚ方向について説明する。シャフト４５を駆動して平歯
車４４を回転し、パイプ３８をＹ1 方向（図１の左方
向）に移動すると、シャフト３４の先端がスクリュー３
０の溝３０´に接続する。その状態でシャフト４７を回
転すると傘歯車４６、シャフト４２、ピン４１、パイプ
３９を介してシャフト３４が回転し、スクリュー３０が
回転してＹ1 方向に移動し、扇形レバー２６をピン２８
の周りに反時計方向に回動させてブッシュ２９でホルダ
１９を下方へ押し、ステージ全体をＺ1 方向に移動する
ことができる。シャフト４７を逆回転させると、傘歯車
４６、シャフト４２、パイプ３９を介してシャフト３
４、スクリュー３０が逆回転し、スクリュー３０がＹ2
方向に移動して扇形レバー２６がピン２８の周りに時計
方向に回動し、スプリング２３の力によりホルダ１９を
上方へ押し、ステージ全体をＺ2 方向に移動することが
できる。
Ｚ方向について説明する。シャフト４５を駆動して平歯
車４４を回転し、パイプ３８をＹ1 方向（図１の左方
向）に移動すると、シャフト３４の先端がスクリュー３
０の溝３０´に接続する。その状態でシャフト４７を回
転すると傘歯車４６、シャフト４２、ピン４１、パイプ
３９を介してシャフト３４が回転し、スクリュー３０が
回転してＹ1 方向に移動し、扇形レバー２６をピン２８
の周りに反時計方向に回動させてブッシュ２９でホルダ
１９を下方へ押し、ステージ全体をＺ1 方向に移動する
ことができる。シャフト４７を逆回転させると、傘歯車
４６、シャフト４２、パイプ３９を介してシャフト３
４、スクリュー３０が逆回転し、スクリュー３０がＹ2
方向に移動して扇形レバー２６がピン２８の周りに時計
方向に回動し、スプリング２３の力によりホルダ１９を
上方へ押し、ステージ全体をＺ2 方向に移動することが
できる。
【００１７】Ｙ方向への移動板７、Ｘ方向への移動板１
２の移動も、Ｚ方向の移動の場合と同様であり、スクリ
ュー３０を回転させてＹ1 方向、Ｘ1 方向に移動させ、
スクリュー３０でシャフト３３，３３´を押して試料を
移動させ、逆方向はスクリュー３０を逆回転させて後退
させ、スプリング１１（Ｘ方向図示せず）の力によりＹ
2 ，Ｘ2 方向に移動板（試料）を移動することができ
る。なお、シャフト３３，３３´の先端にはローラ３
２，３２´とシャフト３３、３３´の回転を防止する回
転防止用のピン３３ｂ、３３ｂ´が設けられており、ピ
ン３３ｂ、３３ｂ´は長穴３３ａ、３３ａ´に嵌合して
いて、移動板のＺ方向への円滑な移動を確保できるよう
にしている。なお、ローラ３２´はローラ３２より距離
ａ高い直角方向に設けられいる。
２の移動も、Ｚ方向の移動の場合と同様であり、スクリ
ュー３０を回転させてＹ1 方向、Ｘ1 方向に移動させ、
スクリュー３０でシャフト３３，３３´を押して試料を
移動させ、逆方向はスクリュー３０を逆回転させて後退
させ、スプリング１１（Ｘ方向図示せず）の力によりＹ
2 ，Ｘ2 方向に移動板（試料）を移動することができ
る。なお、シャフト３３，３３´の先端にはローラ３
２，３２´とシャフト３３、３３´の回転を防止する回
転防止用のピン３３ｂ、３３ｂ´が設けられており、ピ
ン３３ｂ、３３ｂ´は長穴３３ａ、３３ａ´に嵌合して
いて、移動板のＺ方向への円滑な移動を確保できるよう
にしている。なお、ローラ３２´はローラ３２より距離
ａ高い直角方向に設けられいる。
【００１８】以上のような操作により試料をＸ，Ｙ方向
に移動し、検鏡場所が決まればシャフト４７等からの振
動の影響を遮断するために平歯車４４を逆転すると、シ
ャフト３４がＹ2 方向に移動し、スクリュー３０とシャ
フト３４は切り離すことができる。なお、ＸＹステージ
全体はポールピース３と熱絶縁板２０で熱的に浮いてい
て、必要に応じて試料汚染防止装置の冷却棒５５、網線
５４とホルダ１６とを接続し、ホルダを介してステージ
全体を冷却することも可能である。
に移動し、検鏡場所が決まればシャフト４７等からの振
動の影響を遮断するために平歯車４４を逆転すると、シ
ャフト３４がＹ2 方向に移動し、スクリュー３０とシャ
フト３４は切り離すことができる。なお、ＸＹステージ
全体はポールピース３と熱絶縁板２０で熱的に浮いてい
て、必要に応じて試料汚染防止装置の冷却棒５５、網線
５４とホルダ１６とを接続し、ホルダを介してステージ
全体を冷却することも可能である。
【００１９】図４は試料交換を可能にした本発明の他の
実施例を示したものである。図４（ｂ）に示すＸ方向移
動板１２を押すシャフト３３の反対側の鏡筒１にポート
を設け、このポートに図４（ａ）に示す試料交換室５７
が取り付けられている。６７は気密を維持するためのＯ
リングであり、５８は仕切弁を表している。試料交換室
５７は配管５９を介して図示しない真空ポンプに接続さ
れている。６０は真空弁であり、６１はリーク弁であ
る。従って、仕切り弁５８を閉にした状態でこれら弁を
制御することにより、試料交換室５７内を真空にした
り、大気にしたりすることができる。試料交換室５７に
は覗き窓６２が備えられている。覗き窓６２に取り付け
られた金具６４にはＯリング６５が備えられ、Ｏリング
６５によって気密を維持したまま交換棒６３が矢印Ｘ，
Ｘａの向きに移動できるようになっている。交換棒６３
の先端にはネジが備えられ、交換棒６３は試料ホルダ８
と接続できるようになっている。Ｘ方向移動板１２には
図４（ｂ）に示すように、アリ溝１２´と板バネ６６が
備えられており、試料ホルダ８が着脱できるようになっ
ている。
実施例を示したものである。図４（ｂ）に示すＸ方向移
動板１２を押すシャフト３３の反対側の鏡筒１にポート
を設け、このポートに図４（ａ）に示す試料交換室５７
が取り付けられている。６７は気密を維持するためのＯ
リングであり、５８は仕切弁を表している。試料交換室
５７は配管５９を介して図示しない真空ポンプに接続さ
れている。６０は真空弁であり、６１はリーク弁であ
る。従って、仕切り弁５８を閉にした状態でこれら弁を
制御することにより、試料交換室５７内を真空にした
り、大気にしたりすることができる。試料交換室５７に
は覗き窓６２が備えられている。覗き窓６２に取り付け
られた金具６４にはＯリング６５が備えられ、Ｏリング
６５によって気密を維持したまま交換棒６３が矢印Ｘ，
Ｘａの向きに移動できるようになっている。交換棒６３
の先端にはネジが備えられ、交換棒６３は試料ホルダ８
と接続できるようになっている。Ｘ方向移動板１２には
図４（ｂ）に示すように、アリ溝１２´と板バネ６６が
備えられており、試料ホルダ８が着脱できるようになっ
ている。
【００２０】このような構成となせば、試料交換棒６３
を矢印Ｘの向きに移動させ、更に回転させて試料ホルダ
８を試料交換棒６３に接続した後、試料交換棒６３を矢
印Ｘａの向きに移動させて試料ホルダ８を試料交換室５
７内に納め、仕切弁５８を閉にして、試料交換室５７内
を大気にすることにより、試料９の交換を行うことがで
きる。
を矢印Ｘの向きに移動させ、更に回転させて試料ホルダ
８を試料交換棒６３に接続した後、試料交換棒６３を矢
印Ｘａの向きに移動させて試料ホルダ８を試料交換室５
７内に納め、仕切弁５８を閉にして、試料交換室５７内
を大気にすることにより、試料９の交換を行うことがで
きる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明は、サイドエントリ
ーゴニオメータを取り外して組み換え可能な簡易型ＸＹ
ステージをポールピースに取り付けた形のステージであ
るため、振動による像への影響が少なくなり、また、試
料移動用の動力伝達シャフトが切り離し可能であるた
め、試料位置設定後、シャフトを切り離しシャフトを伝
わってくる振動を遮断することができる。また、必要に
応じて試料汚染防止装置の冷却棒と接続し、試料及びス
テージを冷却して水滴等の汚染の影響を少なくして像観
察することが可能となる。
ーゴニオメータを取り外して組み換え可能な簡易型ＸＹ
ステージをポールピースに取り付けた形のステージであ
るため、振動による像への影響が少なくなり、また、試
料移動用の動力伝達シャフトが切り離し可能であるた
め、試料位置設定後、シャフトを切り離しシャフトを伝
わってくる振動を遮断することができる。また、必要に
応じて試料汚染防止装置の冷却棒と接続し、試料及びス
テージを冷却して水滴等の汚染の影響を少なくして像観
察することが可能となる。
【図１】 本発明の一実施例の全体構成を示す断面図で
ある。
ある。
【図２】 図１のＢ方向からみた要部断面図である。
【図３】 ＸＹステージを説明する斜視図である。
【図４】 本発明の他の実施例を説明する図である。
１…鏡筒、２…スペーサ、３…ポールピース（上）、４
…スペーサ、５…ポールピース（下）、６…Ｙ方向ガイ
ド、７…Ｙ方向移動板、８…試料ホルダ、９…試料、１
０…試料押え、１１…スプリング、１２…Ｘ方向移動
板、１３…Ｘ方向ガイド、１４…ブロック、１５…位置
決め用ピン、１６…ホルダ、１７，１８…長孔、１９…
スクリュー、２０…熱絶縁板、２１…ホルダ、２２…熱
絶縁パイプ、２３…スプリング、２４…熱絶縁板、２５
…固定アーム、２６…レバー、３０…スクリュー、３０
´…溝、３２…ローラ、３４，３４´，３４″…シャフ
ト、４３，４３´，４３″…ラック、４４，４４´，４
４″…平歯車、４６，４６´，４６″…傘歯車。
…スペーサ、５…ポールピース（下）、６…Ｙ方向ガイ
ド、７…Ｙ方向移動板、８…試料ホルダ、９…試料、１
０…試料押え、１１…スプリング、１２…Ｘ方向移動
板、１３…Ｘ方向ガイド、１４…ブロック、１５…位置
決め用ピン、１６…ホルダ、１７，１８…長孔、１９…
スクリュー、２０…熱絶縁板、２１…ホルダ、２２…熱
絶縁パイプ、２３…スプリング、２４…熱絶縁板、２５
…固定アーム、２６…レバー、３０…スクリュー、３０
´…溝、３２…ローラ、３４，３４´，３４″…シャフ
ト、４３，４３´，４３″…ラック、４４，４４´，４
４″…平歯車、４６，４６´，４６″…傘歯車。
Claims (1)
- 【請求項１】 対物レンズの上磁極片の孔を通してＺ軸
方向に垂下する支持部材と、該支持部材により対物レン
ズの上下磁極片の間隙位置に支持された案内機構と、該
案内機構に案内されてＸ，Ｙ方向に移動可能な試料ステ
ージと、上下磁極片間隙を通して挿入され、切離し可能
な動力伝達軸を通して試料ステージをＸ，Ｙ方向に駆動
するＸ動及びＹ動手段とを備えた電子顕微鏡用試料装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP43A JPH06162984A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 電子顕微鏡用試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP43A JPH06162984A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 電子顕微鏡用試料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06162984A true JPH06162984A (ja) | 1994-06-10 |
Family
ID=17964063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP43A Withdrawn JPH06162984A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 電子顕微鏡用試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06162984A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1975974A3 (en) * | 2007-03-30 | 2010-09-29 | JEOL Ltd. | Specimen stage-moving device for charged-particle beam system |
-
1992
- 1992-11-17 JP JP43A patent/JPH06162984A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1975974A3 (en) * | 2007-03-30 | 2010-09-29 | JEOL Ltd. | Specimen stage-moving device for charged-particle beam system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000201 |