JPS61269109A - 高温顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、高温顕微鏡に関するものであり、チャンバー
に設けられた覗き窓を含む高温顕微鏡に関するものであ
る。

（従来の技術） 検鏡試料を温度、雰囲気、雰囲気圧の何れか少なくとも
１つを制御することのできる覗き窓を有するチャ／バー
内に収容して、顕微鏡の対物レンズの光軸と交わるよう
に試料および覗き窓を位置決めして試料を高温下で観察
する光学系とチャンバー系よりなる高温顕微鏡が知られ
ている。このような高温顕微鏡を用いて高温の試料を観
察すると、試料から発生する試料の蒸気が前記覗き窓の
内側面に蒸着して短時間で覗き窓が曇って不透明となる
ので、連続して試料を観察することができなくなる。こ
れを回避するため対物レンズの光軸に対して平行に離隔
した軸を中心として回転することのできる覗き窓を設け
て、前記覗き窓に生ずる不透明部位を旋回摺動させて覗
き窓の透明部位を順繰りに対物レンズの光軸に交わるよ
うに移置することのできる手段を具えた高温顕微鏡が知
られている。

また前記顕微鏡のほかに、固定された覗き窓と試料との
間に前記光軸に平行に離隔した軸を中心として回転自在
な薄い透明材を設けて、試料より発生する蒸気を前記透
明材に蒸着させるようにし。

蒸気が直接覗き窓に蒸着するのを防止すると共に、蒸気
が透明材に蒸着して生ずる不透明部位を、透明材を旋回
摺動させて順繰りに透明部分を光軸と交わるように位置
させることにより覗き窓と透明材の透明部分とを経て連
続して長時間観察することができるようにした高温顕微
鏡が知られている。

（解決を必要とする問題点） 上記２種の高温顕微鏡のうち、前者は覗き窓が光Ｈに平
行に離隔した軸を中心として回転させて。

試料を観察する間に蒸気の蒸着により曇って不透明にな
った覗き窓部位を環状に順繰りに摺動させることにより
ある程度観察可能な時間を延長させることはできるが、
覗き窓が１回転して最初の覗き窓の覗き部位に戻ると、
覗き窓の環状覗き窓部位が全面的に不透明となっている
ため検鏡試料の　　　゛観察はそれ以降できなくなる。

ところで、高温顕微鏡により試料を観察するに　　　′
あたってはチャンバー内の雰囲気圧を真空にしたり、あ
るいは高圧にしたりすることがあるため。

覗き窓は耐圧強度の点からその直径を余り大きく　　　
。

することができず、また一方、光学的の点からその厚さ
を大きくすることができないため、覗き窓はできる限り
薄くかつ直径を小さくする必要があり、このような覗き
窓を有する顕微鏡にあって覗き窓の不透明部位を回動さ
せて観察を続けるとしても、不透明部位を回動させて透
明部位を光軸と交わるようにして観察できる部位数はせ
いぜい数ケ所に過ぎないので、蒸気圧の高い試料あるい
は例えば蒸気圧の低い純鉄試料を１０００　Ｇの高温で
観察する場合にすられずか１分以内しか観察を続けるこ
とができないという欠点がある。

また後者すなわち覗き窓と試料との間に回転自在の透明
材を設けた高温顕微鏡にあっても、前者と同様に透明材
を試料観察中に一回転させると透明材が環状に不透明と
なっているためもうそれ以降の観察を継続することはで
きず、観察を継続する時間は前者と同様に少ないという
欠点があった。

さらにまたこの種のものでは観察の際、透明材の上下面
で有害な反射光が発生するという欠点があり、また透明
材を極めて薄くしなければならないという必要があるた
め透明材の上下両面を光学的に平滑にすることは困難で
あり、光学性能の劣化が生ずるという欠点があった。す
なわち前者の高温顕微鏡にあっては、第４図に縦断面に
より示すように対物レンズ７の光軸線１０より平行に離
隔した軸線８を中心として覗き窓１５が回転することが
できるようになっている。

覗き窓１５の外周側面はシーリング用リング材１６を介
してフランジ１８により囲繞固定されている。さらにフ
ランジ１８はその外周側面においてチャンバー５に気密
に固定されたフランジ２ｏにシーリング用リング材２２
を介して回転自在に囲繞されている。またチャンバー５
内の試料載置台１７には試料３を光軸線１０と交わるよ
うに載置することができ、また載置台１７に接近して加
熱手段１９が設けられており、高温試料３を覗き窓１５
おヨヒ対物レンズ７を経て検鏡観察することができるよ
うになっている。

ところで、試料３を高温状態で観察する間に試料３の種
類によっては試料３より蒸気が発生して覗き窓１５の裏
面であって試料３に最も近接した部分に蒸着するため、
その部分は不透明になってほどなく観察ができなくなる
に至る。このようになったら　フランジ１８を僅かに回
転摺動させることにより透明な覗き窓部分を対物レンズ
７と試料３とを結ぶ光軸線１０と交わるようにもたらす
ことができる。このように覗き窓の不透明部分が発生の
都度、順次僅かずつ回転摺動させて、フランジ１８が１
回転するに至るまでは観察を継続することができる。し
かし、従来の高温顕微鏡にあってはフランジ１８を回転
摺動させて高温試料を観察することのできる回数はたか
だか数回であり、それ以降の継続観察はできなくなる。

ところで、試料の種類と観察温度によっては試料より発
生する蒸気の量が多くな夛、覗き窓１５の不透明部分を
ある角度旋回させて透明部分を光軸線１０と交わるよう
にもたらしたとしてもわずか数分間で不透明になるので
覗き窓１５を１回転させるまでの時間は必然的に短かく
ならざるを得す。

必要時間をかけて試料３の観察を行なうことができなく
なるに至っていた。

（問題点を解決するだめの手段） 本発明は、従来の高温顕微鏡の有する前記諸欠点を除去
、改善した高温顕微鏡を提供することを目的とするもの
であり、特許請求の範囲記載の高温顕微鏡を提供するこ
とによって前記目的を達成することができる。

すなわち本発明は、チャンバーに設けられた覗き窓を含
む高温顕微鏡において： 前記覗き窓の外周側面はシーリング用リング材を介して
前記チャンバーに設けられた第１フランジによって囲繞
されており； 前前記第１フラ／ジの外周側面はシーリング用リング材
を介して前記チャンバーに設けられた第２フランジによ
って囲繞されており； 前記第２フランジの外周側面はシーリング用リング材を
介して前記チャンバーに固着された第３フランジによっ
て囲繞されておシ； 第２フランジは前記対物レンズの光軸に平行に離隔した
固定軸を中心として回転自在である；および 第１フランジは第２フランジの回転中心軸に平行Ｋ１１
隔した軸を中心として回転自在である；ことを特徴とす
るチャンバー内の試料を高温下で覗き窓を通して観察す
る際、試料より発生する蒸気が前記覗き窒に蒸着して観
察ができなくなったときく前記第１フランジ、第２フラ
ンジの何れか少なくとも１つを所定角度回転させて前記
覗き窓の蒸着部位を移動させることＫより連続的に長時
間試料を観察することのできるようにしてなるチャンバ
ーに設けられた覗き窓を含む高温顕微鏡に関するもので
ある。

本発明の高温顕微鏡は従来のそれと同じように光学系と
チャンバー系とを有しているが、チャンバーに設けられ
た覗き窓の機構１作用および効果の点で従来のものには
見られない大きな特徴があ１　　リ、またチャンバー内
の試料を超高真空下で観察する場合において従来のもの
では達成できない超高真空を維持しながらかつ高瀉下で
試料を観察することができるようなチャンバー密閉機Ｗ
を有することも大きな特徴である。

次に本発明の高温顕微鏡の１つの態様例を第１図の縦断
面図について説明する。

本発明の高温顕微鏡は上述のように光学系とチャンバー
系とを有し、光学系ｌは対物レンズ７、接眼レンズ１３
、半透鏡１１および落射照明手段９を有するが、上記光
学系の構造ならびに手段は従来の高温顕微鏡の光学系を
用いることができる。

本発明の高温顕微鏡のチャンバー系５１Ｃおいて、試料
３′ｆ：載置する載置台１７および試料３を加熱する念
めの電子銃などの加熱手段１９、ならびに試料３ｔ？収
納するチャンバー内を真空にする真空ポンプ２３、雰囲
気変換手段（図示せず）などは従来のそれと同一のもの
とすることができる。

本発明の顕微鏡にあっては前述のようにチャンバー：Ｉ
ｉ＆、５中、覗き窓１５を回転摺動（以下単に回動　　
　□と称す）させる手段１４において従来のものには見
られない新規な構造となっており、覗き窓１５Ｆｉ第１
フランジ１８と共に回動することができるだけでなく、
さらに覗き窓１５と第１フランジ１８は第２フランジ２
５と共に回動することができる。

本発明の顕微鏡において、第２フランジ２５の内周側面
と第１フランジ１８の外周側面との間には互に離隔して
上下にそれぞれシーリング用リング材２２＆・２２ｂが
設けられており、また第２フランジ２５の外周側面と固
定した第３フランジ２０との間には互に離隔して上下に
それぞれシーリング用リング材２６＆・２６ｂ　　が設
けられているのでチャンバー５内を超高度真空にする際
には気密性を維持することができる。

上記第２フランジ２５の内周側面と外周側面を貫通する
通気孔２８が設けられている。通気孔２８の中間部には
逆Ｔ字状に通気孔２８と連通して立上った連通孔３０が
設けられており、連通孔３０の第２フランジの上表面の
開口部は排気手段である真空ポンプ（図示せず）へ連結
されることができる。また通気孔２８の第２フランジ２
５の内周側面と外周側面における開口位置はシーリング
用リング材２２＆と２２ｂ　、　２６ａと２６ｂとのそ
れぞれ中間の隙間空間内である。通気孔２８および連通
孔３０を上述の構造にすることによって、上記隙間空間
内を排気手段を用いて必要により高度の真空に維持する
ことができるので、第１フランジ１８および／または第
２フランジ２５を回動させろ際の気密性低下を完全に防
止することができる。

しかしながら、高度の真空下で試料３を観察する必要の
ない場合に本発明の高温顕微鏡が用いられるときには、
敢えてシーリング用リング材２２ａ。

２２ｂまた２６ｂ、　２６ｂをそれぞれ二重構造になし
、かつ通気孔２８．連通孔３ｏを具える態様のものにせ
ずに、第２フランジ中に通気孔および連通孔を設けず、
かつシーリング用リング材も一重構造のものとすること
ができる。

一方、高温顕微鏡のチャンバー５には従来の高温顕微鏡
チャンバーと同様に、真空ポンプ２３．電子銃などの試
料加熱手段１９および雰囲気ガス導入手段３１を設けて
いる。上記雰囲気ガス導入手　　　゛段３１にはアルゴ
ンガスやチッ素ガスなど封入すべき所望のガスボンベを
簡単に接続出来るような接続装！（ＩＷ示しない）が設
けである。

なお、図示しないがチャンバー５内には鋼製の冷却装置
が配設されており、この冷却装置に液体チッ素などを流
入して冷却する事によりチャンバー５内の水分が冷却装
置の表面に付着し、その水分がチャンバー５内の不純ガ
スを酸化させるので、より良い真空度を得る事が出来る
。

また試料３は試料載置台１３に保持されており、この試
料載置台１３はチャンバー５に設けた試料取出し機構３
２により任意に試料を交換することができる。これらの
ポンプあるいは手段を設けることによって、制御真空、
制御温度および／ま几は各種のガス雰囲気の諸条件下で
試料の挙動を観察することができる。

次に本発明の高温顕微鏡により試料を観察する場合に、
チャンバー５に設けられた覗き窓１５が長時間の観察に
好適に対応できる機構について説明する。

光学系すなわち顕微鏡本体１は前述のように従来の高温
顕微鏡本体と同一のものを用いることができ、対物レン
ズ７、接眼レンズ１３、落射照明手段９、半透鏡１１が
設けられている。また試料３が収納されるチャンバー５
内の試料３を載置する載置台１７と加熱手段１９が設け
られており、試料３は覗き窓１５の直下であって対物レ
ンズ７の光軸と交わるように配置される。

試料３を高温下で検鏡装置１により観察すると試料３よ
り発生する試料の蒸気は覗き窒１５の下面の試料３の直
上部に蒸着してその部分はほどなく不透明になり、この
ままの状態ではそれ以上の観察は不可能になる。このよ
うな事態に到達したときには例えば第１フランジをわず
かに回動させると覗き窓の不透明部分は光軸線から外れ
て透明部分が光軸線上に現われるので、透明部分を通し
て試料を観察することができる。

第２図は本発明の高温顕微鏡を用いて試料を連続的に観
察する場合に第１フランジ１８および／または第２フラ
ンジ２５を回動させることにより覗き窓の不透明部分を
摺動させて透明部分を光軸線１０上にも念らすことので
きることを説明する光メの第１フランジ１８と第２フラ
ンジ２５の幾何学的相関位置を示す平面図であり、説明
の便宜土兄軸心１０Ｃ９第１フランジ軸心１８ｅおよび
第２フランジ軸心２５Ｃが一直線上にあるとする。

この第２図を参照して説明すると、いま光軸心１０ｅの
直下に在るチャンバー内の試料Ｃ図示せず）を覗き窓（
図示せず）を経て観察する間に覗き窓の裏面に試料の蒸
気が蒸着して不透明となるのでその不透明部分をずらし
て透明部分を光軸心１０Ｃのもとにもたらすため第１フ
ランジ１８を第１フランジ軸心１８Ｃとしてわずかに旋
回摺動させて観察を続けると、しばらくしてまた覗き窓
が不透明となるのでさらに不透明部分を回動させる。こ
のようにして第１フランジ１８を１回転させた場合の覗
き窓に形成され念不透明部分の軌跡すなわち視野軌跡は
２９，１で示され、この軌跡２９ｔ０は勿論覗き窓外局
側線１５ｆｉで囲まれる円周内に存在する。

なぜなら円周外となると試料の観察視野外になって試料
を観察できないからである。

ところで従来の高温顕微鏡にあっては、前記視野軌跡２
９ｔ１が覗き室上で第１フランジ軸心１８Ｃを中心に１
回転するだけであるので、それ以降は覗き窓の他の透明
部分を光軸右下にもたらす手段はない。しかしながら本
発明の顕Ｗ１．鏡にあっては第２図に示す視野軌跡２９
ｔ１が１回転した時に、第２フランジ２５を第２フラン
ジ軸心２５８を中心に、第１フランジと第２フランジの
相対位置を変化させずに、例えばわずかに回動させると
、第２図に示した視野軌跡２９ｔ□、覗き窓外周側線１
５ａ。

第１フランジ外周側線１８１．　　第１フランジ軸心１
８ｅは、それぞれ第３図に示す相対的位置を占めるに至
る。同図においてθ１は第２フランジ２５を第２フラン
ジ軸心２５（！　’ｅ中心【θ１０だけ回動させた角度
を意味する。

第３図に示す相対的位置になると光軸Ｉ！１０　Ｋ対向
する試料と光軸心１０ｅとを結ぶ直線すなわち光軸線１
０　（第１図参照）が覗き窓１５と交わる覗き窓部分は
透明となっているので、試料の観察を続行することがし
ばらくの間はできるが、はどなく蒸気の蒸着により不透
明となるので、第２フランジは固定させたままで第１フ
ランジを、その軸心１８Ｃを中心として、不透明部分が
発生の都度回動させると、覗き窓に形成される不透明部
分の軌跡は２９ｔ２の如くになる。

次に不透明部分の軌跡２９ｔ２が円状に形成されると、
それ以降第１フランジをその軸心１８Ｃを中心として回
動させても透明部分は光軸心１００　Ｋは現われない。

よって上述のようになったときには第２フランジをその
軸心２５Ｃを中心としである角度だけ回動させた後、次
には第２フランジを固定させたままで第１フランジを、
その細心１８ｃを中心として、不透明部分が発生の都度
回動させると透明部分が光軸心１０ｅ上に出現するので
、試料の観察を続行することができる。

ところで、覗き窓１５（第１図参照）の裏側面に出現す
る不透明部分の直径は通常的２ｍであるので、覗き窓の
直径が例えば６０鵡のときには覗き１　　　窓の全面が
ほぼ不透明部分で掩われるまでには第１および／または
第２フランジを約２００回わずかずつ回動させることが
できる。すなわち約２００回の回動が終了するまでの間
は試料を観察することができる。よって例えば透明部分
が不透明になるまでの１回毎の時間が１分間であるとし
ても２００分間は観察な継続することができる。これに
対し従来の顕微鏡にあっては、たかだが２０回の回動後
は試料の観察ができない。よって従来のものに較べ本発
明の顕＠鏡によれば約１０倍の長時間にわたってゆっく
り観察することができることが判る。

次に本発明を実施例について説明する。

実施例１ 本実施例において用い念ＳＵＳ　３０４製チヤンバー系
に設けた石英ガラス製覗き窓の直径は６０１１１１４厚
さは３龍、第１フランジの外径は９０１１’１１．ｇ、
第２フランジの外径は１３０酩ｆ、固定式第３フランジ
の外径＃−ｉｚｏｏｍ、ｇであり、光軸心と第２フラン
ジの軸心との間隔は１０〜３ｏ瓢とすることができる。

なお、第１図にも示すように第１フランジ１８と第２フ
ランジ２５の間、そして第２フランジ２５と第３フラン
ジ２００間は夫々スラストベアリング　　　：■ （図示せず）により各フランジが円滑に回動し得　　　
ｉるように形成しである。　　　　　　　　　　　　　
　ｉ一方、チャンバー系に併設した真空ポンプ２３はタ
ーボ分子ポンプとロータリーポンプの組合せたものであ
り、チャンバー５は例えば１２０ＣＫ：ｔ７１焼するこ
とができ、その到達真空度ｉｔ　５　Ｘ　１０　　Ｔｈ
ｒｒであった。

またシーリング用リング材は商品名パイトンと称するＯ
−リングを用いた。またシーリング用リング材の２２＆
と２２ｂおよび２６ａと２６ｂとの間隔はそれぞれ約１
０１１１ｓにした。さらに上記間隔空間は１０”−’〜
１０−’　Ｔｏｒｒ程度の真空に到達することのできる
真空ポンプで排気した。試料３表面と対物レンズ７間の
距離は約１１．０１１１１にした。試料の加熱手段は２
ＫＶ、　　３０ｍＡの電子銃を用い、１謀。

ｘ２ｍＡで９００〜１ｏｏｏ　ｃに純鉄試料を加熱した
。

この試料の大きさは厚さ０．２ｔｌＫ、直径８ＷＩｍで
あった。このときの真空度は３　Ｘ　１０　　Ｔｏｒｒ
であった。

一方光学系としてライツ製高濡顕ＷＩ鏡で対物リングは
ＭＳ　Ｐｌａｎ　Ｘ　２０．作動車！ｌ！ｌ１１１．０
Ｉｌ１１．開口数０．４６　、分解能０．７μｍであり
、接眼レンズＸＩＯとノーマルスキ一式微分干渉プリズ
ムと水銀ランプ光源とを用いた。なお高温に試料を加熱
すると　　　゛試料が輝いて眩しいので覗き窓の平面と
光軸との　　　□角度を垂直から１〜５°の範囲に傾け
ることができるようにした。

上記の条件下で純鉄を観察すると、覗き窓の裏　　　、
；；“ 側面にＦｅその他の蒸気が蒸着して不透明となる１□。

□１８ゎ３．ありえ７８．□、９　　］゛た都度第１お
よび／または第２フランジを回動させることにより、観
察に必要な６００分間の観察も可能であった。

なお、比較のため第２フランジを回動させずに観察した
場合には観察時間は約６０分間であり。

試料の観察は充分にはできなかった。

実施例２ 実施例１の実験における試料の観察温度を１３００ｃと
し、他の条件は実施例１と全く同じにして観察したとこ
ろ、覗き窓の透明部分が１回の回動によシネ透明になる
時間はわずか約１分であったが、　　　　□第１および
／または第２フランジを回動させるととによシ約２００
分間の観察を継続することができた。

なお本発明の高温顕微鏡のチャンバー系の覗き窓と試料
載置台との間に第３フランジに固定された耐熱ガラスで
あって、光軸線とこのガラスが交わる点を中心に例えば
直径２１１１１１にくり抜かれたものを設けることによ
り、覗き窓の裏側面に蒸着する不透明部分の直径を限定
することができる。

（作用効果） 以上本発明の高温顕微鏡によれば、従来のものに比し約
１０倍の長時間の試料観察が可能であるだけでなく、本
発明のもののチャンバー系の覗き窓の回動は第１および
／または第２フランジによって行なわれるため、回動に
よりチャンバー内の真空度の低下の機会は多いにもかか
わらず第１フランジと第２フランジの間および第２フラ
ンジと第３フランジの間に設けられた２重シーリング用
リング材と第２フランジに設けられた逆Ｔ字状連通およ
び通気孔を経ての排気手段によってチャンバー内を従来
のものより高い超高真空にすることができるので、試料
の高温における相変態、結晶粒成長などの状態を初めて
ミクロ的に解明することができ、従来技術手段によって
は不可能であった物質の高温変態現象についての新規な
知見が種種得られており、その工業的利用価値は絶大な
ものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の高温顕微鏡の１つの態様を示す縦断面
説明図、第２．３図はそれぞれ覗き窓の裏側面が不透明
になったとき、第１フランジおよび／または第２フラン
ジを回動させたときの覗き窓の裏側面に形成された不透
明部分の軌跡を示す図、第４図は従来の高温顕微鏡の縦
断面説明図である。 ｌ・・・光学系、３・・・試料、５山チヤンバー、７・
・・対物レンズ、８・・・第２フランジの回転軸線、９
・・・落射照明手段、ｌＯ・・・光軸線、１１・・・半
透鏡、１２　　接眼レンズ、１４・・・覗き窓回転手段
、１５・・・覗き窓、１６・・・シーリング用リング材
、１７・・・試料載置台、１８・・・第１フランジ、１
９・・・加熱手段、２ｏ・・・第３フランジ、２２ａ　
争２２ｂ　、　２６ａ　、　２６ｂ　・−シーリング用
リング材、２３・・・真空ポンプ、２５・・・第２フラ
ンジ、２８・・・通気孔、３０・・・連通孔、３１・・
・雰囲気ガス導入手段、 ３２・・・試料取出し機構。 特許出願人　　木　　村　　　　宏 量　　　　　　安　　　彦　　　兼　　　次間　　　日
本真空技術株式会社 同　　　　オリンパス光学工業株式会社代　理　人　弁
理士　　村　　１）　政　　活量　　　弁理士　　秦　
　野　　拓　　也へ 手胱櫂正書（自発） 昭和６０年ｇ月２０日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、チャンバーに設けられた覗き窓を含む高温顕微鏡に
   おいて： 前記覗き窓の外周側面はシーリング用リング材を介して
   前記チャンバーに設けられた第１フランジによつて囲繞
   されており； 前記第１フランジの外周側面はシーリング用リング材を
   介して前記チャンバーに設けられた第２フランジによつ
   て囲繞されており； 前記第２フランジの外周側面はシーリング用リング材を
   介して前記チャンバーに固着された第３フランジによつ
   て囲繞されており； 第２フランジは前記対物レンズの光軸に平行に離隔した
   固定軸を中心として回転自在である；および 第１フランジは第２フランジの回転中心軸に平行に離隔
   した軸を中心として回転自在である；ことを特徴とする
   チャンバー内の試料を高温下で覗き窓を通して観察する
   際、試料より発生する蒸気が前記覗き窓に蒸着して観察
   ができなくなつたときに、前記第１フランジ、第２フラ
   ンジの何れか少なくとも１つを所定角度回転させて前記
   覗き窓の蒸着部位を光軸から移動させることにより連続
   的に長時間試料を観察することのできるようにしてなる
   チャンバーに設けられた覗き窓を含む高温顕微鏡。 ２、特許請求の範囲第１項記載の高温顕微鏡において、
   第２フランジはその内周側面において互に離隔して上下
   にそれぞれ設けられたシーリング用リング材を介して第
   １フランジを囲繞してなる高温顕微鏡。 ３、特許請求の範囲第１または２項記載の高温顕微鏡に
   おいて、第２フランジはその外周側面において、互に離
   隔して上下にそれぞれ設けられたシーリング用リング材
   を介して第３フランジによつて囲繞されてなる高温顕微
   鏡。 ４、特許請求の範囲第２または３項記載の高温顕微鏡に
   おいて、第２フランジの内周側面と外周側面を貫通する
   通気孔が第２フランジに設けられており； 前記通気孔の中間部より立上つて前記通気孔と逆Ｔ字状
   に連通する連通孔が設けられており；前記通気孔の第２
   フランジの内周側面と外周側面の開口部はそれぞれ第２
   フランジの内周側面と外周側面に互に離隔して上下に設
   けられたシーリング用リング材の上下方向の中間位置に
   開口しており；および 前記連通孔が立上つた第２フランジの上面の開口部は排
   気手段に連結されてなる； 第２フランジの内周側面および外周側面においてチャン
   バー内の気密性が向上されてなる高温顕微鏡。 ５、特許請求の範囲第１〜４項の何れかに記載の高温顕
   微鏡において、前記チャンバー内には試料支持台が設け
   られており、支持台上の試料は覗き窓と共に対物レンズ
   の光軸線と交わるように配設自在の高温顕微鏡。 ６、特許請求の範囲第１〜５項の何れかに記載の高温顕
   微鏡において、前記チャンバーは試料支持台に載置され
   る試料を高濃度に調整加熱自在の加熱手段を有する高温
   顕微鏡。 ７、特許請求の範囲第１〜６項の何れかに記載の高温顕
   微鏡において、前記チャンバーはチャンバー内の雰囲気
   ガス変換手段を有する高温顕微鏡。 ８、特許請求の範囲第１〜７項の何れかに記載の高温顕
   微鏡において、前記チャンバーはチャンバー内を高度の
   真空乃至高度の圧力の間に調整自在の真空ならびに加圧
   手段を有する高温顕微鏡。