JPH06160222A - 静電容量式圧力検出器 - Google Patents
静電容量式圧力検出器Info
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- JPH06160222A JPH06160222A JP31008192A JP31008192A JPH06160222A JP H06160222 A JPH06160222 A JP H06160222A JP 31008192 A JP31008192 A JP 31008192A JP 31008192 A JP31008192 A JP 31008192A JP H06160222 A JPH06160222 A JP H06160222A
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- metal
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- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高圧を高精度で検出することが可能な静電容
量式圧力検出器を提供する。 【構成】 複合部材基板３は、金属基板２に対向配置さ
れ、この複合部材基板３の金属電極５と金属基板２が所
定の距離だけ離される。この距離を設定するために、複
合部材基板３の絶縁性基板４の周縁と金属基板２間にス
ペーサ（図示せず）が挿入され、この状態で、絶縁性基
板４の下面の周縁の金属層と金属基板２間がＡｕＳｎ等
の低融点のろう材６によって接合される。これにより、
金属基板２を一方の電極とし、複合部材基板３の金属電
極５を他方の電極とするコンデンサが形成される。さら
に、検出部用カバー７を被せて、この上に回路基板８を
配設し、この後に回路用カバー１１を被せる。金属基板
２の下方に圧力が加わると、この金属基板２が撓んで、
金属電極５と金属基板２間の静電容量が変化するので、
この静電容量の変化に基づいて、その圧力を検出するこ
とができる。
量式圧力検出器を提供する。 【構成】 複合部材基板３は、金属基板２に対向配置さ
れ、この複合部材基板３の金属電極５と金属基板２が所
定の距離だけ離される。この距離を設定するために、複
合部材基板３の絶縁性基板４の周縁と金属基板２間にス
ペーサ（図示せず）が挿入され、この状態で、絶縁性基
板４の下面の周縁の金属層と金属基板２間がＡｕＳｎ等
の低融点のろう材６によって接合される。これにより、
金属基板２を一方の電極とし、複合部材基板３の金属電
極５を他方の電極とするコンデンサが形成される。さら
に、検出部用カバー７を被せて、この上に回路基板８を
配設し、この後に回路用カバー１１を被せる。金属基板
２の下方に圧力が加わると、この金属基板２が撓んで、
金属電極５と金属基板２間の静電容量が変化するので、
この静電容量の変化に基づいて、その圧力を検出するこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、平面状の一対の電極
を対向配置し、これらの電極のうちの一方に加わった圧
力を該各電極間の静電容量の変化に基づいて検出する静
電容量式圧力検出器に関する。
を対向配置し、これらの電極のうちの一方に加わった圧
力を該各電極間の静電容量の変化に基づいて検出する静
電容量式圧力検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の静電容量式圧力検出器と
しては、例えば特開昭５９−１４８８４２号公報に記載
のものがある。ここでは、図４に示すように、アルミナ
基板１０１およびアルミナダイヤフラム１０２にそれぞ
れの電極１０３，１０４を形成し、これらの電極１０
３，１０４を所定の距離だけ離して対向配置し、この状
態でアルミナ基板１０１とアルミナダイヤフラム１０２
間を低融点ガラス１０５および高融点ガラス１０６によ
って封着している。このアルミナダイヤフラム１０２に
対して圧力が加えられると、各電極１０３，１０４間の
距離が変化して、この間の静電容量が変化するので、こ
の静電容量の変化に基づいて、アルミナダイヤフラム１
０２に対して加えられた圧力を検出することができる。
しては、例えば特開昭５９−１４８８４２号公報に記載
のものがある。ここでは、図４に示すように、アルミナ
基板１０１およびアルミナダイヤフラム１０２にそれぞ
れの電極１０３，１０４を形成し、これらの電極１０
３，１０４を所定の距離だけ離して対向配置し、この状
態でアルミナ基板１０１とアルミナダイヤフラム１０２
間を低融点ガラス１０５および高融点ガラス１０６によ
って封着している。このアルミナダイヤフラム１０２に
対して圧力が加えられると、各電極１０３，１０４間の
距離が変化して、この間の静電容量が変化するので、こ
の静電容量の変化に基づいて、アルミナダイヤフラム１
０２に対して加えられた圧力を検出することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の圧力検出器では、圧力を受ける部位、つまりアルミ
ナダイヤフラムが脆い材質であることから、この部位の
破損を招き易く、このために高い圧力を検出することが
できなかった。例えば自動車のブレーキの油圧や、サス
ペンションの油圧は、１００ｋｇｆ／ｃｍ2 以上の高圧
に達することがあるので、これらの圧力の検出には適さ
なかった。
来の圧力検出器では、圧力を受ける部位、つまりアルミ
ナダイヤフラムが脆い材質であることから、この部位の
破損を招き易く、このために高い圧力を検出することが
できなかった。例えば自動車のブレーキの油圧や、サス
ペンションの油圧は、１００ｋｇｆ／ｃｍ2 以上の高圧
に達することがあるので、これらの圧力の検出には適さ
なかった。
【０００４】そこで、この発明の課題は、高圧を高精度
で検出することが可能な静電容量式圧力検出器を提供す
ることにある。
で検出することが可能な静電容量式圧力検出器を提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、第１の発明においては、一対の電極のうちの一方の
電極となり、検出すべき圧力を受ける金属基板と、この
金属基板に対向配置される複合部材基板とを備え、この
複合部材基板は、前記一対の電極のうちの他方の電極と
なる金属電極を中央に配し、この金属電極の外周を絶縁
性基板によって支持してなる。
に、第１の発明においては、一対の電極のうちの一方の
電極となり、検出すべき圧力を受ける金属基板と、この
金属基板に対向配置される複合部材基板とを備え、この
複合部材基板は、前記一対の電極のうちの他方の電極と
なる金属電極を中央に配し、この金属電極の外周を絶縁
性基板によって支持してなる。
【０００６】また、第２の発明においては、一対の電極
のうちの一方の電極となり、検出すべき圧力を受ける金
属基板と、この金属基板に対向配置される複合部材基板
とを備え、この複合部材基板は、前記一対の電極のうち
の他方の電極となる金属電極を中央に配し、この金属電
極の外周を絶縁性基板によって支持し、この絶縁性基板
の外周に金属枠を配してなり、この複合部材基板の外周
の金属枠と該金属基板間をろう材によって接合してい
る。
のうちの一方の電極となり、検出すべき圧力を受ける金
属基板と、この金属基板に対向配置される複合部材基板
とを備え、この複合部材基板は、前記一対の電極のうち
の他方の電極となる金属電極を中央に配し、この金属電
極の外周を絶縁性基板によって支持し、この絶縁性基板
の外周に金属枠を配してなり、この複合部材基板の外周
の金属枠と該金属基板間をろう材によって接合してい
る。
【０００７】さらに、第３の発明においては、検出すべ
き圧力を受ける金属基板と、この金属基板に対向配置さ
れる複合部材基板とを備え、前記金属基板には、一対の
電極のうちの一方の電極となる薄膜電極が絶縁層を介し
て配設され、また前記複合部材基板は、前記一対の電極
のうちの他方の電極となる金属電極を中央に配し、この
金属電極の外周を絶縁性基板によって支持し、この絶縁
性基板の外周に金属枠を配してなり、この複合部材基板
の外周の金属枠と該金属基板間をろう材によって接合し
ている。
き圧力を受ける金属基板と、この金属基板に対向配置さ
れる複合部材基板とを備え、前記金属基板には、一対の
電極のうちの一方の電極となる薄膜電極が絶縁層を介し
て配設され、また前記複合部材基板は、前記一対の電極
のうちの他方の電極となる金属電極を中央に配し、この
金属電極の外周を絶縁性基板によって支持し、この絶縁
性基板の外周に金属枠を配してなり、この複合部材基板
の外周の金属枠と該金属基板間をろう材によって接合し
ている。
【０００８】
【作用】第１の発明によれば、複合部材基板と金属基板
を対向配置しているので、複合部材基板の中央の金属電
極と金属基板間に静電容量が形成される。この静電容量
は、金属基板によって圧力が受けられ、この金属基板が
撓むと、変化する。したがって、この静電容量の変化に
基づいて、金属基板によって受けられた圧力を検出する
ことができる。しかも、この金属基板は、高圧に耐える
ので、高い圧力を検出することが可能になる。
を対向配置しているので、複合部材基板の中央の金属電
極と金属基板間に静電容量が形成される。この静電容量
は、金属基板によって圧力が受けられ、この金属基板が
撓むと、変化する。したがって、この静電容量の変化に
基づいて、金属基板によって受けられた圧力を検出する
ことができる。しかも、この金属基板は、高圧に耐える
ので、高い圧力を検出することが可能になる。
【０００９】また、第２の発明によれば、複合部材基板
の外周には、金属枠が配されているので、この金属枠と
金属基板間をろう材によって接合して、複合部材基板と
金属基板を対向配置することができる。
の外周には、金属枠が配されているので、この金属枠と
金属基板間をろう材によって接合して、複合部材基板と
金属基板を対向配置することができる。
【００１０】さらに、第３の発明によれば、複合部材基
板と金属基板を対向して配置しているので、複合部材基
板の中央の金属電極と金属基板の薄膜電極間に静電容量
が形成される。この静電容量は、金属基板によって圧力
が受けられると、変化する。このため、この圧力を静電
容量の変化に基づいて検出することができる。また、こ
の静電容量を形成する金属電極と薄膜電極は、複合部材
基板の外周の金属枠と金属基板によって磁気シールド並
びに静電シールドされるので、検出誤差が小さくなる。
板と金属基板を対向して配置しているので、複合部材基
板の中央の金属電極と金属基板の薄膜電極間に静電容量
が形成される。この静電容量は、金属基板によって圧力
が受けられると、変化する。このため、この圧力を静電
容量の変化に基づいて検出することができる。また、こ
の静電容量を形成する金属電極と薄膜電極は、複合部材
基板の外周の金属枠と金属基板によって磁気シールド並
びに静電シールドされるので、検出誤差が小さくなる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１２】図１は、第１の発明に係わる圧力検出器の
一実施例を示している。同図において、金属ブロック１
は、例えばＳ４５Ｃ（ＪＩＳの名称）と称する鋼からな
り、その下側には、穴が形成され、これにより薄くされ
た部位が金属基板２となっている。この金属基板２は、
検出すべき圧力を下方から受け、この圧力に応じて撓
む。
一実施例を示している。同図において、金属ブロック１
は、例えばＳ４５Ｃ（ＪＩＳの名称）と称する鋼からな
り、その下側には、穴が形成され、これにより薄くされ
た部位が金属基板２となっている。この金属基板２は、
検出すべき圧力を下方から受け、この圧力に応じて撓
む。
【００１３】一方、複合部材基板３は、絶縁性基板４の
中央に金属ブロック１と同一の材質の金属電極５を嵌着
したものであり、この絶縁性基板４の下面の周縁には、
メタライズ加工によって金属層（図示せず）が形成され
ている。この絶縁性基板４の材質としては、金属ブロッ
ク１と略同一の膨張係数を有するものが選択され、例え
ば軟質ガラスが適用される。したがって、この複合部材
基板３は、金属ブロック１と略同一の膨張係数を保有す
ることとなる。
中央に金属ブロック１と同一の材質の金属電極５を嵌着
したものであり、この絶縁性基板４の下面の周縁には、
メタライズ加工によって金属層（図示せず）が形成され
ている。この絶縁性基板４の材質としては、金属ブロッ
ク１と略同一の膨張係数を有するものが選択され、例え
ば軟質ガラスが適用される。したがって、この複合部材
基板３は、金属ブロック１と略同一の膨張係数を保有す
ることとなる。
【００１４】この複合部材基板３は、金属基板２に対向
配置され、この複合部材基板３の金属電極５と金属基板
２が所定の距離だけ離される。例えば、その間隙は、１
０〜１００μｍであり、この間隙を設定するために、複
合部材基板３の絶縁性基板４の周縁と金属基板２間にス
ペーサ（図示せず）が挿入される。この状態で、絶縁性
基板４の下面周縁の金属層と金属基板２間がＡｕＳｎ等
の低融点のろう材６によって接合される。これにより、
金属基板２を一対の電極のうちの一方の電極とし、複合
部材基板３の金属電極５を他方の電極とするコンデンサ
が形成されることとなる。
配置され、この複合部材基板３の金属電極５と金属基板
２が所定の距離だけ離される。例えば、その間隙は、１
０〜１００μｍであり、この間隙を設定するために、複
合部材基板３の絶縁性基板４の周縁と金属基板２間にス
ペーサ（図示せず）が挿入される。この状態で、絶縁性
基板４の下面周縁の金属層と金属基板２間がＡｕＳｎ等
の低融点のろう材６によって接合される。これにより、
金属基板２を一対の電極のうちの一方の電極とし、複合
部材基板３の金属電極５を他方の電極とするコンデンサ
が形成されることとなる。
【００１５】ここで、先に述べたように複合部材基板３
が金属ブロック１と略同一の熱膨張係数を有しているの
で、複合部材基板３の周縁と金属基板２間の接合に際
し、これらの基板に対して熱応力が作用しても、この熱
応力は、極めて小さく、このために両者間の接合が容易
となる。また、この接合の後にも、残留応力が非常に小
さいので、耐久性並びに信頼性が極めて高い。
が金属ブロック１と略同一の熱膨張係数を有しているの
で、複合部材基板３の周縁と金属基板２間の接合に際
し、これらの基板に対して熱応力が作用しても、この熱
応力は、極めて小さく、このために両者間の接合が容易
となる。また、この接合の後にも、残留応力が非常に小
さいので、耐久性並びに信頼性が極めて高い。
【００１６】なお、金属基板２を電極とする場合には、
ろう材による接合が必要不可欠であり、図４に示した従
来の検出器のようにガラス材による接合を適用すること
はできない。これは、ガラス材による接合温度が高いこ
と、ガラス材と金属との熱膨張率の差が大きいこと等に
起因し、この点に関しては、本願発明の出願人が先に出
願した特願平４−９９５４８号に詳述されている。
ろう材による接合が必要不可欠であり、図４に示した従
来の検出器のようにガラス材による接合を適用すること
はできない。これは、ガラス材による接合温度が高いこ
と、ガラス材と金属との熱膨張率の差が大きいこと等に
起因し、この点に関しては、本願発明の出願人が先に出
願した特願平４−９９５４８号に詳述されている。
【００１７】こうして金属基板２上に複合部材基板３が
接合されると、検出部用カバー７を被せて、この上に回
路基板８を配設する。このとき、金属基板２と回路基板
８の回路間は、絶縁性基板４の孔４ａを通る引出し線９
を介して接続され、また金属電極５と回路基板８の回路
間は、引き出し線１０を介して接続される。この後、回
路用カバー１１を被せて、回路基板８の回路に接続され
ているライン１２を回路用カバー１１から導出する。
接合されると、検出部用カバー７を被せて、この上に回
路基板８を配設する。このとき、金属基板２と回路基板
８の回路間は、絶縁性基板４の孔４ａを通る引出し線９
を介して接続され、また金属電極５と回路基板８の回路
間は、引き出し線１０を介して接続される。この後、回
路用カバー１１を被せて、回路基板８の回路に接続され
ているライン１２を回路用カバー１１から導出する。
【００１８】さて、このような構成の圧力検出器におい
て、例えば金属基板２の受圧範囲の半径を４ｍｍとし、
この受圧範囲での金属基板２の厚みを１ｍｍとすると、
２００ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力が金属基板２に加わったと
きに、この金属基板２が１０μｍ程度撓んだ。また、複
合部材基板３の金属電極５の半径を２ｍｍとし、この金
属電極５と金属基板２の間隙を３０μｍに設定すると、
これらの間の静電容量の初期値が数ｐＦとなり、２００
ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力に対して略１ｐＦの変化が得られ
た。この静電容量の変化を例えばブリッジ回路によって
検出し、この静電容量の変化に基づいて金属基板２に加
わった圧力を導き出すことができる。したがって、金属
基板２によって圧力を受ける構造にしたことから、高い
圧力の検出が可能になったと言える。
て、例えば金属基板２の受圧範囲の半径を４ｍｍとし、
この受圧範囲での金属基板２の厚みを１ｍｍとすると、
２００ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力が金属基板２に加わったと
きに、この金属基板２が１０μｍ程度撓んだ。また、複
合部材基板３の金属電極５の半径を２ｍｍとし、この金
属電極５と金属基板２の間隙を３０μｍに設定すると、
これらの間の静電容量の初期値が数ｐＦとなり、２００
ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力に対して略１ｐＦの変化が得られ
た。この静電容量の変化を例えばブリッジ回路によって
検出し、この静電容量の変化に基づいて金属基板２に加
わった圧力を導き出すことができる。したがって、金属
基板２によって圧力を受ける構造にしたことから、高い
圧力の検出が可能になったと言える。
【００１９】図２は、第２の発明に係わる圧力検出器の
一実施例を部分的に示している。ここでは、図１に示し
た検出器における複合部材基板３の代わりに、複合部材
基板２１を用いている。この複合部材基板２１は、外側
が金属枠２２であり、この金属枠２２の内側に軟質ガラ
スを圧縮充填して絶縁性基板２３を形成し、この絶縁性
基板２３の中央に金属電極２４を嵌着して構成される。
ここで、金属枠２２の材質は、例えばＳ４５Ｃであり、
金属電極２４の材質は、例えばＦｅＮｉ系の合金であ
る。また、この絶縁性基板２３を形成する軟質ガラスと
しては、熱膨張係数９×α（ただし、αは、１０のマイ
ナス６乗）のものが適用される。このような材質の選択
により、複合部材基板２１の平均的な熱膨張係数が金属
基板２に適用されているＳ４５Ｃ材と略同一になる。
一実施例を部分的に示している。ここでは、図１に示し
た検出器における複合部材基板３の代わりに、複合部材
基板２１を用いている。この複合部材基板２１は、外側
が金属枠２２であり、この金属枠２２の内側に軟質ガラ
スを圧縮充填して絶縁性基板２３を形成し、この絶縁性
基板２３の中央に金属電極２４を嵌着して構成される。
ここで、金属枠２２の材質は、例えばＳ４５Ｃであり、
金属電極２４の材質は、例えばＦｅＮｉ系の合金であ
る。また、この絶縁性基板２３を形成する軟質ガラスと
しては、熱膨張係数９×α（ただし、αは、１０のマイ
ナス６乗）のものが適用される。このような材質の選択
により、複合部材基板２１の平均的な熱膨張係数が金属
基板２に適用されているＳ４５Ｃ材と略同一になる。
【００２０】この複合部材基板２１は、金属基板２上に
配置され、金属電極２４が金属基板２から所定の距離だ
け離れた状態で、金属枠２２と金属基板２間がＡｕＳｎ
等のろう材６によって接合される。したがって、図１に
示した検出器のように絶縁性基板の下面の周縁に金属層
を形成する必要がない。
配置され、金属電極２４が金属基板２から所定の距離だ
け離れた状態で、金属枠２２と金属基板２間がＡｕＳｎ
等のろう材６によって接合される。したがって、図１に
示した検出器のように絶縁性基板の下面の周縁に金属層
を形成する必要がない。
【００２１】図３は、第３の発明に係わる圧力検出器の
一実施例を部分的に示している。この実施例の圧力検出
器では、図２に示した検出器における金属基板２上に絶
縁層３１を形成し、この絶縁層３１上に金属薄膜電極３
２を積層している。絶縁層３１は、厚みが数μｍのＳｉ
Ｏ2 膜であり、金属薄膜電極３２は、Ａｕ等の導電性材
料である。
一実施例を部分的に示している。この実施例の圧力検出
器では、図２に示した検出器における金属基板２上に絶
縁層３１を形成し、この絶縁層３１上に金属薄膜電極３
２を積層している。絶縁層３１は、厚みが数μｍのＳｉ
Ｏ2 膜であり、金属薄膜電極３２は、Ａｕ等の導電性材
料である。
【００２２】この金属薄膜電極３２は、金属基板２に代
わって、一対の電極のうちの一方の電極となるものであ
り、絶縁性基板２３の孔２３ａを通る引き出し線３３を
介して回路に接続される。したがって、ここでは、金属
薄膜電極３２と複合部材基板２１の金属電極２４間の静
電容量を検出することとなる。
わって、一対の電極のうちの一方の電極となるものであ
り、絶縁性基板２３の孔２３ａを通る引き出し線３３を
介して回路に接続される。したがって、ここでは、金属
薄膜電極３２と複合部材基板２１の金属電極２４間の静
電容量を検出することとなる。
【００２３】このような金属枠２２の中央に位置する金
属電極２４と、金属基板２上の金属薄膜電極３２を備え
るコンデンサを形成した場合、このコンデンサが金属枠
２２と金属基板２によってほぼ囲まれる状態となるの
で、このコンデンサが磁気シールド並びに静電シールド
されることとなる。これにより、このコンデンサの静電
容量の検出誤差が小さくなり、金属基板２に加わった圧
力を正確に検出することができる。
属電極２４と、金属基板２上の金属薄膜電極３２を備え
るコンデンサを形成した場合、このコンデンサが金属枠
２２と金属基板２によってほぼ囲まれる状態となるの
で、このコンデンサが磁気シールド並びに静電シールド
されることとなる。これにより、このコンデンサの静電
容量の検出誤差が小さくなり、金属基板２に加わった圧
力を正確に検出することができる。
【００２４】
【効果】以上説明したように、この発明に係わる静電容
量式圧力検出器によれば、金属基板によって圧力を受け
ているので、高い圧力を検出することができる。また、
複合部材基板における少なくとも外周の金属枠の熱膨張
係数を金属基板と略同一にしているので、これらの金属
枠と金属基板間をろう材によって接合することが容易に
なり、かつ耐久性並びに信頼性が向上する。さらに、一
対の電極のうちの一方の電極を複合部材基板の金属枠の
中央に配置するとともに、他方の電極を金属基板上に絶
縁層を介して形成すれば、これらの電極からなるコンデ
ンサがシールドされた状態となるので、これにより検出
精度が向上する。
量式圧力検出器によれば、金属基板によって圧力を受け
ているので、高い圧力を検出することができる。また、
複合部材基板における少なくとも外周の金属枠の熱膨張
係数を金属基板と略同一にしているので、これらの金属
枠と金属基板間をろう材によって接合することが容易に
なり、かつ耐久性並びに信頼性が向上する。さらに、一
対の電極のうちの一方の電極を複合部材基板の金属枠の
中央に配置するとともに、他方の電極を金属基板上に絶
縁層を介して形成すれば、これらの電極からなるコンデ
ンサがシールドされた状態となるので、これにより検出
精度が向上する。
【図１】第１の発明に係わる圧力検出器の一実施例を示
す断面図
す断面図
【図２】第２の発明に係わる圧力検出器の一実施例を部
分的に示す断面図
分的に示す断面図
【図３】第３の発明に係わる圧力検出器の一実施例を部
分的に示す断面図
分的に示す断面図
【図４】従来の圧力検出器を例示する断面図
１ 金属ブロック ２ 金属基板 ３，２１ 複合部材基板 ４，２３ 絶縁性基板 ５，２４ 金属電極 ６ ろう材 ７ 検出部用カバー ８ 回路基板 １１ 回路用カバー ２２ 金属枠 ３１ 絶縁層 ３２ 金属薄膜電極
Claims (5)
- 【請求項１】 平面状の一対の電極を所定の距離だけ離
して対向配置し、これらの電極のうちの一方の電極によ
って圧力を受け、この圧力を該各電極間の静電容量の変
化に基づいて検出する静電容量式圧力検出器において、 前記各電極のうちの一方の電極となり、検出すべき圧力
を受ける金属基板と、この金属基板に対向配置される複
合部材基板とを備え、 この複合部材基板は、前記各電極のうちの他方の電極と
なる金属電極を中央に配し、この金属電極の外周を絶縁
性基板によって支持してなる静電容量式圧力検出器。 - 【請求項２】 平面状の一対の電極を所定の距離だけ離
して対向配置し、これらの電極のうちの一方の電極によ
って圧力を受け、この圧力を該各電極間の静電容量の変
化に基づいて検出する静電容量式圧力検出器において、 前記各電極のうちの一方の電極となり、検出すべき圧力
を受ける金属基板と、この金属基板に対向配置される複
合部材基板とを備え、 この複合部材基板は、前記各電極のうちの他方の電極と
なる金属電極を中央に配し、この金属電極の外周を絶縁
性基板によって支持し、この絶縁性基板の外周に金属枠
を配してなり、 この複合部材基板の外周の金属枠と前記金属基板間をろ
う材によって接合した静電容量式圧力検出器。 - 【請求項３】 前記複合部材基板の外周の金属枠の熱膨
張係数は、前記金属基板のものと略同一である請求項２
に記載の静電容量式圧力検出器。 - 【請求項４】 平面状の一対の電極を所定の距離だけ離
して対向配置し、これらの電極のうちの一方の電極によ
って圧力を受け、この圧力を該各電極間の静電容量の変
化として検出する静電容量式圧力検出器において、 検出すべき圧力を受ける金属基板と、この金属基板に対
向配置される複合部材基板とを備え、 前記金属基板には、前記各電極のうちの一方の電極とな
る薄膜電極が絶縁層を介して配設され、 前記複合部材基板は、前記各電極のうちの他方の電極と
なる金属電極を中央に配し、この金属電極の外周を絶縁
性基板によって支持し、この絶縁性基板の外周に金属枠
を配してなり、 この複合部材基板の外周の金属枠と前記金属基板間をろ
う材によって接合した静電容量式圧力検出器。 - 【請求項５】 前記複合部材基板の外周の金属枠の熱膨
張係数は、前記金属基板のものと略同一である請求項４
に記載の静電容量式圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31008192A JPH06160222A (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 静電容量式圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31008192A JPH06160222A (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 静電容量式圧力検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160222A true JPH06160222A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18000958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31008192A Pending JPH06160222A (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 静電容量式圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06160222A (ja) |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP31008192A patent/JPH06160222A/ja active Pending
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