JPH06160178A - 微小高光輝度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 メタリック塗膜等の高輝度感や高光沢感を、
その反射光又は透過光を光学的に拡大し、その微小部分
を多数点測定することによって評価する。 【構成】 試料台２はパルスモータ３で動く垂直移動台
５と水平移動台６とを組み合わせたもので、試料８の保
持角度を垂直方向から所定の角度範囲内で可変可能な試
料保持具７が固定されている。光源部９は試料８に平行
光束を照射する。この試料台２及び光源部９は所定の角
度範囲内を水平に回転するようになっている。受光部１
５は試料８の反射光又は透過光を拡大する拡大レンズ系
１７と、この焦点位置に配したピンホール板１８及びピ
ンホール２０に対応した受光器１９とからなる。又、拡
大レンズ系１７からピンホール板１８に至る光路を直角
に切り換えるための反射ミラー２１があり、その反射光
の焦点位置にモニタースクリーン２２が設けてある。さ
らに受光器１９はデータ処理回路と、移動信号制御回路
３０は垂直移動台５及び水平移動台６と連絡している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】メタリック塗膜等の高輝度感や高
光沢感を、測定試料を光学的に拡大し、その微小部分を
多数点測定することによって評価するための装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】メタリック塗膜は塗料中にアルミ粉やマ
イカ粉を混入して作るもので、塗膜の色を透かしてキラ
キラと輝いた金属光沢の微小片が散見でき、高輝度感や
高光沢感を持つ塗面である。

【０００３】さて、試料の光沢感を数値で表す装置とし
て一般に用いられている、日本工業規格（ＪＩＳ）Ｚ８
７４１「鏡面光沢度測定方法」に規定の光沢計や、ＪＩ
ＳＫ７１０５「プラスチックの光学的特性試験方法」に
規定の光沢計による測定では、メタリック塗膜は必ずし
も視感と一致した評価が得られない。

【０００４】そこで従来、メタリック塗膜を視感と一致
して評価できるようにした装置として、測定試料を光学
的に拡大してその微小部分を連続的に測定し、その時の
受光器の出力を記録計のチャート紙上に記録し、その連
続波形を解析して評価する、いわゆる顕微光沢計が用い
られていた。

【０００５】図５は従来の顕微光沢計３４の概念図であ
る。図において、光源３５は所定の光束で試料を照射す
るようになっており、試料８面の反射光は対物レンズ１
６によって拡大され、面Ｆ上に実像を結ぶ。面Ｆ上に
は、前面にスリットを持つ受光器３６が設けてある。測
定は、面Ｆの位置に予めピントガラス３７を置いてピン
ト調節後これを除き、この受光器３６を所定の速度で連
続移動、即ち、任意の方向に直線的に移動又は任意の半
径で回転移動して行い、受光器３６の出力を連続波形と
して記録計３８のチャート紙上に記録するものである。
尚、対物レンズ１６及びスリットを持つ受光器３６は暗
箱２３内にある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の顕微光沢計
３４は、試料８の反射又は透過光の拡大像面上をスリッ
トを持つ受光器３６を移動して測定する構成であるた
め、拡大像の焦点位置は試料８の位置により変わること
になる。例えば、試料８を水平平面上で回転すると、拡
大像の焦点位置は、回転の中心を除き、移動距離に応じ
て動くことになる。図６はこの関係を図示したもので、
Ａ位置の試料面に照射された平行光束の反射光は対物レ
ンズ１６で拡大されて面ＦA に焦点を結ぶ。即ち、Ａ位
置の試料面上の点ａ0 、ｂ0 、ｃ0 はＦA 上に点ａ0´
、ｂ0´ 、ｃ0´ として結像することになる。点ａ0
を中心に試料８をＢ位置に回転移動すると、対物レンズ
１６を経た拡大像は面ＦB 上に焦点を結ぶことになる。
即ち、Ｂ位置の試料面上の点ａ0、ｂ1 、ｃ1 はＦB 上
に点ａ0´ 、ｂ1´ 、ｃ1´ として結像することにな
る。ここでスリットを持つ受光器３６は拡大面上を移動
する構成であるため、面ＦA上を移動するこの受光器３
６で面ＦB 上を測定する場合、点ａ0´ 以外は焦点のあ
った像を測定することができないことになる。

【０００７】従って、この従来の顕微光沢計３４の構成
では、試料８を動かして多数の角度での反射光又は透過
光の強度を測定し、試料８を幅広い角度からより正確に
評価しようとする場合、試料８の動きに同期してスリッ
トを持つ受光器３６も動かす必要があるため、必然的に
装置の構成が複雑になり、その価格も高価になるもので
あった。

【０００８】又、拡大像面上をスリットを持つ受光器３
６が移動する構成のため、必然的にその移動距離が大き
くなり、この移動装置も大きなものが必要となり、どう
しても装置本体が大きくならざるを得なかった。さらに
この受光器３６が受光する反射光又は透過光は微量であ
るため、それを移動するときに生じる微細な振動により
発生するノイズ等が測定結果に大きく影響し、正確な測
定値を繰り返し得ることが困難であった。

【０００９】又、従来の顕微光沢計３４は、スリットを
持つ受光器３６を連続的に移動し、その出力を記録計３
８の記録紙上に連続記録するもので、この構成ではシン
クロナスモータやサーボモータを用いて受光器３６を連
続的に動かすのが一般的である。こうしたモータを用
い、例えば前記図６において、拡大像面ＦA上の点ｂ0´
からｃ0´ まで受光器３６を水平に移動して測定し、次
にもう一度同じ位置を測定しようとする場合、モータの
精度上同一位置を繰り返し正確に測定することは不可能
であった。このことから、例えば図７のように、拡大像
面上の点ｘ0ｙ0、ｘnｙ0、ｘ0ｙn、ｘnｙnで囲まれる範
囲内を、点ｘ0ｙ0から点ｘnｙ0まで連続に測定し、次に
例えば間隔αで点ｘ0ｙ1から点ｘnｙ1までを測定するよ
うにして、点ｘ0ｙnから点ｘnｙnまでを測定し、即ち、
試料８の所定範囲内（所定面積）を測定し、試料８をよ
り正確に評価しようとする場合、上記モータの精度から
各測定開始点及び測定終了点を正確に特定することがで
きなかった。

【００１０】従って、所定範囲内を繰り返し測定してそ
の平均値等からより正確に試料を評価するという進んだ
評価方法を採用することは、その構成上不可能であっ
た。

【００１１】又、測定値の評価はスリットを持つ受光器
３６からの連続出力波形を記録した記録紙を、人間が解
析する手法で行うため、解析に時間がかかると共にどう
しても解析結果にばらつきが生じていた。そこで、この
解析をコンピュータ等を用いて行おうとした場合、上記
のように測定位置が正確に特定できず、測定点とその点
における測定値を正確に対応させることができないた
め、信頼性のある解析結果が得られず、コンピュータ等
を用いることは無意味であった。

【００１２】そこで、常に焦点のあった位置での測定値
が得られかつ正確に測定位置が特定でき、さらに測定値
の解析のために容易にコンピュータ等を用いることがで
き、信頼性ある測定結果を迅速に得られるコンパクトな
装置の開発が強く望まれていた。

【００１３】

【課題を解決するための手段】第１の手段は、パルスモ
ータによって水平に動く移動台及び垂直に動く移動台と
を組み合わせた試料台と、前記試料台に固定され、試料
を垂直に保持しかつその保持角度を垂直方向から所定の
角度範囲内で可変可能な試料保持具と、試料に平行光束
を照射する光源部と、試料の反射光又は透過光を拡大し
かつその拡大像のピント調節が可能なレンズ系及びこの
レンズ系の焦点位置に取り替え可能に配してある１個の
ピンホールを設けたピンホール板とからなる受光部と、
ピンホール板に近接しこのピンホールに対応して配した
１個の受光器と、前記レンズ系からピンホール板に至る
試料の反射光又は透過光を直角に切り換えるための反射
ミラーと、反射ミラーで切り換えた試料の反射光又は透
過光の焦点位置に配したモニタースクリーンと、前記試
料台及び光源部を同一の垂直軸を軸心として、それぞれ
別個に、所定の角度範囲内を水平に回転させる回転部
と、上記各構成要素を収納し、試料を取り付けるための
開口部に開閉扉を有しかつモニタースクリーンを視認可
能な暗箱と、さらに受光器からの出力を出力解析装置及
びディスプレイ装置に送るデータ処理回路と、試料台の
移動方向、移動間隔、移動速度及び移動順序を設定で
き、前記パルスモータにこれらの移動信号を与えるため
の移動信号制御回路とから構成された微小高光輝度計で
ある。

【００１４】第２の手段は、第１の手段で採用したピン
ホール板と受光器を、前記レンズ系の焦点位置に取り替
え可能に配してあり、同一径の複数のピンホールを垂直
方向又は水平方向のいずれか一方の方向に所定間隔で設
けたピンホール板と、ピンホール板に近接しかつ前記複
数のピンホールそれぞれに対応して配した複数の受光器
とした微小高光輝度計である。

【００１５】第３の手段は、第１の手段で採用した受光
部を、試料の反射光又は透過光を拡大縮小できかつその
像のピント調節が可能なズームレンズ系及び前記ズーム
レンズ系の焦点位置に配した２次元イメージセンサーと
した微小高光輝度計である。

【００１６】

【作用】上記第１の手段では、試料を微細な間隔で水平
方向又は垂直方向に移動でき、試料の反射光又は透過光
を拡大し、さらに１つのピンホールを通して拡大像の極
一部分を１つの受光器に導くため、試料の極微小部分を
直線的に微細な間隔で連続して測定することになり、微
細間隔の各測定位置に対応した数値が測定値として得ら
れることになる。又、試料の移動方向（水平方向又は垂
直方向）、移動間隔、移動速度や移動順序（例えば、最
初水平方向に移動して再び測定開始点に戻り、次にその
点から所定間隔垂直方向に移動し、移動した点から水平
方向に移動する等）が設定できるため、試料の保持位置
を変えることなく、試料の所定面積内を微細間隔でくま
なく測定できることになる。

【００１７】又、試料の移動手段としてステッピングモ
ータを用い、精度良く微細な間隔で移動できるため、測
定点と測定値とが正確に対応でき測定結果の解析を正確
に行うことができることになる。

【００１８】第２の手段は、第１の手段のピンホール及
び受光器を複数個設けたもので、試料を１回移動するご
とに複数の直線上の測定値が得られるもので、試料の所
定面積内を測定する速度が向上することになる。

【００１９】さらに、第３の手段では、２次元イメージ
センサーを用いたため、試料を移動することなく、試料
の所定面積内を微細間隔で同時に測定できる。又、２次
元イメージセンサーは微細間隔で受光器が配列されてい
るため、試料の反射光又は透過光を特別に拡大する必要
はない。又、ズームレンズ系を用い、２次元イメージセ
ンサーに配列されている受光器の間隔を相対的に可変
（拡大縮小）することは、第１及び第２の手段の試料の
移動間隔を変えることに相当するものである。

【００２０】又、第１、第２及び第３の手段とも、光源
部及び試料台が水平に回転できるため、試料面に対する
光の入射角及び受光角が変更できることになり、さらに
試料保持具も試料の保持角度を、垂直方向に対して所定
の角度範囲内で可変できるため、試料を多数の角度条件
で立体的に測定できることになる。

【００２１】

【実施例】以下図面に従って本発明の実施例を説明す
る。

【００２２】（第１実施例）図１は本発明の微小高光輝
度計１の第１実施例の構成の斜視図であり、図２はその
構成の概念図である。図１及び２において、試料台２
は、パルスモータ３によって、１パルス当たり２ミクロ
ンの微細な距離を直線方向に最大３０mm動く移動台を２
台用い、それらを直角に組み合わせたもので、その一方
を垂直に回転部４（後述）に固定して垂直方向に動く垂
直移動台５とし他方を水平方向に動く水平移動台６とし
ている。試料保持具７は最大約１０cm×１０cmの試料８
を垂直に狭持できるもので、上記水平移動台６に試料８
の中心を通る水平線を基準に前後に約６０゜の角度まで
試料８を傾けることができるように固定してある。

【００２３】光源部９は、光源ボックス１０内のハロゲ
ンランプ１１の光を、光源ボックス１０に水平に固定し
たレンズケース１２内に配したコンデンサーレンズ１
３、コリメータレンズ１４によって直径約２０mmの平行
光束とするように構成してあり、試料保持具７に狭持し
た試料８を水平に照射するようになっている。又、光源
部９は試料台２下方の回転部４（後述）に固定してあ
る。

【００２４】上記回転部４は試料台２の下方にあって、
詳細図示しないが、試料台２を回転する試料台回転部と
光源部９を回転する光源部回転部とからなり、試料台２
及び光源部９がそれぞれ固定されている。又、それぞれ
同一の垂直軸を回転の軸心として構成され、試料台２及
び光源部９を別個に水平に回転するようになっており、
これらを１°刻みで固定可能となっている。又、試料８
と受光部１５（後述）を正対させたときの試料８の法線
を基準にして、試料台２はこの法線から６５°、光源部
９はこの法線から１８０°の位置まで回転できるように
なっている。又、平行光束の最大照射角度は試料８の法
線に対して８０°、受光部１５の最大受光角度は６５°
となっている。

【００２５】受光部１５は試料８を照射する光源部９か
らの平行光束による試料８の反射光又は透過光を水平位
置で受光するもので、この反射光又は透過光を拡大する
ための対物レンズ１６、拡大像のピント調節機構（図示
せず）を一体にした拡大レンズ系１７と、対物レンズ１
６の焦点位置に配したピンホール板１８、ピンホール板
１８に近接して配した受光器１９とから構成されてい
る。ここで、対物レンズ１６は測定目的に応じて拡大倍
率を変えるために取り替え可能になっている。又、ピン
ホール板１８には上記反射光又は透過光の拡大像が結像
する位置に１個のピンホール２０（小孔）が設けてあ
り、対物レンズ１６と同じくピンホール２０の大きさが
異なる各種ピンホール板１８と取り替え可能となってい
る。又、受光器１９はこのピンホール２０に近接して固
定してある。

【００２６】本実施例では、倍率１０倍の対物レンズ１
６、直径０．５mmのピンホール２０を持つピンホール板
１８を取り付けてある。従って、１０倍に拡大されて直
径０．５mmのピンホール２０に結像される試料面上の範
囲は直径０．０５mm（５０ミクロン）の微小な面積とな
り、この部分の反射光又は透過光を受光器１９（本実施
例では光電子倍増管を用いた）で受光することになる。
もちろん、２０倍の対物レンズ１６と直径０．５mmのピ
ンホール２０を組み合わせれば試料面上で直径０．０２
５mm（２５ミクロン）の微小部分を測定することが可能
である。

【００２７】又、上記対物レンズ１６からピンホール２
０にいたる試料８の反射光又は透過光の光路を水平方向
で直角に切り換えるための反射ミラー２１が設けてあ
り、反射ミラー２１で切り換えた試料８の反射光又は透
過光の焦点位置にはこの反射光又は透過光を投影し、前
記ピント調節機構で調節する拡大像のピントを確認する
ためのモニタースクリーン２２が設けてある。即ち、測
定時にはこの反射ミラー２１は上記の光路外に位置し、
ピント調節時にこの光路に対して４５°の角度に切り換
えできるようになっている。

【００２８】上記試料保持具７を固定した試料台２、光
源部９、それらの回転部４、受光部１５及び反射ミラー
２１は暗箱２３内に収納されており、モニタースクリー
ン２２は暗箱２３の一側面に設けてあり、暗箱２３には
試料８を取り付けるための開口を塞ぐ扉２４が設けてあ
る。

【００２９】さて、データ処理回路２５は、測定時に、
前記受光器１９の出力を増幅器２６で増幅し、パルスモ
ータ３に送るパルス数と同期して、即ち、前記試料台２
が微細間隔で移動する移動箇所ごとの受光器１９の出力
をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換回路２７を有し、このＡ／
Ｄ変換したデータを解析するためのデータ解析装置２８
及び解析値を表示するためのディスプレイ装置２９に送
る各種信号を処理する回路である。本実施例では、この
解析装置２８及びディスプレイ装置２９はマイクロコン
ピュータ及びそのディスプレイ装置を用いている。

【００３０】又、移動信号制御回路３０は、前記試料台
２の垂直及び水平移動台５、６を所定の微細間隔で動か
すパルスモータ３に所定数のパルスを与えるための信号
制御回路である。この移動信号制御回路３０は、試料８
の移動方向（水平方向又は垂直方向）、移動間隔（パル
スモータ３に与えるパルス数で決定）、移動速度や移動
順序（例えば、最初水平方向に移動して再び測定開始点
に戻り、次にその点から所定間隔垂直方向に移動し、移
動した点から水平方向に移動する等）が設定できるよう
に回路構成されている。

【００３１】又、本実施例では上記データ処理回路２５
及び移動信号制御回路３０は前記暗箱２３内部に収納し
てあり、暗箱２３の前面に設けてある制御盤３１の各種
スイッチ（詳細図示せず）によって、移動信号制御回路
３０の各種設定ができるようになっている。

【００３２】例えば、移動信号制御回路３０には（１）
試料台２を、１秒間に１mm（１０００ミクロン）の速度
で、２mm（２００ミクロン）間隔で３０mm水平に移動
し、（２）元の位置に戻り、垂直方向に４mm（４０００
ミクロン）移動し、（３）（１）と同じに移動する。こ
の（１）から（３）の動作を６回行うことが、上記制御
盤３１の各種スイッチを用いて設定できる。ここで、試
料台２を水平に２mm移動させるのは、水平移動台６のパ
ルスモータ３に１００パルス与えるように設定し、垂直
に４mm移動させるのは、垂直移動台５のパルスモータ３
に２０００パルス与えるように設定すればよい。又、こ
の繰り返し等を行うための回路は公知の回路技術で容易
にできるものである。

【００３３】従って、上記の本実施例の装置では、光源
部９からの平行光束の照射角度、受光角度及び試料８の
前後傾き角を上記範囲内で選択し、試料８の３０mm×２
４mmの範囲で、試料８の５０ミクロンの微細部分を、２
mm間隔で水平に１５１個所測定して元に戻り、さらに、
４mm間隔で垂直に移動してこの測定を６回行うことにな
る。

【００３４】又、この測定に要する時間は、水平方向に
移動して元の位置に戻る時間（往復時間）は１回で６０
秒、測定は５往復半行うため３３０秒かかり、垂直方向
へは４mm間隔で５回の移動が必要であるため２０秒かか
ることになり、合計３５０秒を要することになる。

【００３５】又、このときの測定値、例えば受光器１９
の出力電流、電圧が各測定個所ごとにマイクロコンピュ
ータ等のデータ解析装置２８に送られることになる。こ
の測定値は、試料８がパルスモータ３で正確な間隔で移
動されているため、測定点とその点における測定値とが
正確に対応できることになる。

【００３６】さらに、データ解析装置２８では、必要に
応じて各種の解析プログラムを用いて、測定値の解析を
行うこともできる。

【００３７】（第２実施例）図３は本発明の微小高光輝
度計１の第２実施例の構成の概念図である。又、第２実
施例で第１実施例と異なる構成は、ピンホール板１８に
複数のピンホール２０を設け、その各ピンホール２０に
対応して受光器１９を複数設けたことである。

【００３８】さて、本実施例では、ピンホール板１８に
直径０．５mmのピンホール２０を、同一垂直線上に４mm
間隔で３個設け、この各ピンホール２０に近接して３個
の受光器１９が固定してある。各受光器１９からの出力
は、データ処理回路２５で、受光器１９それぞれに対応
して設けた増幅器２６で増幅され、それぞれＡ／Ｄ変換
回路２７に送られるようになっている。

【００３９】又、本実施例も第１実施例と同じく、２mm
（２００ミクロン）間隔で水平に移動させれば、同時に
垂直に４mm（４０００ミクロン）間隔で３個所の水平移
動での測定ができることになる。従って、試料８を１２
mm垂直に１回移動すると、第１実施例と同じく、試料８
の３０mm×２４mmの範囲で、６個所の水平方向の測定が
できることになる。

【００４０】ここで、本実施例の測定と第１実施例での
測定を比較すると、水平方向に移動して元の位置に戻る
時間（往復時間）は１回で６０秒、測定には１往復半行
うため９０秒かかり、垂直方向に移動するのは１２秒か
かることになり、合計１０２秒を要することになる。従
って、本実施例では第１実施例の約３．５倍の速度で試
料８の３０mm×２４mmの範囲で、６個所の水平方向の測
定ができることになる。

【００４１】もちろん垂直移動の間隔を小さくして多く
の測定値を求めようとすることも可能である。又、ピン
ホール２０及びそれに対応する受光器１９の数は３個に
限定されることはなく、又その配置方向も垂直方向でな
く水平方向であってもよい。

【００４２】（第３実施例）図４は本発明の微小高光輝
度計１の第３実施例の構成の概念図である。又、第３実
施例で第１実施例と異なる構成は、第１実施例における
受光部１５の拡大レンズ系１７の代わりにズームレンズ
系３２を用い、１個のピンホール２０を持つピンホール
板１８と受光器１９の変わりに２次元イメージセンサー
３３を用いた点にある。

【００４３】本実施例のズームレンズ系３２は料面上の
測定部分を２倍から３分の１倍にできる構成のものを用
いた。又、２次元イメージセンサー３３は、約１２．６
mm×１２．６mmの中に２５万個の受光素子、即ち約２５
ミクロン角の大きさの受光素子が一辺に５００個で５０
０列規則的に配列されているものである。

【００４４】この２次元イメージセンサー３３を用い、
ズームレンズ系３２を等倍とした場合、試料８の約１
２．６mm×１２．６mmの範囲を２５ミクロンの微小面積
単位で２５万個所同時に測定できることになり、上記第
１及び第２実施例と異なり試料８を微細間隔で動かす必
要はなく、試料８の所定面積内を微小面積単位で測定で
きることになる。又、第１及び第２実施例と同じく所定
間隔ごとの測定値を求めたければ、前記データ解析装置
２８で２５万個所の測定個所から相応の間隔の測定個所
の測定値をピックアップするようにすればよい。

【００４５】又、上記ズームレンズ系３２を拡大縮小し
た場合、１個の受光素子が受光する試料８の微細部分は
約５０ミクロン〜約８ミクロンとなり、同時に測定でき
る試料８の面積は約２５．２mm×２５．２mm〜約４．２
mm×４．２mmである。ここで、ズームレンズ系３２で試
料８の測定面積を拡大し、前記平行光束径より測定面積
が大きくなる場合は、平行光束系を充分な大きさにする
などの工夫が必要となってくる。

【００４６】又、試料８の多数の部分を測定する場合
は、２次元イメージセンサー３３の大きさとズームレン
ズ系３２の倍率で決定される測定面積に応じて、試料８
を移動すればよいものであるため、第１及び第２実施例
のようにパルスモータ３による微細移動の必要性は少な
い。しかし、本実施例では試料８の移動に第１及び第２
実施例と同じくパルスモータ３を用いたので、測定個所
と測定値とが正確に対応でき測定結果の解析を正確に行
うことができる。

【００４７】

【効果】本発明によれば、試料を移動してその拡大像を
測定するため、受光器を試料の拡大面上を動かす従来技
術と異なり、試料の測定面のどの位置でも常に焦点のあ
った像を測定でき、正確な測定値を得られる装置になっ
た。

【００４８】又、パルスモータを用いて、試料を微細な
間隔で移動するため、測定位置が正確に特定でき、繰り
返しの測定が正確に行えることになると共にコンピュー
タ等を用いた測定値の解析評価が容易に行えるようにな
った。

【００４９】又、第２実施例においては、試料の所定面
積を迅速に測定できることになり、同様に第３実施例で
は、試料を移動せずに試料の一定測定面積を一度に測定
できることになり、第２実施例に比べても試料の測定が
より速くなるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の微小高光輝度計の第１実施例の構成の
斜視図。

【図２】図１の構成の概念図。

【図３】第２実施例の構成の概念図。

【図４】第３実施例の構成の概念図。

【図５】図５は従来の顕微光沢計の概念図。

【図６】図５の顕微光沢計で、試料を水平平面上で回転
したときの拡大像の焦点位置の関係を示す図。

【図７】５図の顕微光沢計で拡大像面を測定する１例。

【符号の説明】

１ 微小高光輝度計 ２ 試料台 ３ パルスモータ ４ 回転部 ５ 垂直移動台 ６ 水平移動台 ７ 試料保持具 ８ 試料 ９ 光源部 １０ 光源ボックス １１ ハロゲンランプ １２ レンズケース １３ コンデンサーレンズ １４ コリメータレンズ １５ 受光部 １６ 対物レンズ １７ 拡大レンズ系 １８ ピンホール板 １９ 受光器 ２０ ピンホール ２１ 反射ミラー ２２ モニタースクリーン ２３ 暗箱 ２４ 扉 ２５ データ処理回路 ２６ 増幅器 ２７ Ａ／Ｄ変換回路 ２８ データ解析装置 ２９ ディスプレイ装置 ３０ 移動信号制御回路 ３１ 制御盤 ３２ ズームレンズ系 ３３ ２次元イメージセンサー

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パルスモータによって水平に動く移動台
   及び垂直に動く移動台とを組み合わせた試料台と、前記
   試料台に固定され、試料を垂直に保持しかつその保持角
   度を垂直方向から所定の角度範囲内で可変可能な試料保
   持具と、試料に平行光束を照射する光源部と、試料の反
   射光又は透過光を拡大しかつその拡大像のピント調節が
   可能なレンズ系と、このレンズ系の焦点位置に取り替え
   可能に配してある１個のピンホールを設けたピンホール
   板及びピンホール板に近接しこのピンホールに対応して
   配した１個の受光器とからなる受光部と、前記レンズ系
   からピンホール板に至る試料の反射光又は透過光を直角
   に切り換えるための反射ミラーと、反射ミラーで切り換
   えた試料の反射光又は透過光の焦点位置に配したモニタ
   ースクリーンと、前記試料台及び光源部を同一の垂直軸
   を軸心として、それぞれ別個に、所定の角度範囲内を水
   平に回転させる回転部と、上記各構成要素を収納し、試
   料を取り付けるための開口部に開閉扉を有しかつモニタ
   ースクリーンを視認可能な暗箱と、さらに受光器からの
   出力を出力解析装置及びディスプレイ装置に送るデータ
   処理回路と、試料台の移動方向、移動間隔、移動速度及
   び移動順序を設定でき、前記パルスモータにこれらの移
   動信号を与えるための移動信号制御回路とから構成され
   たことを特徴とする微小高光輝度計。
2. 【請求項２】 前記ピンホール板と受光器を、前記レン
   ズ系の焦点位置に取り替え可能に配してあり、同一径の
   複数のピンホールを垂直方向又は水平方向のいずれか一
   方の方向に所定間隔で設けたピンホール板と、ピンホー
   ル板に近接しかつ前記複数のピンホールそれぞれに対応
   して配した複数の受光器としたことを特徴とする請求項
   １記載の微小高光輝度計。
3. 【請求項３】 前記受光部を、試料の反射光又は透過光
   を拡大縮小できかつその像のピント調節が可能なズーム
   レンズ系及び前記ズームレンズ系の焦点位置に配した２
   次元イメージセンサーとしたことを特徴とする請求項１
   記載の微小高光輝度計。