JPH06150863A - 試料ホルダー - Google Patents
試料ホルダーInfo
- Publication number
- JPH06150863A JPH06150863A JP4125718A JP12571892A JPH06150863A JP H06150863 A JPH06150863 A JP H06150863A JP 4125718 A JP4125718 A JP 4125718A JP 12571892 A JP12571892 A JP 12571892A JP H06150863 A JPH06150863 A JP H06150863A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- sample
- inner cylinder
- cylinder
- support part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 16
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 16
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 abstract description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 101000847066 Homo sapiens Translin-associated protein X Proteins 0.000 description 1
- 102100032834 Translin-associated protein X Human genes 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002128 reflection high energy electron diffraction Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明の目的は、試料の加熱、冷却を繰り返
しても試料の試料面を垂直な方向に移動させることな
く、電子線を試料面に照射することによって、試料面上
の特定の領域を連続的に観察することが出来る試料ホル
ダーを提供することにある。 【構成】この発明の試料ホルダーは、外側円筒の先端部
を内側に折り曲げて内側円筒を形成することによって、
先端部で外側円筒と内側円筒との二重構造になっている
ホルダー支持部と、板状体の周縁より筒状に延びた差し
込み部をホルダー支持部の内側円筒内に差し込むホルダ
本体と、ホルダー本体の差し込み部に固定され、ホルダ
ー支持部に設けられたピン穴に差し込むことによって、
ホルダー本体をホルダー支持部に取り付けるピンと、ホ
ルダー本体の板状体の表面に貼着された試料と、ホルダ
ー本体の板状体の背後のホルダー支持部の内側円筒で囲
まれた空間に配設されたヒータとを備えたことを特徴と
するものである。
しても試料の試料面を垂直な方向に移動させることな
く、電子線を試料面に照射することによって、試料面上
の特定の領域を連続的に観察することが出来る試料ホル
ダーを提供することにある。 【構成】この発明の試料ホルダーは、外側円筒の先端部
を内側に折り曲げて内側円筒を形成することによって、
先端部で外側円筒と内側円筒との二重構造になっている
ホルダー支持部と、板状体の周縁より筒状に延びた差し
込み部をホルダー支持部の内側円筒内に差し込むホルダ
本体と、ホルダー本体の差し込み部に固定され、ホルダ
ー支持部に設けられたピン穴に差し込むことによって、
ホルダー本体をホルダー支持部に取り付けるピンと、ホ
ルダー本体の板状体の表面に貼着された試料と、ホルダ
ー本体の板状体の背後のホルダー支持部の内側円筒で囲
まれた空間に配設されたヒータとを備えたことを特徴と
するものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は走査型反射高速電子線
回折装置に用いられる試料ホルダーに関するものであ
る。
回折装置に用いられる試料ホルダーに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の試料ホルダーは図２に示されてお
り、同図において、円筒形したモリブデン製のホルダー
支持部１の下端部の内周は所定の幅で一定の深さだけ削
りとられ、段差部１ａが形成されている。モリブデン製
のホルダー本体２は板状体２ａの周縁より筒状に延びた
差し込み部２ｂをもち、その差し込み部２ｂをホルダー
支持部１の段差部１ａに差し込み、ピン３でホルダー本
体２の差し込み部２ｂをホホルダー支持部１に固定する
ことによって、ホルダー本体２をホルダー支持部１に取
り付けている。ホルダー本体２の板状体２ａの下面には
試料４が大気中でインジュームを用いて貼着され、ま
た、ホルダー本体２の板状体２ａ背後の差し込み部２ｂ
で囲まれた空間にはヒーター５が配設されている。図
中、６はホルダー本体２の板状体２ａの温度を測定する
熱電対、７はリフレクターである。
り、同図において、円筒形したモリブデン製のホルダー
支持部１の下端部の内周は所定の幅で一定の深さだけ削
りとられ、段差部１ａが形成されている。モリブデン製
のホルダー本体２は板状体２ａの周縁より筒状に延びた
差し込み部２ｂをもち、その差し込み部２ｂをホルダー
支持部１の段差部１ａに差し込み、ピン３でホルダー本
体２の差し込み部２ｂをホホルダー支持部１に固定する
ことによって、ホルダー本体２をホルダー支持部１に取
り付けている。ホルダー本体２の板状体２ａの下面には
試料４が大気中でインジュームを用いて貼着され、ま
た、ホルダー本体２の板状体２ａ背後の差し込み部２ｂ
で囲まれた空間にはヒーター５が配設されている。図
中、６はホルダー本体２の板状体２ａの温度を測定する
熱電対、７はリフレクターである。
【０００３】このようなホルダー本体２の板状体２ａの
下面に貼着された試料４を試料準備室（図示せず）に入
れ、その試料準備室（図示せず）を真空ポンプ（図示せ
ず）で粗引きした後、試料搬送機構（（図示せず）で成
長室（図示せず）に搬送し、ホルダー本体２を試料ホル
ダー支持機構で支持する。その後、ヒーター５でホルダ
ー本体２および試料４を加熱し、試料４を成長温度に保
つ。このとき、熱電対６で板状体ホルダー２ａの温度を
測定することによって、試料４を成長温度をモニターし
ている。
下面に貼着された試料４を試料準備室（図示せず）に入
れ、その試料準備室（図示せず）を真空ポンプ（図示せ
ず）で粗引きした後、試料搬送機構（（図示せず）で成
長室（図示せず）に搬送し、ホルダー本体２を試料ホル
ダー支持機構で支持する。その後、ヒーター５でホルダ
ー本体２および試料４を加熱し、試料４を成長温度に保
つ。このとき、熱電対６で板状体ホルダー２ａの温度を
測定することによって、試料４を成長温度をモニターし
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の試料ホルダー
は、上記のようにヒーター５でホルダー本体２および試
料４を加熱するようにしているので、ヒーター５の電源
を切ったり、あるいは入れたりすることによって、ホル
ダー本体２の差し込み部２ｂが熱収縮したり、あるいは
熱膨張したりして、試料４が試料面４ａに対して垂直な
方向に移動するようになる。そのため、走査型反射高速
電子線回折用に電子線を試料面４ａに対して２〜３度の
浅い入射角で入射させる場合には、試料面４ａの僅かな
移動により、電子線の照射位置が大きくズレ、観察領域
が異なるようになる。それゆえ、試料面４ａ上の特定の
領域を試料４の加熱、冷却を通して連続的に観察するこ
とが不可能になる問題があった。
は、上記のようにヒーター５でホルダー本体２および試
料４を加熱するようにしているので、ヒーター５の電源
を切ったり、あるいは入れたりすることによって、ホル
ダー本体２の差し込み部２ｂが熱収縮したり、あるいは
熱膨張したりして、試料４が試料面４ａに対して垂直な
方向に移動するようになる。そのため、走査型反射高速
電子線回折用に電子線を試料面４ａに対して２〜３度の
浅い入射角で入射させる場合には、試料面４ａの僅かな
移動により、電子線の照射位置が大きくズレ、観察領域
が異なるようになる。それゆえ、試料面４ａ上の特定の
領域を試料４の加熱、冷却を通して連続的に観察するこ
とが不可能になる問題があった。
【０００４】この発明の目的は、上記の問題を解決し
て、試料の加熱、冷却を繰り返しても試料の試料面を垂
直な方向に移動させることなく、電子線を試料面に照射
することによって、試料面上の特定の領域を連続的に観
察することが出来る試料ホルダーを提供することにあ
る。
て、試料の加熱、冷却を繰り返しても試料の試料面を垂
直な方向に移動させることなく、電子線を試料面に照射
することによって、試料面上の特定の領域を連続的に観
察することが出来る試料ホルダーを提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の試料ホルダーは、外側円筒の先端部を内
側に折り曲げて内側円筒を形成することによって、先端
部で外側円筒と内側円筒との二重構造になっているホル
ダー支持部と、板状体の周縁より筒状に延びた差し込み
部をホルダー支持部の内側円筒内に差し込むホルダー本
体と、ホルダー本体の差し込み部に固定され、ホルダー
支持部に設けられたピン穴に差し込むことによって、ホ
ルダー本体をホルダー支持部に取り付けるピンと、ホル
ダー本体の板状体の表面に貼着された試料と、ホルダー
本体の板状体の背後のホルダー支持部の内側円筒で囲ま
れた空間に配設されたヒーターとを備えたことを特徴と
するものである。
に、この発明の試料ホルダーは、外側円筒の先端部を内
側に折り曲げて内側円筒を形成することによって、先端
部で外側円筒と内側円筒との二重構造になっているホル
ダー支持部と、板状体の周縁より筒状に延びた差し込み
部をホルダー支持部の内側円筒内に差し込むホルダー本
体と、ホルダー本体の差し込み部に固定され、ホルダー
支持部に設けられたピン穴に差し込むことによって、ホ
ルダー本体をホルダー支持部に取り付けるピンと、ホル
ダー本体の板状体の表面に貼着された試料と、ホルダー
本体の板状体の背後のホルダー支持部の内側円筒で囲ま
れた空間に配設されたヒーターとを備えたことを特徴と
するものである。
【０００６】
【作用】この発明において、ヒーターでホルダー本体お
よび試料を加熱するとき、ホルダー本体の差し込み部は
熱膨張して所定の方向に伸びるようになる。しかしなが
ら、そのとき、ホルダー支持部の内側円筒も熱膨張し
て、ホルダー本体の差し込み部の伸びる方向と反対の方
向に伸びるようになる。そのため、ホルダー本体の差し
込み部の熱膨張と、ホルダー支持部の内側円筒の熱膨張
とが相殺され、試料表面の位置は常に一定の位置に保た
れるようになる。なお、ヒーターを切って、ホルダー本
体および試料を冷却する場合も、上記と同様に試料表面
の位置は常に一定の位置に保たれるようになる。
よび試料を加熱するとき、ホルダー本体の差し込み部は
熱膨張して所定の方向に伸びるようになる。しかしなが
ら、そのとき、ホルダー支持部の内側円筒も熱膨張し
て、ホルダー本体の差し込み部の伸びる方向と反対の方
向に伸びるようになる。そのため、ホルダー本体の差し
込み部の熱膨張と、ホルダー支持部の内側円筒の熱膨張
とが相殺され、試料表面の位置は常に一定の位置に保た
れるようになる。なお、ヒーターを切って、ホルダー本
体および試料を冷却する場合も、上記と同様に試料表面
の位置は常に一定の位置に保たれるようになる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例の試料ホルダーは
図１に示されている。この図において、モリブデン製の
ホルダー支持部１１は、外側円筒１１ａの先端部を内側
に折り曲げて内側円筒１１ｂを形成することによって、
先端部で外側円筒１１ａと内側円筒１１ｂとの二重構造
になっている。モリブデン製のホルダー本体１２は板状
体１２ａの周縁より筒状に延びた差し込み部１２ｂを持
ち、その差し込み部１２ｂをホルダー支持部１１の内側
円筒１１ｂのに差し込み、差し込み部１２ｂに固定され
たピン１３をホルダー支持部１１の外側円筒１１ａと内
側円筒１１ｂとに設けらたピン穴１２ｃに差し込むこと
によって、ホルダー本体１２をホルダー支持部１１に取
り付けている。ホルダー本体１２の板状体１２ａの表面
には試料１４が大気中でインジュームを用いて貼着され
ている。ホルダー本体１２の板状体１２ａの背後のホル
ダー支持部１１の内側円筒１１ｂで囲まれた空間にはヒ
ーター１５が配設されている。いる。図中、１６はリフ
レクターだある。
しながら説明する。この発明の実施例の試料ホルダーは
図１に示されている。この図において、モリブデン製の
ホルダー支持部１１は、外側円筒１１ａの先端部を内側
に折り曲げて内側円筒１１ｂを形成することによって、
先端部で外側円筒１１ａと内側円筒１１ｂとの二重構造
になっている。モリブデン製のホルダー本体１２は板状
体１２ａの周縁より筒状に延びた差し込み部１２ｂを持
ち、その差し込み部１２ｂをホルダー支持部１１の内側
円筒１１ｂのに差し込み、差し込み部１２ｂに固定され
たピン１３をホルダー支持部１１の外側円筒１１ａと内
側円筒１１ｂとに設けらたピン穴１２ｃに差し込むこと
によって、ホルダー本体１２をホルダー支持部１１に取
り付けている。ホルダー本体１２の板状体１２ａの表面
には試料１４が大気中でインジュームを用いて貼着され
ている。ホルダー本体１２の板状体１２ａの背後のホル
ダー支持部１１の内側円筒１１ｂで囲まれた空間にはヒ
ーター１５が配設されている。いる。図中、１６はリフ
レクターだある。
【０００８】上記実施例において、ヒーター１５でホル
ダー本体１２および試料１４を加熱するとき、ホルダー
本体１２の差し込み部１２ｂは熱膨張して所定の方向に
伸びるようになる。しかしながら、そのとき、ホルダー
支持部１１の内側円筒１１ｂも熱膨張して、ホルダー本
体１２の差し込み部１２ｂの伸びる方向と反対の方向に
伸びるようになる。そのため、ホルダー本体１２の差し
込み部１２ｂの熱膨張と、ホルダー支持部１１の内側円
筒１１ｂの熱膨張とが相殺され、試料１４表面の位置は
常に一定の位置に保たれるようになる。なお、ヒーター
１５を切って、ホルダー本体１２および試料１４を冷却
する場合も、上記と同様に試料１４表面の位置は常に一
定の位置に保たれるようになる。
ダー本体１２および試料１４を加熱するとき、ホルダー
本体１２の差し込み部１２ｂは熱膨張して所定の方向に
伸びるようになる。しかしながら、そのとき、ホルダー
支持部１１の内側円筒１１ｂも熱膨張して、ホルダー本
体１２の差し込み部１２ｂの伸びる方向と反対の方向に
伸びるようになる。そのため、ホルダー本体１２の差し
込み部１２ｂの熱膨張と、ホルダー支持部１１の内側円
筒１１ｂの熱膨張とが相殺され、試料１４表面の位置は
常に一定の位置に保たれるようになる。なお、ヒーター
１５を切って、ホルダー本体１２および試料１４を冷却
する場合も、上記と同様に試料１４表面の位置は常に一
定の位置に保たれるようになる。
【０００９】ところで、上記実施例は走査型反射高速電
子線回折装置による反射電子像観察のための試料ホルダ
ーであるが、試料からのＸ線の出射角を高精度で測定す
ることが必要なＲＨＥＥＤ−ＴＲＡＸＳ法に上記実施例
の試料ホルダーを用いてもよい。
子線回折装置による反射電子像観察のための試料ホルダ
ーであるが、試料からのＸ線の出射角を高精度で測定す
ることが必要なＲＨＥＥＤ−ＴＲＡＸＳ法に上記実施例
の試料ホルダーを用いてもよい。
【００１０】
【発明の効果】この発明においては、上記のようにホル
ダー支持部をその先端部で外側円筒と内側円筒との二重
構造にしているので、ヒーターでホルダー本体および試
料を加熱するとき、又は、ヒーターを切ってこれらを冷
却するときには、ホルダー本体の差し込み部の熱膨張
と、ホルダー支持部の内側円筒の熱膨張とが相殺され、
試料表面の位置は常に一定の位置に保たれるようにな
る。そのため、試料の加熱、冷却を繰り返しても試料の
試料面を垂直な方向に移動させることなく、電子線を試
料面に照射することによって、試料面上の特定の領域を
連続的に観察することが出来るようになる。
ダー支持部をその先端部で外側円筒と内側円筒との二重
構造にしているので、ヒーターでホルダー本体および試
料を加熱するとき、又は、ヒーターを切ってこれらを冷
却するときには、ホルダー本体の差し込み部の熱膨張
と、ホルダー支持部の内側円筒の熱膨張とが相殺され、
試料表面の位置は常に一定の位置に保たれるようにな
る。そのため、試料の加熱、冷却を繰り返しても試料の
試料面を垂直な方向に移動させることなく、電子線を試
料面に照射することによって、試料面上の特定の領域を
連続的に観察することが出来るようになる。
【図１】この発明の実施例の一部切欠断面図
【図２】従来の試料ホルダーを示す説明図
１１・・・・・・ホルダー支持部 １１ａ・・・・・ホルダー支持部の外側円筒 １１ｂ・・・・・ホルダー支持部の内側円筒 １２・・・・・・ホルダー本体 １２ａ・・・・・ホルダー本体の板状体 １２ｂ・・・・・ホルダー本体の差し込み部 １３・・・・・・ピン １４・・・・・・試料 １５・・・・・・ヒーター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 不破 耕 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内 (72)発明者 柳田 博司 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内 (72)発明者 山室 和弘 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内 (72)発明者 重富 潤一 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】外側円筒の先端部を内側に折り曲げて内側
円筒を形成することによって、先端部で外側円筒と内側
円筒との二重構造になっているホルダー支持部と、板状
体の周縁より筒状に延びた差し込み部をホルダー支持部
の内側円筒内に差し込むホルダー本体と、ホルダー本体
の差し込み部に固定され、ホルダー支持部に設けらたピ
ン穴に差し込むことによって、ホルダー本体をホルダー
支持部に取り付けるピンと、ホルダー本体の板状体の表
面に貼着された試料と、ホルダー本体の板状体の背後の
ホルダー支持部の内側円筒で囲まれた空間に配設された
ヒーターとを備えたことを特徴とする試料ホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4125718A JPH06150863A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 試料ホルダー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4125718A JPH06150863A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 試料ホルダー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06150863A true JPH06150863A (ja) | 1994-05-31 |
Family
ID=14917039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4125718A Pending JPH06150863A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 試料ホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06150863A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015128679A1 (en) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited | Sample holding system |
-
1992
- 1992-04-17 JP JP4125718A patent/JPH06150863A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015128679A1 (en) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited | Sample holding system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Tam et al. | Picosecond laser sputtering of sapphire at 266 nm | |
| US6008144A (en) | Window shutter for laser annealing | |
| JPH0639572A (ja) | ウェハ割断装置 | |
| JP4961897B2 (ja) | レーザー照射装置、レーザー照射方法、薄膜半導体装置の製造方法、及び表示装置の製造方法 | |
| JP5250241B2 (ja) | レーザ照射方法 | |
| JPH06150863A (ja) | 試料ホルダー | |
| JP2005136389A (ja) | 集束イオンビーム装置の試片冷却システム | |
| EP0987114A3 (en) | Multi-beam scanning apparatus | |
| JP3363835B2 (ja) | 戻り光除去方法と装置 | |
| EP1516349B1 (en) | Specimen holder for an electron microscope and method for reducing thermal drift in an electron microscope | |
| EP0349386A1 (fr) | Tube à rayons X à foyer variable auto-adapté à la charge | |
| KR20070068248A (ko) | 레이저 절단장치 | |
| JP2009025243A (ja) | 試料作製装置 | |
| JP2007123022A (ja) | Ｘ線源およびそれに用いられるターゲット | |
| US5872367A (en) | High precision mount | |
| US5850412A (en) | Laser generator | |
| JPH0817704A (ja) | パターン描画方法およびパターン描画装置 | |
| JP4119627B2 (ja) | 電子顕微鏡用試料ホルダ | |
| JPH05182618A (ja) | 超高速ｘ線ｃｔ用ｘ線管 | |
| JP2004313887A (ja) | 恒温槽 | |
| JP3146201B2 (ja) | 電子線描画装置 | |
| JP3414356B2 (ja) | レーザー加工機 | |
| JPH0747883Y2 (ja) | レ−ザ発振器 | |
| Bakiev et al. | Active optical system for projection processing of objects | |
| JP2008050667A (ja) | 薄膜形成装置 |