JPH0614549U - クロスローラ軸受の防塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 クロスローラ軸受１の両端面の内輪３と外輪
２の間にラビリンス５を構成し、ラビリンス５の内部に
エレクトレット繊維６１の断面の半分が正に他の半分が
負になるように帯電処理し、かつ帯電した静電気の符号
の向く方向がランダムになるように構成した不織布から
なる集塵体６を回転部と非接触な状態で固定してある。 【効果】 軸受外部から侵入する塵や軸受内部に発生す
る塵は、正負いずれの静電気が帯電したものや無帯電の
ものも、すべて集塵体の中のエレクトレット繊維の静電
気力により永久に捕集され続けるので、発塵の少ないク
ロスローラ軸受を提供することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体製造装置や磁気ディスク等の薄膜形成装置のように、高いク リーン度が要求される機器に用いる固体潤滑のクロスローラ軸受の防塵装置に関 する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、玉軸受やクロスローラ軸受などの転がり軸受から出る塵の防塵装置とし てゴムやフエルトなどの軟質材を軸受と軸の間に介在させる接触形シールがあり （例えば実開昭６２−１９４２１５号公報）、非接触形シールとしてラビリンス シールがある（例えば実開昭６１−１９１５２７号公報）。 また、転がり軸受の開放部にポリアミド繊維屑のような静電付着作用をもった 合成樹脂屑を固着材で固めた繊維屑シールを設けたものががある（例えば特開昭 ４９−１３２４３２号公報）。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上記接触形シールは軸受外部からの塵の侵入は防止できるが、接触 部が摩耗するため、外部への発塵は避けられない。 非接触形シールは小さいながらも隙間を有する構造であるため、固体潤滑によ る摩耗粉などの塵が外部に出てくる。 また、繊維屑シールを設けたものは、長期使用中に接着が剥離して繊維屑が塵 となって排出されたり、同じ静電気の符号を持った塵は捕集できないという欠点 があった。 本考案は、軸受外部からの塵埃の侵入を防止すると共に、クロスローラ軸受か ら発生する塵埃を軸受の外部に排出せず、ローラの転走面に溜ってローラの円滑 な転がり運動を妨げる塵埃を除去する防塵装置を提供することを目的とするもの である。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は、クロスローラ軸受のローラの両側の内輪と外輪の間にラビリンスを 構成したクロスローラ軸受の防塵装置において、前記ラビリンスの内部にエレク トレット繊維の断面の半分が正に他の半分が負になるように帯電処理し、かつ帯 電した静電気の符号の向く方向がランダムになるように構成した不織布からなる 集塵体を回転部と非接触な状態で固定したものである。 また、エレクトレット繊維はポリプロピレン樹脂、またはポリエステル、また はポリフッ化ビニリデン樹脂から構成されたものである。

【０００５】

【作用】

クロスローラ軸受の外部から侵入する塵や内部に発生する塵が、ローラの両側 に設けたラビリンスの内部に固定された集塵体のエレクトレット繊維に接近する と、正または負に帯電した塵の荷電粒子にはエレクトレット繊維の静電気力によ りクーロン力を、無電荷の中性粒子には誘起力を作用させ、エレクトレット繊維 に塵が吸引捕集される。 集塵体を構成する不織布はエレクトレット単繊維に帯電した正と負の方向がラ ンダムになるようにしてあるので、塵の荷電粒子は正負にかかわらず捕集される 。

【０００６】

【実施例】

本考案を図に示す実施例について説明する。 図１は本考案の実施例を示す要部側断面図で、クロスローラ軸受１の二つ割り の外輪２と間に形成した保持溝２１と内輪３の内周面の中央に設けた保持溝３１ 間にローラ４が４５度傾いた状態で転動自在に保持されている。ローラ４の表面 にはＭｏＳ₂ の薄膜がスパッタリング処理されて、固体潤滑を行うようにしてあ る。両方の外輪２の内周面と両端面とが交わる縁部には、それぞれリング状の切 欠き溝２２を設け、両端面にはそれぞれ切欠き溝２２を覆うリング状の側板２３ を設けてある。内輪３の両端面にはそれぞれ両方の切欠き溝２２の中に入り込む リング状に突出するフランジ部３２を備えた側板３３を設けて、切欠き溝２２と 側板２３とフランジ部３２とによりラビリンス５を形成してある。切欠き溝２２ の底部にはエレクトレット不織布からなる集塵体６が接着により固定され、フラ ンジ部３２と集塵体６との間には隙間Ｇを保つようにしてある。 エレクトレット不織布は図２に示すように、繊維断面６２の半分が正（＋）に 、他の半分が負（−）に永久帯電したポリプロピレン樹脂製のエレクトレット繊 維６１によって構成されている。

【０００７】 ここで、エレクトレット不織布の１本の微細なエレクトレット繊維６１につい て集塵の原理を図２によって説明する。外輪、２内輪３およびローラ４に付着し た固体潤滑による摩耗粉などの塵７は、ラビリンス５の内部に設けたエレクトレ ット繊維６１に接近すると、正または負に帯電した塵７の荷電粒子７Ｅにはエレ クトレット繊維６１の静電気力によりクーロン力が、無電荷の中性粒子７Ｎには 誘起力が作用し、エレクトレット繊維６１に吸引捕集される。 捕集された荷電粒子７Ｅおよび中性粒子７Ｎを帯電した塵７は永久にエレクト レット繊維６１に吸引され続ける。 エレクトレット繊維６１の帯電した正と負の方向がランダムになるようにエレ クトレット不織布を構成することにより、荷電粒子７Ｅは正負にかかわらず捕集 される。 上記原理に従って、クロスローラ軸受１の内外から隙間Ｇを通過する塵埃は集 塵体６を構成するエレクトレット繊維６１の静電気力により吸引捕集される。 エレクトレット繊維の材料として本実施例では、１２０℃で２ＫＶの高電界中 で帯電分極させたポリプロピレン樹脂を用いた。 なお、エレクトレット繊維の材料としてポリプロピレン樹脂の他に、ポリエス テルやポリフッ化ビニリデン樹脂を用いてもよく、不織布の代わりにエレクトレ ット繊維からなるシートを細長く切断して切欠き溝２２の底部に接着して集塵体 ６を構成してもよい。 また、側板２３は、図３に示すように、外輪２の切欠き溝２２の中に嵌合させ て外輪２に固定してもよく、側板３３も同様に、内輪３の両端面の内側の縁部に 切欠き溝３４を設けて嵌合させ、側板２３と３３によりラビリンスを形成するよ うにしてもよい。

【０００８】

【考案の効果】

以上述べたように、本考案によれば、永久に断面の半分ずつを正と負に帯電し たエレクトレット繊維を編んだ不織布からなる集塵体を、クロスローラ軸受の両 端面に設けたラビリンスの内部に固定しているので、クロスローラ軸受の中に侵 入する塵や内部で発生する塵はすべて静電気力により集塵体の中に永久に捕集さ れ続ける。したがって、ローラが円滑な転がり運動をすることができ、真空中な どで使用される回転機器の軸受として塵の発生が少なく、安定した動作をする軸 受を提供できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す側断面図である。

【図２】本考案の集塵の原理を示す説明図である。

【図３】本考案の他の実施例を示す側断面図である。

【符号の説明】

１ クロスローラ軸受 ２ 外輪 ２１、３１ 保持溝 ２２、３４ 切欠き溝 ２３、３３ 側板 ３ 内輪 ３２ フランジ部 ４ ローラ ５ ラビリンス ６ 集塵体 ６１ エレクトレット繊維 ６２ 繊維断面 ７ 塵

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 クロスローラ軸受のローラの両側の内輪
   と外輪の間にラビリンスを構成したクロスローラ軸受の
   防塵装置において、前記ラビリンスの内部にエレクトレ
   ット繊維の断面の半分が正に他の半分が負になるように
   帯電処理し、かつ帯電した静電気の符号の向く方向がラ
   ンダムになるように構成した不織布からなる集塵体を回
   転部と非接触な状態で固定したことを特徴とするクロス
   ローラ軸受の防塵装置。
2. 【請求項２】 前記エレクトレット繊維がポリプロピレ
   ン樹脂、またはポリエステル、またはポリフッ化ビニリ
   デン樹脂から構成された請求項１記載のクロスローラ軸
   受の防塵装置。