JPH06136518A

JPH06136518A - 真空蒸着用蒸発容器

Info

Publication number: JPH06136518A
Application number: JP28461792A
Authority: JP
Inventors: Kyoji Kinokiri; 恭治木ノ切
Original assignee: Shibaura Engineering Works Co Ltd
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 1992-10-22
Filing date: 1992-10-22
Publication date: 1994-05-17

Abstract

(57)【要約】【目的】コストの高騰を招くことなく、多量の蒸着材
料を無指向性で長時間にわたり蒸発させることができる
真空蒸着用蒸発容器を提供することにある。【構成】真空蒸着時に、上面に形成されたキャビティ
に載置された蒸着材料を蒸発するための真空蒸着用蒸発
容器であって、この蒸発容器の外周面に、キャビティに
連通し且つこのキャビティから下方にわたるまで延びる
複数の溝が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、コストの高騰を招くこ
となく、多量の蒸着材料を無指向性で長時間にわたり蒸
発させることができる真空蒸着用蒸発容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】多数の物に同時に真空蒸着を施す場合、
例えば、プラスティック部品に蒸着する場合には、図３
に示すような蒸着装置が用いられている。この装置で
は、真空容器１内の中央に、フィラメントタイプの多数
の蒸発源２が一対の支持棒３，３に上方から下方にわた
り取付けられている。これらの蒸発源２を取り囲むよう
にして、多数の回転軸４，４が蒸発源２の周方向に等間
隔で配置されている。この回転軸４は、自転すると共
に、蒸発源２の回りに公転するように構成されており、
この回転軸４に、蒸着される多数の被蒸着物５が取付け
られている。したがって、回転軸４の自転及び公転によ
って被蒸着物５があらゆる方向に回転されているとき
に、蒸発源２に電圧が印加されて蒸発源２から蒸着材料
が蒸発させられる。蒸発源２がフィラメントタイプであ
るため、蒸着材料は、上下左右のあらゆる方向に飛散す
ることができ、あらゆる方向に回転された被蒸着物５に
付着することができる。これにより、多数の物に同時に
真空蒸着することができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、携帯
電話を製造する際、携帯電話のケースの内側に、電磁波
シールドの膜を真空蒸着により施したいという要請があ
る。このような場合、例えば２μｍの比較的厚い膜を携
帯電話のケースの内側に蒸着する必要があり、しかも、
図３に示すような装置を用いて多数のケースに同時に蒸
着する必要がある。このような比較的厚い膜を蒸着する
場合に、図４に示すように、蒸発源として、蒸着材料の
蒸発量が比較的少ないフィラメントタイプの蒸発源２を
用いたときには、所定の蒸発量を得ることができない。
そのため、前記以上の数〜１０倍の量を蒸発させるため
に大量蒸発器が求められてきた。安価且つ何回も使用で
きる蒸発源が求められている。

【０００４】このように多量の蒸着材料を長時間にわた
り蒸発させるためには、図５（ａ）（ｂ）に示すような
ボートタイプの蒸発源６（蒸発容器）を用いることも考
えられる。この蒸発源６の上面に、多量の蒸着材料を載
置することができるキャビティ７が形成されている。そ
のため、蒸着材料を長時間にわたり蒸発させることがで
きる。しかし、このようなボートタイプの蒸発源６を、
図３に示す装置のフィラメントタイプの蒸発源に代えて
取付けた場合、ボートタイプの蒸発源６からは、上方に
しか蒸着材料が蒸発されず、蒸着材料を上下左右のあら
ゆる方向に飛散することができないという指向性の問題
が生じる。

【０００５】そのため、このボートタイプの蒸発源６を
改良し、図６に示すように、キャビティ７の底面から下
方に貫通するスリット８を設けた蒸発源９（蒸発容器）
も提案されている。この場合には、スリット８を介して
蒸着材料が下方に垂れることができ、指向性の問題を幾
分改善することはできる。しかし、蒸着材料は加熱され
て垂れるようにスリット８等を流れた後蒸発するが、こ
の蒸着材料が流れる表面積が少ないため、上記のよう
に、２μｍの比較的厚い膜を蒸着する場合に、蒸着材料
を多量に蒸発させることができないという問題がある。

【０００６】本発明の目的は、上述した従来技術が有す
る問題を解消し、コストの高騰を招くことなく、多量の
蒸着材料を無指向性で長時間にわたり蒸発させることが
できる真空蒸着用蒸発容器を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、真空蒸着時に、上面に形成されたキャビ
ティに載置された蒸着材料を蒸発するための真空蒸着用
蒸発容器において、この蒸発容器の外周面に、キャビテ
ィに連通し且つこのキャビティから下方にわたるまで延
びる複数の溝が形成されていることを特徴としている。

【０００８】

【作用】このように、本発明では、蒸発容器は、例え
ば、円柱状若しくは多角柱形状に形成され、複数の溝が
キャビティから下方にわたるまで延びて蒸発容器の外周
面に形成されている。そのため、真空蒸着時に、キャビ
ティ内で溶けた蒸着材料は、蒸発容器の外周面の複数の
溝に沿って、即ち、蒸発容器の外側面から下面にわたっ
て垂れることができ、この間に蒸発することができる。
そのため、蒸着材料は蒸発容器の全面からあらゆる方向
に蒸発することができ無指向性となっている。しかも、
キャビティ内で溶けた蒸着材料が垂れる表面積が多いた
め、多量の蒸着材料を蒸発させることができる。さら
に、蒸発容器がボートタイプであり、蒸着材料を多量に
載置できるため、多量の蒸着材料を長時間にわたり蒸発
することができる。加えて、蒸発容器に単に溝加工が施
されているだけであるため、コストの高騰を招くことも
ない。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例による真空蒸着用蒸
発容器を図面を参照しつつ説明する。

【００１０】図１に示すように、本実施例による真空蒸
着用蒸発容器１０は、円柱状の長尺物に形成されてお
り、これの上面に、蒸着材料を載置するためのキャビテ
ィ１１が形成されている。この蒸発容器１０は、例え
ば、ＢＮ・ＴｉＢ２を主原料としてホットプレスで成
形したものである。また、蒸着材料は、例えば、携帯電
話のケースの内側に電磁波シールドの２μｍの比較的厚
い膜を施す場合には、アルミニウムである。但し、蒸発
容器１０の材料及び蒸着材料はこれらに限定されないの
は勿論である。さらに、この蒸発容器１０の両端には、
蒸着装置に取付ける際の挟持部１２，１２が形成されて
いる。

【００１１】さらに、蒸発容器１０の外周面には、多数
の溝１３が形成されている。これらの溝１３は、上側で
はキャビティ１１に連通し、蒸発容器１０の外周面のほ
ぼ全周に形成されており、キャビティ１１から容器１０
の下方にわたるまで延びている。これらの溝１３は、ス
パイラルであってもよく、また、各溝１３がリングであ
ってもよい。また、図示した例では、この溝１３の断面
形状は、四角形であるが、これに限定されず、Ｖ字形
状、丸形状など種々の形状であってもよい。但し、溝１
３がＶ字形状の場合には、キャビティ１１内で溶けた蒸
着材料を速く流すことができるという利点がある。

【００１２】このように、蒸発容器１０の外周面に多数
の溝１３が形成されているため、真空蒸着時に、キャビ
ティ１１内で溶けた蒸着材料は、蒸発容器１０の外周面
の複数の溝１３に沿って、蒸発容器１０の外側面から下
面にわたって垂れることができる。このように垂れてい
るる間に、蒸着材料は蒸発することができる。そのた
め、蒸着材料は蒸発容器１０の全面からあらゆる方向に
蒸発することができ、蒸発容器１０は無指向性となって
いる。しかも、キャビティ１１内で溶けた蒸着材料は多
数の溝を垂れるため、蒸着材料が垂れる表面積が多い。
そのため、多量の蒸着材料を蒸発させることができる。
さらに、蒸発容器１０がボートタイプであり、蒸着材料
を多量にキャビティ１１に載置できるため、多量の蒸着
材料を長時間にわたり蒸発することができる。以上か
ら、本実施例による蒸発容器１０は、多量の蒸着材料を
無指向性で長時間にわたり蒸発させることができる。

【００１３】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れないことは勿論である。上述した実施例では、蒸発容
器１０は円柱形状であるが、これの形状は、これに限定
されず、多角柱形状であってもよく、楕円柱形状であっ
てもよく、その他種々の形状であってもよい。

【００１４】

【発明の効果】以上述べたように、キャビティ内で溶け
た蒸着材料は、蒸発容器の溝に沿って下面にわたって垂
れてこの間に蒸発することができる。そのため、蒸着材
料は蒸発容器の全面からあらゆる方向に蒸発することが
できると共に、キャビティ内で溶けた蒸着材料が垂れる
表面積が多いため、多量の蒸着材料を蒸発させることが
できる。さらに、蒸着材料を多量に載置でき、多量の蒸
着材料を長時間にわたり蒸発することができる。加え
て、蒸発容器に単に溝加工が施されているだけであるた
め、コストの高騰を招くこともない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による真空蒸着用蒸発容器の
斜視図、

【図２】図１の［Ｂ］−［Ｂ］線に沿う断面図、

【図３】多くの物に真空蒸着を施す蒸着装置の模式的断
面図、

【図４】フィラメントタイプの蒸発源の模式的斜視図、

【図５】図５（ａ）は従来の真空蒸着用蒸発容器の斜視
図、図５（ｂ）は図５（ａ）の［Ｅ］−［Ｅ］線に沿う
断面図、

【図６】スリットを有する従来の真空蒸着用蒸発容器の
断面図である。

【符号の説明】

１０真空蒸着用蒸発容器１１キャビティ１３溝

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空蒸着時に、上面に形成されたキャビテ
ィに載置された蒸着材料を蒸発するための真空蒸着用蒸
発容器において、この蒸発容器の外周面に、キャビティに連通し且つこの
キャビティから下方にわたるまで延びる複数の溝が形成
されていることを特徴とする真空蒸着用蒸発容器。