JPH06135526A

JPH06135526A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH06135526A
Application number: JP29126392A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Tsuchiya; 寛之土屋
Original assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date: 1992-10-29
Filing date: 1992-10-29
Publication date: 1994-05-17

Abstract

(57)【要約】【目的】高温雰囲気中での使用が可能で安価な搬送装
置を提供する。【構成】第１〜第４のレール部材（c₁）〜（c₄）を有
するロータ（11）を具備し、各ロータ（11）は、リード
フレーム（L）の移送方向に沿って前後に配置されて回
転自在に軸支された二つのロータ（11）からなり、各ロ
ータ（11）はその回転中心から放射状に延びる第１〜第
４のアーム（d₁）〜（d₄）を有する。また、第１〜第４
のレール部材（c₁）〜（c₄）は、リードフレーム（L）
を上限位置ポジションで下方から支持する底部（12）
と、その底部（12）の側端部から一体的に起立した縁部
（13）とで構成された断面Ｌ字状の長尺な板状部材で、
その前後端部をロータ（11）の第１〜第４のアーム
（d₁）〜（d₄）にそれぞれ固着されてリードフレーム移
送方向に沿って平行に架設される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は搬送装置に関し、詳しく
は、半導体装置の製造に使用され、リードフレーム等の
長尺な被搬送部材を定方向に移送する搬送装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＩＣ等の半導体装置は、長尺な
金属製帯板状リードフレームを使用して一括して製造さ
れる。この種のリードフレームは、各製造工程中及び工
程間での取扱い上、その長手方向の端部をガイドされな
がら定方向に移送されるのが一般的である。

【０００３】従来、上記リードフレームの搬送装置は、
図８及び図９に示すように一対のレール部材（a）（b）
から構成される。即ち、両者のレール部材（a）（b）
は、リードフレーム（L）を下方から支持する底部（1
a）（1b）と、その底部（1a）（1b）の外側端部から一
体的に起立する縁部（2a）（2b）とからなり、一方のレ
ール部材（a）は固定配置され、他方のレール部材（b）
は、上記レール部材（a）に対してリードフレーム幅方
向〔図８矢印方向〕に沿って移動可能に配置されてい
る。尚、レール部材（a）（b）の底部（1a）（1b）で
は、所定の間隔でもって、一方の底部（1a）に凹部（3
a）を、他方の底部（1b）に凸部（3b）を形成し、その
凹部（3a）と凸部（3b）とを嵌合させた構造となってい
る。

【０００４】また、固定配置された一方のレール部材
（a）に対して、他方のレール部材（b）を移動させる駆
動機構は、パルスモータ等の駆動源（4）の出力軸に直
結されたボールネジ（5）をリードフレーム幅方向に架
設し、そのボールネジ（5）の一部にナット（6）を螺合
させて、そのナット（6）にレール部材（b）を一体的に
固着した構造を有する。

【０００５】このようにレール部材（b）を移動可能と
することにより、移送すべきリードフレーム（L）の品
種が変更され、その幅方向の寸法が異なった場合、駆動
源（4）の作動により、図１０に示すようにボールネジ
（5）を回転させてリードフレーム幅方向に沿って一方
のレール部材（b）を移動させる。これにより、両レー
ル部材（a）（b）の縁部（2a）（2b）間の距離を、品種
が異なったリードフレーム（L'）の幅寸法に設定する。

【０００６】この状態でもって、リードフレーム（L）
又は（L'）は、レール部材（a）（b）の縁部（2a）（2
b）によりその長手方向の端部をガイドされながら、送
り爪〔図示せず〕等により定方向に移送されることにな
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の搬送装置は、その駆動機構の一部にボールネジ
（5）を使用することにより、固定配置された一方のレ
ール部材（a）に対して他方のレール部材（b）をリード
フレーム幅方向に移動させることでもって、両レール部
材（a）（b）間の距離を所定値に設定し、リードフレー
ム（L）の品種変更に伴うその幅寸法の違いに対応する
ようにしている。

【０００８】しかしながら、搬送装置をマウンタ等の高
温部で使用する場合、駆動機構の一部を構成するボール
ネジ（5）が高温雰囲気中での使用に不適であり、その
ボールネジ（5）を高温状態から遮断する手段を必要と
する等、その設置条件が制約されるという問題があっ
た。また、一般的にボールネジ（5）は高価なものであ
り、搬送装置のコストアップを招来するという問題もあ
った。

【０００９】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、高温雰囲気中
での使用が可能で安価な搬送装置を提供することにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段として、本発明は、長尺な被搬送部材を、
その長手方向の端部をガイドしながら定方向に移送する
ものであって、上記被搬送部材をその幅方向を規制しな
がら支持する複数のレール部材を、被搬送部材の移送方
向に沿って同軸配置した二つのロータの回転中心から放
射状に延びる各アーム先端にそれぞれ固着して平行に架
設したことを特徴とする。

【００１１】上記ロータに架設された複数のレール部材
を、固定された一つのレール部材と平行に離隔配置した
り、或いは、複数のレール部材を架設した一対のロータ
を、被搬送部材の幅方向に亘って離隔配置することが可
能である。

【００１２】また、一対のロータについて、ロータ相互
のレール部材同士を、同種又は異種でもって搬送ポジシ
ョンに配置することも可能で、更に、レール部材は、被
搬送部材を支持する底部に対して、被搬送部材の幅方向
端部を規制する縁部を着脱自在とすることも可能であ
る。

【００１３】

【作用】本発明に係る搬送装置では、被搬送部材の品種
変更等によりその幅寸法が異なった場合、ロータを回転
させることにより、上記被搬送部材の幅寸法に適合した
レール部材を選択する。これにより、ボールネジ等を使
用することなく、被搬送部材の幅寸法に合致したレール
幅を設定することが実現容易となる。

【００１４】

【実施例】本発明に係る搬送装置の実施例を図１乃至図
７に示して説明する。

【００１５】図１及び図２に示す実施例では、複数〔図
では４つ〕のレール部材（c₁）〜（c₄）〔以下、第１〜
第４のレール部材と称す〕を有するロータ（11）を具備
する。具体的に、このロータ（11）は、被搬送部材であ
るリードフレーム（L）の移送方向に沿って前後に配置
されて回転自在に軸支された二つのロータ（11）からな
り、各ロータ（11）はその回転中心から放射状に延びる
アーム（d₁）〜（d₄）〔図では９０°間隔で、以下、第
１〜第４のアームと称す〕を有する。

【００１６】一方、第１〜第４のレール部材（c₁）〜
（c₄）は、リードフレーム（L）を後述する上限位置ポ
ジションで下方から支持する底部（12）と、その底部
（12）の側端部から一体的に起立した縁部（13）とで構
成された断面Ｌ字状の長尺な板状部材で、その前後端部
を上述した二つのロータ（11）の第１〜第４のアーム
（d₁）〜（d₄）にそれぞれ固着することにより、リード
フレーム移送方向に沿って架設される。

【００１７】そして、この第１〜第４のレール部材
（c₁）〜（c₄）を有する二つのロータ（11）を一対用意
し、それら一対のロータ（11）を所定の距離だけ離隔配
置し、それぞれの第１〜第４のレール部材（c₁）〜
（c₄）がリードフレーム（L）の移送方向に沿って相互
に平行となるように配置する。

【００１８】また、図示しないが、一対のロータ（11）
には、その回転中心軸に駆動源であるモータ等の出力軸
が同軸的に連結され、更に、ロータ（11）とモータとの
間には、第１〜第４のレール部材（c₁）〜（c₄）をその
位置決め停止時のみに固定するブレーキ機構を付設す
る。尚、ロータ（11）の回転駆動は、手動によることも
可能である。

【００１９】上記構成からなる搬送装置では、例えば、
図１に示す状態において、ロータ（11）の第１のレール
部材（c₁）が、ともに上限位置ポジションに位置し、こ
の状態で、リードフレーム（L）が、第１のレール部材
（c₁）の底部（12）上に載置されてその長手方向に沿う
両側端部が縁部（13）に規制される。即ち、上限位置ポ
ジションにある第１のレール部材（c₁）の縁部（13）間
の離隔距離が上記リードフレーム（L）の幅寸法（m）と
一致した状態となっている。この状態でもって、リード
フレーム（L）は、第１のレール部材（c₁）の縁部（1
3）によりその長手方向の両側端部をガイドされなが
ら、送り爪〔図示せず〕等により定方向に移送されるこ
とになる。

【００２０】そして、リードフレームが品種変更され
て、上述した幅寸法と異なるリードフレーム（L'）とな
った場合、図３に示すようにモータの作動によりロータ
（11）を定方向〔図中矢印方向〕に回転させ、リードフ
レーム（L'）の幅寸法に適合したレール部材、例えば、
第３のレール部材（c₃）を上限位置ポジションに配置す
る。この時、その上限位置ポジションに配置された第３
のレール部材（c₃）は、モータとロータ間のブレーキ機
構によりその状態で固定される。この状態で、前述の場
合と同様、リードフレーム（L'）が、第３のレール部材
（c₃）の底部（12）上に載置されてその長手方向に沿う
両側端部が縁部（13）に規制され、上限位置ポジション
にある第３のレール部材（c₃）の縁部（13）間の離隔距
離が上記リードフレーム（L'）の幅寸法（m'）と一致し
た状態となる。そして、リードフレーム（L'）は、第３
のレール部材（c₃）の縁部（13）によりガイドされなが
ら移送される。

【００２１】尚、リードフレームによっては、両方のロ
ータ（11）において、第１のレール部材（c₁）又は第３
のレール部材（c₃）同士などのように同種のレール部材
を必ずしも組み合わせる必要はなく、例えば、一方のロ
ータ（11）では第１のレール部材（c₁）を、他方のロー
タ（11）では第３のレール部材（c₃）をそれぞれ上限位
置ポジションに配置するように異種のレール部材を組み
合わせることも可能である。

【００２２】以上、上記説明では、一対のロータ（11）
を設置したが、本発明はこれに限定されることなく、例
えば、図４及び図５に示すように一つのロータ（11）を
設置するようにしてもよい。この場合、そのロータ（1
1）から所定距離だけ離隔した位置に固定レール部材
（e）を配置する必要がある。

【００２３】上記構成では、リードフレーム（L）の品
種変更時、固定レール部材（e）に対して、ロータ（1
1）を前述した場合と同様に回転させることにより、図
６に示すようにその上限位置ポジションに第１〜第４の
レール部材（c₁）〜（c₄）のうちから所望のもの、例え
ば、第３のレール部材（c₃）を選択して固定レール部材
（e）と平行に配置する。このようにすれば、固定レー
ル部材（e）と選択された第３のレール部材（c₃）の縁
部（13）間の距離がリードフレーム（L''）の幅寸法
（m''）と一致し、その状態でリードフレーム（L''）が
移送可能となる。

【００２４】また、図７に示すように前述した各実施例
において、第１〜第４のレール部材（c₁）〜（c₄）を、
第１〜第４のアーム（d₁）〜（d₄）に固着された底部
（12）に対して縁部（13）を着脱自在とすることも可能
である。このようにすれば、上記縁部（13）の脱着によ
り、リードフレーム（L）の任意の幅寸法に対応するこ
とが容易となり、新規機種のリードフレームでも迅速に
適合させることが可能となり、設計が比較的容易とな
る。

【００２５】尚、上記各実施例では、ロータ（11）に第
１〜第４のレール部材（c₁）〜（c₄）を９０°間隔で設
けた場合について説明したが、本発明はこれに限定され
ることなく、４つ以外の複数のレール部材を設けること
が可能である。

【００２６】また、ロータ（11）として円柱体を用い、
この円柱体の周面に多数のレール部を形成してもよい。

【００２７】

【発明の効果】本発明に係る搬送装置によれば、ボール
ネジ等を使用することなく、被搬送部材の幅寸法に合致
したレール幅を設定することが容易で、高温雰囲気中で
の使用が可能で安価な搬送装置を提供できてその実用的
価値は大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る搬送装置の一実施例を示す概略正
面図

【図２】図１の搬送装置の平面図

【図３】図１の搬送装置において、異なるリードフレー
ムの幅寸法に設定した状態を示す概略正面図

【図４】本発明の他の実施例を示す概略正面図

【図５】図４の搬送装置の平面図

【図６】図４の搬送装置において、異なるリードフレー
ムの幅寸法に設定した状態を示す概略正面図

【図７】レール部材を構成する底部に対して縁部を着脱
自在とした状態を示す部分拡大正面図

【図８】搬送装置の従来例を示す概略正面図

【図９】図８の搬送装置の平面図

【図１０】図８の搬送装置において、異なるリードフレ
ームの幅寸法に設定した状態を示す概略正面図

【符号の説明】

11 ロータ 12 底部 13 縁部 L リードフレーム c₁〜c₄ レール部材 d₁〜d₄ アーム

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】長尺な被搬送部材を、その長手方向の端
部をガイドしながら定方向に移送するものであって、上
記被搬送部材をその幅方向を規制しながら支持する複数
のレール部材を、被搬送部材の移送方向に沿って同軸配
置した二つのロータの回転中心から放射状に延びる各ア
ーム先端にそれぞれ固着して平行に架設したことを特徴
とする搬送装置。
【請求項２】請求項１記載のロータに架設された複数
のレール部材を、固定された一つのレール部材と平行に
離隔配置したことを特徴とする搬送装置。
【請求項３】請求項１記載の複数のレール部材を架設
した一対のロータを、被搬送部材の幅方向に亘って離隔
配置したことを特徴とする搬送装置。
【請求項４】請求項３記載の一対のロータについて、
ロータ相互のレール部材同士を、同種又は異種でもって
搬送ポジションに配置するようにしたことを特徴とする
搬送装置。
【請求項５】請求項１記載のレール部材は、被搬送部
材を支持する底部に対して、被搬送部材の幅方向端部を
規制する縁部を着脱自在としたことを特徴とする搬送装
置。