JPH06132329A - リードフレーム - Google Patents

リードフレーム

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JPH06132329A
JPH06132329A JP4276958A JP27695892A JPH06132329A JP H06132329 A JPH06132329 A JP H06132329A JP 4276958 A JP4276958 A JP 4276958A JP 27695892 A JP27695892 A JP 27695892A JP H06132329 A JPH06132329 A JP H06132329A
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JP
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resin
lead frame
molding die
semiconductor chip
lead
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Withdrawn
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JP4276958A
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Yoshinori Yamamoto
芳憲 山本
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electronics Corp
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    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14639Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
    • B29C45/14655Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
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    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
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  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 樹脂封止型半導体パッケージにおけるゲート
残り及びランナー残りの発生を防止する。 【構成】 樹脂封止型半導体パッケージを成形するため
に樹脂成形用金型に装着され該樹脂成形用金型に形成さ
れたゲート及びランナーである樹脂注入路を通じて該樹
脂成形用金型内に注入される樹脂により半導体チップと
共に封止されるリードフレーム10は、フレーム部11
と、樹脂封止時に上記樹脂成形用金型の樹脂注入路内に
位置する部位に形成されている欠落部12と、フレーム
部11に形成されている棧13と、上記半導体チップを
固着するためのダイパッド14と、上記半導体チップの
ボンディングパッドと接続するためのインナーリード1
5と、アウターリード16とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂封止型半導体パッ
ケージで用いられるリードフレームに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来のリードフレームとしては、その材
料としてFe、Fe−Ni合金、Cu系合金等が使用さ
れ、半導体チップを固着するためのダイパッドと、半導
体チップのボンディングパッドと接続するためのインナ
ーリードと、アウターリードとが形成されているものが
知られている。
【0003】以下、上記従来のリードフレームを用いた
樹脂封止型半導体パッケージの組立方法を説明する。
【0004】まず、半導体チップをリードフレームのダ
イパッドに固着させ、次に、半導体チップのボンディン
グパッドとリードフレームのインナーリードとをワイヤ
ーボンディング法により接続する。
【0005】以上の工程を完了したリードフレームを、
160℃〜190℃に加熱された樹脂成型用金型に装着
し、該樹脂成形用金型の樹脂注入路を通じて加熱溶融し
た樹脂を該樹脂成形用金型の内部に注入する。樹脂成形
用金型は、樹脂注入口(以下ゲートと呼ぶ)と、湯道部
(以下ランナーと呼ぶ)と、所望のパッケージ外形に成
形するための内部空間であるキャビティーと、該キャビ
ティーの空気を放出するためのベントとを備えており、
上記ゲートとランナーとにより樹脂注入路を構成してい
る。
【0006】樹脂は、樹脂成形用金型の樹脂注入路を通
じて、樹脂成形用金型のキャビティーにセットされた半
導体チップと、リードフレームのインナーリードと、該
インナーリードと半導体チップのボンディングパッドと
を接続している金属ワイヤーとを包み込むように注入さ
れていく。
【0007】この樹脂の注入が完了した後、そのままの
状態で30秒〜120秒程度維持し樹脂を一次硬化させ
る。
【0008】さらに、炉内で樹脂が持つガラス転位温度
以上の温度で5〜10時間加熱することにより樹脂の最
終硬化を行い、半導体チップ及びリードフレームの樹脂
中への封止が完了する。
【0009】次に、硬化した樹脂部分の外側に位置する
リードフレームのアウターリードに5〜10μm程度の
メッキを施し、アウターリードのフォーミング加工を行
い、機能確認を行った後、パッケージ上面部に製品を判
別するためのマーキングをする。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、樹脂封止型
半導体パッケージの薄型、小型化が進むなかでリードフ
レーム材も薄くなり、樹脂材料も様々に品種改良が行わ
れてきた。
【0011】ところが、上記従来のリードフレームにお
いては、樹脂封止型半導体パッケージの組立工程におけ
る樹脂封止時に密着性のよい樹脂を使用して成形する
と、樹脂成形用金型のゲート及びランナーの樹脂がリー
ドフレームに密着し該樹脂が除かれずにパッケージ本体
に残る(以下ゲート残り、ランナー残りと呼ぶ)ため、
アウタリードをフォーミング加工するときに用いるリー
ド加工用金型の損傷の原因となり、さらに、リードフレ
ームの変形を誘発するという問題がある。
【0012】本発明は上記に鑑みなされたものであっ
て、ゲート残り及びランナー残りの発生を防止すること
ができるリードフレームを提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、樹脂封止型半導体パッケージの組立工程
における樹脂封止時に樹脂成形用金型の樹脂注入路内に
位置する部位に欠落部を形成することによって、リード
フレームと樹脂成形用金型の樹脂注入路内の樹脂との接
着面積を小さくするものである。
【0014】具体的に本発明が講じた解決手段は、樹脂
封止型半導体パッケージを成形するために樹脂成形用金
型に装着され該樹脂成形用金型に形成された樹脂注入路
を通じて該樹脂成形用金型内に注入される樹脂により封
止されるリードフレーム対象とし、樹脂封止時に上記樹
脂成形用金型の樹脂注入路内に位置する部位に欠落部が
形成されている構成とするものである。
【0015】
【作用】本発明の構成により、樹脂封止型半導体パッケ
ージの組立工程における樹脂封止時において、欠落部は
樹脂成形用金型の樹脂注入路(即ちゲート及びランナ
ー)の内部に位置する。このため、リードフレームと樹
脂成形用金型の樹脂注入路内の樹脂との接着面積が小さ
くなるので、該樹脂注入路内で固化した樹脂を成形され
たパッケージ本体から極めて簡単に取り除くことができ
る。従って、ゲート残り及びランナー残りの発生を防止
することができる。
【0016】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
【0017】初めに、上記実施例に係るリードフレーム
の構成を図面に基づいて説明する。
【0018】図1は上記実施例に係るリードフレーム1
0を示すものであり、同図において、リードフレーム1
0は、Fe−Ni合金またはCu合金により作られてお
り、フレーム部11と、該フレーム部11に形成された
欠落部12及び棧13と、半導体チップを固着するため
のダイパッド14と、半導体チップのボンディングパッ
ドと接続するためのインナーリード15と、アウターリ
ード16とを備えている。
【0019】図2は上記リードフレーム10を用いて組
み立てられた樹脂封止型半導体パッケージ20を示して
おり、同図において、樹脂封止型半導体パッケージ20
は、リードフレーム10のダイパッド14、インナーリ
ード15及びアウターリード16と、リードフレーム1
0のダイパッド14に固着された半導体チップ21と、
該半導体チップ21に設けられたボンディングパッド2
2とリードフレーム10のインナーリード15とを接続
しているワイヤー23と、リードフレーム10のダイパ
ッド14及びインナーリード15と半導体チップ21と
ワイヤー23とを封止している樹脂製のパッケージ本体
24とを備えている。
【0020】以下、上記樹脂封止型半導体パッケージ2
0の組立方法を説明する。
【0021】まず、リードフレーム10のダイパッド1
4の表面とインナーリード15の先端部の表側とにAu
またはAgのメッキ25を1.5〜3.0μmの厚さで
施す。次に、このようにしてメッキ25を施したリード
フレーム10のダイパッド14上に半導体チップ21を
エポキシ系樹脂またはポリイミド系樹脂にAgの粉末を
混ぜたAgペースト26により貼り付ける。その後、1
00℃〜250℃の温度で銀ペースト26を硬化させダ
イパッド14上に半導体チップ21を固着させる。次
に、この半導体チップ21上のボンディングパッド22
とリードフレーム10のインナーリード15の先端部の
メッキ25を施した部分とをAuまたはCuのワイヤー
23により熱圧着または超音波熱圧着のワイヤーボンデ
ィング法を用いて接続する。
【0022】そして、半導体チップ21が固着されたリ
ードフレーム10を樹脂成形用金型に装着して樹脂成形
を行なう。ここで、樹脂成形用金型は、従来例と同様の
ものであり、加熱溶融した樹脂の注入口であるゲート
と、湯道部であるランナーと、所望のパッケージ外形に
成形するための内部空間であるキャビティーと、該キャ
ビティーの空気を放出するためのベントとを備えてお
り、上記ゲートとランナーとにより樹脂注入路が構成さ
れている。
【0023】樹脂は、樹脂成形用金型の樹脂注入路を通
じて、樹脂成形用金型のキャビティーにセットされた半
導体チップ21と、リードフレーム10のインナーリー
ド15と、該インナーリード15と半導体チップ21の
ボンディングパッド22とを接続しているワイヤー23
とを包み込むように注入されていく。
【0024】リードフレーム10が樹脂成形用金型に装
着された際、リードフレーム10の欠落部12は該樹脂
成形用金型の樹脂注入路(即ちゲート及びランナー)の
内部に位置する。ここでは、リードフレーム10の欠落
部12は樹脂成形用金型の樹脂注入路の内部に位置する
部位のうちの殆どすべてが欠落して形成されているもの
とする。これにより、リードフレーム10のフレーム部
11と樹脂成形用金型の樹脂注入路内の樹脂との接着面
積は殆どなくなる。
【0025】従って、樹脂成形用金型の樹脂注入路にお
いて固化した樹脂を成形されたパッケージ本体24から
極めて簡単に取り除くことができ、樹脂がリードフレー
ム10のフレーム部11に密着してパッケージ本体24
に残ることを防ぐことができる。
【0026】図3は樹脂封止後のリードフレーム10を
示しており、同図に示すように、リードフレーム10に
成形されたパッケージ本体24にはゲート残り及びラン
ナー残りが生じない。
【0027】その後、リードフレーム10のアウターリ
ード16にメッキとリードフォーミング加工とを施し、
パッケージ本体24の表面に品番等のマーキングを行っ
て樹脂封止型半導体パッケージ20が完成する。
【0028】なお、本実施例に係るリードフレームにお
いては、リードフレームの強度を得るために棧を形成し
ているが、該棧の有無に関係なく同様の効果を得ること
ができる。また、上記棧の形成位置は樹脂の注入方向に
おける欠落部の何れの側にあってもよいことは言うまで
もない。
【0029】また、本実施例に係るリードフレームにお
いては、欠落部は樹脂封止時に樹脂成形用金型の樹脂注
入路内に位置する部位のうちの殆どすべてが欠落して形
成されているものとしたが、欠落部の大きさがより大き
くてもよいことは言うまでもなく、欠落部の大きさがよ
り小さくても樹脂成形用金型の樹脂注入路内におけるリ
ードフレームと樹脂との接着面積を従来のリードフレー
ムと比較して小さくすることができるため同様の効果を
得ることができる。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るリー
ドフレームによると、樹脂封止型半導体パッケージの組
立工程における樹脂封止時において、リードフレームと
樹脂成形用金型の樹脂注入路内の樹脂との接着面積を小
さくすることができるため、ゲート残り及びランナー残
りの発生を防止することができる。
【0031】従って、アウタリードをフォーミング加工
するときに用いるリード加工用金型の損傷を防ぎ、リー
ドフレームの変形の発生を防ぐことができる。
【0032】さらに、本発明に係るリードフレームによ
ると、樹脂封止時に樹脂成形用金型の樹脂注入路内に位
置する部位だけではなく該部位に隣接し樹脂成形用金型
と接する部位までも切除することにより、該切除部が樹
脂成形用金型のベントと同一の役割を果たし、樹脂封止
型半導体パッケージ内における気泡の発生の防止対策と
しての効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るリードフレームを示す
平面図である。
【図2】上記リードフレームを使用して組み立てられた
樹脂封止型半導体パッケージを示す断面図である。
【図3】上記樹脂封止型半導体パッケージの組立工程に
おける樹脂封止後のリードフレームを示す平面図であ
る。
【符号の説明】
10 リードフレーム 11 フレーム部 12 欠落部 13 棧 14 ダイパッド 15 インナーリード 16 アウターリード 20 樹脂封止型半導体パッケージ 21 半導体チップ
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/28 A 8617−4M 23/50 J 9272−4M K 9272−4M

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂封止型半導体パッケージを成形する
    ために樹脂成形用金型に装着され該樹脂成形用金型に形
    成された樹脂注入路を通じて該樹脂成形用金型内に注入
    される樹脂により封止されるリードフレームであって、 樹脂封止時に上記樹脂成形用金型の樹脂注入路内に位置
    する部位に欠落部が形成されていることを特徴とするリ
    ードフレーム。
JP4276958A 1992-10-15 1992-10-15 リードフレーム Withdrawn JPH06132329A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4276958A JPH06132329A (ja) 1992-10-15 1992-10-15 リードフレーム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4276958A JPH06132329A (ja) 1992-10-15 1992-10-15 リードフレーム

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JPH06132329A true JPH06132329A (ja) 1994-05-13

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ID=17576782

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4276958A Withdrawn JPH06132329A (ja) 1992-10-15 1992-10-15 リードフレーム

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JP (1) JPH06132329A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000028589A1 (en) * 1998-11-06 2000-05-18 Festec Co., Ltd. A plastic package having an air cavity and manufacturing method thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000028589A1 (en) * 1998-11-06 2000-05-18 Festec Co., Ltd. A plastic package having an air cavity and manufacturing method thereof

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