JPH0613010A - 対物レンズ - Google Patents
対物レンズInfo
- Publication number
- JPH0613010A JPH0613010A JP4167074A JP16707492A JPH0613010A JP H0613010 A JPH0613010 A JP H0613010A JP 4167074 A JP4167074 A JP 4167074A JP 16707492 A JP16707492 A JP 16707492A JP H0613010 A JPH0613010 A JP H0613010A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- coil
- sample
- magnetic field
- auxiliary coil
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Links
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- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＣＭＡを用いたオージェ電子分光装置におい
て対物レンズの収差係数を小さくする。 【構成】 ヨーク４は主コイル８と、主コイル８より試
料２側に配置された補助コイル９を囲繞している。対物
レンズ３の磁場は主コイル８により形成される磁場と、
補助コイル９により形成される磁場の合成磁場で形成さ
れることになるから、補助コイル９の励磁を調整するこ
とによって当該対物レンズ３の主面の位置を従来よりも
試料２側に位置させることができ、収差係数を小さくす
ることができる。
て対物レンズの収差係数を小さくする。 【構成】 ヨーク４は主コイル８と、主コイル８より試
料２側に配置された補助コイル９を囲繞している。対物
レンズ３の磁場は主コイル８により形成される磁場と、
補助コイル９により形成される磁場の合成磁場で形成さ
れることになるから、補助コイル９の励磁を調整するこ
とによって当該対物レンズ３の主面の位置を従来よりも
試料２側に位置させることができ、収差係数を小さくす
ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、対物レンズに係り、特
にシリンドリカル・ミラー・アナライザ（以下、ＣＭＡ
と称す）を用いたオージェ電子分光装置に用いて好適な
対物レンズに関する。
にシリンドリカル・ミラー・アナライザ（以下、ＣＭＡ
と称す）を用いたオージェ電子分光装置に用いて好適な
対物レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】試料に電子ビームを照射する装置におい
ては対物レンズの特性は電子照射系の性能を大きく左右
するものであるので、その形状を決定することは重要な
要素技術となっているが、特に、ＣＭＡを用いたオージ
ェ電子分光装置においては、集光条件を満足させるため
にＭＣＡの入射口を試料の照射位置から10ｍｍ〜15ｍｍ
程度の距離に位置させる必要があり、そのために対物レ
ンズを試料に近づけることができないので、図２に示す
ように特殊な形状となされている。
ては対物レンズの特性は電子照射系の性能を大きく左右
するものであるので、その形状を決定することは重要な
要素技術となっているが、特に、ＣＭＡを用いたオージ
ェ電子分光装置においては、集光条件を満足させるため
にＭＣＡの入射口を試料の照射位置から10ｍｍ〜15ｍｍ
程度の距離に位置させる必要があり、そのために対物レ
ンズを試料に近づけることができないので、図２に示す
ように特殊な形状となされている。
【０００３】図２はＣＭＡを用いたオージェ電子分光装
置の対物レンズの構成及びその近傍の配置を示す断面図
であり、図中、１はＣＭＡ、２は試料、３は対物レン
ズ、４はヨーク、５はコイル、６はリング状部材、７は
シールドパイプを示す。
置の対物レンズの構成及びその近傍の配置を示す断面図
であり、図中、１はＣＭＡ、２は試料、３は対物レン
ズ、４はヨーク、５はコイル、６はリング状部材、７は
シールドパイプを示す。
【０００４】ＣＭＡ１は試料２の近傍に配置されてお
り、試料２の電子ビームの照射点からＣＭＡ１の先端ま
での距離Ｌは通常10〜15ｍｍ程度である。対物レンズ３
のヨーク４の外形は電子銃（図示せず）側では円筒形状
であるが、試料２側に向かって略截頭円錐形状になされ
ている。そして、ヨーク４の内部の電子銃側にはコイル
５が配置されている。また、ヨーク４の先端には非磁性
材料からなるリング状部材６を介して、強磁性体からな
るシールドパイプ７が設けられている。このシールドパ
イプ７は、電子ビームが外部磁界によって影響されない
ようにシールドするために設けてあるものである。
り、試料２の電子ビームの照射点からＣＭＡ１の先端ま
での距離Ｌは通常10〜15ｍｍ程度である。対物レンズ３
のヨーク４の外形は電子銃（図示せず）側では円筒形状
であるが、試料２側に向かって略截頭円錐形状になされ
ている。そして、ヨーク４の内部の電子銃側にはコイル
５が配置されている。また、ヨーク４の先端には非磁性
材料からなるリング状部材６を介して、強磁性体からな
るシールドパイプ７が設けられている。このシールドパ
イプ７は、電子ビームが外部磁界によって影響されない
ようにシールドするために設けてあるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ものにおいては、ＣＭＡ１が試料２の近傍に配置される
必要があるために対物レンズ３を試料２に近づけること
ができず、そのために走査型電子顕微鏡等に比較して対
物レンズ３の収差係数は大きくなり、ワーキングディス
タンスＷＤも大きなものとなるので、得られる電子ビー
ムの径も制限されるものであった。
ものにおいては、ＣＭＡ１が試料２の近傍に配置される
必要があるために対物レンズ３を試料２に近づけること
ができず、そのために走査型電子顕微鏡等に比較して対
物レンズ３の収差係数は大きくなり、ワーキングディス
タンスＷＤも大きなものとなるので、得られる電子ビー
ムの径も制限されるものであった。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、収差係数を小さくすることができる対物レンズを
提供することを目的とするものである。
って、収差係数を小さくすることができる対物レンズを
提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】さて、電子ビーム径を小
さくするためには対物レンズの主面を試料に近づければ
よい。そこで、本発明の対物レンズは、主コイルと、前
記主コイルよりも試料側に配置される補助コイルと、前
記主コイル及び補助コイルを囲繞するヨークとを備える
ことを特徴とし、主コイルと補助コイルの合成磁場によ
り対物レンズの磁場を形成するようにする。
さくするためには対物レンズの主面を試料に近づければ
よい。そこで、本発明の対物レンズは、主コイルと、前
記主コイルよりも試料側に配置される補助コイルと、前
記主コイル及び補助コイルを囲繞するヨークとを備える
ことを特徴とし、主コイルと補助コイルの合成磁場によ
り対物レンズの磁場を形成するようにする。
【０００８】
【作用】本発明の対物レンズにおいては主コイルの他に
試料側に補助コイルを備えるので、この補助コイルに適
宜の電流を供給することによって対物レンズの磁界分布
を補正することができ、以て当該対物レンズの収差係数
を小さくすることができるので電子ビーム径を従来より
小さくすることができる。
試料側に補助コイルを備えるので、この補助コイルに適
宜の電流を供給することによって対物レンズの磁界分布
を補正することができ、以て当該対物レンズの収差係数
を小さくすることができるので電子ビーム径を従来より
小さくすることができる。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
図１は本発明に係る対物レンズの一実施例の構成を示す
断面図であり、図中、８は主コイル、９は補助コイルを
示す。なお、図１において図２と同じ構成要素に対して
は同一の符号を付す。
図１は本発明に係る対物レンズの一実施例の構成を示す
断面図であり、図中、８は主コイル、９は補助コイルを
示す。なお、図１において図２と同じ構成要素に対して
は同一の符号を付す。
【００１０】ヨーク４は主コイル８と、主コイル８より
試料２側に配置された補助コイル９を囲繞している。補
助コイル９が配置される部分のヨーク４の外径は従来設
けられていたシールドパイプと同程度となされるので、
対物レンズ３とＣＭＡ１との位置関係は従来と同様であ
る。従って補助コイル９は小型のものとなるが、対物レ
ンズ３の磁場は主コイル８により形成される磁場と、補
助コイル９により形成される磁場の合成磁場となるか
ら、当該補助コイル９の励磁を調整することによって当
該対物レンズ３の主面の位置を従来よりも試料２側に位
置させることができ、以て収差係数を小さくすることが
できる。
試料２側に配置された補助コイル９を囲繞している。補
助コイル９が配置される部分のヨーク４の外径は従来設
けられていたシールドパイプと同程度となされるので、
対物レンズ３とＣＭＡ１との位置関係は従来と同様であ
る。従って補助コイル９は小型のものとなるが、対物レ
ンズ３の磁場は主コイル８により形成される磁場と、補
助コイル９により形成される磁場の合成磁場となるか
ら、当該補助コイル９の励磁を調整することによって当
該対物レンズ３の主面の位置を従来よりも試料２側に位
置させることができ、以て収差係数を小さくすることが
できる。
【００１１】実際、試料２の照射点からＣＭＡ１の先端
までの距離Ｌを従来と同じとし、電子ビームの加速電圧
を10ｋＶとした場合、図２に示す構成では電子ビームの
最小ビーム径は略25ｎｍであったが、図１の構成におい
て主コイル８と補助コイル９の励磁電流の比を１：２と
すると最小ビーム径は略10ｎｍとなることが確認されて
いる。また、ヨーク４は強磁性体であるので、従来のシ
ールドパイプの機能をも備えるものであることは明かで
ある。
までの距離Ｌを従来と同じとし、電子ビームの加速電圧
を10ｋＶとした場合、図２に示す構成では電子ビームの
最小ビーム径は略25ｎｍであったが、図１の構成におい
て主コイル８と補助コイル９の励磁電流の比を１：２と
すると最小ビーム径は略10ｎｍとなることが確認されて
いる。また、ヨーク４は強磁性体であるので、従来のシ
ールドパイプの機能をも備えるものであることは明かで
ある。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、補助コイルの励磁電流を調整することによっ
て対物レンズの磁場分布を補正できるので、対物レンズ
の収差係数を小さくすることができ、これによって電子
ビームのビーム径を従来よりも小さくすることができ
る。
によれば、補助コイルの励磁電流を調整することによっ
て対物レンズの磁場分布を補正できるので、対物レンズ
の収差係数を小さくすることができ、これによって電子
ビームのビーム径を従来よりも小さくすることができ
る。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】 ＣＭＡを用いたオージェ電子分光装置の従来
の対物レンズの構成例を示す図である。
の対物レンズの構成例を示す図である。
１…ＣＭＡ、２…試料、３…対物レンズ、４…ヨーク、
５…コイル、６…リング状部材、７…シールドパイプ、
８…主コイル、９…補助コイル。
５…コイル、６…リング状部材、７…シールドパイプ、
８…主コイル、９…補助コイル。
Claims (1)
- 【請求項１】 主コイルと、前記主コイルよりも試料側
に配置される補助コイルと、前記主コイル及び補助コイ
ルを囲繞するヨークとを備えることを特徴とする対物レ
ンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4167074A JPH0613010A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4167074A JPH0613010A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613010A true JPH0613010A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15842925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4167074A Withdrawn JPH0613010A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613010A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2721396A1 (fr) * | 1994-06-15 | 1995-12-22 | Jaeger | Dispositif indicateur, notamment pour véhicules automobiles, comprenant une aiguille indicatrice. |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP4167074A patent/JPH0613010A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2721396A1 (fr) * | 1994-06-15 | 1995-12-22 | Jaeger | Dispositif indicateur, notamment pour véhicules automobiles, comprenant une aiguille indicatrice. |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |