JPH06127906A - オゾン発生設備及びオゾン発生装置用酸素／窒素混合気体 - Google Patents
オゾン発生設備及びオゾン発生装置用酸素／窒素混合気体Info
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- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
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- C01B2201/90—Control of the process
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- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、オゾン発生設備及びオゾン発生
装置用酸素／窒素混合気体に関し、オゾンガスの発生効
率を良好にし且つオゾン濃度を安定させることである。 【構成】 この発明によるオゾン発生設備は、オゾン発
生装置９の直前に設けた窒素濃度監視部３８により、オ
ゾン発生装置９に供給される直前に酸素／窒素混合気体
中の窒素濃度を監視し、その監視結果に基づいて、ガス
供給装置３０Ａの出口側に設けた制御部３３，３４を手
動制御又は自動制御（フィードバック制御）することが
できる構成である。
装置用酸素／窒素混合気体に関し、オゾンガスの発生効
率を良好にし且つオゾン濃度を安定させることである。 【構成】 この発明によるオゾン発生設備は、オゾン発
生装置９の直前に設けた窒素濃度監視部３８により、オ
ゾン発生装置９に供給される直前に酸素／窒素混合気体
中の窒素濃度を監視し、その監視結果に基づいて、ガス
供給装置３０Ａの出口側に設けた制御部３３，３４を手
動制御又は自動制御（フィードバック制御）することが
できる構成である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、オゾン発生装置から
発生するオゾンを有効に利用するオゾン発生設備、並び
にオゾン発生装置によるオゾンの発生を効率的に具現化
するオゾン発生装置用酸素／窒素混合気体に関するもの
である。
発生するオゾンを有効に利用するオゾン発生設備、並び
にオゾン発生装置によるオゾンの発生を効率的に具現化
するオゾン発生装置用酸素／窒素混合気体に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来から一般的に利用されている
オゾン発生装置９を示す断面図である。図において、１
は矢印Ａ方向に導入される酸素ガス、２は矢印Ｂ方向に
排出されるオゾンガス、３は一対をなす金属製の電極、
４は電極３間に印加する交流高電圧端子、５は電極３間
に配置した誘電体としてのガラス、６は電極３に交流高
電圧を印加することによって発生する無声放電である。
オゾン発生装置９を示す断面図である。図において、１
は矢印Ａ方向に導入される酸素ガス、２は矢印Ｂ方向に
排出されるオゾンガス、３は一対をなす金属製の電極、
４は電極３間に印加する交流高電圧端子、５は電極３間
に配置した誘電体としてのガラス、６は電極３に交流高
電圧を印加することによって発生する無声放電である。
【０００３】次に、図５は前述のオゾン発生装置９を利
用したオゾン発生設備を示す概略図である。図におい
て、７は99.999％以上の高純度な酸素ガスを貯留した酸
素供給源、８は酸素供給源７から流出する酸素ガスの流
量を制御するバルブ、１０は例えば、オゾン発生装置９
から発生したオゾンガスにより半導体の表面に酸化保護
膜を形成するのに利用するオゾン使用設備、１１はオゾ
ン使用設備１０に導入されるオゾンガス２の流量を制御
するバルブ、１２は余剰なオゾンを分解するオゾン分解
器、１３はオゾン分解器１２へ導入されるオゾンガス２
の流量を制御するためのバルブ、１４はオゾン分解器１
２により分解されて生成された物質が大気へ排出できる
程度までオゾンを減少させることができたか否かを監視
するための低濃度オゾンモニター、１５は低濃度化され
たオゾンを大気中に強制的に排出するための排気装置で
ある。
用したオゾン発生設備を示す概略図である。図におい
て、７は99.999％以上の高純度な酸素ガスを貯留した酸
素供給源、８は酸素供給源７から流出する酸素ガスの流
量を制御するバルブ、１０は例えば、オゾン発生装置９
から発生したオゾンガスにより半導体の表面に酸化保護
膜を形成するのに利用するオゾン使用設備、１１はオゾ
ン使用設備１０に導入されるオゾンガス２の流量を制御
するバルブ、１２は余剰なオゾンを分解するオゾン分解
器、１３はオゾン分解器１２へ導入されるオゾンガス２
の流量を制御するためのバルブ、１４はオゾン分解器１
２により分解されて生成された物質が大気へ排出できる
程度までオゾンを減少させることができたか否かを監視
するための低濃度オゾンモニター、１５は低濃度化され
たオゾンを大気中に強制的に排出するための排気装置で
ある。
【０００４】次に、図５に示したオゾン発生設備につい
て、その動作を説明する。所定の開度に調整されたバル
ブ８を介して、酸素ガスを酸素供給源７からオゾン発生
装置９に供給する。この時、このオゾン発生装置９で
は、電極３間に交流高電圧例えば６〜１８ＫＶが印加さ
れ、ガラス５から無声放電６が発生している。そこで、
オゾン発生装置９内に導入された酸素ガスは、前記無声
放電６の空隙を通過することで様々な反応が生じ、基本
的には、電極３より放出された電子は、酸素ガス中の酸
素分子と衝突して酸素原子に解離させるか、若しくは励
起酸素分子を生成させている。
て、その動作を説明する。所定の開度に調整されたバル
ブ８を介して、酸素ガスを酸素供給源７からオゾン発生
装置９に供給する。この時、このオゾン発生装置９で
は、電極３間に交流高電圧例えば６〜１８ＫＶが印加さ
れ、ガラス５から無声放電６が発生している。そこで、
オゾン発生装置９内に導入された酸素ガスは、前記無声
放電６の空隙を通過することで様々な反応が生じ、基本
的には、電極３より放出された電子は、酸素ガス中の酸
素分子と衝突して酸素原子に解離させるか、若しくは励
起酸素分子を生成させている。
【０００５】そして、ここで生起された酸素原子又は励
起酸素分子は、酸素ガス中に含まれる他の酸素分子と反
応して、オゾンガスとなる。その後、オゾンガスは、バ
ルブ１１を通過してオゾン使用設備１０により消費さ
れ、余剰なオゾンガスはバルブ１３を通って、オゾン分
解器１２内へ送り込まれる。このオゾン分解器１２内で
オゾンガスは分解されて無害な酸素分子に変換される。
そして、低濃度オゾンモニター１４により、オゾン濃度
が予定された値まで下がっているかを監視し、安全であ
ると判断された排ガスのみを、排気装置１５により強制
的に大気中に排出する。なお、オゾン分解器１２が所定
の機能を発揮せず、排ガス中に高濃度のオゾンが含まれ
ていると前記低濃度オゾンモニター１４により判明した
場合、図示しない別の経路により、例えば貯留タンクに
排ガスを溜めたり、再度オゾン分解器１２に戻したりし
て大気中に有害なオゾンが排出されないようにもなって
いる。
起酸素分子は、酸素ガス中に含まれる他の酸素分子と反
応して、オゾンガスとなる。その後、オゾンガスは、バ
ルブ１１を通過してオゾン使用設備１０により消費さ
れ、余剰なオゾンガスはバルブ１３を通って、オゾン分
解器１２内へ送り込まれる。このオゾン分解器１２内で
オゾンガスは分解されて無害な酸素分子に変換される。
そして、低濃度オゾンモニター１４により、オゾン濃度
が予定された値まで下がっているかを監視し、安全であ
ると判断された排ガスのみを、排気装置１５により強制
的に大気中に排出する。なお、オゾン分解器１２が所定
の機能を発揮せず、排ガス中に高濃度のオゾンが含まれ
ていると前記低濃度オゾンモニター１４により判明した
場合、図示しない別の経路により、例えば貯留タンクに
排ガスを溜めたり、再度オゾン分解器１２に戻したりし
て大気中に有害なオゾンが排出されないようにもなって
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のオゾン発生設備
は、従来において99.999％以上の高純度な酸素ガス中に
含まれている窒素は不純物として考えられ、オゾン発生
装置９に供給される酸素は不純物を含まない高純度のも
のが好ましいとされていた。しかし、この不純物として
の窒素の濃度がオゾン発生効率に多大な影響を及ぼして
いることは確認されており、窒素濃度を制御せずして酸
素ガスを利用した結果、オゾンの発生効率が安定せず、
しかも最悪の場合、オゾンがほとんど発生しないといっ
た問題点があった。
は、従来において99.999％以上の高純度な酸素ガス中に
含まれている窒素は不純物として考えられ、オゾン発生
装置９に供給される酸素は不純物を含まない高純度のも
のが好ましいとされていた。しかし、この不純物として
の窒素の濃度がオゾン発生効率に多大な影響を及ぼして
いることは確認されており、窒素濃度を制御せずして酸
素ガスを利用した結果、オゾンの発生効率が安定せず、
しかも最悪の場合、オゾンがほとんど発生しないといっ
た問題点があった。
【０００７】この発明は、以上のような課題を解決する
ためになされたもので、特に、オゾンガスの発生効率を
良好にし且つその濃度を安定させるようにしたオゾン発
生設備及びオゾン発生装置用酸素／窒素混合気体を得る
ことを目的とする。
ためになされたもので、特に、オゾンガスの発生効率を
良好にし且つその濃度を安定させるようにしたオゾン発
生設備及びオゾン発生装置用酸素／窒素混合気体を得る
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係る請求項１
におけるオゾン発生設備は、一対の電極間に誘電体を配
置し、酸素／窒素混合気体を前記電極間に流しながら交
流高電圧を印加してオゾンガスを発生させるためのオゾ
ン発生装置と、このオゾン発生装置に酸素／窒素混合気
体を供給するためのガス供給装置と、このガス供給装置
の出口側に設けられ前記酸素／窒素混合気体中の窒素濃
度を制御する制御部と、前記オゾン発生装置の直前に配
置され前記酸素／窒素混合気体の窒素濃度を監視する窒
素濃度監視部とを備えたものである。
におけるオゾン発生設備は、一対の電極間に誘電体を配
置し、酸素／窒素混合気体を前記電極間に流しながら交
流高電圧を印加してオゾンガスを発生させるためのオゾ
ン発生装置と、このオゾン発生装置に酸素／窒素混合気
体を供給するためのガス供給装置と、このガス供給装置
の出口側に設けられ前記酸素／窒素混合気体中の窒素濃
度を制御する制御部と、前記オゾン発生装置の直前に配
置され前記酸素／窒素混合気体の窒素濃度を監視する窒
素濃度監視部とを備えたものである。
【０００９】この発明に係る請求項２におけるオゾン発
生設備は、一対の電極間に誘電体を配置し、酸素／窒素
混合気体を前記電極間に流しながら交流高電圧を印加し
てオゾンガスを発生させるためのオゾン発生装置と、こ
のオゾン発生装置に酸素／窒素混合気体を供給するため
のガス供給装置と、このガス供給装置の出口側に設けら
れ前記酸素／窒素混合気体中の窒素濃度を制御する制御
部と、前記オゾン発生装置の直後に配置されオゾン濃度
を監視するオゾン濃度監視部とを備えたものである。
生設備は、一対の電極間に誘電体を配置し、酸素／窒素
混合気体を前記電極間に流しながら交流高電圧を印加し
てオゾンガスを発生させるためのオゾン発生装置と、こ
のオゾン発生装置に酸素／窒素混合気体を供給するため
のガス供給装置と、このガス供給装置の出口側に設けら
れ前記酸素／窒素混合気体中の窒素濃度を制御する制御
部と、前記オゾン発生装置の直後に配置されオゾン濃度
を監視するオゾン濃度監視部とを備えたものである。
【００１０】この発明に係る請求項３におけるオゾン発
生装置用酸素／窒素混合気体は、一対の電極間に誘電体
を配置し、窒素と酸素とを混合した酸素／窒素混合気体
を前記電極間に流しながら交流高電圧を印加してオゾン
ガスを発生させるためのオゾン発生装置であって、前記
窒素の濃度を５０〜１００ｐｐｍとしたものである。
生装置用酸素／窒素混合気体は、一対の電極間に誘電体
を配置し、窒素と酸素とを混合した酸素／窒素混合気体
を前記電極間に流しながら交流高電圧を印加してオゾン
ガスを発生させるためのオゾン発生装置であって、前記
窒素の濃度を５０〜１００ｐｐｍとしたものである。
【００１１】
【作用】この発明に係る請求項１におけるオゾン発生設
備においては、オゾン発生装置の直前に設けた窒素濃度
監視部により、オゾン発生装置に供給される直前の酸素
／窒素混合気体中の窒素濃度を監視し、その監視結果に
基づいて、ガス供給装置の出口側に設けた制御部を手動
制御又は自動制御（フィードバック制御）することがで
きるので、オゾン発生装置に供給される酸素／窒素混合
気体中の窒素濃度が常に好適な５０〜１００ｐｐｍとな
るように確実に制御することができる。
備においては、オゾン発生装置の直前に設けた窒素濃度
監視部により、オゾン発生装置に供給される直前の酸素
／窒素混合気体中の窒素濃度を監視し、その監視結果に
基づいて、ガス供給装置の出口側に設けた制御部を手動
制御又は自動制御（フィードバック制御）することがで
きるので、オゾン発生装置に供給される酸素／窒素混合
気体中の窒素濃度が常に好適な５０〜１００ｐｐｍとな
るように確実に制御することができる。
【００１２】この発明に係る請求項２におけるオゾン発
生設備においては、オゾン発生装置の直後に設けたオゾ
ン濃度監視部により、オゾン発生装置から排出されるオ
ゾン濃度を監視し、その監視結果に基づいて、ガス供給
装置の出口側に設けた制御部を手動制御又は自動制御
（フィードバック制御）することができるので、利用者
が望むオゾン濃度に基づいた窒素濃度制御を可能にす
る。
生設備においては、オゾン発生装置の直後に設けたオゾ
ン濃度監視部により、オゾン発生装置から排出されるオ
ゾン濃度を監視し、その監視結果に基づいて、ガス供給
装置の出口側に設けた制御部を手動制御又は自動制御
（フィードバック制御）することができるので、利用者
が望むオゾン濃度に基づいた窒素濃度制御を可能にす
る。
【００１３】この発明に係る請求項３におけるオゾン発
生装置用酸素／窒素混合気体においては、窒素の濃度を
５０〜１００ｐｐｍとし、オゾン発生装置の電極間に流
しながら交流高電圧を印加することで、オゾンの発生効
率を高め、そのオゾン濃度を安定させることができる。
生装置用酸素／窒素混合気体においては、窒素の濃度を
５０〜１００ｐｐｍとし、オゾン発生装置の電極間に流
しながら交流高電圧を印加することで、オゾンの発生効
率を高め、そのオゾン濃度を安定させることができる。
【００１４】
【実施例】以下、この発明によるオゾン発生設備の実施
例を図について説明する。なお、従来例と同一又は同等
部分については、同一符号を用いて説明しその詳細な説
明は省略する。
例を図について説明する。なお、従来例と同一又は同等
部分については、同一符号を用いて説明しその詳細な説
明は省略する。
【００１５】実施例１．図１はこの発明の第１の実施例
によるオゾン発生設備の概略図である。図において３０
Ａはオゾン発生装置９に酸素／窒素混合気体を供給する
ためのガス供給装置である。このガス供給装置３０Ａ
は、窒素濃度が１０ｐｐｍ以下に押さえられている99.9
99％以上の高純度の酸素を貯留した酸素供給源３１と、
所定圧力の窒素ガスを貯留した窒素供給源３２と、酸素
供給源３１の出口側に設けられた制御部としての第１の
バルブ（好適には電磁バルブ）３３と、窒素供給源３２
の出口側に設けられ制御部としての第２のバルブ（好適
には電磁バルブ）３４とを有している。
によるオゾン発生設備の概略図である。図において３０
Ａはオゾン発生装置９に酸素／窒素混合気体を供給する
ためのガス供給装置である。このガス供給装置３０Ａ
は、窒素濃度が１０ｐｐｍ以下に押さえられている99.9
99％以上の高純度の酸素を貯留した酸素供給源３１と、
所定圧力の窒素ガスを貯留した窒素供給源３２と、酸素
供給源３１の出口側に設けられた制御部としての第１の
バルブ（好適には電磁バルブ）３３と、窒素供給源３２
の出口側に設けられ制御部としての第２のバルブ（好適
には電磁バルブ）３４とを有している。
【００１６】また、前記酸素供給源３１から延びる第１
経路３５と、前記窒素供給源３２から延びる第２経路３
６とは、合流して混合経路３７を形成し、この混合経路
３７はオゾン発生装置９まで延在すると共に、その経路
の途中すなわちオゾン発生装置９の直前には窒素濃度監
視部３８が配置されている。この窒素濃度監視部３８
は、混合経路３７を通る酸素／窒素混合気体中の窒素濃
度を計測し、その値をモニター等により視覚的に表示す
ると共に、その計測値に基づいて第１及び第２のバルブ
３３，３４の開度を電気的に調整させる構成を有してい
る。なお、前記第１，２のバルブ３３，３４は、窒素濃
度監視部３８を見ながら、作業者の意志に基づいて手動
で調整させる構成としてもよい。
経路３５と、前記窒素供給源３２から延びる第２経路３
６とは、合流して混合経路３７を形成し、この混合経路
３７はオゾン発生装置９まで延在すると共に、その経路
の途中すなわちオゾン発生装置９の直前には窒素濃度監
視部３８が配置されている。この窒素濃度監視部３８
は、混合経路３７を通る酸素／窒素混合気体中の窒素濃
度を計測し、その値をモニター等により視覚的に表示す
ると共に、その計測値に基づいて第１及び第２のバルブ
３３，３４の開度を電気的に調整させる構成を有してい
る。なお、前記第１，２のバルブ３３，３４は、窒素濃
度監視部３８を見ながら、作業者の意志に基づいて手動
で調整させる構成としてもよい。
【００１７】以下、この発明によるオゾン発生設備の動
作を図１に基づいて説明する。先ず、オゾン発生設備に
おいて、必要とされる全ての装置を作動させて待機状態
にする。その後、第１のバルブ３３を開いて、酸素供給
源３１から所望流量の酸素ガスを排出する（なお、酸素
ガス中に含まれている窒素濃度は予じめ１０ｐｐｍ以下
に押さえられている）。この排出にあたって、酸素ガス
中に含まれる窒素濃度が窒素濃度監視部３８にモニター
化される。この窒素濃度に基づいて、第２のバルブ３４
の開度は、手動又は自動的に開放され、窒素濃度監視部
３８で検出される窒素濃度が体積比において５０〜１０
０ｐｐｍ（この値は実験により確認されている）になる
ように調整される。その結果、ガス供給装置３０Ａによ
って、窒素濃度５０〜１００ｐｐｍの酸素／窒素混合気
体を作り出すことが可能になる。
作を図１に基づいて説明する。先ず、オゾン発生設備に
おいて、必要とされる全ての装置を作動させて待機状態
にする。その後、第１のバルブ３３を開いて、酸素供給
源３１から所望流量の酸素ガスを排出する（なお、酸素
ガス中に含まれている窒素濃度は予じめ１０ｐｐｍ以下
に押さえられている）。この排出にあたって、酸素ガス
中に含まれる窒素濃度が窒素濃度監視部３８にモニター
化される。この窒素濃度に基づいて、第２のバルブ３４
の開度は、手動又は自動的に開放され、窒素濃度監視部
３８で検出される窒素濃度が体積比において５０〜１０
０ｐｐｍ（この値は実験により確認されている）になる
ように調整される。その結果、ガス供給装置３０Ａによ
って、窒素濃度５０〜１００ｐｐｍの酸素／窒素混合気
体を作り出すことが可能になる。
【００１８】なお、前記第２のバルブ３４の開度は、酸
素／窒素混合気体中の窒素濃度を常に５０〜１００ｐｐ
ｍの範囲内に維持するために、酸素供給源３１から排出
される酸素ガスの圧力変動に伴い、適時に制御されるこ
とは言うまでもないことである。
素／窒素混合気体中の窒素濃度を常に５０〜１００ｐｐ
ｍの範囲内に維持するために、酸素供給源３１から排出
される酸素ガスの圧力変動に伴い、適時に制御されるこ
とは言うまでもないことである。
【００１９】前記窒素濃度が５０〜１００ｐｐｍの範囲
内に維持された酸素／窒素混合気体は、オゾン発生装置
９内に導入され、その後発生したオゾンガスは、バルブ
１１を通過してオゾン使用設備１０により消費され、余
剰なオゾンガスはバルブ１３を通って、オゾン分解器１
２内へ送り込まれる。このオゾン分解器１２内で分解さ
れて無害な酸素分子に変換された排気ガスは、低濃度オ
ゾンモニター１４により、オゾン濃度が予定された値ま
で下がっているか否かを監視し、安全であると判断され
た場合にのみ、排気装置１５により強制的に大気中に排
出する。
内に維持された酸素／窒素混合気体は、オゾン発生装置
９内に導入され、その後発生したオゾンガスは、バルブ
１１を通過してオゾン使用設備１０により消費され、余
剰なオゾンガスはバルブ１３を通って、オゾン分解器１
２内へ送り込まれる。このオゾン分解器１２内で分解さ
れて無害な酸素分子に変換された排気ガスは、低濃度オ
ゾンモニター１４により、オゾン濃度が予定された値ま
で下がっているか否かを監視し、安全であると判断され
た場合にのみ、排気装置１５により強制的に大気中に排
出する。
【００２０】実施例２．次に、図２はこの発明の第２の
実施例によるオゾン発生設備を示す概略図である。図に
おいて３０Ｂはオゾン発生装置９に酸素／窒素混合気体
を供給するためのガス供給装置である。このガス供給装
置３０Ｂは、酸素を主成分としてその中の窒素濃度を５
０〜１００ｐｐｍとした酸素／窒素供給源３９と、酸素
／窒素供給源３９の出口側に設けられ制御部としての第
３のバルブ（好適には電磁バルブ）４０とから構成され
ている。
実施例によるオゾン発生設備を示す概略図である。図に
おいて３０Ｂはオゾン発生装置９に酸素／窒素混合気体
を供給するためのガス供給装置である。このガス供給装
置３０Ｂは、酸素を主成分としてその中の窒素濃度を５
０〜１００ｐｐｍとした酸素／窒素供給源３９と、酸素
／窒素供給源３９の出口側に設けられ制御部としての第
３のバルブ（好適には電磁バルブ）４０とから構成され
ている。
【００２１】また、前記ガス供給装置３０Ｂからオゾン
供給装置９まで延びる混合経路４１の途中すなわちオゾ
ン発生装置９の直前には窒素濃度監視部３８が配置され
ている。この窒素濃度監視部３８は、混合経路３７を通
る酸素／窒素混合気体中の窒素濃度を計測し、その値を
モニター等により視覚的に表示すると共に、その計測値
に基づいて第３のバルブ４０の開度を電気的に調整させ
る構成を有している。
供給装置９まで延びる混合経路４１の途中すなわちオゾ
ン発生装置９の直前には窒素濃度監視部３８が配置され
ている。この窒素濃度監視部３８は、混合経路３７を通
る酸素／窒素混合気体中の窒素濃度を計測し、その値を
モニター等により視覚的に表示すると共に、その計測値
に基づいて第３のバルブ４０の開度を電気的に調整させ
る構成を有している。
【００２２】なお、酸素／窒素供給源３９を複数本のガ
ス容器として構成し、各ガス容器には、５０〜１００ｐ
ｐｍの窒素濃度を有する酸素／窒素混合気体が封入され
ている場合、各ガス容器に、それぞれ制御部としての第
３のバルブ４０を設けると好適であり、各第３のバルブ
４０の開度を、窒素濃度監視部３８により検出される窒
素濃度に基づいて、制御する構成としてもよい。
ス容器として構成し、各ガス容器には、５０〜１００ｐ
ｐｍの窒素濃度を有する酸素／窒素混合気体が封入され
ている場合、各ガス容器に、それぞれ制御部としての第
３のバルブ４０を設けると好適であり、各第３のバルブ
４０の開度を、窒素濃度監視部３８により検出される窒
素濃度に基づいて、制御する構成としてもよい。
【００２３】以下、この発明によるオゾン発生設備の動
作を図２に基づいて説明する。先ず、オゾン発生設備に
おいて、必要とされる全ての装置を作動させて待機状態
にした後、第３のバルブ４０を開き、窒素濃度監視部３
８で検出される窒素濃度が体積比において５０〜１００
ｐｐｍになっているか否かを確認する。そして、窒素濃
度がこの範囲にない場合には、第３のバルブ４０の開度
を手動又は自動で調整し、酸素／窒素混合気体中の窒素
濃度を常に５０〜１００ｐｐｍの範囲内に維持するよう
にする。なお、第３のバルブ４０は、酸素供給源３１か
ら排出される酸素／窒素混合気体の圧力変動に伴い、適
時に制御されることは言うまでもないことである。
作を図２に基づいて説明する。先ず、オゾン発生設備に
おいて、必要とされる全ての装置を作動させて待機状態
にした後、第３のバルブ４０を開き、窒素濃度監視部３
８で検出される窒素濃度が体積比において５０〜１００
ｐｐｍになっているか否かを確認する。そして、窒素濃
度がこの範囲にない場合には、第３のバルブ４０の開度
を手動又は自動で調整し、酸素／窒素混合気体中の窒素
濃度を常に５０〜１００ｐｐｍの範囲内に維持するよう
にする。なお、第３のバルブ４０は、酸素供給源３１か
ら排出される酸素／窒素混合気体の圧力変動に伴い、適
時に制御されることは言うまでもないことである。
【００２４】また、酸素／窒素供給源３９を複数本のガ
ス容器として構成した場合、各制御部としての各第３の
バルブ４０の開度を、窒素濃度監視部３８により検出さ
れる窒素濃度に基づいて制御し、各ガス容器から送られ
てくる酸素／窒素混合気体を混合したときに発生する窒
素濃度のばらつきを、各第３のバルブ４０の開度により
調整することは言うまでもないことである。
ス容器として構成した場合、各制御部としての各第３の
バルブ４０の開度を、窒素濃度監視部３８により検出さ
れる窒素濃度に基づいて制御し、各ガス容器から送られ
てくる酸素／窒素混合気体を混合したときに発生する窒
素濃度のばらつきを、各第３のバルブ４０の開度により
調整することは言うまでもないことである。
【００２５】このように制御された酸素／窒素混合気体
は、オゾン発生装置９内に導入されるが、その後のオゾ
ンガスの利用及び処理については、実施例１で説明され
たと同様でありここでの説明は省略する。
は、オゾン発生装置９内に導入されるが、その後のオゾ
ンガスの利用及び処理については、実施例１で説明され
たと同様でありここでの説明は省略する。
【００２６】実施例３．図３はこの発明の第３の実施例
によるオゾン発生設備の要部を示す概略図である。図に
おいて３０Ｃはオゾン発生装置９に酸素／窒素混合気体
を供給するためのガス供給装置である。このガス供給装
置３０Ｃは、窒素濃度が１０ｐｐｍ以下に押さえられて
99.999％以上の高純度の酸素を貯留した酸素供給源３１
と、所定圧力の窒素ガスを貯留した窒素供給源３２と、
酸素供給源３１の出口側に設けられた制御部としての第
１のバルブ（好適には電磁バルブ）３３と、窒素供給源
３２の出口側に設けられ制御部としての第２のバルブ
（通称マスフローコントローラと呼ばれているものが好
適である）３４とから構成されている。
によるオゾン発生設備の要部を示す概略図である。図に
おいて３０Ｃはオゾン発生装置９に酸素／窒素混合気体
を供給するためのガス供給装置である。このガス供給装
置３０Ｃは、窒素濃度が１０ｐｐｍ以下に押さえられて
99.999％以上の高純度の酸素を貯留した酸素供給源３１
と、所定圧力の窒素ガスを貯留した窒素供給源３２と、
酸素供給源３１の出口側に設けられた制御部としての第
１のバルブ（好適には電磁バルブ）３３と、窒素供給源
３２の出口側に設けられ制御部としての第２のバルブ
（通称マスフローコントローラと呼ばれているものが好
適である）３４とから構成されている。
【００２７】また、前記酸素供給源３１から伸びる第１
経路３５と、前記窒素供給源３２から伸びる第２経路３
６とは、合流して混合経路３７を形成し、オゾン発生装
置９に酸素／窒素混合気体を導入している。このオゾン
発生装置９から伸びるオゾン排出経路４１の途中すなわ
ちオゾン発生装置９の直後にはオゾン濃度を監視するオ
ゾン濃度監視部４２が配置され、この窒素濃度監視部３
８は、オゾン排出経路４１を通るオゾン濃度を計測し、
その値をモニター等により視覚的に表示すると共に、そ
の計測値に基づいて第１及び第２のバルブ３３，３４の
開度を電気的に調整させる構成を有している。なお、前
記第１，２のバルブ３３，３４の開度は、オゾン濃度監
視部４２を見ながら、作業者の意志に基づいて手動で調
整させる構成としてもよい。
経路３５と、前記窒素供給源３２から伸びる第２経路３
６とは、合流して混合経路３７を形成し、オゾン発生装
置９に酸素／窒素混合気体を導入している。このオゾン
発生装置９から伸びるオゾン排出経路４１の途中すなわ
ちオゾン発生装置９の直後にはオゾン濃度を監視するオ
ゾン濃度監視部４２が配置され、この窒素濃度監視部３
８は、オゾン排出経路４１を通るオゾン濃度を計測し、
その値をモニター等により視覚的に表示すると共に、そ
の計測値に基づいて第１及び第２のバルブ３３，３４の
開度を電気的に調整させる構成を有している。なお、前
記第１，２のバルブ３３，３４の開度は、オゾン濃度監
視部４２を見ながら、作業者の意志に基づいて手動で調
整させる構成としてもよい。
【００２８】この発明によるオゾン発生設備の動作を図
３に基づいて以下説明する。先ず、オゾン発生設備を待
機状態にする。その後、第１のバルブ３３を開いて、酸
素供給源３１から所望流量の酸素ガスを排出する。この
排出にあたって、オゾン発生装置９から排出されるオゾ
ン濃度がオゾン濃度監視部４２にモニター化される。こ
のオゾン濃度に基づいて、第２のバルブ３４の開度は、
手動又は自動的（フィードバック制御）により、利用者
が所望するオゾン濃度になるまで調整される。
３に基づいて以下説明する。先ず、オゾン発生設備を待
機状態にする。その後、第１のバルブ３３を開いて、酸
素供給源３１から所望流量の酸素ガスを排出する。この
排出にあたって、オゾン発生装置９から排出されるオゾ
ン濃度がオゾン濃度監視部４２にモニター化される。こ
のオゾン濃度に基づいて、第２のバルブ３４の開度は、
手動又は自動的（フィードバック制御）により、利用者
が所望するオゾン濃度になるまで調整される。
【００２９】なお、前記第２のバルブ３４の開度は、所
望のオゾン濃度を維持するために、酸素供給源３１から
排出される酸素ガスの圧力変動に伴い、適時に制御され
ることは言うまでもないことである。また、所望の濃度
をもつオゾンガスは、前述の実施例１，２で説明したよ
うに利用され、ここでの説明は省略する。
望のオゾン濃度を維持するために、酸素供給源３１から
排出される酸素ガスの圧力変動に伴い、適時に制御され
ることは言うまでもないことである。また、所望の濃度
をもつオゾンガスは、前述の実施例１，２で説明したよ
うに利用され、ここでの説明は省略する。
【００３０】
【発明の効果】この発明による請求項１のオゾン発生設
備は、次のような効果を得ることができる。すなわち、
オゾン発生装置の直前に設けた窒素濃度監視部により、
オゾン発生装置に供給される直前において、酸素／窒素
混合気体中の窒素濃度を直接的に監視し、その監視結果
に基づいて、ガス供給装置の出口側に設けた制御部を手
動制御又は自動制御（フィードバック制御）することが
できるので、オゾン発生装置に供給される酸素／窒素混
合気体中の窒素濃度が常に好適な５０〜１００ｐｐｍと
なるように確実に制御することができる。従って、オゾ
ンの発生効率を極めて良好にし且つオゾン濃度を安定な
ものにすると共に、均質なオゾンを発生させることがで
きるので、オゾンによる例えば半導体の酸化保護膜形成
を、安定化させ且つ確実なものにすることができるとい
った優れた効果がある。
備は、次のような効果を得ることができる。すなわち、
オゾン発生装置の直前に設けた窒素濃度監視部により、
オゾン発生装置に供給される直前において、酸素／窒素
混合気体中の窒素濃度を直接的に監視し、その監視結果
に基づいて、ガス供給装置の出口側に設けた制御部を手
動制御又は自動制御（フィードバック制御）することが
できるので、オゾン発生装置に供給される酸素／窒素混
合気体中の窒素濃度が常に好適な５０〜１００ｐｐｍと
なるように確実に制御することができる。従って、オゾ
ンの発生効率を極めて良好にし且つオゾン濃度を安定な
ものにすると共に、均質なオゾンを発生させることがで
きるので、オゾンによる例えば半導体の酸化保護膜形成
を、安定化させ且つ確実なものにすることができるとい
った優れた効果がある。
【００３１】この発明による請求項２のオゾン発生設備
は、次のような効果を得ることができる。すなわち、オ
ゾン発生装置に直後に設けたオゾン濃度監視部により、
オゾン発生装置から排出されるオゾン濃度を監視し、そ
の監視結果に基づいて、ガス供給装置の出口側に設けた
制御部を手動制御又は自動制御（フィードバック制御）
することができるので、利用者が望むオゾン濃度に基づ
いた窒素濃度制御を可能にし、しかも、オゾン濃度を調
整しつつその状況に応じたオゾンの発生効率を最適なも
のにすることができるといった優れた効果がある。
は、次のような効果を得ることができる。すなわち、オ
ゾン発生装置に直後に設けたオゾン濃度監視部により、
オゾン発生装置から排出されるオゾン濃度を監視し、そ
の監視結果に基づいて、ガス供給装置の出口側に設けた
制御部を手動制御又は自動制御（フィードバック制御）
することができるので、利用者が望むオゾン濃度に基づ
いた窒素濃度制御を可能にし、しかも、オゾン濃度を調
整しつつその状況に応じたオゾンの発生効率を最適なも
のにすることができるといった優れた効果がある。
【００３２】この発明による請求項３のオゾン発生装置
用酸素／窒素混合気体は、一対の電極間に誘電体を配置
し、窒素と酸素とを混合した酸素／窒素混合気体を前記
電極間に流しながら交流高電圧を印加してオゾンを発生
させるためのオゾン発生装置であって、前記窒素の濃度
を５０〜１００ｐｐｍとしているため、次のような効果
を得ることができる。すなわち、実験上確認されたとこ
ろにより、窒素濃度が５０〜１００ｐｐｍの範囲外にあ
る酸素／窒素混合気体と比較して、オゾンの発生効率は
高められ、オゾン濃度を安定させることができるといっ
た優れた効果がある。
用酸素／窒素混合気体は、一対の電極間に誘電体を配置
し、窒素と酸素とを混合した酸素／窒素混合気体を前記
電極間に流しながら交流高電圧を印加してオゾンを発生
させるためのオゾン発生装置であって、前記窒素の濃度
を５０〜１００ｐｐｍとしているため、次のような効果
を得ることができる。すなわち、実験上確認されたとこ
ろにより、窒素濃度が５０〜１００ｐｐｍの範囲外にあ
る酸素／窒素混合気体と比較して、オゾンの発生効率は
高められ、オゾン濃度を安定させることができるといっ
た優れた効果がある。
【図１】この発明のオゾン発生設備の第１実施例を示す
概略図である。
概略図である。
【図２】この発明のオゾン発生設備の第２実施例を示す
概略図である。
概略図である。
【図３】この発明のオゾン発生設備の第３実施例を示す
概略図である。
概略図である。
【図４】一般的に利用されているオゾン発生装置を示す
断面図である。
断面図である。
【図５】従来のオゾン発生設備を示す概略図である。
３ 電極 ５ 誘電体 ９ オゾン発生装置 ３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ ガス供給装置 ３３ 第１のバルブ（制御部） ３４ 第２のバルブ（制御部） ３８ 窒素濃度監視部 ４０ 第３のバルブ（制御部） ４２ オゾン濃度監視部
Claims (3)
- 【請求項１】 一対の電極間に誘電体を配置し、酸素／
窒素混合気体を前記電極間に流しながら交流高電圧を印
加してオゾンガスを発生させるためのオゾン発生装置
と、このオゾン発生装置に酸素／窒素混合気体を供給す
るためのガス供給装置と、このガス供給装置の出口側に
設けられ前記酸素／窒素混合気体中の窒素濃度を制御す
る制御部と、前記オゾン発生装置の直前に配置され前記
酸素／窒素混合気体の窒素濃度を監視する窒素濃度監視
部とを備えたことを特徴とするオゾン発生設備。 - 【請求項２】 一対の電極間に誘電体を配置し、酸素／
窒素混合気体を前記電極間に流しながら交流高電圧を印
加してオゾンガスを発生させるためのオゾン発生装置
と、このオゾン発生装置に酸素／窒素混合気体を供給す
るためのガス供給装置と、このガス供給装置の出口側に
設けられ前記酸素／窒素混合気体中の窒素濃度を制御す
る制御部と、前記オゾン発生装置の直後に配置されオゾ
ン濃度を監視するオゾン濃度監視部とを備えたことを特
徴とするオゾン発生設備。 - 【請求項３】 一対の電極間に誘電体を配置し、窒素と
酸素とを混合した酸素／窒素混合気体を前記電極間に流
しながら交流高電圧を印加してオゾンガスを発生させる
ためのオゾン発生装置であって、前記窒素の濃度を５０
〜１００ｐｐｍとしたことを特徴とするオゾン発生装置
用酸素／窒素混合気体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27744792A JPH06127906A (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | オゾン発生設備及びオゾン発生装置用酸素／窒素混合気体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27744792A JPH06127906A (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | オゾン発生設備及びオゾン発生装置用酸素／窒素混合気体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06127906A true JPH06127906A (ja) | 1994-05-10 |
Family
ID=17583707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27744792A Pending JPH06127906A (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | オゾン発生設備及びオゾン発生装置用酸素／窒素混合気体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06127906A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4123893A1 (de) * | 1990-07-19 | 1992-01-23 | Sangi Kk | Kontaktlinsenwerkstoff |
| JP2001180915A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-07-03 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生設備及びその運転方法 |
| WO2004060795A1 (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | オゾン発生方法 |
| JP2009096691A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 間欠式水分添加によるオゾン発生方法および装置 |
| JP2013188655A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | オゾンを用いた有機物分解システム |
| WO2022130506A1 (ja) * | 2020-12-15 | 2022-06-23 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置及びオゾン供給方法 |
-
1992
- 1992-10-15 JP JP27744792A patent/JPH06127906A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4123893A1 (de) * | 1990-07-19 | 1992-01-23 | Sangi Kk | Kontaktlinsenwerkstoff |
| JP2001180915A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-07-03 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生設備及びその運転方法 |
| WO2004060795A1 (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | オゾン発生方法 |
| JP2009096691A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 間欠式水分添加によるオゾン発生方法および装置 |
| JP2013188655A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | オゾンを用いた有機物分解システム |
| WO2022130506A1 (ja) * | 2020-12-15 | 2022-06-23 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置及びオゾン供給方法 |
| CN116457072A (zh) * | 2020-12-15 | 2023-07-18 | 三菱电机株式会社 | 臭氧供给装置及臭氧供给方法 |
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