CN113840439A - 一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，包括：依次连接的反应段、混合段、催化反应段；所述反应段包括截面为三角形的锥形反应室、两个呈预定夹角布置的等离子体发生器；在等离子体发生器出口及交点处形成立体等离子体处理区，含菌气体在此与等离子体充分作用，达到快速杀菌的作用；所述两个等离子体发生器分别稳定工作于不同等离子体模式，其中，第一等离子体发生器工作于含氧模式，等离子体处理区产生氧活性物质；第二等离子体发生器工作于含氮模式等离子体处理区产生氮活性物质；所述第一等离子体发生器、第二等离子体发生器工作条件，需满足功率P1<P2，流量Q1>Q2。
Description
技术领域
本发明属于等离子体空气净化灭菌技术领域，具体提供一种公共场合排空气智能控制的等离子体快速灭菌装置。
背景技术
公共空间、生活环境存在各种有害细菌和病毒，可以经呼吸道飞沫传播、密切接触传播和气溶胶传播造成人类疾病。医院的手术室、新生儿室、ICU病房及产房等，还有一些制药和食品生产包装车间等行业，这些场所对空气质量要求高，空气必须经过设备消毒杀菌。常用的杀菌方法包括辐照杀菌、高压电场杀菌、紫外杀菌，这些方法通常消杀范围有限，杀菌效率低。
常压等离子体在外加强电场作用下气体电离，产生电子、离子、活性自由基及射线物质等，在等离子体材料处理、生物灭菌等领域获得广泛应用。常压等离子体产生方式包括电晕放电，通常结构为线板式、针板式、针桶和线筒式，该放电方式一般在电场强度最强的针或线的尖端放电，放电区域很小，大部分含有细菌和病毒的空气从非放电区过，单次处理效率低。刀片式滑动弧，等离子体在刀片间产生等离子体，也存在这放电空间小，单次处理效率低的问题。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，使等离子体能够分别稳定工作于不同的模式下(含氧模式、含氮模式)，含菌、病毒空气通过等离子体放电区时，达到快速灭菌效果。
本发明的技术方案为：一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，包括：依次连接的反应段、混合段、催化反应段；
所述反应段包括截面为三角形的锥形反应室、两个呈预定夹角布置的等离子体发生器；在等离子体发生器出口及交点处形成立体等离子体处理区，含菌气体在此与等离子体充分作用，达到快速杀菌的作用；
所述等离子体发生器包括第一等离子体发生器、第二等离子体发生器，分别稳定工作于不同等离子体模式，其中，第一等离子体发生器工作于含氧模式，等离子体处理区产生氧活性物质；第二等离子体发生器工作于含氮模式，等离子体处理区产生氮活性物质；所述第一等离子体发生器、第二等离子体发生器工作条件，需满足功率P1<P2，流量Q1>Q2，P1、P2分别为第一、第二等离子发生器的功率，Q1、Q2分别为第一、第二等离子发生器的流量，通过智能控制，对第一、第二等离子体发生器的工作模式进行调整。
进一步的，所述等离子体发生器进气由不同流量控制器控制，使等离子体发生器稳定工作于不同等离子体模式；在等离子体发生器出口处分别安装有氮氧化物探头、臭氧探头，通过其代表性成分含量测量，以监测等离子体发生器工作模式；若探头测量含量偏离预定值，通过测控系统智能控制等离子体发生器激发电源输入电压、控制信号占空比，及流量控制器流量，使等离子体发生器产生气氛工作于设定模式。
进一步的，所述等离子体混合段，下方具有倒喇叭形缩口，所述混合段内侧具有旋气的凹槽，由第一、第二等离子体反应区交叉形成快速等离子体流，在混合段通过到喇叭的缩口和凹槽，等离子体流在此充分混合，发生各类反应产生活性物质，进一步产生快速灭菌的作用。
进一步的，所述等离子体混合段放置有催化剂，在等离子体协同下去除氮氧化物。
进一步的，所述催化反应段放置有蜂窝陶瓷负载锰氧华物双金属催化剂，用于去除下行气流中残余的臭氧。
进一步的，在含氧模式下，如果氮氧化物超过第一预设值，或在含氮模式下，如果臭氧含量超过第二预设值，按以下方式进行智能调整和控制：工作于含氧模式的第一等离子体发生器，首先调整气体流量，以使第一等离子体发生器返回到含氧模式状态；工作于含氮模式的第二等离子体发生器，首先调整放电功率，调整等离子体发生器激发电源输入电压、控制信号占空比，以使第二等离子体发生器返回到含氮模式状态。
有益效果：
本发明的优点在于：第一、第二等离子体发生器在控制系统监测下智能稳定工作于不同模式，且等离子体处理区域相汇于交点处，形成快速下行等离子流至混合段。在混合段下行等离子体流在此快速充分混合，增强快速灭菌效果；含氧模式、含氮模式的等离子体流充分反应，以消除多余的臭氧含量；等离子体混合段放置有催化剂，在等离子体协同下去除氮氧化物。反应段放置有蜂窝陶瓷负载催化剂，用于去除下行气流中残余的臭氧，从而使得经本装置气体进入大气环境的安全性。
附图说明
图1为本发明装置结构示意图。
图中：第一等离子体发生器1、第二等离子体发生器2、等离子体反应段3、立体等离子体处理区4、第一氮氧化物探头5、第一臭氧测量器6、第二氮氧化物探头7、第二臭氧测量器8、等离子体混合段9、催化反应段10、蜂窝臭氧催化剂11。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅为本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域的普通技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护范围。
本发明提出一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，所述快速灭菌等离子体装置包括反应段、混合段、催化反应段。所述反应段包括三角形反应室、两个呈一定夹角布置的等离子体发生器。在反应室内，含细菌和病毒的空气，经过等离子体发生器，所述等离子体区不仅仅局限于等离子发生器内，还可扩展至两个等离子体发生器交点处。在等离子体发生器出口及交点处形成立体等离子体处理区，含菌气体在此可以与等离子体充分作用，达到快速杀菌的作用。
根据本发明的一个实施例，如图1所示，是本发明装置结构示意图，所述快速灭菌等离子体装置包括等离子体反应段3、等离子体混合段9、催化反应段10、控制系统。所述等离子体反应段包括三角形反应室、两个呈一定夹角布置的第一、第二等离子体发生器1、2。在反应段第一、第二等离子体发生器1、2能够分别稳定工作于不同的模式下，第一等离子体发生器1工作于含氧模式，等离子体处理区产生氧活性物质(O、OH、O2 -、1O2、O3等)；第二等离子体发生器2工作于含氮模式，等离子体处理区产生氮活性物质(N、NO、NO2等)。所述第一等离子体发生器1、第二等离子体发生器2工作条件，需满足功率P1<P2，且流量Q1>Q2。本发明中，为了防止激发产生等离子体时，工作于不确定的状态，本发明根据工作时设定的流量、放电功率进行模式控制和转换，如果满足含氧模式条件，或满足含氮模式条件，或满足过渡模式条件，那么产生的等离子体仅工作于其满足条件的某一状态下。
本发明的含氧模式是指：由于氮气的离解能大于氧气的离解能，激发功率相对较低时，等离子体气氛中以氧活性物质为主(即含氧模式，e+O2→O+O+e，O+H2O→OH+OH，O+O2+M→O3+M)。
本发明的含氮模式是指：在一定条件下，氮的振动激发态与活性氧反应形成氮氧化物，等离子体气氛以氮活性物质为主(即含氮模式，e+N2→N+N+e，N+O→NO，N+OH→NO，N+O2→NO+O，N2+O→NO+N，N+O3→NO+O2，NO+O3→NO2+O2)。
此外等离子体气氛还存在氧活性物质与氮活性物质共存状态(过渡态)。
由于激发功率、气体流量、电极温度、环境温度、空气湿度等变化，等离子体放电状态发生改变，使等离子体工作模式发生改变(如由含氧模式转换成含氮模式或过度模式)等离子体气氛组成发生变化，在实际空气等离子体消杀过程中由于外界条件的变动，引起等离子体放电状态和活性气氛组份的变化，将会影响等离子体消杀效果。
为使等离子体发生器稳定工作于不同等离子体模式，所述等离子体发生器进气由不同流量控制器控制，在等离子体发生器出口处分别安装有氮氧化物探头、臭氧探头，如图所示，第一氮氧化物探头5、第一臭氧测量器6、第二氮氧化物探头7、第二臭氧测量器8；控制系统监测第一、第二等离子体发生器1、2氮氧化物、臭氧含量，通过其代表性成分含量测量，以监测等离子体发生器工作模式。若探头测量含量偏离预定值，可以通过测控系统智能控制等离子体发生器激发电源输入电压、控制信号占空比，及流量控制器流量，使等离子体发生器产生气氛工作于设定模式。若参数偏离设定值，进行调节控制，具体如下：
在含氧模式下，如果氮氧化物偏高(高于阈值)，首先增加气流量，如若还高于阈值，再减小功率；含氮模式下，如臭氧含量高了(高于阈值)，首先增加功率，如若还高于阈值，再减小气流量。
总之，在含氧模式下，氮氧化物超过预设值；含氮模式下，臭氧含量超过预设值，按以下方式进行智能调整和控制：工作于含氧模式的第一等离子体发生器1，首先调整气体流量，以使第一等离子体发生器1返回到含氧模式状态；工作于含氮模式的第二等离子体发生器2，首先调整放电功率。可以调整等离子体发生器激发电源输入电压、控制信号占空比，以使第二等离子体发生器2返回到含氮模式状态。
空气中主要成分为氮气和氧气，在高电压激发下产生等离子体，产生含氮、含氧活性物质。工作于不同模式下的第一、第二等离子体发生器1、2放电产生等离子体，等离子体处理区可以扩展至出口交点处。在等离子体出口及交汇处，工作于不同模式的含菌等离子体流，相互充分混合并快速下行至等离子体混合段9。所述第一、第二等离子体发生器1、2呈一定夹角布置，具有以下优点，即在等离子体出口及交汇处，易于形成等离子体旋流，使得含菌空气经过等离子体处理区时增加接触面积和处理时间，从而达到快速灭菌目的。
所述等离子体混合段9，下方具有倒喇叭形缩口，所述混合段内侧具有旋气的凹槽。由等离子体反应区交叉形成快速等离子体流，在混合段通过到喇叭的缩口和凹槽，等离子体流在此充分混合，发生各类反应产生活性物质，进一步产生快速灭菌的作用。所述等离子体混合段放置有催化剂，在等离子体协同下去除氮氧化物。所述等离子体反应段具有以下功能：
1.由反应段形成的快速等离子体流在此快速充分混合，进一步产生各类活性物质，也同时增强细菌与活性物质的作用，增强快速灭菌效果。
2.在反应区工作于含氧模式的等离子体流与工作于含氮模式的等离子体流充分反应，以降低或消除多余的臭氧含量(N+O3→NO+O2，NO+O3→NO2+O2)。
3.等离子体混合段9放置有Co-Mn/Ti催化剂，在等离子体协同下去除氮氧化物。
作为备选方案，所述催化反应段10放置的蜂窝臭氧催化剂11可以是蜂窝陶瓷负载锰氧化物双金属催化剂，用于去除下行气流中残余的臭氧。
根据本发明的一个实施例，所述反应段的等离子体发生器，可以是同轴介质阻挡、同轴磁旋转弧等离子体发生器，在等离子体发生器入口端可以安装有气旋装置，在高压电源激发下，产生等离子体旋流。所述等离子体发生器这种结构，优点是使等离子体产生高速旋转，等离子体放电区拉长，使得带菌空气高速经过放电区时与等离子充分作用，达到快速灭菌效果。
本发明的优点在于，第一、第二等离子体发生器1、2在控制系统监测下智能稳定工作于不同模式，且等离子体处理区域相汇于交点处，形成快速下行等离子流至混合段。在混合段下行等离子体流在此快速充分混合，增强快速灭菌效果；含氧模式、含氮模式的等离子体流充分反应，以消除多余的臭氧含量；等离子体混合段放置有催化剂，在等离子体协同下去除氮氧化物。反应段放置有蜂窝陶瓷负载催化剂，用于去除下行气流中残余的臭氧，从而使得经本装置气体进入大气环境的安全性。
尽管上面对本发明说明性的具体实施方式进行了描述，以便于本技术领域的技术人员理解本发明，且应该清楚，本发明不限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员来讲，只要各种变化在所附的权利要求限定和确定的本发明的精神和范围内，这些变化是显而易见的，一切利用本发明构思的发明创造均在保护之列。
Claims (6)
1.一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，其特征在于，包括：依次连接的反应段、混合段、催化反应段；
所述反应段包括截面为三角形的锥形反应室、两个呈预定夹角布置的等离子体发生器；在等离子体发生器出口及交点处形成立体等离子体处理区，含菌气体在此与等离子体充分作用，达到快速杀菌的作用；
所述等离子体发生器包括第一等离子体发生器、第二等离子体发生器，分别稳定工作于不同等离子体模式，其中，第一等离子体发生器工作于含氧模式，等离子体处理区产生氧活性物质；第二等离子体发生器工作于含氮模式，等离子体处理区产生氮活性物质；所述第一等离子体发生器、第二等离子体发生器工作条件，需满足功率P1<P2，流量Q1>Q2，P1、P2分别为第一、第二等离子发生器的功率，Q1、Q2分别为第一、第二等离子发生器的流量，通过智能控制，对第一、第二等离子体发生器的工作模式进行调整。
2.根据权利要求1所述的一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，其特征在于，
所述等离子体发生器进气由不同流量控制器控制，使等离子体发生器稳定工作于不同等离子体模式；在等离子体发生器出口处分别安装有氮氧化物探头、臭氧探头，通过其代表性成分含量测量，以监测等离子体发生器工作模式；若探头测量含量偏离预定值，通过测控系统智能控制等离子体发生器激发电源输入电压、控制信号占空比，及流量控制器流量，使等离子体发生器产生气氛工作于设定模式。
3.根据权利要求1所述的一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，其特征在于，
所述等离子体混合段，下方具有倒喇叭形缩口，所述混合段内侧具有旋气的凹槽，由第一、第二等离子体反应区交叉形成快速等离子体流，在混合段通过到喇叭的缩口和凹槽，等离子体流在此充分混合，发生各类反应产生活性物质，进一步产生快速灭菌的作用。
4.根据权利要求1所述的一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，其特征在于，
所述等离子体混合段放置有催化剂，在等离子体协同下去除氮氧化物。
5.根据权利要求1所述的一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，其特征在于，
所述催化反应段放置有蜂窝陶瓷负载锰氧华物双金属催化剂，用于去除下行气流中残余的臭氧。
6.根据权利要求1所述的一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，其特征在于，
在含氧模式下，如果氮氧化物超过第一预设值，或在含氮模式下，如果臭氧含量超过第二预设值，按以下方式进行智能调整和控制：工作于含氧模式的第一等离子体发生器，首先调整气体流量，以使第一等离子体发生器返回到含氧模式状态；工作于含氮模式的第二等离子体发生器，首先调整放电功率，调整等离子体发生器激发电源输入电压、控制信号占空比，以使第二等离子体发生器返回到含氮模式状态。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114680265A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-07-01 | 刘坤 | 一种保鲜混合气体及其应用 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6662552B1 (en) * | 1999-05-19 | 2003-12-16 | Daimlerchrysler Ag | Exhaust-gas cleaning system and method with internal ammonia generation, for the reduction of nitrogen oxides |
| JP2007110026A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Konica Minolta Holdings Inc | プラズマ放電処理装置およびプラズマ放電処理方法 |
| CN101303966A (zh) * | 2007-05-10 | 2008-11-12 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 刻蚀后残留聚合物的去除方法及刻蚀结构的形成方法 |
| JP2012023163A (ja) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
| CN102427654A (zh) * | 2011-11-28 | 2012-04-25 | 武汉天和技术股份有限公司 | 多腔室等离子发生器阳极 |
| CN103243310A (zh) * | 2012-02-14 | 2013-08-14 | 诺发系统公司 | 用于等离子体激活的保形膜沉积的前体 |
| CN104027195A (zh) * | 2013-03-07 | 2014-09-10 | 廖峻德 | 具有生物兼容性的微等离子体产生方法 |
| US20170095787A1 (en) * | 2014-03-19 | 2017-04-06 | Korea Basic Science Institute | Microwave plasma torch |
-
2021
- 2021-10-11 CN CN202111181130.6A patent/CN113840439B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6662552B1 (en) * | 1999-05-19 | 2003-12-16 | Daimlerchrysler Ag | Exhaust-gas cleaning system and method with internal ammonia generation, for the reduction of nitrogen oxides |
| JP2007110026A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Konica Minolta Holdings Inc | プラズマ放電処理装置およびプラズマ放電処理方法 |
| CN101303966A (zh) * | 2007-05-10 | 2008-11-12 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 刻蚀后残留聚合物的去除方法及刻蚀结构的形成方法 |
| JP2012023163A (ja) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
| CN102427654A (zh) * | 2011-11-28 | 2012-04-25 | 武汉天和技术股份有限公司 | 多腔室等离子发生器阳极 |
| CN103243310A (zh) * | 2012-02-14 | 2013-08-14 | 诺发系统公司 | 用于等离子体激活的保形膜沉积的前体 |
| CN104027195A (zh) * | 2013-03-07 | 2014-09-10 | 廖峻德 | 具有生物兼容性的微等离子体产生方法 |
| US20170095787A1 (en) * | 2014-03-19 | 2017-04-06 | Korea Basic Science Institute | Microwave plasma torch |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114680265A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-07-01 | 刘坤 | 一种保鲜混合气体及其应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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