JPH0612277B2 - 感熱式流量センサ - Google Patents
感熱式流量センサInfo
- Publication number
- JPH0612277B2 JPH0612277B2 JP62311387A JP31138787A JPH0612277B2 JP H0612277 B2 JPH0612277 B2 JP H0612277B2 JP 62311387 A JP62311387 A JP 62311387A JP 31138787 A JP31138787 A JP 31138787A JP H0612277 B2 JPH0612277 B2 JP H0612277B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- sensitive
- resistor
- flow sensor
- bridge circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、感熱抵抗体（加熱抵抗体）を用いた流体の
流量を検出する感熱式流量センサに関するものである。
流量を検出する感熱式流量センサに関するものである。
流体中に配設された感熱抵抗体含むブリッジ回路の熱平
衡状態から流量を検出する方式、たとえば、実開昭61-1
08930号公報に示される流量センサが従来から用いられ
ているが、セラミック基板上に白金薄膜抵抗体を形成し
た感熱抵抗体を加熱抵抗体とする従来の感熱式空気流量
センサにつき図面により説明する。
衡状態から流量を検出する方式、たとえば、実開昭61-1
08930号公報に示される流量センサが従来から用いられ
ているが、セラミック基板上に白金薄膜抵抗体を形成し
た感熱抵抗体を加熱抵抗体とする従来の感熱式空気流量
センサにつき図面により説明する。
第２図は感熱式流量センサの動作説明に供する模式構成
図であり、流体の主通路となるハウジング１内の所定の
位置に基部２により取り付けられた感熱抵抗体３および
空気温センサ４が配設され、抵抗R1，R2とともにブリッ
ジ回路（以下、単にブリッジという）が構成されてい
る。
図であり、流体の主通路となるハウジング１内の所定の
位置に基部２により取り付けられた感熱抵抗体３および
空気温センサ４が配設され、抵抗R1，R2とともにブリッ
ジ回路（以下、単にブリッジという）が構成されてい
る。
差動増巾器１０１の両入力端はこのブリッジの接続点
ｂ，ｆに接続され、差動増巾器１０１の出力端はトラン
ジスタ１０２のベースに接続され、トランジスタ１０２
のエミッタはブリッジの一端ａに接続され、トランジス
タ１０２のコレクタは電源１０３の正極に接続されてい
る。このトランジスタ１０２，差動増巾器１０１とによ
り制御回路が構成されており、感熱抵抗体３への通電々
流を制御することにより、ブリッジを平衡状態に保持す
るようになっている。
ｂ，ｆに接続され、差動増巾器１０１の出力端はトラン
ジスタ１０２のベースに接続され、トランジスタ１０２
のエミッタはブリッジの一端ａに接続され、トランジス
タ１０２のコレクタは電源１０３の正極に接続されてい
る。このトランジスタ１０２，差動増巾器１０１とによ
り制御回路が構成されており、感熱抵抗体３への通電々
流を制御することにより、ブリッジを平衡状態に保持す
るようになっている。
また、第３図は感熱抵抗体３の従来の保持構造を示す斜
視図であり、基部２に配設された電気接続用リードを兼
ねる導電体からなる１対の支持部材５の上部により平面
が流れ方向に沿うように支持されるとともに、斜線で示
す係止部位６で電気的な接続が行われている。
視図であり、基部２に配設された電気接続用リードを兼
ねる導電体からなる１対の支持部材５の上部により平面
が流れ方向に沿うように支持されるとともに、斜線で示
す係止部位６で電気的な接続が行われている。
次に動作について説明する。このような感熱式流量セン
サの動作は公知であるので、詳細な説明は省略するが、
接続点ｂ，ｆの電圧が等しくなったとき、この回路は平
衡状態に達し、このとき感熱抵抗体３には流量に対応し
た電流IHが流れ、ｂ点の電圧VOはIH・RIで表わされ、こ
の電圧VOが流量信号として用いられる。
サの動作は公知であるので、詳細な説明は省略するが、
接続点ｂ，ｆの電圧が等しくなったとき、この回路は平
衡状態に達し、このとき感熱抵抗体３には流量に対応し
た電流IHが流れ、ｂ点の電圧VOはIH・RIで表わされ、こ
の電圧VOが流量信号として用いられる。
従来の感熱流量センサは以上のように構成されているの
で、被計測流体の流量変化に対する検出追従性を高める
ため、近年、感熱抵抗対３に熱容量が小さく、応答性の
よい小型の感熱抵抗体（たとえば、長さ約２mm，巾約
０．５mm，厚さ約０．１mm）が用いられているが、第３
図に示す従来の取付構造の場合、感熱抵抗体３の熱容量
に比べ、支持部材５の熱容量が大きくなり、計測感度の
低下および計測応答性の悪化を持たらす欠点がある。
で、被計測流体の流量変化に対する検出追従性を高める
ため、近年、感熱抵抗対３に熱容量が小さく、応答性の
よい小型の感熱抵抗体（たとえば、長さ約２mm，巾約
０．５mm，厚さ約０．１mm）が用いられているが、第３
図に示す従来の取付構造の場合、感熱抵抗体３の熱容量
に比べ、支持部材５の熱容量が大きくなり、計測感度の
低下および計測応答性の悪化を持たらす欠点がある。
また、感熱抵抗体３の機械的強度が小さくなるため、第
３図に示す構成に組み付ける際に、破損する問題も併せ
もっている。
３図に示す構成に組み付ける際に、破損する問題も併せ
もっている。
この発明は、かかる問題点を解消するためになされたも
ので、小型の感熱抵抗体の有する高い計測感度・応答性
を低下することのない流量検出の感度が良好な感熱式流
量センサを得ることを目的とする。
ので、小型の感熱抵抗体の有する高い計測感度・応答性
を低下することのない流量検出の感度が良好な感熱式流
量センサを得ることを目的とする。
この発明に係る感熱式流量センサは、流体の流れの所定
方向に基部上に支持された支持部材と、この支持部材上
に取り付けられた感熱抵抗体を熱容量の無視できるよう
に流体の流れと所定の方向に保持するリードとを設けた
ものである。
方向に基部上に支持された支持部材と、この支持部材上
に取り付けられた感熱抵抗体を熱容量の無視できるよう
に流体の流れと所定の方向に保持するリードとを設けた
ものである。
この発明においては、リードは感熱抵抗体の両端に直線
的に接続され各々の両端が突出した状態で支持部材上に
保持されて感熱抵抗体を流体の流れの所定の方向に保持
しており、感熱抵抗体の計測感度の低下と応答性の低下
を抑制するように作用する。
的に接続され各々の両端が突出した状態で支持部材上に
保持されて感熱抵抗体を流体の流れの所定の方向に保持
しており、感熱抵抗体の計測感度の低下と応答性の低下
を抑制するように作用する。
以下、この発明の感熱式流量センサの実施例について図
面に基づき説明する。第１図はその一実施例の構成を示
す斜視図であり、この第１図において、第２図および第
３図と同一部分には同一符号を付して述べる。第１図に
おいて、平板状の感熱抵抗体３の両端には電気接続用リ
ードも兼ねたリード７ａおよび７ｂが接続されている。
このリード７ａ，７ｂは感熱抵抗体３の両端より突出し
ており、その先端は支持部材８ａ，８ｂおよび９ａ，９
ｂに接続されている。
面に基づき説明する。第１図はその一実施例の構成を示
す斜視図であり、この第１図において、第２図および第
３図と同一部分には同一符号を付して述べる。第１図に
おいて、平板状の感熱抵抗体３の両端には電気接続用リ
ードも兼ねたリード７ａおよび７ｂが接続されている。
このリード７ａ，７ｂは感熱抵抗体３の両端より突出し
ており、その先端は支持部材８ａ，８ｂおよび９ａ，９
ｂに接続されている。
この支持部材８ａ，８ｂおよび９ａ，９ｂは各各リード
７ａ，７ｂの直線方向に対をなすように配設されてい
る。すなわち、支持部材８ａ，８ｂおよび９ａ，９ｂは
それぞれ流体の流れ方向に対して所定の位置に基部２上
に支持されている。
７ａ，７ｂの直線方向に対をなすように配設されてい
る。すなわち、支持部材８ａ，８ｂおよび９ａ，９ｂは
それぞれ流体の流れ方向に対して所定の位置に基部２上
に支持されている。
この支持部材８ａ，８ｂおよび９ａ，９ｂは電気接続用
リードを兼ねており、第１図では図示されていないが、
第２図で示したように上記感熱抵抗体３を抵抗R2，R3お
よび空気温センサ４とともにブリッジを構成するように
している。
リードを兼ねており、第１図では図示されていないが、
第２図で示したように上記感熱抵抗体３を抵抗R2，R3お
よび空気温センサ４とともにブリッジを構成するように
している。
このように構成することにより、感熱抵抗体３はその両
端が各々リード７ａおよび７ｂの直線方向に保持力が加
わるため流れに影響されることなく、流れ方向に対し所
定の位置に保持される。
端が各々リード７ａおよび７ｂの直線方向に保持力が加
わるため流れに影響されることなく、流れ方向に対し所
定の位置に保持される。
また、感熱抵抗体３とリード７ａおよび７ｂの接続部位
には、保持による引張力は感熱抵抗体３の自重しか加わ
らないため、接続部位の剥離は生じない。
には、保持による引張力は感熱抵抗体３の自重しか加わ
らないため、接続部位の剥離は生じない。
さらに、感熱抵抗体３には、第３図に示す従来の取付構
造のような支持部材の直接的な保持力が加わらず、破壊
することはない。
造のような支持部材の直接的な保持力が加わらず、破壊
することはない。
この発明は以上説明したとおり、熱容量の小さなリード
により、流れ方向の所定の位置に感熱抵抗体を配設する
ように構成したので、感熱抵抗体の検出感度、応答性の
向上が行われ、しかも感熱抵抗体への機械的外力も最小
限にとどめることができる効果がある。
により、流れ方向の所定の位置に感熱抵抗体を配設する
ように構成したので、感熱抵抗体の検出感度、応答性の
向上が行われ、しかも感熱抵抗体への機械的外力も最小
限にとどめることができる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による感熱式流量センサに
おける感熱抵抗体の保持構造を示す斜視図、第２図は従
来の感熱式流量センサの動作説明に供する模式構造図、
第３図は従来の感熱流量センサにおける感熱抵抗体の保
持構造を示す図である。 ２……基部、３……感熱抵抗体、７ａ，７ｂ……リー
ド、８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂ……支持部材。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
おける感熱抵抗体の保持構造を示す斜視図、第２図は従
来の感熱式流量センサの動作説明に供する模式構造図、
第３図は従来の感熱流量センサにおける感熱抵抗体の保
持構造を示す図である。 ２……基部、３……感熱抵抗体、７ａ，７ｂ……リー
ド、８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂ……支持部材。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (2)
- 【請求項１】平板状に形成されて流体通路中に配設さ
れ、かつ複数の抵抗とブリッジ回路を構成する感熱抵抗
体と、この感熱抵抗体の通電電流を制御して上記ブリッ
ジ回路の平衡状態を保持する制御回路とを備え、上記ブ
リッジ回路が平衡状態を保持した時、上記感熱抵抗体と
直列に接続された抵抗の両端より流量信号を出力する感
熱式流量センサにおいて、上記感熱抵抗体の両端部に、
その両端が突出するよう直線的に配設されて該感熱抵抗
体を保持し、かつ電気的に接続する一対のリードと、こ
の一対のリードの両端をそれぞれ保持しかつ電気的に接
続して上記リードとともに上記ブリッジ回路の接続体と
なるように基部上に保持された２組の支持部材とを備え
た感熱式流量センサ。 - 【請求項２】上記支持部材が上記リードの直線方向に配
設されることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
感熱式流量センサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62311387A JPH0612277B2 (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-08 | 感熱式流量センサ |
| KR1019880015744A KR890010539A (ko) | 1987-12-08 | 1988-11-29 | 감열식 유량센서 |
| DE3841057A DE3841057A1 (de) | 1987-12-08 | 1988-12-06 | Stroemungsmessgeraet |
| US07/280,921 US4912974A (en) | 1987-12-08 | 1988-12-07 | Thermal flow sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62311387A JPH0612277B2 (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-08 | 感熱式流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01150818A JPH01150818A (ja) | 1989-06-13 |
| JPH0612277B2 true JPH0612277B2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=18016571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62311387A Expired - Lifetime JPH0612277B2 (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-08 | 感熱式流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0612277B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2017086214A1 (ja) * | 2015-11-16 | 2018-08-23 | ナブテスコ株式会社 | センサ装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014119257A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Mitsubishi Materials Corp | 気流センサ |
-
1987
- 1987-12-08 JP JP62311387A patent/JPH0612277B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2017086214A1 (ja) * | 2015-11-16 | 2018-08-23 | ナブテスコ株式会社 | センサ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01150818A (ja) | 1989-06-13 |
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