JPH06120407A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH06120407A
JPH06120407A JP4265798A JP26579892A JPH06120407A JP H06120407 A JPH06120407 A JP H06120407A JP 4265798 A JP4265798 A JP 4265798A JP 26579892 A JP26579892 A JP 26579892A JP H06120407 A JPH06120407 A JP H06120407A
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JP
Japan
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lead
lead frame
semiconductor device
transistor element
semiconductor element
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Pending
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JP4265798A
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Inventor
Yoshihiro Fukuba
義浩 福場
Hajime Kato
肇 加藤
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
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    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
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    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、リードフレームのタイバ部をカ
ットする際にリードフレームに作用する応力を緩和し、
半導体素子および受動部品のクラックや剥離の発生を防
止し、信頼性を向上できる半導体装置を得ることを目的
とする。 【構成】 リードフレーム1は、インナーリード1bの
厚みをアウターリード1cの厚みより厚く形成されてい
る。トランジスタ素子2および半導体素子3がそれぞれ
リードフレーム1のトランジスタ素子搭載部1aおよび
インナーリード1bにダイボンディングされ、金線7に
より所望のインナーリード1bにワイヤボンディングさ
れている。チップ抵抗素子4は所望のインナーリード1
b間に半田6により接合されている。この状態で封止樹
脂8によりモールディングされ、その後タイバ部5がカ
ットされて半導体装置を作製している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、リードフレーム上に
トランジスタ素子、半導体素子および受動部品を搭載
し、一体樹脂成形して、チップ部品複合化した、いわゆ
るMCP(Multi Chip Package)の半導体装置に関し、
特にリードフレームのタイバ部のカット時に生じる応力
を吸収できる半導体装置のリードフレーム構造に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】図5および図6はそれぞれ従来の半導体
装置における樹脂封止前および樹脂封止後の状態を示す
斜視図、図7は図6のVII−VII線に沿った断面図
であり、図において1はリードフレームであり、このリ
ードフレーム1はシリコン基板上にパワートランジスタ
が構成されたトランジスタ素子2を搭載するトランジス
タ素子搭載部1a、トランジスタ素子2を制御する半導
体素子3および受動部品としてのチップ抵抗素子4を搭
載するインナーリード1bおよび外部との電気信号のや
り取りを行うアウターリード1cからなり、トランジス
タ素子搭載部1aの厚みを厚く、インナーリード1bお
よびアウターリード1cの厚みを一様に構成し、それぞ
れタイバ部5により結合されている。6はチップ抵抗素
子4をリードフレーム1上に接合する半田、7はボンデ
ィング用のワイヤとしての金線、8は封止樹脂である。
【0003】このように構成された従来の半導体装置を
組み立てるには、まず、例えば銅合金をプレス成形して
リードフレーム1を形成する。ついで、トランジスタ素
子搭載部1aおよびインナーリード1b上にそれぞれト
ランジスタ素子2および半導体素子3をダイボンディン
グする。また、所望のインナーリード1b間にチップ抵
抗素子4を半田6により接合する。つぎに、トランジス
タ素子2および半導体素子3の電極パッドと所望のイン
ナーリード1bとの間を金線7を用いてワイヤボンディ
ングして、図5に示すように、トランジスタ素子2、半
導体素子3およびチップ抵抗素子5がリードフレーム1
上に搭載される。
【0004】その後、封止樹脂8、例えばエポキシ樹脂
を用いて、図6に示すように、モールディングする。こ
の時、トランジスタ素子搭載部1aの底面は封止樹脂8
から露呈するようにモールディングされている。さら
に、タイバ部5をカットして、トランジスタ素子2、半
導体素子3およびチップ抵抗素子4が1パッケージに複
合化された半導体装置が得られる。
【0005】つぎに、上記従来の半導体装置の動作につ
いて説明する。半導体素子3は、トランジスタ素子2の
通電電流をチップ抵抗素子4の両端の電圧を検出するこ
とにより、トランジスタ電流をコントロールする。ま
た、トランジスタ素子2はパワー素子であるので通電す
ることによりトランジスタ素子2で発熱するが、この熱
はトランジスタ素子搭載部1aの底面から放熱される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体装置は以
上のように構成されているので、タイバ部5をカットす
る際に生じる引っ張り力が、アウターリード1cを介し
てインナーリード1bに加わり、インナーリード1b上
に搭載された半導体素子3およびインナーリード1b間
に搭載されたチップ抵抗素子4にクラックを発生させ、
あるいは半導体素子3およびチップ抵抗素子4の剥離を
発生させ、半導体装置の動作の信頼性を低下させるとい
う課題があった。
【0007】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、タイバ部をカットする際に生じ
る引っ張り力によるインナーリード側への応力を低減
し、搭載される半導体素子および受動部品のクラックあ
るいは剥離を防止して、信頼性に優れた半導体装置を得
ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体装
置は、リードフレームのトランジスタ素子搭載部上にト
ランジスタ素子を搭載し、リードフレームのインナーリ
ード上にトランジスタ素子を制御する半導体素子および
受動部品を搭載し、封止樹脂により一体樹脂成形された
半導体装置において、半導体素子および受動部品を搭載
したインナーリードの剛性を、封止樹脂より外部に導出
されるリードフレームのアウターリードの剛性に対して
大きくするものである。
【0009】
【作用】この発明においては、半導体素子および受動部
品を搭載したリードフレームのインナーリードの剛性を
アウターリードの剛性に対して大きくしているので、リ
ードフレームのタイバ部をカットする際に生じる引っ張
り力によりアウターリードを介してインナーリードに作
用しようとする応力は、インナーリードとアウターリー
ドとの剛性の差により低減され、インナーリード上に搭
載される半導体素子および受動部品への影響が低減され
る。
【0010】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。 実施例1.図1および図2はそれぞれこの発明の実施例
1を示す半導体装置における樹脂封止前および樹脂封止
後の状態の斜視図、図3は図2のIII−III線に沿
った断面図であり、図において図5乃至図7に示した従
来の半導体装置と同一または相当部分には同一符号を付
し、その説明を省略する。
【0011】この実施例1による半導体装置は、リード
フレーム1のインナーリード1bの厚みをアウターリー
ド1cの厚みに比べて厚く形成し、インナーリード1b
の剛性をアウターリード1cの剛性に対して大きく構成
している。なお、他の構成は、図5乃至図7に示した従
来の半導体装置と同じ構成である。
【0012】このように構成された上記実施例1によれ
ば、封止樹脂8でモールディングした後、タイバ部5を
カットする際にリードフレーム1に作用する引っ張り力
は、インナーリード1bとアウターリード1cとの剛性
の違いにより、インナーリード1bとアウターリード1
cとの段差部で吸収され、半導体素子3およびチップ抵
抗素子4のインナーリード1b搭載部面の変形が低減さ
れる。
【0013】したがって、上記実施例1によれば、半導
体素子3およびチップ抵抗素子4にクラックが発生した
り、半導体素子3およびチップ抵抗素子4が接合部から
剥離したりすることが防止でき、動作の信頼性を向上す
ることができるという効果がある。
【0014】実施例2.上記実施例1では、半導体素子
3およびチップ抵抗素子4を搭載するインナーリード1
bの厚みをアウターリード1cの厚みより厚くして、イ
ンナーリード1bの剛性をアウターリード1cの剛性に
対して大きくするものとしているが、この実施例2で
は、図4に示すように、インナーリード1bとアウター
リード1cとの厚みを一様とし、インナーリード1bの
半導体素子3およびチップ抵抗素子4搭載部下面に金属
またはセラミック等からなる板9を張り付け、インナー
リード1bの剛性をアウターリード1cの剛性に対して
大きくするものとし、同様の効果を奏する。
【0015】なお、上記各実施例では、受動部品として
チップ抵抗素子4を用いるものとして説明しているが、
受動部品は抵抗素子に限らず、例えばコンデンサ素子、
コイル素子であってもよい。
【0016】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、リード
フレームのトランジスタ素子搭載部上にトランジスタ素
子を搭載し、リードフレームのインナーリード上にトラ
ンジスタ素子を制御する半導体素子および受動部品を搭
載し、封止樹脂により一体樹脂成形された半導体装置に
おいて、半導体素子および受動部品を搭載したインナー
リードの剛性を、封止樹脂より外部に導出されるリード
フレームのアウターリードの剛性に対して大きくしてい
るので、リードフレームのタイバ部をカットする際に生
じる引っ張り力によりインナーリードの半導体素子およ
び受動部品の搭載部に作用する応力が低減され、半導体
素子および受動部品のクラックや剥離の発生が抑えら
れ、信頼性の向上を図ることができる半導体装置が得ら
れる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例1を示す半導体装置における
樹脂封止前の状態の斜視図である。
【図2】この発明の実施例1を示す半導体装置における
樹脂封止後の状態の斜視図である。
【図3】図2のIII−III線に沿った断面図であ
る。
【図4】この発明の実施例2を示す半導体装置の断面図
である。
【図5】従来の半導体装置における樹脂封止前の状態を
示す斜視図である。
【図6】従来の半導体装置における樹脂封止後の状態を
示す斜視図である。
【図7】図6のVII−VII線に沿った断面図であ
る。
【符号の説明】
1 リードフレーム 1a トランジスタ素子搭載部 1b インナーリード 1c アウターリード 2 トランジスタ素子 3 半導体素子 4 チップ抵抗素子(受動部品) 8 封止樹脂 9 板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リードフレームのトランジスタ素子搭載
    部上にトランジスタ素子を搭載し、前記リードフレーム
    のインナーリード上に前記トランジスタ素子を制御する
    半導体素子および受動部品を搭載し、封止樹脂により一
    体樹脂成形された半導体装置において、前記半導体素子
    および受動部品を搭載した前記インナーリードの剛性
    を、前記封止樹脂より外部に導出されるリードフレーム
    のアウターリードの剛性に対して大きくしたことを特徴
    とする半導体装置。
JP4265798A 1992-10-05 1992-10-05 半導体装置 Pending JPH06120407A (ja)

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JP4265798A JPH06120407A (ja) 1992-10-05 1992-10-05 半導体装置

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JP4265798A JPH06120407A (ja) 1992-10-05 1992-10-05 半導体装置

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ID=17422191

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018018952A (ja) * 2016-07-28 2018-02-01 三菱電機株式会社 半導体装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018018952A (ja) * 2016-07-28 2018-02-01 三菱電機株式会社 半導体装置

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