JPH06116782A - チタン材のめっき前処理方法 - Google Patents
チタン材のめっき前処理方法Info
- Publication number
- JPH06116782A JPH06116782A JP28963192A JP28963192A JPH06116782A JP H06116782 A JPH06116782 A JP H06116782A JP 28963192 A JP28963192 A JP 28963192A JP 28963192 A JP28963192 A JP 28963192A JP H06116782 A JPH06116782 A JP H06116782A
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- JP
- Japan
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- titanium material
- plating
- sample
- plating layer
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単に行なうことができるとともに、チタン
材表面に密着性の優れためっき層を形成させることので
きるめっき前処理方法を提供することである。 【構成】 チタン材３を、フッ化物塩と、カルボン酸又
はカルボン酸塩と、カリウムイオンとを含み且つｐＨが
３．５〜７．０の範囲にある水溶液中に浸漬し、チタン
材３表面に、微小ピット１と、チタン材３表面の酸化を
防止するとともにめっき液中で消失する膜とを形成した
ことを特徴とする方法である。
材表面に密着性の優れためっき層を形成させることので
きるめっき前処理方法を提供することである。 【構成】 チタン材３を、フッ化物塩と、カルボン酸又
はカルボン酸塩と、カリウムイオンとを含み且つｐＨが
３．５〜７．０の範囲にある水溶液中に浸漬し、チタン
材３表面に、微小ピット１と、チタン材３表面の酸化を
防止するとともにめっき液中で消失する膜とを形成した
ことを特徴とする方法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、チタン又はチタン合金
の表面、即ちチタン材の表面に、密着性の優れためっき
層を形成させるために、めっき処理の前に予め施してお
くめっき前処理方法に関するものである。
の表面、即ちチタン材の表面に、密着性の優れためっき
層を形成させるために、めっき処理の前に予め施してお
くめっき前処理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】チタン材の表面にニッケル等のめっき層
を電気めっきにより形成する場合には、前処理としてチ
タン材表面の自然酸化皮膜を予め除去しておくことが一
般に行なわれる。これは、自然酸化皮膜があると、チタ
ン材表面へのめっき層の密着性が悪くなり、めっき層が
簡単に剥離するようになってしまうからである。上記前
処理としては、例えば、チタン材を、硝酸、塩酸、フッ
酸等の酸性溶液中に浸漬してエッチング処理することが
知られている（特開平３−４７９９１号公報）。
を電気めっきにより形成する場合には、前処理としてチ
タン材表面の自然酸化皮膜を予め除去しておくことが一
般に行なわれる。これは、自然酸化皮膜があると、チタ
ン材表面へのめっき層の密着性が悪くなり、めっき層が
簡単に剥離するようになってしまうからである。上記前
処理としては、例えば、チタン材を、硝酸、塩酸、フッ
酸等の酸性溶液中に浸漬してエッチング処理することが
知られている（特開平３−４７９９１号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、上記
前処理では、エッチング処理によって酸化皮膜は除去さ
れるが、めっき処理を行なうまでの水洗工程等において
再び酸化皮膜が形成されるので、前処理後、直ちにめっ
き処理を行なわなければならないという問題があった。
しかし、前処理後、直ちにめっき処理を行なうことは、
困難であった。例えば、実生産ラインにおいては、めっ
き液の老化を防止するために、水洗後、空中で放置して
液切りする必要があり、めっき処理を直ちに行なうこと
はできず、液切りしている時に酸化皮膜が形成され、そ
のためにめっき層の密着性が悪くなる恐れがあった。
前処理では、エッチング処理によって酸化皮膜は除去さ
れるが、めっき処理を行なうまでの水洗工程等において
再び酸化皮膜が形成されるので、前処理後、直ちにめっ
き処理を行なわなければならないという問題があった。
しかし、前処理後、直ちにめっき処理を行なうことは、
困難であった。例えば、実生産ラインにおいては、めっ
き液の老化を防止するために、水洗後、空中で放置して
液切りする必要があり、めっき処理を直ちに行なうこと
はできず、液切りしている時に酸化皮膜が形成され、そ
のためにめっき層の密着性が悪くなる恐れがあった。
【０００４】本発明は、簡単に行なうことができるとと
もに、チタン材表面に密着性の優れためっき層を形成さ
せることのできるめっき前処理方法を提供することを目
的とする。
もに、チタン材表面に密着性の優れためっき層を形成さ
せることのできるめっき前処理方法を提供することを目
的とする。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】本発明のチタン材のめ
っき前処理方法は、チタン材を、フッ化物塩と、カルボ
ン酸又はカルボン酸塩と、カリウムイオンとを含み且つ
ｐＨが３．５〜７．０の範囲にある水溶液中に浸漬する
ことを特徴とするものである。なお、水溶液には、過酸
化水素水を添加しておいてもよい。
っき前処理方法は、チタン材を、フッ化物塩と、カルボ
ン酸又はカルボン酸塩と、カリウムイオンとを含み且つ
ｐＨが３．５〜７．０の範囲にある水溶液中に浸漬する
ことを特徴とするものである。なお、水溶液には、過酸
化水素水を添加しておいてもよい。
【０００６】
【作用】図１に示すように、チタン材３表面には、フッ
化物塩と、カルボン酸又はカルボン酸塩とによって、チ
タン材３がピット状に溶解して微小ピット１が形成され
るとともに、チタン材３表面を覆って、水和酸化チタン
及びカリウムイオンからなる化合物（例えばチタン酸カ
リウム・ｎ水和物）で構成された膜４が形成される。こ
の膜４があるため、前処理後めっき処理を行なうまでの
工程においてチタン材３表面は酸化されない。しかも、
膜４は、酸性又はアルカリ性溶液に容易に溶解するもの
であるので、酸性又はアルカリ性溶液であるめっき液に
浸漬すると、図２に示すように、直ちに溶解して消失す
る。従って、めっき液中におけるチタン材３表面は、微
小ピット１を有し且つ確実に酸化皮膜のない状態とな
る。このため、図３に示すように、めっき層２を形成す
ると、微小ピット１がアンカー効果を奏するとともに、
めっき層２とチタン材３表面との接触を妨げる酸化皮膜
がないので、チタン材３表面へのめっき層２の密着性は
優れたものとなる。
化物塩と、カルボン酸又はカルボン酸塩とによって、チ
タン材３がピット状に溶解して微小ピット１が形成され
るとともに、チタン材３表面を覆って、水和酸化チタン
及びカリウムイオンからなる化合物（例えばチタン酸カ
リウム・ｎ水和物）で構成された膜４が形成される。こ
の膜４があるため、前処理後めっき処理を行なうまでの
工程においてチタン材３表面は酸化されない。しかも、
膜４は、酸性又はアルカリ性溶液に容易に溶解するもの
であるので、酸性又はアルカリ性溶液であるめっき液に
浸漬すると、図２に示すように、直ちに溶解して消失す
る。従って、めっき液中におけるチタン材３表面は、微
小ピット１を有し且つ確実に酸化皮膜のない状態とな
る。このため、図３に示すように、めっき層２を形成す
ると、微小ピット１がアンカー効果を奏するとともに、
めっき層２とチタン材３表面との接触を妨げる酸化皮膜
がないので、チタン材３表面へのめっき層２の密着性は
優れたものとなる。
【０００７】また、過酸化水素水を添加しておくと、過
酸化水素がチタンイオンと可溶性錯体を形成する（高木
誠司、「新訂 定性分析化学」、中巻、４８５頁、南江
堂、１９８３）。このため、チタンイオンは水溶液中に
円滑に溶解し、微小ピットは、円滑に、しかも均一に形
成される。
酸化水素がチタンイオンと可溶性錯体を形成する（高木
誠司、「新訂 定性分析化学」、中巻、４８５頁、南江
堂、１９８３）。このため、チタンイオンは水溶液中に
円滑に溶解し、微小ピットは、円滑に、しかも均一に形
成される。
【０００８】なお、ｐＨが３．５より小さいと、膜４を
構成する化合物は処理液中に溶解してしまい、膜４が形
成されない。また、ｐＨが７．０より大きいと、微小ピ
ット１が形成されない。
構成する化合物は処理液中に溶解してしまい、膜４が形
成されない。また、ｐＨが７．０より大きいと、微小ピ
ット１が形成されない。
【０００９】また、膜４は、微小ピット１の形成ととも
に形成され、めっき処理の過程において消失するので、
形成及び消失のための新たな工程を必要としない。
に形成され、めっき処理の過程において消失するので、
形成及び消失のための新たな工程を必要としない。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。 （実施例１）試料として純チタンを用い、次のように前
処理した。即ち、試料を、０．５ｍｏｌ／ｌのフッ化水
素アンモニウムと、５ｍｏｌ／ｌのギ酸と、５ｍｏｌ／
ｌの水酸化カリウムとの混合水溶液中に、２分間浸漬し
た。なお、混合水溶液のｐＨは４．４、液温は２２℃で
ある。
処理した。即ち、試料を、０．５ｍｏｌ／ｌのフッ化水
素アンモニウムと、５ｍｏｌ／ｌのギ酸と、５ｍｏｌ／
ｌの水酸化カリウムとの混合水溶液中に、２分間浸漬し
た。なお、混合水溶液のｐＨは４．４、液温は２２℃で
ある。
【００１１】次に、前処理後の試料を、次のようにめっ
き処理した。即ち、試料を、２５０ｇ／ｌの硫酸銅及び
１００ｇ／ｌの硫酸からなるめっき浴中において、３５
℃、３Ａ／ｄｍ2の電流密度で１０分間、陰極電解し
た。試料表面には、厚さ１５μｍの銅めっき層が形成さ
れた。
き処理した。即ち、試料を、２５０ｇ／ｌの硫酸銅及び
１００ｇ／ｌの硫酸からなるめっき浴中において、３５
℃、３Ａ／ｄｍ2の電流密度で１０分間、陰極電解し
た。試料表面には、厚さ１５μｍの銅めっき層が形成さ
れた。
【００１２】得られた銅めっき層の密着性をみるため、
ＪＩＳ Ｈ８５０４に基づく引き剥し試験（テープ試
験）及び曲げ試験を行なったところ、銅めっき層は全く
剥れなかった。即ち、銅めっき層の密着性は優れてい
た。
ＪＩＳ Ｈ８５０４に基づく引き剥し試験（テープ試
験）及び曲げ試験を行なったところ、銅めっき層は全く
剥れなかった。即ち、銅めっき層の密着性は優れてい
た。
【００１３】図４は前処理後の試料の表面を示すＳＥＭ
写真、図５は前処理後にめっき液に浸漬し直ちに引き上
げて水洗した試料の表面を示すＳＥＭ写真、図６は図４
の試料の表面のＥＰＭＡによる分析結果を示す図、図７
は図５の試料の表面のＥＰＭＡによる分析結果を示す図
である。図４からわかるように、試料表面には、表面を
覆う膜が形成されている。形成された膜には、図６から
わかるように、カリウム、酸素が含まれている。即ち、
上記膜は、水和酸化チタン及びカリウムイオンからなる
化合物で構成されている。また、上記膜は、図５からわ
かるように、めっき液に浸漬すると、溶解して消失し、
図５では、前処理によって形成された微小ピットが露出
している。このことは、図７に示すように、試料表面に
カリウム、酸素がないことからも明らかであり、また、
酸素がないことから、試料表面に酸化皮膜のないことも
わかる。
写真、図５は前処理後にめっき液に浸漬し直ちに引き上
げて水洗した試料の表面を示すＳＥＭ写真、図６は図４
の試料の表面のＥＰＭＡによる分析結果を示す図、図７
は図５の試料の表面のＥＰＭＡによる分析結果を示す図
である。図４からわかるように、試料表面には、表面を
覆う膜が形成されている。形成された膜には、図６から
わかるように、カリウム、酸素が含まれている。即ち、
上記膜は、水和酸化チタン及びカリウムイオンからなる
化合物で構成されている。また、上記膜は、図５からわ
かるように、めっき液に浸漬すると、溶解して消失し、
図５では、前処理によって形成された微小ピットが露出
している。このことは、図７に示すように、試料表面に
カリウム、酸素がないことからも明らかであり、また、
酸素がないことから、試料表面に酸化皮膜のないことも
わかる。
【００１４】このように、前処理後の試料表面には、水
和酸化チタン及びカリウムイオンからなる化合物で構成
された膜が形成されるため、前処理後めっき処理を行な
うまでの工程において、上記膜が試料表面の酸化を防止
する。しかも、上記膜は、めっき液に浸漬すると、直ち
に溶解して消失する。一方、前処理後の試料表面には微
小ピットも形成されている。従って、めっき液中におけ
る試料表面は、微小ピットを有し且つ確実に酸化皮膜の
ない状態となる。このため、形成された銅めっき層の試
料に対する密着性は、微小ピットによるアンカー効果
と、銅めっき層と試料表面との接触を妨げる酸化皮膜が
ないこととによって、優れたものとなる。
和酸化チタン及びカリウムイオンからなる化合物で構成
された膜が形成されるため、前処理後めっき処理を行な
うまでの工程において、上記膜が試料表面の酸化を防止
する。しかも、上記膜は、めっき液に浸漬すると、直ち
に溶解して消失する。一方、前処理後の試料表面には微
小ピットも形成されている。従って、めっき液中におけ
る試料表面は、微小ピットを有し且つ確実に酸化皮膜の
ない状態となる。このため、形成された銅めっき層の試
料に対する密着性は、微小ピットによるアンカー効果
と、銅めっき層と試料表面との接触を妨げる酸化皮膜が
ないこととによって、優れたものとなる。
【００１５】しかも、上記膜は、微小ピットの形成とと
もに形成され、めっき処理の過程において消失するの
で、形成及び消失のための新たな工程を必要としないも
のである。従って、上記前処理は、簡単に行なわれる。
もに形成され、めっき処理の過程において消失するの
で、形成及び消失のための新たな工程を必要としないも
のである。従って、上記前処理は、簡単に行なわれる。
【００１６】（実施例２）試料としてＴｉ−６Ａｌ−４
Ｖ合金を用い、次のように前処理した。即ち、０．２ｍ
ｏｌ／ｌのフッ化アンモニウムと、１０ｍｏｌ／ｌの酢
酸と、１ｍｏｌ／ｌのフッ化カリウムとの混合水溶液中
に、１分間浸漬した。なお、混合水溶液のｐＨはアンモ
ニア水を添加して５．０に調製しており、液温は３５℃
である。
Ｖ合金を用い、次のように前処理した。即ち、０．２ｍ
ｏｌ／ｌのフッ化アンモニウムと、１０ｍｏｌ／ｌの酢
酸と、１ｍｏｌ／ｌのフッ化カリウムとの混合水溶液中
に、１分間浸漬した。なお、混合水溶液のｐＨはアンモ
ニア水を添加して５．０に調製しており、液温は３５℃
である。
【００１７】次に、前処理後の試料を、次のようにめっ
き処理した。即ち、試料を、１５０ｇ／ｌの硫酸ニッケ
ル及び５０ｇ／ｌのホウ酸からなるめっき浴中におい
て、５０℃、５Ａ／ｄｍ2の電流密度で５分間、陰極電
解した。試料表面には、ニッケルめっき層が形成され
た。
き処理した。即ち、試料を、１５０ｇ／ｌの硫酸ニッケ
ル及び５０ｇ／ｌのホウ酸からなるめっき浴中におい
て、５０℃、５Ａ／ｄｍ2の電流密度で５分間、陰極電
解した。試料表面には、ニッケルめっき層が形成され
た。
【００１８】得られたニッケルめっき層の密着性をみる
ため、実施例１と同じ密着性の試験を行なったところ、
ニッケルめっき層は全く剥れなかった。即ち、ニッケル
めっき層の密着性は優れていた。
ため、実施例１と同じ密着性の試験を行なったところ、
ニッケルめっき層は全く剥れなかった。即ち、ニッケル
めっき層の密着性は優れていた。
【００１９】（実施例３）試料として純チタンを用い、
次のように前処理した。即ち、０．４ｍｏｌ／ｌのフッ
化水素アンモニウムと、７ｍｏｌ／ｌのギ酸アンモニウ
ムと、５ｍｏｌ／ｌの水酸化カリウムと、０．５ｍｏｌ
／ｌの過酸化水素水との混合水溶液中に、３０秒間浸漬
した。なお、混合水溶液のｐＨは６．０、液温は２５℃
である。
次のように前処理した。即ち、０．４ｍｏｌ／ｌのフッ
化水素アンモニウムと、７ｍｏｌ／ｌのギ酸アンモニウ
ムと、５ｍｏｌ／ｌの水酸化カリウムと、０．５ｍｏｌ
／ｌの過酸化水素水との混合水溶液中に、３０秒間浸漬
した。なお、混合水溶液のｐＨは６．０、液温は２５℃
である。
【００２０】次に、前処理後の試料を、次のようにめっ
き処理した。即ち、試料を、２０ｇ／ｌのピロリン酸ス
ズ、２０ｇ／ｌの硫酸ニッケル、及び２００ｇ／ｌのピ
ロリン酸カリウムからなるめっき浴中において、５０
℃、１Ａ／ｄｍ2の電流密度で１５分間、陰極電解し
た。試料表面には、厚さ約１７μｍのニッケル−スズ合
金からなるめっき層が形成された。
き処理した。即ち、試料を、２０ｇ／ｌのピロリン酸ス
ズ、２０ｇ／ｌの硫酸ニッケル、及び２００ｇ／ｌのピ
ロリン酸カリウムからなるめっき浴中において、５０
℃、１Ａ／ｄｍ2の電流密度で１５分間、陰極電解し
た。試料表面には、厚さ約１７μｍのニッケル−スズ合
金からなるめっき層が形成された。
【００２１】得られた合金めっき層の密着性をみるた
め、実施例１と同じ密着性の試験を行なったところ、合
金めっき層は全く剥れなかった。即ち、合金めっき層の
密着性は優れていた。
め、実施例１と同じ密着性の試験を行なったところ、合
金めっき層は全く剥れなかった。即ち、合金めっき層の
密着性は優れていた。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明のチタン材のめっき
前処理方法によれば、チタン材３を、フッ化物塩と、カ
ルボン酸又はカルボン酸塩と、カリウムイオンとを含み
且つｐＨが３．５〜７．０の範囲にある水溶液中に浸漬
するので、チタン材３表面に、めっき層２に対してアン
カー効果を奏する微小ピット１と、めっき処理を行なう
までに酸化皮膜が形成されるのを防止するとともにめっ
き液中で消失する膜４とを形成することができ、めっき
処理工程におけるめっき液中のチタン材３表面を、微小
ピット１を有し且つ確実に酸化皮膜のない状態にでき
る。従って、めっき層２のチタン材３表面に対する密着
性を、微小ピット１によるアンカー効果と、めっき層２
とチタン材３表面との接触を妨げる酸化皮膜がないこと
とによって、優れたものにできる。
前処理方法によれば、チタン材３を、フッ化物塩と、カ
ルボン酸又はカルボン酸塩と、カリウムイオンとを含み
且つｐＨが３．５〜７．０の範囲にある水溶液中に浸漬
するので、チタン材３表面に、めっき層２に対してアン
カー効果を奏する微小ピット１と、めっき処理を行なう
までに酸化皮膜が形成されるのを防止するとともにめっ
き液中で消失する膜４とを形成することができ、めっき
処理工程におけるめっき液中のチタン材３表面を、微小
ピット１を有し且つ確実に酸化皮膜のない状態にでき
る。従って、めっき層２のチタン材３表面に対する密着
性を、微小ピット１によるアンカー効果と、めっき層２
とチタン材３表面との接触を妨げる酸化皮膜がないこと
とによって、優れたものにできる。
【００２３】しかも、膜４は、微小ピット１の形成とと
もに形成され、めっき処理の過程において消失するの
で、形成及び消失のための新たな工程を必要としないも
のである。従って、本発明の前処理は、簡単に行なうこ
とができる。
もに形成され、めっき処理の過程において消失するの
で、形成及び消失のための新たな工程を必要としないも
のである。従って、本発明の前処理は、簡単に行なうこ
とができる。
【００２４】更に、上記水溶液に過酸化水素水を添加し
ておくと、チタンイオンを可溶性錯体として水溶液中に
円滑に溶解させることができるので、微小ピットを、円
滑に、しかも均一に形成することができ、上記アンカー
効果を向上させて、めっき層２の密着性をより優れたも
のにできる。
ておくと、チタンイオンを可溶性錯体として水溶液中に
円滑に溶解させることができるので、微小ピットを、円
滑に、しかも均一に形成することができ、上記アンカー
効果を向上させて、めっき層２の密着性をより優れたも
のにできる。
【図１】 本発明による前処理後のチタン材の表面を示
す模式縦断面図である。
す模式縦断面図である。
【図２】 本発明による前処理を施した後、めっき液に
浸漬し直ちに引き上げて水洗したチタン材の表面を示す
模式縦断面図である。
浸漬し直ちに引き上げて水洗したチタン材の表面を示す
模式縦断面図である。
【図３】 本発明による前処理を経てめっき層が形成さ
れたチタン材の表面を示す模式縦断面図である。
れたチタン材の表面を示す模式縦断面図である。
【図４】 結晶の構造を示す図面に代わる写真であっ
て、実施例１の前処理後の試料の表面を示すＳＥＭ写真
である。
て、実施例１の前処理後の試料の表面を示すＳＥＭ写真
である。
【図５】 結晶の構造を示す図面に代わる写真であっ
て、実施例１の前処理後にめっき液に浸漬し直ちに引き
上げて水洗した試料の表面を示すＳＥＭ写真である。
て、実施例１の前処理後にめっき液に浸漬し直ちに引き
上げて水洗した試料の表面を示すＳＥＭ写真である。
【図６】 図４の試料の表面のＥＰＭＡによる分析結果
を示す図である。
を示す図である。
【図７】 図５の試料の表面のＥＰＭＡによる分析結果
を示す図である。
を示す図である。
１ 微小ピット ２ めっき層 ３ チタン材 ４ 膜
Claims (2)
- 【請求項１】 チタン材を、フッ化物塩と、カルボン酸
又はカルボン酸塩と、カリウムイオンとを含み且つｐＨ
が３．５〜７．０の範囲にある水溶液中に浸漬し、チタ
ン材表面に、微小ピットと、チタン材表面の酸化を防止
するとともにめっき液中で消失する膜とを形成したこと
を特徴とするチタン材のめっき前処理方法。 - 【請求項２】 上記水溶液に、過酸化水素水を添加した
請求項１記載のチタン材のめっき前処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4289631A JPH0832965B2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | チタン材のめっき前処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4289631A JPH0832965B2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | チタン材のめっき前処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06116782A true JPH06116782A (ja) | 1994-04-26 |
| JPH0832965B2 JPH0832965B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=17745741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4289631A Expired - Fee Related JPH0832965B2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | チタン材のめっき前処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0832965B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004094703A3 (en) * | 2003-03-27 | 2005-05-12 | Scimed Life Systems Inc | Methods of forming medical devices |
| WO2008133076A1 (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-06 | Shigeru Kiya | 酸洗用水溶液およびその製造方法ならびに資源回収方法 |
| JP4538695B2 (ja) * | 1999-12-02 | 2010-09-08 | 石原薬品株式会社 | チタン用の電気メッキ前処理液、並びに当該液を用いた電気メッキ前処理方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6475698A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-22 | Kernforschungsz Karlsruhe | Pretreatment of object having titanium surface |
-
1992
- 1992-10-02 JP JP4289631A patent/JPH0832965B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0832965B2 (ja) | 1996-03-29 |
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