JPH06111744A - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】電子線遮断部材を電子線軸に対し直交する平面
上で、Ｘ軸、Ｙ軸の任意の方向に移動可能にした透過型
電子顕微鏡を得ることを目的とする。 【構成】電子銃から放射され試料を透過した電子線が投
射される像観察スクリーンと、該像観察スクリーンに到
達する前記電子線を遮断する電子線遮断部材とを設けた
透過型電子顕微鏡において、該電子線遮断部材を、前記
電子線軸に対し略直交する平面上の任意の位置に移動可
能とする、電子線遮断部材の水平方向移動手段を設ける
ようにし、また前記電子線遮断部材を、前記電子線軸の
軸方向に移動可能とする、電子線遮断部材の上下方向移
動手段を設けるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、電子銃から放射され
像観察スクリーン上に投射する電子ビームを遮断し、か
つ任意の方向に移動可能な電子線遮断部材を設けた透過
型電子顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の透過型電子顕微鏡においては、像
観察スクリーン上で電子線中心軸付近の強度の高い電子
スポットを遮断するため、例えば図４に示すように、電
子顕微鏡１の筒体の、試料２と像観察スクリーン３との
間の電子線中心軸４の付近に、マスク片５を挿入するも
のがある。

【０００３】図４のものは、マスク片５は回転軸６に軸
支されるホルダ７に固着しており、マスク片５によって
電子線中心の強度の高い電子スポットを遮断するには、
つまみ８により回転軸６を回して、マスク片５を電子線
中心軸上の一定の位置に位置させるようにする。マスク
片５を電子線中心軸４の付近から外す場合は、図５に示
すように回転軸６を回して、電子線中心でない他の位置
９（仮想線の位置）に移動させ、マスク片５を電子線中
心軸４から外すようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところでこのような従
来のマスク片５にあっては、マスク片５の位置は、電子
線中心軸上の一定の位置か、電子線中心でない他の位置
の、２個所にしか位置することができず、電子線軸に対
し直交する平面上の任意の位置に移動することができな
いので、像観察スクリーン上で電子線中心の強度の高い
電子スポットを遮断するという目的以外に、マスク片５
によって観察撮影像の任意の位置を支持させる目的を持
たせることができないという問題があった。

【０００５】この発明はこのような従来の課題に着目し
てなされたもので、電子線中心軸付近における強度の高
い電子スポットを遮断するマスク片を、電子線軸に対し
直交する平面上で、Ｘ軸、Ｙ軸の任意の方向に移動可能
にした透過型電子顕微鏡を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するための手段として、その構成を、電子銃から放
射され試料を透過した電子線が投射される像観察スクリ
ーンと、該像観察スクリーンに到達する前記電子線を遮
断する電子線遮断部材とを設けた透過型電子顕微鏡にお
いて、該電子線遮断部材を、前記電子線軸に対し略直交
する平面上の任意の位置に移動可能とする、電子線遮断
部材の水平方向移動手段を設けることとした。

【０００７】また上記透過型電子顕微鏡を、電子線軸方
向に前記電子線遮断部材を移動させる、電子線遮断部材
の上下方向移動手段を設けたることとし、さらに前記電
子線遮断部材の先端部を特定の方向から見た断面が、矢
印状に形成されているようにした。

【０００８】

【作用】次に本発明の作用を説明する。電子線遮断部材
は、水平方向移動手段により、電子線軸に対し略直交す
る平面上の任意の位置に移動可能となり、電子線遮断部
材の影を任意の位置に投影できる。また上下方向移動手
段により、電子線軸方向の任意の位置に移動可能とな
り、電子線遮断部材の影の大きさが任意の大きさとな
る。

【０００９】なお電子線遮断部材の先端部の形状は、こ
れを特定の方向から見た断面が矢印状となっているの
で、矢印状の断面が電子線軸の方向に向いていれば、像
の任意の位置に矢印を写すことができる。また矢印状以
外の断面が電子線軸に向いていれば、それは矩形または
円形の形状となり、回折像等の場合にビームストッパと
して働いて、観察撮影を行うことができる。

【００１０】

【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の構成を示す透過型電子顕微鏡の電子線遮
断部材付近の鏡筒の断面図で、図２に示す透過型電子顕
微鏡１０において、電子線１１は、電子銃１２から放射
され試料１３を透過して、像観察スクリーン１４上に投
射されるが、試料１３と像観察スクリーン１４との間に
電子線１１を遮断する電子線遮断部材１５が設けられて
いる。

【００１１】図１において、透過型電子顕微鏡１０の鏡
筒の電子線遮断部材１５が設けられる付近の像観察室側
壁１６には、固定台１７が設けられ、固定台１７を貫通
するように、内面が球面状の空間１８が形成されてお
り、空間１８には球体部２０が嵌入して、球体部２０と
固定台１７とは、球体部２０の球状表面及び空間１８の
球状内面に沿って、３次元的に回転自在となっている。

【００１２】球体部２０の図の右方には円筒状部２１が
突出しており、円筒状部２１の表面には連続した山型の
凹凸部２２が三角形のリングを並べた形で形成されてい
る。そして球体部２０及び円筒状部２１を貫通して貫通
孔２３が穿設されており、貫通孔２３内を回転自在にか
つ摺動自在に移動する、摺動棒２５が設けられる。

【００１３】摺動棒２５にはＸ軸ストッパ２６が、軸ピ
ン２７により軸着しており、またＸ軸ストッパ２６はそ
の内面に、前記の山型の凹凸部２２に係合する係合片２
８が円弧状に形成されており、円筒状部２１の凹凸部２
２に外方から当接している。そしてＸ軸ストッパ２６
は、軸ピン２７に対して係合片２８の反対側で、摺動棒
２５本体に、ロック用スプリング２９を介在させて係合
し、係合片２８を円筒状部２１の凹凸部２２に、スプリ
ング２９により付勢されて押圧するようになっており、
これにより摺動棒２５を位置決めするようにしている。

【００１４】またＸ軸ストッパ２６は、その先端部２６
ａをつまんで、ロック用スプリング２９の付勢力に抗し
て、摺動棒２５の方に押しつけると、Ｘ軸ストッパ２６
の係合片２８が円筒状部２１の凹凸部２２から離脱し、
摺動棒２５はＸ軸方向に移動可能となり、像観察室側壁
１６に対して前後進できるようになる。

【００１５】また摺動棒２５は、球体部２０を中心とし
て、横方向に移動するから、摺動棒２５のＸ軸方向の移
動機能と合わせて、球体部２０と摺動棒２５とにより、
電子線遮断部材１５の水平方向移動手段３０が形成され
る。そして球体部２０を中心として、摺動棒２５が縦方
向にも移動するから、摺動棒２５のＸ軸方向の移動機能
と合わせて、球体部２０と摺動棒２５とにより、電子線
遮断部材１５の垂直方向移動手段３１も形成されること
になる。

【００１６】なお球体部２０を固定台１７に固定するに
は、球体部抑え１９により空間１８の内方に押圧するよ
うにする。この他球体部２０の表面と空間１８の内面と
の間や、摺動棒２５の表面と球体部２０の貫通孔２３の
内面とに間には、真空シール２４が挿入されており、摺
動棒２５が貫通孔２３を摺動する部分で、真空が破壊さ
れないようになっている。

【００１７】そして摺動棒２５の先端には、電子線遮断
部材１５が固着しており、電子線遮断部材１５の先端部
１５ａの形状は、図３に示すように矢印の形の断面を持
つ角柱状で、これを特定の方向、図３の場合は電子線軸
Ａの方向から見た断面は矢印状になる。そして電子線軸
Ａに直交する方向から見た断面は、この場合は矩形にな
るようになっている。

【００１８】電子線遮断部材１５を、電子線軸Ａに対し
略直交する平面Ｐ上の任意の位置に移動させるには、Ｘ
軸ストッパ２６の先端部２６ａをつまんで摺動棒２５の
方に押しつけると、円筒状部２１の山型の凹凸部２２と
係合片２８との係合が外れ、摺動棒２５は球体部２０の
円筒状部２１に対して移動可能となる。移動が終了して
Ｘ軸ストッパ２６の先端部２６ａを放せば、ロック用ス
プリング２９により、凹凸部２２と係合片２８とが再び
係合し、摺動棒２５はロックされる。

【００１９】こうして摺動棒２５を、球体部２０の円筒
状部２１即ち像観察室側壁１６に対して前後進させて、
それに固着している電子線遮断部材１５をＸ軸方向に対
して移動させる。また球体部２０を中心として、摺動棒
２５を横方向に回動させることにより、電子線軸Ａに対
し略直交する平面Ｐの総ての位置に、電子線遮断部材１
５を移動させることができる。

【００２０】また電子線遮断部材１５の先端部１５ａを
上下方向、即ち電子線軸Ａの軸方向に移動させるには、
球体部２０を中心として摺動棒２５を縦方向に回動させ
る。なお単に縦方向に回動させたのでは、電子線遮断部
材１５は球体部２０を中心とする円弧を画いてしまうか
ら、摺動棒２５を縦方向に回動させると同時に、Ｘ軸方
向に対しても移動させて、電子線遮断部材１５の先端部
１５ａが、正しく上下方向に移動するようにする。これ
によって電子線遮断部材１５の先端部１５ａの影の大き
さを、任意の大きさに拡大、縮小することができる。

【００２１】さらに電子線遮断部材１５を、像観察スク
リーンの目標とする像の位置に移動させて、電子線遮断
部材１５の先端部１５ａの影を作る場合は、摺動棒２５
を円筒状部２１の中で回転させ、電子線遮断部材１５の
先端部１５ａの矢印の形の断面を電子線軸１１の方向に
向け、矢印の先端部により像の特定部分を指示するよう
にする。

【００２２】また電子線を遮断して回折像の観察撮影を
行うような場合は、摺動棒２５を回転して電子線遮断部
材１５を９０°回転させ、その先端部１５ａの矢印状以
外の断面を電子線軸１１の方向に向ける。そうするとそ
の断面は図３の場合は矩形となるが、その他円形等の断
面となる場合もあり、先端部１５ａはビームストッパと
して作用する。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、透過型電子顕微鏡の電子線遮断部材を電子線軸に対
し略直交する平面上の任意の位置に移動可能とする電子
線遮断部材の水平方向移動手段を設けたので、像観察ス
クリーンの目標とする像の位置に電子線遮断部材の影を
移動させることができ、正確な像位置を指示させるとい
う効果を有する。

【００２４】また前記電子線遮断部材の上下方向移動手
段を設けたので、電子線遮断部材の影の大きさを任意に
拡大、縮小することができ、写真撮影時に、電子線像と
共に電子線遮断部材の影をネガの上に記録し、目標の像
位置を指示させることができるという効果を有する。

【００２５】さらに電子線遮断部材の先端部の、特定の
方向から見た断面を矢印状に形成したので、電子線遮断
部材を直角に回転させるだけで、矢印状の先端部形状に
より正確な像位置を指示させ、矢印以外の断面形状の先
端部形状により回折像の観察撮影を行うことができると
いう効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の構成を示す透過型電子顕微鏡の電子線
遮断部材付近の鏡筒の断面図である。

【図２】透過型電子顕微鏡の電子銃、試料、像観察スク
リーンの関係を示す断面図である。

【図３】電子線遮断部材の形状を示す斜視図である。

【図４】従来の透過型電子顕微鏡で電子銃とスクリーン
との間に電子線遮断部材を挿入するものの断面図であ
る。

【図５】図４における電子線遮断部材をその回転軸の方
向から見た図である。

【符号の説明】

１１ 電子線 １２ 電子銃 １３ 試料 １４ 像観察スクリーン １５ 電子線遮断部材 １５ａ 電子線遮断部材の先端部 ３０ 水平方向移動手段 （２０ 球体部、２５ 摺動棒、） ３１ 上下方向移動手段 （２０ 球体部、２５ 摺動棒、）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子銃から放射され試料を透過した電子線
   が投射される像観察スクリーンと、該像観察スクリーン
   に到達する前記電子線を遮断する電子線遮断部材とを設
   けた透過型電子顕微鏡において、該電子線遮断部材を、
   前記電子線軸に対し略直交する平面上の任意の位置に移
   動可能とする、電子線遮断部材の水平方向移動手段を設
   けたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
2. 【請求項２】請求項１において、電子線軸方向に前記電
   子線遮断部材を移動させる、電子線遮断部材の上下方向
   移動手段を設けたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
3. 【請求項３】請求項１及び請求項２において、前記電子
   線遮断部材の先端部を特定の方向から見た断面が、矢印
   状に形成されていることを特徴とする透過型電子顕微
   鏡。