JPH0610929U - アクティブマトリクス液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造時の全工程において、さらには完成後の
電子機器への組込み時などにおいても表示駆動パネルの
透明絶縁基板に静電気が発生することを防止する。 【構成】 表示駆動パネル１の透明絶縁基板５の下面に
接地用透明電極６を設ける。この接地用透明電極６を接
地電位に接続しておくことにより、透明絶縁基板５の表
面上に薄膜トランジスタなどを製造する全工程におい
て、さらには完成後、電子機器に組込むときなどにおい
ても、透明絶縁基板５に静電気が発生することを防止で
きる。したがって、透明絶縁基板５上の薄膜トランジス
タや配線が静電気で破壊されることを防止できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案はアクティブマトリクス液晶表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

アクティブマトリクス液晶表示装置は、ガラスなどからなる透明絶縁基板上に 表示駆動素子としての薄膜トランジスタや画素電極さらには必要により画素補助 電極をマトリクス状に配列した表示駆動パネルと透明絶縁基板上に共通電極を設 けた共通電極パネルとを対向させ、間に液晶を封入した構造となっている。

【０００３】 しかるに、従来のこのようなアクティブマトリクス液晶表示装置では、例えば 製造途中に表示駆動パネルの透明絶縁基板に発生する静電気により該表示駆動パ ネルの薄膜トランジスタや配線が破壊されることがあるので、歩留りが低いとい う問題点があった。

【０００４】 そこで、製造途中で発生する静電気保護対策として、表示駆動パネルの透明絶 縁基板上に形成されるデータラインやアドレスラインや画素補助電極ラインを接 続して接地電位に維持しておく方法がとられている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかるに、上記の各ラインは製造工程の途中でそれぞれ分離しなければならな いものであり、したがって、上記の方法は、ライン分離後の製造工程および完成 後の電子機器への組込み時などに誘導される静電気に対しては効果がないもので あった。

【０００６】 この考案の目的は、製造時の全工程において、さらには完成後の電子機器への 組込み時などにおいても表示駆動パネルの透明絶縁基板に静電気が発生すること を防止できるアクティブマトリクス液晶表示装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この考案は、透明絶縁基板の表面に表示駆動素子と画素電極をマトリクス状に 配列した表示駆動パネルを有するアクティブマトリクス液晶表示装置において、 前記表示駆動パネルの前記透明絶縁基板の裏面に接地用透明電極を設けたもので ある。

【０００８】

【作用】

この考案によれば、表示駆動パネルの透明絶縁基板の裏面に接地用透明電極が 設けられているので、この接地用透明電極を接地電位に接続しておくことにより 、前記透明絶縁基板の表面上に表示駆動素子などを形成する製造時の全工程にお いて、さらには完成後、電子機器に組込むときなどにおいても、透明絶縁基板に 静電気が発生することを防止できる。

【０００９】

【実施例】

図１はこの考案の一実施例のアクティブマトリクス液晶表示装置を示すもので ある。このアクティブマトリクス液晶表示装置は、表示駆動パネル１上に共通電 極パネル２が封止材３を介して重ね合わされ、その間に液晶４が封入された構造 となっている。

【００１０】 表示駆動パネル１は、ガラスなどからなる透明絶縁基板５を備えている。この 透明絶縁基板５の下面（裏面）全体にはＩＴＯからなる接地用透明電極６が形成 されている。一方、透明絶縁基板５の上面（内面）には、マトリクス状に配列さ れる複数の薄膜トランジスタ（表示駆動素子）の一部を構成するクロムやアルミ ニウム等からなるゲート電極７がパターン形成されている。さらに、透明絶縁基 板５の上面には、ゲート電極７を覆って全面にゲート絶縁膜８が形成されている 。このゲート絶縁膜８上には、ゲート電極７およびその周囲に対応する部分に、 薄膜トランジスタの活性層としての半導体薄膜９がポリシリコンやアモルファス シリコンによりパターン形成されている。この半導体薄膜９の中央部はチャネル 領域、その両側の部分はソース領域およびドレイン領域になっており、ドレイン 領域にはドレイン電極１０が接続され、ソース領域にはソース電極１１が接続さ れている。また、ゲート絶縁膜８上には、薄膜トランジスタと１：１でマトリク ス状に配列されるＩＴＯからなる画素電極１２が各半導体薄膜９に隣接して形成 されており、この画素電極１２は隣接する半導体薄膜９のソース電極１１に接続 されている。そして、この画素電極１２や半導体薄膜９を覆ってゲート絶縁膜８ 上の全面にはパッシベーション膜１３が形成されている。一方、共通電極パネル ２は、ガラスなどからなる透明絶縁基板１４の下面全体にＩＴＯからなる共通電 極１５が形成されて構成されている。

【００１１】 このように構成されたアクティブマトリクス液晶表示装置においては、表示駆 動パネル１の透明絶縁基板５の下面に接地用透明電極６が形成されている。した がって、このアクティブマトリクス液晶表示装置の製造時、まず表示駆動パネル １の透明絶縁基板５の下面に接地用透明電極６を形成して、この接地用透明電極 ６を接地電位に接続しておけば、以後透明絶縁基板５の表面上に薄膜トランジス タなどを製造する全工程において透明絶縁基板５に静電気が発生することが防止 され、薄膜トランジスタや配線が静電気により破壊されることが防止される。

【００１２】 図２は製造工程の一例を示し、表示駆動パネル１の透明絶縁基板５の表面上に ゲート電極７を形成するときの様子を示す断面図である。ゲート電極７は、図２ に示すように透明絶縁基板５の表面にクロムやアルミニウムなどのゲート電極形 成用金属層１６を形成した後、このゲート電極形成用金属層１６をパターニング することにより形成される。この場合、ゲート電極７の形成にあたって、従来で は、一部を半導体薄膜９等を形成した後に切断するようにして、それ迄はゲート 電極７全体を接地していた。しかし、この方法では切断後に静電気を防止するこ とはできない。これに対して、この発明では透明絶縁基板５の下面に形成されて いる接地用透明電極６を接地電位に接続しておけば透明絶縁基板５に静電気が発 生することを防止できる。

【００１３】 また、接地用透明電極６は透明絶縁基板５の下面に表出しているので、このア クティブマトリクス液晶表示装置の完成後に接地電位に接続しておくことも可能 であり、この装置を電子機器に組込むときなどにおいても表示駆動パネル１の透 明絶縁基板５に静電気が発生することを防止でき、この静電気により透明絶縁基 板５上の薄膜トランジスタや配線が破壊されることを防止できる。

【００１４】 なお、上記一実施例では、表示駆動素子としての薄膜トランジスタと画素電極 １２がマトリクス状に配列された表示駆動パネル１を示したが、画素静電容量部 の容量不足を補うため画素補助電極が追加された表示駆動パネルであってもよい ことは勿論である。この点を含めて表示駆動パネル１および共通電極パネル２の 具体的構成は上記一実施例に限定されるものではない。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、表示駆動パネルの透明絶縁基板の裏 面に接地用透明電極を設けるようにしたので、製造時の全工程において、さらに は完成後の電子機器への組込み時などにおいても表示駆動パネルの透明絶縁基板 に静電気が発生することを防止でき、静電気で透明絶縁基板上の表示駆動素子や 配線が破壊されることを防止できる。したがって、アクティブマトリクス液晶表 示装置の歩留りを高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案のアクティブマトリクス液晶表示装置
の一実施例を示す断面図。

【図２】図１の装置の製造工程の一部を示す断面図。

【符号の説明】

１ 表示駆動パネル ５ 透明絶縁基板 ６ 接地用透明電極 ７ ゲート電極 ８ ゲート絶縁膜 ９ 半導体薄膜 １０ ドレイン電極 １１ ソース電極 １２ 画素電極

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明絶縁基板の表面に表示駆動素子と画
   素電極をマトリクス状に配列した表示駆動パネルを有す
   るアクティブマトリクス液晶表示装置において、 前記表示駆動パネルの前記透明絶縁基板の裏面に接地用
   透明電極を設けたことを特徴とするアクティブマトリク
   ス液晶表示装置。