JPH06108985A - 揺動ピストン型真空ポンプ - Google Patents
揺動ピストン型真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH06108985A JPH06108985A JP26186592A JP26186592A JPH06108985A JP H06108985 A JPH06108985 A JP H06108985A JP 26186592 A JP26186592 A JP 26186592A JP 26186592 A JP26186592 A JP 26186592A JP H06108985 A JPH06108985 A JP H06108985A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- balancer
- vane
- flywheel
- pulley
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大型化及び複雑化を招来することなく、ベー
ンの垂直方向の揺動に伴う振動を著しく低減できる揺動
ピストン型真空ポンプを提供することにある。 【構成】 第１バランサに作用する遠心力（Ｇo ）の垂
直方向成分（Ｇz ）が、ベーンに作用する垂直方向の慣
性力（Ｆz ）と釣り合い、この遠心力（Ｇo ）の水平成
分（Ｇx ）が第２バランサに作用する水平方向の慣性力
（Ｆx ）と釣り合うように設定されている。 【効果】 ベーンの垂直方向の振動成分であるベーンに
作用する慣性力（Ｆz ）は、第１バランサに作用する遠
心力（Ｇo ）の垂直方向成分（Ｇz ）により除去され、
新たに生じる水平方向の振動成分（即ち、遠心力
（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ））は、第２バランサに作用
する水平方向の慣性力（Ｆx ）により除去される。これ
により、ベーンの垂直方向の振動成分がほぼ完全に除去
されて振動が著しく低減されると共に、ポンプの大型化
及び複雑化を招来することがない。
ンの垂直方向の揺動に伴う振動を著しく低減できる揺動
ピストン型真空ポンプを提供することにある。 【構成】 第１バランサに作用する遠心力（Ｇo ）の垂
直方向成分（Ｇz ）が、ベーンに作用する垂直方向の慣
性力（Ｆz ）と釣り合い、この遠心力（Ｇo ）の水平成
分（Ｇx ）が第２バランサに作用する水平方向の慣性力
（Ｆx ）と釣り合うように設定されている。 【効果】 ベーンの垂直方向の振動成分であるベーンに
作用する慣性力（Ｆz ）は、第１バランサに作用する遠
心力（Ｇo ）の垂直方向成分（Ｇz ）により除去され、
新たに生じる水平方向の振動成分（即ち、遠心力
（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ））は、第２バランサに作用
する水平方向の慣性力（Ｆx ）により除去される。これ
により、ベーンの垂直方向の振動成分がほぼ完全に除去
されて振動が著しく低減されると共に、ポンプの大型化
及び複雑化を招来することがない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は揺動ピストン型真空ポン
プに係り、特に大型化及び複雑化を招来することなく、
ベーンの垂直方向の揺動に伴う振動を著しく低減できる
揺動ピストン型真空ポンプに関する。
プに係り、特に大型化及び複雑化を招来することなく、
ベーンの垂直方向の揺動に伴う振動を著しく低減できる
揺動ピストン型真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】揺動ピストン型真空ポンプ（キニー型ポ
ンプ）は、図９乃至図１３に示すように構成されてい
る。図９は、このポンプの全体を示した斜視図であり、
図１０乃至図１３はこのポンプの吸込みから吐出に至る
工程を示した縦断面図である。このポンプの全体構成と
しては、図９に示すように、本体の上部にモーター１が
設けられ、このモーター１の出力軸上のモータープーリ
２と、本体に設けられたプーリ３との間にＶベルト４が
掛けられており、これにより、図１０に示す回転軸５が
矢視方向へ回転駆動される。この回転軸５の軸端には、
図９に示すフライホィール６が取付けられている。さら
に、本体の側壁には吸気口７が設けられ、本体の上部に
は排気口８が設けられている。
ンプ）は、図９乃至図１３に示すように構成されてい
る。図９は、このポンプの全体を示した斜視図であり、
図１０乃至図１３はこのポンプの吸込みから吐出に至る
工程を示した縦断面図である。このポンプの全体構成と
しては、図９に示すように、本体の上部にモーター１が
設けられ、このモーター１の出力軸上のモータープーリ
２と、本体に設けられたプーリ３との間にＶベルト４が
掛けられており、これにより、図１０に示す回転軸５が
矢視方向へ回転駆動される。この回転軸５の軸端には、
図９に示すフライホィール６が取付けられている。さら
に、本体の側壁には吸気口７が設けられ、本体の上部に
は排気口８が設けられている。
【０００３】このポンプの駆動機構の構成としては、図
１０に示すように、円筒状のシリンダ１０内の中心に上
述した回転軸５が配設されており、この回転軸５に偏心
した内側ローター１１が固着されている。この内側ロー
タ１１の外周に筒状の外側ローター１２が回転摺動可能
に嵌合されている。この外側ロータ１２の上面には、ベ
ーン１３が固着されており、このベーン１３はブッシュ
１４を貫通して吸気口７の側へ延出している。上記ブッ
シュ１４は、ハウジング１５内に回動可能に嵌装されて
いる。上記ベーン１３の内側には吸気口７に連通した吸
入通路１６が形成され、この吸入通路１６の内端は吸気
ポート１６ａに連通している。また、前記排気口８には
排気弁１７が設けられている。したがって、回転軸５が
回転すると、内側ロータ１１が偏心した状態で回転軸５
と共に矢視方向へ回転され、これにより、図１０乃至図
１３に示すように、外輪ロータ１２がシリンダ１０の内
面に沿って公転するように回動する。その結果、ベーン
１３が首を振りながら垂直方向に揺動し、吸入通路１６
を介して空気がシリンダ室内に導入され、排気弁１７を
介して排出される。
１０に示すように、円筒状のシリンダ１０内の中心に上
述した回転軸５が配設されており、この回転軸５に偏心
した内側ローター１１が固着されている。この内側ロー
タ１１の外周に筒状の外側ローター１２が回転摺動可能
に嵌合されている。この外側ロータ１２の上面には、ベ
ーン１３が固着されており、このベーン１３はブッシュ
１４を貫通して吸気口７の側へ延出している。上記ブッ
シュ１４は、ハウジング１５内に回動可能に嵌装されて
いる。上記ベーン１３の内側には吸気口７に連通した吸
入通路１６が形成され、この吸入通路１６の内端は吸気
ポート１６ａに連通している。また、前記排気口８には
排気弁１７が設けられている。したがって、回転軸５が
回転すると、内側ロータ１１が偏心した状態で回転軸５
と共に矢視方向へ回転され、これにより、図１０乃至図
１３に示すように、外輪ロータ１２がシリンダ１０の内
面に沿って公転するように回動する。その結果、ベーン
１３が首を振りながら垂直方向に揺動し、吸入通路１６
を介して空気がシリンダ室内に導入され、排気弁１７を
介して排出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した揺動ピストン
型真空ポンプでは、内側ロータ１１及び外側ロータ１２
は、回転軸５に対して偏心して回転しており、ベーン１
３は、外側ロータ１２を伴なって、首を振りながら垂直
方向に揺動している。したがって、このポンプを構成す
る前記内側ロータ１１、外側ロータ１２およびベーン１
３の３つの部材は回転軸５の回転軸にアンバランスな力
を発生させる。上述した内側ロータ１１及び外側ロータ
１２は、偏心運動しているだけであるため、図９に示し
たフライホィール６およびプーリー３に適当な重量のバ
ランサを付加することによりアンバランスに基づく振動
成分を取り除くことができる。
型真空ポンプでは、内側ロータ１１及び外側ロータ１２
は、回転軸５に対して偏心して回転しており、ベーン１
３は、外側ロータ１２を伴なって、首を振りながら垂直
方向に揺動している。したがって、このポンプを構成す
る前記内側ロータ１１、外側ロータ１２およびベーン１
３の３つの部材は回転軸５の回転軸にアンバランスな力
を発生させる。上述した内側ロータ１１及び外側ロータ
１２は、偏心運動しているだけであるため、図９に示し
たフライホィール６およびプーリー３に適当な重量のバ
ランサを付加することによりアンバランスに基づく振動
成分を取り除くことができる。
【０００５】しかしながら、ベーン１３の垂直方向への
揺動に伴う振動成分は、このようなバランサによっては
取り除くことができず、従来、問題となっている。この
ようなベーン１３の振動を取り除く方法としては、共通
の回転軸５上にロータを２個又は３個設け、これらのロ
ータの位相を１８０゜ずらすことが考えられる。しか
し、このような解決方法では、ポンプ自体の寸法が大型
化し、実用に供し得ないという問題がある。そこで、本
発明の目的は、上述した従来技術が有する問題点を解消
し、大型化及び複雑化を招来することなく、ベーンの垂
直方向の揺動に伴う振動を著しく低減できる揺動ピスト
ン型真空ポンプを提供することにある。
揺動に伴う振動成分は、このようなバランサによっては
取り除くことができず、従来、問題となっている。この
ようなベーン１３の振動を取り除く方法としては、共通
の回転軸５上にロータを２個又は３個設け、これらのロ
ータの位相を１８０゜ずらすことが考えられる。しか
し、このような解決方法では、ポンプ自体の寸法が大型
化し、実用に供し得ないという問題がある。そこで、本
発明の目的は、上述した従来技術が有する問題点を解消
し、大型化及び複雑化を招来することなく、ベーンの垂
直方向の揺動に伴う振動を著しく低減できる揺動ピスト
ン型真空ポンプを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、回転軸上に偏心して固着された内側ロー
タがシリンダ室内を偏心回転し、上記内側ロータに対し
て外側ロータが回転可能に嵌装され、その外側ロータに
給入通路を内部に有するベーンが一体的に固着され、上
記回転軸の一端にはフライホィールが他端には駆動プー
リが固着され、上記吸入通路を通してシリンダ室内に導
入された空気を吸入排気するようにした揺動ピストン型
真空ポンプにおいて、上記回転軸上のフライホイールお
よびプーリには、上記回転中心から半径方向に離間した
位置に所定の重量を有する第１バランサが設けられる一
方、上記フライホィールおよびプーリの回転運動によっ
て水平方向に往復運動するスライダを有する往復スライ
ダフランク機構からなる第２バランサが設けられ、上記
第１バランサに作用する遠心力（Ｇ0 ）の垂直方向成分
（Ｇz ）がベーンに作用する垂直方向の慣性力（Ｆz ）
と釣り合い、この遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）が
第２バランサに作用する水平方向の慣性力（Ｆx ）と釣
り合うように設定されていることを特徴としている。
め、本発明は、回転軸上に偏心して固着された内側ロー
タがシリンダ室内を偏心回転し、上記内側ロータに対し
て外側ロータが回転可能に嵌装され、その外側ロータに
給入通路を内部に有するベーンが一体的に固着され、上
記回転軸の一端にはフライホィールが他端には駆動プー
リが固着され、上記吸入通路を通してシリンダ室内に導
入された空気を吸入排気するようにした揺動ピストン型
真空ポンプにおいて、上記回転軸上のフライホイールお
よびプーリには、上記回転中心から半径方向に離間した
位置に所定の重量を有する第１バランサが設けられる一
方、上記フライホィールおよびプーリの回転運動によっ
て水平方向に往復運動するスライダを有する往復スライ
ダフランク機構からなる第２バランサが設けられ、上記
第１バランサに作用する遠心力（Ｇ0 ）の垂直方向成分
（Ｇz ）がベーンに作用する垂直方向の慣性力（Ｆz ）
と釣り合い、この遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）が
第２バランサに作用する水平方向の慣性力（Ｆx ）と釣
り合うように設定されていることを特徴としている。
【０００７】
【作用】このように、本発明では、回転する第１バラン
サと、水平方向に揺動する第２バランサとからなるバラ
ンサ機構が設けられ、この第１バランサに作用する遠心
力（Ｇo ）の垂直方向成分（Ｇz ）が、ベーンに作用す
る慣性力（Ｆz ）と釣り合い、この遠心力（Ｇo ）の水
平成分（Ｇx ）が第２バランサに作用する慣性力
（Ｆx ）と釣り合わされている。したがって、ベーンの
垂直方向の振動成分であるベーンに作用する慣性力（Ｆ
z ）は、第１バランサに作用する遠心力（Ｇo ）の垂直
方向成分（Ｇz ）により除去される。しかし、この第１
バランサに作用する遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）
が残り、この水平成分（Ｇx ）によって、新たに水平方
向の振動が生じることになる。この水平方向の振動成分
（即ち、遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx））は、第２
バランサに作用する水平方向の慣性力（Ｆx ）により除
去される。これにより、ベーンの垂直方向の振動成分が
ほぼ完全に除去されて振動が著しく低減される。この
際、２つのバランサを設けているのみであるため、ポン
プの大型化及び複雑化を招来することがない。
サと、水平方向に揺動する第２バランサとからなるバラ
ンサ機構が設けられ、この第１バランサに作用する遠心
力（Ｇo ）の垂直方向成分（Ｇz ）が、ベーンに作用す
る慣性力（Ｆz ）と釣り合い、この遠心力（Ｇo ）の水
平成分（Ｇx ）が第２バランサに作用する慣性力
（Ｆx ）と釣り合わされている。したがって、ベーンの
垂直方向の振動成分であるベーンに作用する慣性力（Ｆ
z ）は、第１バランサに作用する遠心力（Ｇo ）の垂直
方向成分（Ｇz ）により除去される。しかし、この第１
バランサに作用する遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）
が残り、この水平成分（Ｇx ）によって、新たに水平方
向の振動が生じることになる。この水平方向の振動成分
（即ち、遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx））は、第２
バランサに作用する水平方向の慣性力（Ｆx ）により除
去される。これにより、ベーンの垂直方向の振動成分が
ほぼ完全に除去されて振動が著しく低減される。この
際、２つのバランサを設けているのみであるため、ポン
プの大型化及び複雑化を招来することがない。
【０００８】
【実施例】先ず、図１乃至図３を参照して、本発明の原
理を説明する。図１は、本発明によるバランサを取付け
ていないときの揺動ピストン型真空ポンプの概念図であ
る。本発明では、ベーン１３の垂直方向の振動成分の除
去のみを行い、ベーン１３の首振りに伴う振動成分の除
去は考慮していない。そのため、図１に示すように、ベ
ーン１３の運動は、垂直方向（Ｚ方向）の揺動運動のみ
と仮定する。そのため、ベーン１３には、垂直方向の振
動成分として、Ｚ方向の慣性力（Ｆz ）のみが作用して
いる。
理を説明する。図１は、本発明によるバランサを取付け
ていないときの揺動ピストン型真空ポンプの概念図であ
る。本発明では、ベーン１３の垂直方向の振動成分の除
去のみを行い、ベーン１３の首振りに伴う振動成分の除
去は考慮していない。そのため、図１に示すように、ベ
ーン１３の運動は、垂直方向（Ｚ方向）の揺動運動のみ
と仮定する。そのため、ベーン１３には、垂直方向の振
動成分として、Ｚ方向の慣性力（Ｆz ）のみが作用して
いる。
【０００９】本発明では、回転する第１バランサ２１
と、水平方向に揺動する第２バランサ２２とからなるバ
ランサ機構が設けられている。先ず、回転軸５から半径
方向に離間して回転軸５と共に回転する第１バランサ２
１が設けられている。この第１バランサ２１には、遠心
力（Ｇo ）が作用している。この遠心力（Ｇo ）の垂直
方向成分（Ｇz ）が、ベーン１３の垂直方向の振動成分
であるベーン１３に作用する慣性力（Ｆz ）と釣り合
い、ベーン１３の垂直方向の振動成分除去される。しか
し、この場合、第１バランサ２１の遠心力（Ｇo ）の水
平成分（Ｇx ）が残っており、この水平成分（Ｇx ）が
水平方向の新たな振動源となっている。
と、水平方向に揺動する第２バランサ２２とからなるバ
ランサ機構が設けられている。先ず、回転軸５から半径
方向に離間して回転軸５と共に回転する第１バランサ２
１が設けられている。この第１バランサ２１には、遠心
力（Ｇo ）が作用している。この遠心力（Ｇo ）の垂直
方向成分（Ｇz ）が、ベーン１３の垂直方向の振動成分
であるベーン１３に作用する慣性力（Ｆz ）と釣り合
い、ベーン１３の垂直方向の振動成分除去される。しか
し、この場合、第１バランサ２１の遠心力（Ｇo ）の水
平成分（Ｇx ）が残っており、この水平成分（Ｇx ）が
水平方向の新たな振動源となっている。
【００１０】そこで、本発明では、図３に示すように、
ベーン１３の垂直方向の揺動に伴って水平方向（Ｘ方
向）に揺動する第２バランサ２２が設けられており、こ
の第２バランサに作用する慣性力（Ｆx ）が、上記の第
１バランサ２１の遠心力（Ｇo）の水平成分（Ｇx ）と
釣り合うように構成されている。これにより、水平方向
の新たな振動成分である遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇ
x ）が除去されると共にベーン１３の垂直方向の振動成
分がほぼ完全に除去され、ベーン１３の垂直方向の振動
が著しく低減される。
ベーン１３の垂直方向の揺動に伴って水平方向（Ｘ方
向）に揺動する第２バランサ２２が設けられており、こ
の第２バランサに作用する慣性力（Ｆx ）が、上記の第
１バランサ２１の遠心力（Ｇo）の水平成分（Ｇx ）と
釣り合うように構成されている。これにより、水平方向
の新たな振動成分である遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇ
x ）が除去されると共にベーン１３の垂直方向の振動成
分がほぼ完全に除去され、ベーン１３の垂直方向の振動
が著しく低減される。
【００１１】次に、図４乃至図７を参照して、本発明に
よる揺動ピストン型真空ポンプの一実施例を説明する。
本発明においても、ポンプそれ自体の基本構成は従来と
同様であり、図７に示されたようにモータ１の出力軸上
のモータプーリー２と、回転軸５上のプーリー３との間
にはＶベルト４が掛けられ、回転軸５がモータ１によっ
て回転駆動されるように構成されている。また回転軸５
の反対側には、フライホィール６が設けられている。さ
らに、本体ケースの側壁から上方に向けて吸気口７が設
けられており、本体ケースの上壁には排気口８が設けら
れている。前述した本発明の原理の説明中で引用された
第１バランサ２１は、プーリー３と、フライホィール６
に対してそれぞれ設けられている。回転軸５の回転に伴
ってベーン１３が垂直方向に揺動されると、第１バラン
サ２１も回転し、上記のように、遠心力（Ｇo ）が発生
し、その垂直成分（Ｇz ）がベーン１３の垂直方向の慣
性力（Ｆz ）と釣り合って、ベーンの垂直方向の振動成
分が除去される。
よる揺動ピストン型真空ポンプの一実施例を説明する。
本発明においても、ポンプそれ自体の基本構成は従来と
同様であり、図７に示されたようにモータ１の出力軸上
のモータプーリー２と、回転軸５上のプーリー３との間
にはＶベルト４が掛けられ、回転軸５がモータ１によっ
て回転駆動されるように構成されている。また回転軸５
の反対側には、フライホィール６が設けられている。さ
らに、本体ケースの側壁から上方に向けて吸気口７が設
けられており、本体ケースの上壁には排気口８が設けら
れている。前述した本発明の原理の説明中で引用された
第１バランサ２１は、プーリー３と、フライホィール６
に対してそれぞれ設けられている。回転軸５の回転に伴
ってベーン１３が垂直方向に揺動されると、第１バラン
サ２１も回転し、上記のように、遠心力（Ｇo ）が発生
し、その垂直成分（Ｇz ）がベーン１３の垂直方向の慣
性力（Ｆz ）と釣り合って、ベーンの垂直方向の振動成
分が除去される。
【００１２】また、図３に示した第２バランサ２２に相
当する機構は、図６及び図７から明らかなように、フラ
イホィール６の側とプーリー３の側の両方に設けられた
往復スライダクランク機構からなる第２バランサ２２に
よって構成されている。この第２バランサ２２は、各
々、支持板１９に固定された水平の案内レール２３に沿
って水平方向に往復運動可能なスライダ２４を有してい
る。この第２バランサ２２には、レバー２５の一端がピ
ン２６によって結合されており、このレバー２５の他端
は、回転軸５の中心から離れた位置にピン２７によって
結合されている。したがって、回転軸５が回転される
と、レバー２５が揺動され、スライダ２４が案内レール
２３に沿って水平方向に揺動される。この場合、第２バ
ランサ２２に作用する慣性力（Ｆx ）（図３参照）が、
第１バランサ２１の遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）
と釣り合うように構成されており、水平方向の新たな振
動成分である遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）が除去
され、これによってベーン１３の垂直方向の振動成分が
ほぼ完全に除去されている。
当する機構は、図６及び図７から明らかなように、フラ
イホィール６の側とプーリー３の側の両方に設けられた
往復スライダクランク機構からなる第２バランサ２２に
よって構成されている。この第２バランサ２２は、各
々、支持板１９に固定された水平の案内レール２３に沿
って水平方向に往復運動可能なスライダ２４を有してい
る。この第２バランサ２２には、レバー２５の一端がピ
ン２６によって結合されており、このレバー２５の他端
は、回転軸５の中心から離れた位置にピン２７によって
結合されている。したがって、回転軸５が回転される
と、レバー２５が揺動され、スライダ２４が案内レール
２３に沿って水平方向に揺動される。この場合、第２バ
ランサ２２に作用する慣性力（Ｆx ）（図３参照）が、
第１バランサ２１の遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）
と釣り合うように構成されており、水平方向の新たな振
動成分である遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）が除去
され、これによってベーン１３の垂直方向の振動成分が
ほぼ完全に除去されている。
【００１３】本発明によれば、２つのバランサ２１，２
２を設けることによって回転に伴なう振動を除去してい
るのでポンプの大型化及び複雑化を招来することがな
い。図８は本発明の実験結果とシミュレーションとの比
較を示す。実験では、第１バランサ２１は計算により求
めた最適重量とし、第２バランサ２２の重量は、可変と
して行った。この条件において、振動の最小となる第２
バランサ２２の重量を見つけ、シミュレーション結果と
比較した。その結果、図８に示すグラフが得られた。こ
のグラフにより、スライダ２４の重量が４kg前後におい
て振動が著しく低減されていることがわかる。但し、実
験結果とシミュレーションとを比較すると、実験値の方
がシミュレーションより変位振幅の絶対値が大きくなっ
ているが、これは実験設備の不備であり、これを改良す
れば、シミュレーションと同様の結果が得られるものと
考えられる。なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れないのは勿論であり、種々変形可能である。
２を設けることによって回転に伴なう振動を除去してい
るのでポンプの大型化及び複雑化を招来することがな
い。図８は本発明の実験結果とシミュレーションとの比
較を示す。実験では、第１バランサ２１は計算により求
めた最適重量とし、第２バランサ２２の重量は、可変と
して行った。この条件において、振動の最小となる第２
バランサ２２の重量を見つけ、シミュレーション結果と
比較した。その結果、図８に示すグラフが得られた。こ
のグラフにより、スライダ２４の重量が４kg前後におい
て振動が著しく低減されていることがわかる。但し、実
験結果とシミュレーションとを比較すると、実験値の方
がシミュレーションより変位振幅の絶対値が大きくなっ
ているが、これは実験設備の不備であり、これを改良す
れば、シミュレーションと同様の結果が得られるものと
考えられる。なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れないのは勿論であり、種々変形可能である。
【００１４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明では、偏心回
転する第１バランサと、水平方向に往復運動するスライ
ダを含む第２バランサとからなるバランサ機構が設けら
れ、この第１バランサに作用する遠心力（Ｇo ）の垂直
方向成分（Ｇz ）が、ベーンに作用する慣性力（Ｆz ）
と釣り合い、この遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）が
第２バランサに作用する慣性力（Ｆx ）と釣り合わされ
ている。そのため、ベーンの垂直方向の振動成分である
ベーンに作用する慣性力（Ｆz ）が、第１バランサに作
用する遠心力（Ｇo ）の垂直方向成分（Ｇz ）により除
去され、新たに生じる水平方向の振動成分（即ち、遠心
力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ））は、第２バランサに作
用する水平方向の慣性力（Ｆx ）により除去される。こ
れにより、ベーンの垂直方向の振動成分がほぼ完全に除
去されて振動が著しく低減される。本発明においては、
２つのバランサを設けているのみであるため、ポンプの
大型化及び複雑化を招来することがない。
転する第１バランサと、水平方向に往復運動するスライ
ダを含む第２バランサとからなるバランサ機構が設けら
れ、この第１バランサに作用する遠心力（Ｇo ）の垂直
方向成分（Ｇz ）が、ベーンに作用する慣性力（Ｆz ）
と釣り合い、この遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）が
第２バランサに作用する慣性力（Ｆx ）と釣り合わされ
ている。そのため、ベーンの垂直方向の振動成分である
ベーンに作用する慣性力（Ｆz ）が、第１バランサに作
用する遠心力（Ｇo ）の垂直方向成分（Ｇz ）により除
去され、新たに生じる水平方向の振動成分（即ち、遠心
力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ））は、第２バランサに作
用する水平方向の慣性力（Ｆx ）により除去される。こ
れにより、ベーンの垂直方向の振動成分がほぼ完全に除
去されて振動が著しく低減される。本発明においては、
２つのバランサを設けているのみであるため、ポンプの
大型化及び複雑化を招来することがない。
【図１】本発明によるバランサを取付けていないときの
揺動ピストン型真空ポンプの概念図。
揺動ピストン型真空ポンプの概念図。
【図２】本発明による第１バランサのみが取付けてある
ときの揺動ピストン型真空ポンプの概念図。
ときの揺動ピストン型真空ポンプの概念図。
【図３】本発明による第１及び第２バランサが取付けて
あるときの揺動ピストン型真空ポンプの概念図。
あるときの揺動ピストン型真空ポンプの概念図。
【図４】本発明の一実施例による揺動ピストン型真空ポ
ンプを示した正面図。
ンプを示した正面図。
【図５】図４に示した揺動ピストン型真空ポンプの平面
図。
図。
【図６】図４に示した揺動ピストン型真空ポンプの一側
面図。
面図。
【図７】図４に示した揺動ピストン型真空ポンプの他側
面図。
面図。
【図８】本発明の実験結果とシミュレーションとの比較
を示したグラフ。
を示したグラフ。
【図９】従来の揺動ピストン型真空ポンプの全体構造を
示した斜視図。
示した斜視図。
【図１０】従来の揺動ピストン型真空ポンプの要部の断
面図。
面図。
【図１１】従来の揺動ピストン型真空ポンプの要部の断
面図。
面図。
【図１２】従来の揺動ピストン型真空ポンプの要部の断
面図。
面図。
【図１３】従来の揺動ピストン型真空ポンプの要部の断
面図。
面図。
５ 回転軸 １０ シリンダ １１ 内側ロータ １２ 外側ロータ １３ ベーン ２１ 第１バランサ ２２ 第２バランサ
Claims (1)
- 【請求項１】回転軸上に偏心して固着された内側ロータ
がシリンダ室内を偏心回転し、上記内側ロータに対して
外側ロータが回転可能に嵌装され、その外側ロータに吸
入通路を内部に有するベーンが一体的に固着され、上記
回転軸の一端にはフライホィールが他端には駆動プーリ
が固着され、上記吸入通路を通してシリンダ室内に導入
された空気を吸入排気するようにした揺動ピストン型真
空ポンプにおいて、上記回転軸上のフライホイールおよ
びプーリには、上記回転中心から半径方向に離間した位
置に所定の重量を有する第１バランサが設けられる一
方、上記フライホィールおよびプーリの回転運動によっ
て水平方向に往復運動するスライダを有する往復スライ
ダクランク機構からなる第２バランサが設けられ、上記
第１バランサに作用する遠心力（Ｇ0 ）の垂直方向成分
（Ｇz ）がベーンに作用する垂直方向の慣性力（Ｆz ）
と釣り合い、この遠心力（Ｇo ）の水平成分（Ｇx ）が
第２バランサに作用する水平方向の慣性力（Ｆx ）と釣
り合うように設定されていることを特徴とする揺動ピス
トン型真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26186592A JPH06108985A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 揺動ピストン型真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26186592A JPH06108985A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 揺動ピストン型真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06108985A true JPH06108985A (ja) | 1994-04-19 |
Family
ID=17367835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26186592A Pending JPH06108985A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 揺動ピストン型真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06108985A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012046417A1 (ja) | 2010-10-08 | 2012-04-12 | 株式会社アルバック | 駆動装置 |
-
1992
- 1992-09-30 JP JP26186592A patent/JPH06108985A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012046417A1 (ja) | 2010-10-08 | 2012-04-12 | 株式会社アルバック | 駆動装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5979086A (ja) | スクロ−ル流体機械 | |
| JP5035413B2 (ja) | 密閉型圧縮機 | |
| JPH06108985A (ja) | 揺動ピストン型真空ポンプ | |
| JP2004270654A (ja) | 回転型圧縮機 | |
| JPH02261046A (ja) | ローリングロータ型モータ装置 | |
| WO2014091641A1 (ja) | スクロール型圧縮機 | |
| KR950013015B1 (ko) | 스크로울 압축기 | |
| CN107949701B (zh) | 压缩机 | |
| JP2007077896A (ja) | 冷媒圧縮機 | |
| JPH01211685A (ja) | ロータリ圧縮機 | |
| JPH03206384A (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JPH062657A (ja) | 往復動機械 | |
| WO2006088825A2 (en) | Piston balancing system | |
| JP3211593B2 (ja) | スクロール型流体装置 | |
| JP7408011B2 (ja) | 二段スクロール圧縮機 | |
| KR100286836B1 (ko) | 로터리 압축기의 공명기 | |
| JPH07151073A (ja) | スクロール型流体装置 | |
| JP6515400B2 (ja) | １気筒および２気筒の往復動式の容積型流体機械 | |
| JPH11107969A (ja) | 回転式圧縮機 | |
| JPH0571489A (ja) | 圧縮機 | |
| JPS59224495A (ja) | スクロ−ル圧縮機 | |
| JPH10122171A (ja) | ロータリー圧縮機 | |
| KR0114915Y1 (ko) | 스크로울 압축기의 바란스장치 | |
| JPH05133371A (ja) | 回転式圧縮機 | |
| KR100277514B1 (ko) | 로터리압축기의압축부결합구조 |