JPH06106728A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH06106728A JPH06106728A JP4256826A JP25682692A JPH06106728A JP H06106728 A JPH06106728 A JP H06106728A JP 4256826 A JP4256826 A JP 4256826A JP 25682692 A JP25682692 A JP 25682692A JP H06106728 A JPH06106728 A JP H06106728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- forming member
- photosensitive resin
- resin layer
- flow path
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 インクジェットヘッドの流路形成部材が、被
加工物５２０の上に第１感光性樹脂層６０１と第２の感
光性樹脂層６０２を形成した後、樹脂材料に高エネルギ
ービームを照射し、流路形成部材を加工することを特徴
とする。 【効果】 流路形成部材を容易に多段階の深さで加工す
ることができ、高密度で安定したインク飛行特性を持
つ、インクジェットヘッドが製造できる。
加工物５２０の上に第１感光性樹脂層６０１と第２の感
光性樹脂層６０２を形成した後、樹脂材料に高エネルギ
ービームを照射し、流路形成部材を加工することを特徴
とする。 【効果】 流路形成部材を容易に多段階の深さで加工す
ることができ、高密度で安定したインク飛行特性を持
つ、インクジェットヘッドが製造できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インク滴を飛翔させ、
紙等に印字記録を行なうインクジェットヘッドに関す
る。
紙等に印字記録を行なうインクジェットヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のインクジェットヘッドの流路形成
部材を製造する方法は、ガラス材料に対し化学的なエッ
チングを施す方法、樹脂材料に対し射出成形などの成形
を行う方法、感光性樹脂に対しフォトリソグラフィの手
法により形成する方法などが公知である。
部材を製造する方法は、ガラス材料に対し化学的なエッ
チングを施す方法、樹脂材料に対し射出成形などの成形
を行う方法、感光性樹脂に対しフォトリソグラフィの手
法により形成する方法などが公知である。
【０００３】しかし、これらの技術は、高密度化に適さ
ない、あるいは、インク液に対する耐久性のため、使用
できる材料が限定されたり、または、インク液材質を制
限したり、という問題点がある。これらに対し、特開平
２−１２１８４５で公開されている技術は、前述のよう
な問題を解決する手段として有効である。
ない、あるいは、インク液に対する耐久性のため、使用
できる材料が限定されたり、または、インク液材質を制
限したり、という問題点がある。これらに対し、特開平
２−１２１８４５で公開されている技術は、前述のよう
な問題を解決する手段として有効である。
【０００４】図５に、従来の技術である、特開平２−１
２１８４５の概念図を示す。樹脂材料である被加工物５
２０に、マスク５０３を位置決めした後、エキシマレー
ザー光５１２を照射する。マスク５０３の透明部分５１
３からは、エキシマレーザー光５１２が透過し、被加工
物５２０が加工されるが、非透明部分５１４ではエキシ
マレーザー光５１２が透過せず、加工は行われない。
２１８４５の概念図を示す。樹脂材料である被加工物５
２０に、マスク５０３を位置決めした後、エキシマレー
ザー光５１２を照射する。マスク５０３の透明部分５１
３からは、エキシマレーザー光５１２が透過し、被加工
物５２０が加工されるが、非透明部分５１４ではエキシ
マレーザー光５１２が透過せず、加工は行われない。
【０００５】このように、エキシマレーザー光５１２を
マスクにより選択的に照射することで、流路形成部材を
製造しようとするものであった。
マスクにより選択的に照射することで、流路形成部材を
製造しようとするものであった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術では、次のような問題点がある。
術では、次のような問題点がある。
【０００７】まず、マスク５０３は使用耐久性の面か
ら、メカニカルマスクが好ましい。一般にフォトマスク
として利用されるガラスに金属薄膜を付与、パターニン
グしたマスクでは、金属薄膜がエキシマレーザー光５１
２により劣化するからである。これは、即ち、高密度な
インクジェットヘッドを組み立てる場合、マスク５０３
に求められる細密さが、放電加工などの通常の加工方法
で実現できるレベルを越えてしまう事を示す。
ら、メカニカルマスクが好ましい。一般にフォトマスク
として利用されるガラスに金属薄膜を付与、パターニン
グしたマスクでは、金属薄膜がエキシマレーザー光５１
２により劣化するからである。これは、即ち、高密度な
インクジェットヘッドを組み立てる場合、マスク５０３
に求められる細密さが、放電加工などの通常の加工方法
で実現できるレベルを越えてしまう事を示す。
【０００８】また、従来の方法で製造される流路は、断
面が貫通もしくは１段の止め穴形状である。流路形成部
材内には、圧力発生器により発生した圧力によりインク
圧力を高めるインク室、各インク室にインクを供給する
共通流路、共通流路とインク室を結び、インク室にイン
クを供給する供給口などが形成される。
面が貫通もしくは１段の止め穴形状である。流路形成部
材内には、圧力発生器により発生した圧力によりインク
圧力を高めるインク室、各インク室にインクを供給する
共通流路、共通流路とインク室を結び、インク室にイン
クを供給する供給口などが形成される。
【０００９】これら、インク室、共通流路、供給口など
は、それぞれ要求される設計仕様が異なるため、一様な
深さに制限することが困難である。
は、それぞれ要求される設計仕様が異なるため、一様な
深さに制限することが困難である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドの製造方法は、被加工物に複数回の感光性樹脂の
パターニングを施した後、高エネルギービームで均一に
表面加工を行い、最終的に多段階の流路形成部材を得る
ことを特徴とする。
ヘッドの製造方法は、被加工物に複数回の感光性樹脂の
パターニングを施した後、高エネルギービームで均一に
表面加工を行い、最終的に多段階の流路形成部材を得る
ことを特徴とする。
【００１１】
【実施例】図１に本発明の実施例の概念図を示す。図１
に従い、本発明の製造方法を説明する。なお、被加工物
５２０は、耐溶剤性に優れたポリイミド樹脂の、厚み１
００μのフィルムを採用した。
に従い、本発明の製造方法を説明する。なお、被加工物
５２０は、耐溶剤性に優れたポリイミド樹脂の、厚み１
００μのフィルムを採用した。
【００１２】まず、被加工物５２０上全面に、厚み５０
μの第１感光性樹脂層６０１を形成する。本実施例にお
いては、熱圧着により、フィルムタイプの感光性樹脂を
全面に付与した。その後、第１感光性樹脂層６０１のパ
ターンを形成したフォトマスクを重ね露光、現像により
所定のパターンを形成した。
μの第１感光性樹脂層６０１を形成する。本実施例にお
いては、熱圧着により、フィルムタイプの感光性樹脂を
全面に付与した。その後、第１感光性樹脂層６０１のパ
ターンを形成したフォトマスクを重ね露光、現像により
所定のパターンを形成した。
【００１３】この時、使用するフォトマスクは、ガラス
面に金属薄膜を形成しパターニングを施したものであ
り、従前の技術で、細密な形状が形成できる。
面に金属薄膜を形成しパターニングを施したものであ
り、従前の技術で、細密な形状が形成できる。
【００１４】更に、第１感光性樹脂層６０１上に、厚み
５０μの第２感光性樹脂層６０２を重ね、第１感光性樹
脂層６０１と同様な工程により、パターニングを行っ
た。
５０μの第２感光性樹脂層６０２を重ね、第１感光性樹
脂層６０１と同様な工程により、パターニングを行っ
た。
【００１５】以上までの工程により、被加工物５２０上
には２段階の高さを持つ感光性樹脂層が形成される。こ
の状態の被加工物５２０を、均一な光量分布を持つエキ
シマレーザー光５１２に晒す。
には２段階の高さを持つ感光性樹脂層が形成される。こ
の状態の被加工物５２０を、均一な光量分布を持つエキ
シマレーザー光５１２に晒す。
【００１６】本実施例で使用したエキシマレーザー光５
１２は、Ｋｒ−Ｆの波長２４８ナノメートルで、１平方
センチメートル当り０．５Ｊの照射エネルギー密度を持
つ。エキシマレーザー光５１２による加工速度は、感光
性樹脂、被加工物５２０のいずれも、１パルスあたり
０．７μである。
１２は、Ｋｒ−Ｆの波長２４８ナノメートルで、１平方
センチメートル当り０．５Ｊの照射エネルギー密度を持
つ。エキシマレーザー光５１２による加工速度は、感光
性樹脂、被加工物５２０のいずれも、１パルスあたり
０．７μである。
【００１７】なお、上記の光学系は、コンタクトマスク
を用いる従来の方法と同じで、縮小光学系を用いる、マ
スクイメージングに比べ、簡便な装置で実現できる。
を用いる従来の方法と同じで、縮小光学系を用いる、マ
スクイメージングに比べ、簡便な装置で実現できる。
【００１８】エキシマレーザー光５１２に晒された被加
工物５２０と感光性樹脂は、均一な膜減りを起こす。図
２にエキシマレーザー光５１２の加工が半分即ち、５０
μの加工が終了した状態での断面図を示す。
工物５２０と感光性樹脂は、均一な膜減りを起こす。図
２にエキシマレーザー光５１２の加工が半分即ち、５０
μの加工が終了した状態での断面図を示す。
【００１９】図２において、第１感光性樹脂層６０１、
第２感光性樹脂層６０２が共になかった部分である圧力
室部１０と共通流路部１２は、深さ５０μまで、被加工
物５２０が除去されている。
第２感光性樹脂層６０２が共になかった部分である圧力
室部１０と共通流路部１２は、深さ５０μまで、被加工
物５２０が除去されている。
【００２０】第１感光性樹脂層６０１の存在した供給口
部１１は、第１感光性樹脂層６０１の除去が終了し、被
加工物５２０表面が露出している。
部１１は、第１感光性樹脂層６０１の除去が終了し、被
加工物５２０表面が露出している。
【００２１】第１感光性樹脂層６０１、第２感光性樹脂
層６０２が共に残されていた、その他の部分では、第２
感光性樹脂層６０２の加工が終了し、第１感光性樹脂層
６０１表面が露出している。
層６０２が共に残されていた、その他の部分では、第２
感光性樹脂層６０２の加工が終了し、第１感光性樹脂層
６０１表面が露出している。
【００２２】図３に、更にエキシマレーザー光５１２を
照射し、加工を進行させ、最終的な流路形成部材１００
となした状態の断面図を示す。
照射し、加工を進行させ、最終的な流路形成部材１００
となした状態の断面図を示す。
【００２３】圧力室部１０と共通流路部１２は、貫通穴
となっている。供給口部１１は深さ５０μまで加工され
ている。そして、その他の部分は、第１感光性樹脂層６
０１が除去され、被加工物５２０表面が露出した状態で
ある。
となっている。供給口部１１は深さ５０μまで加工され
ている。そして、その他の部分は、第１感光性樹脂層６
０１が除去され、被加工物５２０表面が露出した状態で
ある。
【００２４】図４に、本発明により製造された流路形成
部材１００を用いたインクジェットヘッドの一例の主要
構成図を示す。
部材１００を用いたインクジェットヘッドの一例の主要
構成図を示す。
【００２５】図４において、ノズル形成部材２００に
は、複数のノズル開口部２０が配置されている。ノズル
形成部材２００には、ノズル開口部２０に対応した圧力
室部１０を持つ、流路形成部材１００が接合されてい
る。流路形成部材１００には、振動板形成部材３００が
接合されている。更に、振動板形成部材３００には、圧
力発生器４００の先端が連接されている。
は、複数のノズル開口部２０が配置されている。ノズル
形成部材２００には、ノズル開口部２０に対応した圧力
室部１０を持つ、流路形成部材１００が接合されてい
る。流路形成部材１００には、振動板形成部材３００が
接合されている。更に、振動板形成部材３００には、圧
力発生器４００の先端が連接されている。
【００２６】圧力発生器４００として、縦型の積層圧電
素子を用いている。圧力発生器４００は、固定基板４０
１に固定され、駆動回路４０２により振動する。圧力発
生器４００の振動は、振動板形成部材３００から、圧力
室部１０に伝達され、ここに充填されたインクの圧力を
高め、ノズル開口部２０から吐出される。
素子を用いている。圧力発生器４００は、固定基板４０
１に固定され、駆動回路４０２により振動する。圧力発
生器４００の振動は、振動板形成部材３００から、圧力
室部１０に伝達され、ここに充填されたインクの圧力を
高め、ノズル開口部２０から吐出される。
【００２７】パイプ４５０から供給されたインクは、共
通流路部１２に充填され、供給口部１１を通じ圧力室部
１０に補充される。
通流路部１２に充填され、供給口部１１を通じ圧力室部
１０に補充される。
【００２８】このように、流路形成部材１００は、使用
状態において常にインクに接触する構成であるが、耐イ
ンク性に優れたポリイミド樹脂を使用しているため、劣
化が発生することがなかった。また、加工できる密度
は、感光性樹脂の解像度に依存するため、従来より高密
度な加工が行える。
状態において常にインクに接触する構成であるが、耐イ
ンク性に優れたポリイミド樹脂を使用しているため、劣
化が発生することがなかった。また、加工できる密度
は、感光性樹脂の解像度に依存するため、従来より高密
度な加工が行える。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、既存
のフォトマスクを利用するのみで、微細なメカニカルマ
スクが不要となる。また、流路形成部材中に多段のパタ
ーンを構成することが可能となる。これは、圧力室、供
給口、共通流路など各部に対する制約を減らし、設計の
自由度を広げることができ、インクの飛行特性、飛行安
定性にすぐれたインクジェットヘッドを製造することが
できる、という効果を有する。
のフォトマスクを利用するのみで、微細なメカニカルマ
スクが不要となる。また、流路形成部材中に多段のパタ
ーンを構成することが可能となる。これは、圧力室、供
給口、共通流路など各部に対する制約を減らし、設計の
自由度を広げることができ、インクの飛行特性、飛行安
定性にすぐれたインクジェットヘッドを製造することが
できる、という効果を有する。
【図１】本発明のインクジェットヘッド流路形成部材の
製造方法を示す主要断面図。
製造方法を示す主要断面図。
【図２】本発明のインクジェットヘッド流路形成部材の
製造途中の状態を示す主要断面図。
製造途中の状態を示す主要断面図。
【図３】本発明の製造方法により製造されたインクジェ
ットヘッド流路形成部材の主要断面図。
ットヘッド流路形成部材の主要断面図。
【図４】本発明の製造方法により製造された流路形成部
材を用いた、インクジェットヘッドの一例の主要構成
図。
材を用いた、インクジェットヘッドの一例の主要構成
図。
【図５】従来のインクジェットヘッド流路形成部材の製
造方法を示す主要断面図。
造方法を示す主要断面図。
１０ 圧力室部 １１ 供給口部 １２ 共通流路部 ２０ ノズル開口部 １００ 本発明の製造方法による流路形成部材 ２００ ノズル形成部材 ３００ 振動板形成部材 ４００ 縦型の積層圧電素子からなる圧力発生器 ４０１ 固定基板 ４０２ 駆動回路 ４５０ パイプ ４５１ ケース ５０３ マスク ５１２ レーザー光 ５１３ マスク５０３の透明部分 ５１４ マスク５０３の不透明部分 ５２０ 被加工物 ６０１ 第１感光性樹脂層 ６０２ 第２感光性樹脂層
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のノズル開口部を持つノズル形成部
材と、ノズル形成部材に接合された流路形成部材と、流
路形成部材に接合された振動板形成部材と、振動板に接
合された圧力発生器からなるインクジェットヘッドの製
造方法であって、 前記流路形成部材が、感光性樹脂層を所定の形状に形成
する工程と、感光性樹脂層を形成した樹脂材料に高エネ
ルギービームを照射する工程とにより、加工することを
特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25682692A JP3175335B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25682692A JP3175335B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06106728A true JPH06106728A (ja) | 1994-04-19 |
| JP3175335B2 JP3175335B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=17297971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25682692A Expired - Fee Related JP3175335B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3175335B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6591500B1 (en) * | 1999-06-04 | 2003-07-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a liquid discharge head |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP25682692A patent/JP3175335B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6591500B1 (en) * | 1999-06-04 | 2003-07-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a liquid discharge head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3175335B2 (ja) | 2001-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5408738A (en) | Method of making a nozzle member including ink flow channels | |
| JP2013028104A (ja) | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 | |
| JPH0994952A (ja) | インクジェットヘッド | |
| US4635077A (en) | Ink jet recording head | |
| JP2633943B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法 | |
| JP3127570B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH06106728A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2956206B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法 | |
| JP2940121B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法 | |
| JPH07100685A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH10296982A (ja) | インクジェットヘッド用ノズル板の製造方法及びインクジェットヘッド | |
| JP2946754B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH05338186A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| US6684504B2 (en) | Method of manufacturing an imageable support matrix for printhead nozzle plates | |
| JP3539296B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH06297711A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2008126481A (ja) | インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法、およびインクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH03295655A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
| JP3077444B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JP4736174B2 (ja) | インクジェットヘッドのノズル穴形成方法 | |
| JP3109011B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 | |
| JP3211851B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP4113383B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH05138882A (ja) | インクジエツトヘツド | |
| JPH06143561A (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080406 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090406 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090406 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100406 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110406 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110406 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |