JPH06103368B2 - 光学フィルタ - Google Patents

光学フィルタ

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JPH06103368B2
JPH06103368B2 JP62100935A JP10093587A JPH06103368B2 JP H06103368 B2 JPH06103368 B2 JP H06103368B2 JP 62100935 A JP62100935 A JP 62100935A JP 10093587 A JP10093587 A JP 10093587A JP H06103368 B2 JPH06103368 B2 JP H06103368B2
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JP
Japan
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light beam
filter element
optical
rotation angle
rotation
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JP62100935A
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Inventor
シーグマル・シユミツト
バーント・マイセンバツヘル
Original Assignee
横河・ヒユ−レツト・パツカ−ド株式会社
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/205Neutral density filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/02Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light

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  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は光学減衰量が調節可能な光学フィルタに関す
る。
〔従来技術とその問題〕
ファイバー光学系の部品のような光学装置の測定では、
レーザの光ビームを光学フィルタ手段により所定の方法
で減衰している。減衰された光ビームは受信機ダイオー
ド,伝送路,光増幅器その他の測定に供される。光ビー
ムを所定の方法で減衰すれば長距離伝送路の模擬も可能
である。
光学フィルタは、例えば、光学減衰コートを施した透明
担体より構成される。適切なフィルタ基板には例えば薄
いガラスウェーハが含まれる。しかしながら、この場合
には、光ビームの通過中にガラスウェーハ内部で多重反
射効果が生ずる。通過光と反射光の波頭が基板内で互い
に重畳し合って、通過光に望ましくない変調をきたす。
〔発明の目的〕
従って本発明の目的は、たとえコヒーレントになりうる
ような放射を用いる時でも、通過光に干渉による変調が
生ぜず、その減衰量が正確に再現される光学フィルタを
提供することである。
〔発明の概要〕
本発明の一実施例によれば、フィルタ素子の2つの光学
効果面が互いに対向して配置され、少なくとも減衰され
る光ビームの領域では互いに他に対して傾斜している。
従って、フィルタ素子内で生ずる多重反射は入射光ビー
ムの光学軸から偏向され、その結果、干渉は生じない。
フィルタ素子を光学減衰量の調節に適するように、回転
角によってその光学濃度が決定される減衰コートを少な
くとも一方の光学効果面に張りつける。減衰コートは基
板上に適用され、0°から360°までの角度範囲にわた
って連続的に減衰量が増加する減衰環を形成している。
光ビームを所定の減衰量だけ減衰するには、フィルタ素
子を対応する角度だけその回転軸のまわりに回転すれば
よい。
相異る回転角とそれに対応する減衰量はメモリに格納さ
れるので、マイクロプロセッサはメモリに格納された値
から所望の減衰量に適切な所要の回転角を選択できる。
フィルタ素子はその光学効果面については軸対称に設計
されているのが好ましいが、もちろんフィルタ素子を半
円形や開放環等にすることも可能である(これらを総称
して、円板または環状のフィルタ素子という)。しかし
ながら、いかなる場合にも、常時選択した角度に抱わら
ず、光ビームの偏向を常に一定に保つことが肝賢であ
る。フィルタ素子のどの所望の角度においても、結像レ
ンズの追加によって、レーザ・ビーム等をガラス・ファ
イバの端部に正確に結像させるため、この条件は高精度
で満足されなければならない。製造上の理由から、光学
効果面の一方を球面状にするのが特に有利である。その
場合、曲率半径は、レーザ・ビームの減衰に対して14m
から16mの範囲になる。干渉による変調を避けるには、
球面状効果面のかわりに円錐形状の効果面を使用しても
よい。球面状効果面の曲率半径は、事実上結像や分散が
生ぜず微小な反射のみとなるように、減衰されるべき光
ビームの直径の何倍も大きくとるべきである。
〔発明の実施例〕
第1図に示す本発明の一実施例の光学フィルタは、平凸
レンズとして設計された軸対称フィルタ素子1から構成
されている。入射光ビーム2は光学効果面3を通過して
基板4に入り、わずかに傾きつつ反対側の光学効果面5
から再び去ってゆく。光学効果面5に張りつけられた光
学減衰コート6は光ビーム2を減衰させる。その減衰量
は調節された回転角による。減衰コート6の減衰カー
ブは、回転角に対して、事実上0dBから20dBの範囲のい
かなる減衰量にも調節できるように展開している。
所望の減衰量への調節は制御モータMによって実行され
る。制御モータMは正確に所定の回転角だけフィルタ素
子1を回転させる位置をとる。モータMはマイクロプロ
セッサμPとプログラマブルROM PROMから構成されるモ
ータ制御装置MSによって制御される。
プリセレクタ・スイッチ7によって所望の減衰量をプリ
セットすると、マイクロプロセッサμPはPROMから対応
する回転角の値を読み出し、制御線8を介してモータM
を制御し、モータMが所望の減衰量に対する回転角を
設定する。
第2図は減衰コート6が張りつけられたフィルタ素子1
の光学効果面5を示す。回転角につれて変化する減衰コ
ート6の光学濃度はライン9によって図示されており、
角の増加につれて次第に密になっている。実際上減衰
コートは、少なくとも与えられた減衰量から先は一様な
層にみえる。この層は基板4上に蒸着により堆積され
る。上述の一実施例において、フィルタ素子1は平凸レ
ンズとして設計されたが、その他の多くの実施例の1つ
である。例えば、効果面3も曲面とすることが可能で、
それにより基板に生ずる多重反射が干渉により通過光ビ
ームに変調を生じさせるのを防ぐ。
〔発明の効果〕
上述の一実施例からも明らかなように、本発明の実施に
より、干渉により変調の生じない正確な光減衰が再現性
よく得られ、実用に供して有益である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光学フィルタの基本構造を示す図。第
2図は第1図の光学フィルタの軸対称フィルタ素子の正
面図。 1:フィルタ素子;2:入射光ビーム;3,5:光学効果面;4:基
板;6:減衰コート;7:プリセレクタ・スイッチ;8:制御線;
9:光学濃度ライン;M:制御モータ;μP:マイクロプロセ
ッサ;PROM;プログラマブルROM;MS:モータ制御装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−98540(JP,A) 特開 昭52−155545(JP,A) 実公 昭59−16881(JP,Y2)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】フィルタ素子(1)を有し、該フィルタ素
    子(1)の光学減衰量を制御して通過する光ビームに所
    望の減衰量を与える、以下の(イ)〜(ヘ)の特徴を備
    えた光学フィルタ。 (イ)前記フィルタ素子(1)は円板または環状で、回
    転軸のまわりに回転できる。 (ロ)減衰されるべき光ビーム(2)は前記回転軸から
    離れた位置で前記フィルタ素子(1)の対向して配置さ
    れた光学効果面を通過する。 (ハ)前記光学効果面(3,5)は少なくとも減衰される
    べき前記光ビーム(2)の領域で互いに傾斜し、前記フ
    ィルタ素子(1)の回転により前記光ビーム(2)の偏
    向を変えない。 (ニ)前記光学効果面の少なくとも一方(5)には、前
    記回転軸の回転角で決定される光学濃度を有する減衰コ
    ートが張りつけられている。 (ホ)前記フィルタ素子(1)は前記回転軸のまわりに
    制御モータ(M)によって回転され、前記回転角はモー
    タ制御装置(MS)によって調節される。 (ヘ)前記モータ制御装置(MS)は前記光ビーム(2)
    に前記所望の減衰量を与えるように校正された前記回転
    角の値を格納するプログラマブルROM(PROM)を有し、
    前記所望の減衰量を前記光ビーム(2)に与えるために
    前記回転角がPROMに格納された該値となるように調節す
    る。
JP62100935A 1986-04-23 1987-04-23 光学フィルタ Expired - Lifetime JPH06103368B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3613688.3 1986-04-23
DE19863613688 DE3613688A1 (de) 1986-04-23 1986-04-23 Optisches filter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62258415A JPS62258415A (ja) 1987-11-10
JPH06103368B2 true JPH06103368B2 (ja) 1994-12-14

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ID=6299310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62100935A Expired - Lifetime JPH06103368B2 (ja) 1986-04-23 1987-04-23 光学フィルタ

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US (1) US4925273A (ja)
JP (1) JPH06103368B2 (ja)
DE (1) DE3613688A1 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2656169B1 (fr) * 1989-12-15 1994-09-02 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'asservissement en puissance d'un laser.
JPH03125316U (ja) * 1990-03-30 1991-12-18
US5087122A (en) * 1990-08-13 1992-02-11 Laser Precision Corporation Adjustable attenuator for optical transmission system
EP0557542B1 (en) * 1992-02-25 1995-09-20 Hewlett-Packard GmbH Optical attenuator
US5329350A (en) * 1992-05-21 1994-07-12 Photon, Inc. Measuring laser beam parameters using non-distorting attenuation and multiple simultaneous samples
EP0775908A1 (en) 1995-11-21 1997-05-28 Advanced Biological Products Inc. Fluorescence quantization
US5838852A (en) * 1997-01-28 1998-11-17 Ko; Chun-Ming Adjustable optical power limiter
US6120190A (en) * 1997-11-26 2000-09-19 Lasertron, Inc. Spatially variable bandpass filter monitoring and feedback control of laser wavelength especially in wavelength division multiplexing communication systems
US6303937B1 (en) 1998-02-27 2001-10-16 Eastman Kodak Company Ceramic calibration filter
JP4827276B2 (ja) 1999-07-05 2011-11-30 株式会社半導体エネルギー研究所 レーザー照射装置、レーザー照射方法及び半導体装置の作製方法
TW494444B (en) * 1999-08-18 2002-07-11 Semiconductor Energy Lab Laser apparatus and laser annealing method
US6548370B1 (en) 1999-08-18 2003-04-15 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of crystallizing a semiconductor layer by applying laser irradiation that vary in energy to its top and bottom surfaces
US6246826B1 (en) * 1999-09-02 2001-06-12 Nortel Networks Limited Variable optical attenuator with profiled blade
US7078321B2 (en) 2000-06-19 2006-07-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and method of manufacturing the same
KR20020036934A (ko) * 2000-11-11 2002-05-17 이충국 가변형 광 감쇄기
US6717966B2 (en) * 2001-08-30 2004-04-06 Eastman Kodak Company Calibration focus position
GB2402751A (en) * 2003-06-10 2004-12-15 Xaar Technology Ltd Rotating attenuating structure for laser beam
CN105487223A (zh) * 2016-01-25 2016-04-13 武汉浩宏科技有限公司 一种能量衰减调节器

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US990303A (en) * 1910-10-29 1911-04-25 Henry M Shreiner Colored glass.
DE750941C (de) * 1941-12-28 1945-02-03 Verfahren zur Verminderung der Reflexion an Oberflaechen lichtdurchlaessiger Koerper
US3193687A (en) * 1962-05-04 1965-07-06 Edgerton Germeshausen & Grier Nonlinear electro-optical system
US3442572A (en) * 1964-08-25 1969-05-06 Optical Coating Laboratory Inc Circular variable filter
US3372282A (en) * 1965-04-29 1968-03-05 Aerojet General Co Color coding optical reticle
JPS4844279B1 (ja) * 1965-05-08 1973-12-24
US3538335A (en) * 1968-11-27 1970-11-03 Gen Electric Light intensity controller for photosensitive pickup tubes
DE2136299A1 (de) * 1971-07-20 1973-02-01 Siemens Ag Interferenzfilter
FR2181533B1 (ja) * 1972-04-27 1976-10-29 Comp Generale Electricite
GB1434304A (en) * 1973-05-16 1976-05-05 Ciba Geigy Ag Optical apparatus
US4093354A (en) * 1975-12-23 1978-06-06 Nasa Method and apparatus for splitting a beam of energy
JPS52155545A (en) * 1976-06-21 1977-12-24 Toray Industries Supersonic light deflector element
GB2027925B (en) * 1978-08-03 1983-01-19 Marconi Co Ltd Optical filters
FR2455751A1 (fr) * 1979-05-02 1980-11-28 Thomson Csf Systeme recepteur optoelectrique multispectral a haute dynamique
DE3041375A1 (de) * 1980-11-03 1982-06-09 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Optische filteranordnung mit interferenzfiltern
DE3223898C2 (de) * 1982-06-26 1984-04-19 Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart Einstellbares optisches Dämpfungsglied
JPS5916881U (ja) * 1982-07-22 1984-02-01 東レ株式会社 炭素繊維パツケ−ジの梱包体
US4560252A (en) * 1983-02-10 1985-12-24 Kei Mori Optical filter device

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Publication number Publication date
JPS62258415A (ja) 1987-11-10
DE3613688C2 (ja) 1988-12-29
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US4925273A (en) 1990-05-15

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