JPH06102425B2 - 搬送装置の方向変換装置 - Google Patents
搬送装置の方向変換装置Info
- Publication number
- JPH06102425B2 JPH06102425B2 JP2028879A JP2887990A JPH06102425B2 JP H06102425 B2 JPH06102425 B2 JP H06102425B2 JP 2028879 A JP2028879 A JP 2028879A JP 2887990 A JP2887990 A JP 2887990A JP H06102425 B2 JPH06102425 B2 JP H06102425B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cart
- rail
- conveyed
- rails
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、搬送装置の方向変換装置に関するものであ
る。
る。
第６図はこの種の方向変換装置の一例を示す図である。
同図（ａ）に示すようにこの方向変換装置82は、２本の
平行なレール80,81の途中に配置されている。
平行なレール80,81の途中に配置されている。
そしてこの方向変換装置82には２本のレール83,84が取
り付けられているが、このレール83,84はそれぞれ前記
レール80,81と一致するように配置されている。
り付けられているが、このレール83,84はそれぞれ前記
レール80,81と一致するように配置されている。
そして同図（ａ）に示すように、レール80上を移動する
カート上に載置された搬送対象物85が矢印Ｂ方向に搬送
されてレール83上まで移動すると、該レール83,84は矢
印Ａ方向にスライドし、同図（ｂ）に示すようにレール
83がレール81と一致する。
カート上に載置された搬送対象物85が矢印Ｂ方向に搬送
されてレール83上まで移動すると、該レール83,84は矢
印Ａ方向にスライドし、同図（ｂ）に示すようにレール
83がレール81と一致する。
そして同図（ｂ）に示すように、レール83上の搬送対象
物85は、レール81上を矢印Ｃ又はＣ′方向に搬送される
のである。
物85は、レール81上を矢印Ｃ又はＣ′方向に搬送される
のである。
ところでこの種の従来の方向変換装置82のレール83,84
のスライド機構等にはなんら非接触の配慮がなされてい
なかったため、各構成部材間の摺動によって発塵するな
どの問題があり、このためクリーンな環境下における方
向変換装置82の使用には一定の限界が存在していた。
のスライド機構等にはなんら非接触の配慮がなされてい
なかったため、各構成部材間の摺動によって発塵するな
どの問題があり、このためクリーンな環境下における方
向変換装置82の使用には一定の限界が存在していた。
本発明は上述の点に鑑みてなされたものであり、上記欠
点を除去するために装置全体を非接触式とした方向変換
装置を提供することにある。
点を除去するために装置全体を非接触式とした方向変換
装置を提供することにある。
上記問題点を解決するため本発明は、所定の位置から異
なる方向に向かって複数本のレール10,17,18が配置さ
れ、いずれかのレール10を走行するカート９上の搬送対
象物８を前記所定の位置で受け取り異なる方向に配置さ
れたレール17又は18を走行するカート上に渡す搬送装置
の方向変換装置において、前記カート９は磁気浮上リニ
アモータで前記レール10上を浮上走行せしめるととも
に、前記方向変換装置は回転軸20と該回転軸20に固定さ
れる回転板７と該回転板７に取り付けられいずれかのレ
ール10のカート９上の搬送対象物８を受け取り他方のレ
ール17又は18のカート上へ渡す搬送対象物受取部（座
部）21を有し、該回転軸20はその上下の位置に配置され
た２つのラジアル磁気軸受30,31と、スラスト磁気軸受3
2とにより非接触で回転自在に浮上支持されるととも
に、ステッピングモータ33により回転され、さらに前記
回転板７は前記２つのラジアル磁気軸受30,31の間に位
置せしめられるように構成した。
なる方向に向かって複数本のレール10,17,18が配置さ
れ、いずれかのレール10を走行するカート９上の搬送対
象物８を前記所定の位置で受け取り異なる方向に配置さ
れたレール17又は18を走行するカート上に渡す搬送装置
の方向変換装置において、前記カート９は磁気浮上リニ
アモータで前記レール10上を浮上走行せしめるととも
に、前記方向変換装置は回転軸20と該回転軸20に固定さ
れる回転板７と該回転板７に取り付けられいずれかのレ
ール10のカート９上の搬送対象物８を受け取り他方のレ
ール17又は18のカート上へ渡す搬送対象物受取部（座
部）21を有し、該回転軸20はその上下の位置に配置され
た２つのラジアル磁気軸受30,31と、スラスト磁気軸受3
2とにより非接触で回転自在に浮上支持されるととも
に、ステッピングモータ33により回転され、さらに前記
回転板７は前記２つのラジアル磁気軸受30,31の間に位
置せしめられるように構成した。
また本発明は、所定の位置から異なる方向に向かって複
数本のレール10,17,18が配置され、いずれかのレール10
を走行するカート９上の搬送対象物８を前記所定の位置
で受け取り異なる方向に配置されたレール17又は18を走
行するカート上に渡す搬送装置の方向変換装置におい
て、前記カート９は磁気浮上リニアモータで前記レール
10上を浮上走行せしめるとともに、前記方向変換装置は
回転軸20と該回転軸20に固定される回転板７と該回転板
７に取り付けられいずれかのレール10のカート９上の搬
送対象物８を受け取り他方のレール17又は18のカート上
へ渡す搬送対象物受取部（座部）21を有し、該回転軸20
はラジアル磁気軸受30,31及びスラスト磁気軸受32によ
り非接触で回転自在に浮上支持されるとともに、ステッ
ピングモータ33により回転され、さらにカート９上の搬
送対象物８を搬送対象物受取部21で受け渡す際にラジア
ル磁気軸受30,31又はスラスト磁気軸受32への励磁の程
度を変更することによって回転軸20の浮上量を大きくせ
しめる浮上量可変手段を設けて構成した。
数本のレール10,17,18が配置され、いずれかのレール10
を走行するカート９上の搬送対象物８を前記所定の位置
で受け取り異なる方向に配置されたレール17又は18を走
行するカート上に渡す搬送装置の方向変換装置におい
て、前記カート９は磁気浮上リニアモータで前記レール
10上を浮上走行せしめるとともに、前記方向変換装置は
回転軸20と該回転軸20に固定される回転板７と該回転板
７に取り付けられいずれかのレール10のカート９上の搬
送対象物８を受け取り他方のレール17又は18のカート上
へ渡す搬送対象物受取部（座部）21を有し、該回転軸20
はラジアル磁気軸受30,31及びスラスト磁気軸受32によ
り非接触で回転自在に浮上支持されるとともに、ステッ
ピングモータ33により回転され、さらにカート９上の搬
送対象物８を搬送対象物受取部21で受け渡す際にラジア
ル磁気軸受30,31又はスラスト磁気軸受32への励磁の程
度を変更することによって回転軸20の浮上量を大きくせ
しめる浮上量可変手段を設けて構成した。
上記の如く方向変換装置を構成することにより、回転軸
20はラジアル磁気軸受30,31とスラスト磁気軸受32によ
って非接触の状態で浮上し、ステッピングモータ33によ
って回転される。またカート９も非接触の状態でレール
10上に浮上して移動する。
20はラジアル磁気軸受30,31とスラスト磁気軸受32によ
って非接触の状態で浮上し、ステッピングモータ33によ
って回転される。またカート９も非接触の状態でレール
10上に浮上して移動する。
このため部品の摺動による発塵の問題が解決でき、クリ
ーンな空間が実現できる。また部品の摺動による磨耗部
や潤滑部がなくなったため、メンテナンスフリーが実現
できる。また方向変換装置を回転式としたので、任意角
度方向への方向変換が可能となる。
ーンな空間が実現できる。また部品の摺動による磨耗部
や潤滑部がなくなったため、メンテナンスフリーが実現
できる。また方向変換装置を回転式としたので、任意角
度方向への方向変換が可能となる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図は本実施例の方向変換装置を示す側面図であり、
第２図は回転板７を上から見たときの該回転板７と３本
のレール10,17,18の配置関係を示す図である。
第２図は回転板７を上から見たときの該回転板７と３本
のレール10,17,18の配置関係を示す図である。
第１図に示すようにこの方向変換装置は、回転軸20と該
回転軸20に固定される円板上の回転板７とを具備し、前
記回転軸20には２つのラジアル磁気軸受30,31及びスラ
スト磁気軸受32を設けるとともにステッピングモータ33
を設け、前記回転板７には搬送対象物８を受け取る座部
21からなる搬送対象物受取部を取り付けて構成されてい
る。
回転軸20に固定される円板上の回転板７とを具備し、前
記回転軸20には２つのラジアル磁気軸受30,31及びスラ
スト磁気軸受32を設けるとともにステッピングモータ33
を設け、前記回転板７には搬送対象物８を受け取る座部
21からなる搬送対象物受取部を取り付けて構成されてい
る。
以下各構成部品を説明する。
第１のラジアル磁気軸受30は、回転板７の上方に位置
し、回転軸20に固定したコア１とその外周部に配置され
たコイル４によって構成されている。
し、回転軸20に固定したコア１とその外周部に配置され
たコイル４によって構成されている。
第２のラジアル磁気軸受31は、回転板７の下方に位置
し、回転軸20に固定したコア14とその外周部に配置され
たコイル13によって構成されている。
し、回転軸20に固定したコア14とその外周部に配置され
たコイル13によって構成されている。
スラスト磁気軸受32は、回転軸20の上端に固定された磁
石２と、該磁石２の下側に配置された磁石３によって構
成されている。
石２と、該磁石２の下側に配置された磁石３によって構
成されている。
ステッピングモータ33は、回転軸20の下端に固定された
コア16とその外周に配置医されたコイル15によって構成
されている。
コア16とその外周に配置医されたコイル15によって構成
されている。
また回転軸20の第１のラジアル磁気軸受30の近傍はター
ゲット６が固定されその外周にはセンサ５が配置されて
おり、これらによって回転軸20のラジアル方向の位置が
検出される。
ゲット６が固定されその外周にはセンサ５が配置されて
おり、これらによって回転軸20のラジアル方向の位置が
検出される。
また回転軸20の第２のラジアル磁気軸受31の近傍にもタ
ーゲット11が固定されその外周にはセンサ12が配置され
ており、これらによって回転軸20のラジアル方向の位置
が検出される。
ーゲット11が固定されその外周にはセンサ12が配置され
ており、これらによって回転軸20のラジアル方向の位置
が検出される。
一方搬送対象物受取部である座部21は前記回転板７の下
面に取り付けられている。
面に取り付けられている。
第３図はこの座部21を第１図の右方向から見たときの該
座部21と搬送対象物８の係合関係を示す図である。
座部21と搬送対象物８の係合関係を示す図である。
同図に示すように座部21は、断面Ｌ字状の２枚の板で構
成されている。
成されている。
次にレール10にはカート９が取り付けられている。この
カート９はレール10から浮上した状態で該レール10に沿
って走行する、いわゆる磁気浮上リニアモータ方式を用
いている。
カート９はレール10から浮上した状態で該レール10に沿
って走行する、いわゆる磁気浮上リニアモータ方式を用
いている。
なお第２図に示すように、この方向変換装置の回転軸20
の周囲には、レール10以外に該レール10に直交する方向
に２本のレール17,18が配設されている。
の周囲には、レール10以外に該レール10に直交する方向
に２本のレール17,18が配設されている。
次にこの方向変換装置の動作について説明する。
まず回転軸20は磁石２と磁石３の反発力によりスラスト
方向に浮上している。
方向に浮上している。
また該回転軸20は第１のラジアル磁気軸受30と第２のラ
ジアル磁気軸受31よってラジアル方向も非接触となって
いる。
ジアル磁気軸受31よってラジアル方向も非接触となって
いる。
なおセンサ5,12で検出された信号によってラジアル磁気
軸受30,31のコイル4,13が励磁され、これによって回転
軸20の位置が所定の位置となるように制御されている。
軸受30,31のコイル4,13が励磁され、これによって回転
軸20の位置が所定の位置となるように制御されている。
次に搬送対象物８を載置したカート９が、レール10上を
浮上したまま矢印Ａ方向に移送されてくる。
浮上したまま矢印Ａ方向に移送されてくる。
そして回転板７の近くになるとカート９は減速した後、
座部21の真下の目標位置（方向変換位置）に停止する。
このとき第３図に示すように、カート９上の搬送対象物
８に設けた突起81,81はこの座部21を構成する２枚の板
の先端の上に位置する。
座部21の真下の目標位置（方向変換位置）に停止する。
このとき第３図に示すように、カート９上の搬送対象物
８に設けた突起81,81はこの座部21を構成する２枚の板
の先端の上に位置する。
この状態でカート９のレール10からの浮上量を少なくす
るとともに、回転軸20の浮上量を大きくすると、搬送対
象物８は座部21の先端上に乗る。なお回転軸20の浮上量
を大きくする手段（浮上量可変手段）としては、前記ラ
ジアル磁気軸受30,31のコイル4,13を励磁することによ
ってコア1,14を上方向に引き上げるような構成とした
り、前記スラスト磁器軸受32を電磁石で構成して該電磁
石の励磁の程度を変更して回転軸20の浮上量を大きくし
たりすればよい。
るとともに、回転軸20の浮上量を大きくすると、搬送対
象物８は座部21の先端上に乗る。なお回転軸20の浮上量
を大きくする手段（浮上量可変手段）としては、前記ラ
ジアル磁気軸受30,31のコイル4,13を励磁することによ
ってコア1,14を上方向に引き上げるような構成とした
り、前記スラスト磁器軸受32を電磁石で構成して該電磁
石の励磁の程度を変更して回転軸20の浮上量を大きくし
たりすればよい。
そしてカート９は任意方向に走行し去る。
次に回転板７はステッピングモータによって第２図に示
す矢印Ｂ方向に90゜回転して、前記搬送対象物８をレー
ル17上に待機しているカート（図示せず）上に載置す
る。
す矢印Ｂ方向に90゜回転して、前記搬送対象物８をレー
ル17上に待機しているカート（図示せず）上に載置す
る。
これによって搬送対象物８の搬送方向を変換できるので
ある。
ある。
なお回転板７を反対方向に90゜回転させれば、搬送対象
物８はレール18上のカート上に載置できる。
物８はレール18上のカート上に載置できる。
ところで第２図に示すように、レール10と同一方向にレ
ール22を取り付けてもよい。このようにレール22を取り
付ければ、レール10によって搬送されてきた搬送対象物
８の前後を180゜回転してレール22上を搬送させていく
ことができる。
ール22を取り付けてもよい。このようにレール22を取り
付ければ、レール10によって搬送されてきた搬送対象物
８の前後を180゜回転してレール22上を搬送させていく
ことができる。
第４図，第５図はさらに他のレールの配置構造を示す図
である。
である。
第４図に示すように、レール40と該レール40に対して直
角方向に平行な２本のレール41,42間でも搬送対象物８
の方向変換が可能であり、また第５図に示すように、平
行な２本のレール43,44間でも搬送対象物８の方向変換
が可能である。
角方向に平行な２本のレール41,42間でも搬送対象物８
の方向変換が可能であり、また第５図に示すように、平
行な２本のレール43,44間でも搬送対象物８の方向変換
が可能である。
またレールの配置は必ずしも直交方向とする必要はな
く、任意の所定角度方向に配置してもよい。
く、任意の所定角度方向に配置してもよい。
以上詳細に説明したように、本発明に係る方向変換装置
によれば、磁気浮上方式を採用して装置全体を非接触と
したので、部品の摺動による発塵の問題が解決でき、ク
リーンな空間が実現できた。
によれば、磁気浮上方式を採用して装置全体を非接触と
したので、部品の摺動による発塵の問題が解決でき、ク
リーンな空間が実現できた。
また部品の摺動による磨耗部や潤滑部がなくなったた
め、メンテナンスフリーが実現できた。
め、メンテナンスフリーが実現できた。
また方向変換装置を回転式としたので、任意角度方向へ
の方向変換が可能となった。
の方向変換が可能となった。
また回転板には搬送対象物受取部が設けられており、該
搬送対象物受取部が搬送対象物を受け取った場合、回転
軸にはこれを傾かせようとする力が加わるが、本発明に
よれば、回転軸を支持する２つのラジアル磁気軸受の間
の位置に回転板を取り付けたので、該回転軸は確実に非
接触状態で保持でき、該回転軸の回転がスムーズに行え
る。
搬送対象物受取部が搬送対象物を受け取った場合、回転
軸にはこれを傾かせようとする力が加わるが、本発明に
よれば、回転軸を支持する２つのラジアル磁気軸受の間
の位置に回転板を取り付けたので、該回転軸は確実に非
接触状態で保持でき、該回転軸の回転がスムーズに行え
る。
また本発明によれば、回転軸の浮上量を大きくせしめる
浮上量可変手段を設けたので、カート上の搬送対象物を
回転板に設けた搬送対象物受取部に受け渡す作業がスム
ーズに行える。
浮上量可変手段を設けたので、カート上の搬送対象物を
回転板に設けた搬送対象物受取部に受け渡す作業がスム
ーズに行える。
第１図は本発明の一実施例の方向変換装置を示す側面
図、第２図は回転板７を上から見たときの該回転板７と
３本のレール10,17,18の配置関係を示す図、第３図は該
座部21と搬送対象物８の係合関係を示す図、第４図，第
５図は他のレールの配置構造を示す図、第６図は従来の
方向変換装置の一例を示す図である。 図中、７……回転板、８……搬送対象物、９……カー
ト、10……レール、20……回転軸、30……第１のラジア
ル磁気軸受、31……第２のラジアル磁気軸受、32……ス
ラスト磁気軸受、33……ステッピングモータ、である。
図、第２図は回転板７を上から見たときの該回転板７と
３本のレール10,17,18の配置関係を示す図、第３図は該
座部21と搬送対象物８の係合関係を示す図、第４図，第
５図は他のレールの配置構造を示す図、第６図は従来の
方向変換装置の一例を示す図である。 図中、７……回転板、８……搬送対象物、９……カー
ト、10……レール、20……回転軸、30……第１のラジア
ル磁気軸受、31……第２のラジアル磁気軸受、32……ス
ラスト磁気軸受、33……ステッピングモータ、である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ１６Ｃ 32/04 Ｚ
Claims (2)
- 【請求項１】所定の位置から異なる方向に向かって複数
本のレールが配置され、いずれかのレールを走行するカ
ート上の搬送対象物を前記所定の位置で受け取り異なる
方向に配置されたレールを走行するカート上に渡す搬送
装置の方向変換装置において、 前記カートは磁気浮上リニアモータで前記レール上を浮
上走行せしめるとともに、 前記方向変換装置は、回転軸と該回転軸に固定される回
転板と該回転板に取り付けられいずれかのレールのカー
ト上の搬送対象物を受け取り他方のレールのカート上へ
渡す搬送対象物受取部を有し、該回転軸はその上下の位
置に配置された２つのラジアル磁気軸受と、スラスト磁
気軸受とにより非接触で回転自在に浮上支持されるとと
もに、ステッピングモータにより回転され、さらに前記
回転板は前記２つのラジアル磁気軸受の間に位置せしめ
られていることを特徴とする搬送装置の方向変換装置。 - 【請求項２】所定の位置から異なる方向に向かって複数
本のレールが配置され、いずれかのレールを走行するカ
ート上の搬送対象物を前記所定の位置で受け取り異なる
方向に配置されたレールを走行するカート上に渡す搬送
装置の方向変換装置において、 前記カートは磁気浮上リニアモータで前記レール上を浮
上走行せしめるとともに、 前記方向変換装置は、回転軸と該回転軸に固定される回
転板と該回転板に取り付けられいずれかのレールのカー
ト上の搬送対象物を受け取り他方のレールのカート上へ
渡す搬送対象物受取部を有し、該回転軸はラジアル磁気
軸受及びスラスト磁気軸受により非接触で回転自在に浮
上支持されるとともに、ステッピングモータにより回転
され、 さらにカート上の搬送対象物を搬送対象物受取部で受け
渡す際にラジアル磁気軸受又はスラスト磁気軸受への励
磁の程度を変更することによって回転軸の浮上量を大き
くせしめる浮上量可変手段を設けたことを特徴とする搬
送装置の方向変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2028879A JPH06102425B2 (ja) | 1990-02-08 | 1990-02-08 | 搬送装置の方向変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2028879A JPH06102425B2 (ja) | 1990-02-08 | 1990-02-08 | 搬送装置の方向変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03235758A JPH03235758A (ja) | 1991-10-21 |
| JPH06102425B2 true JPH06102425B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=12260679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2028879A Expired - Lifetime JPH06102425B2 (ja) | 1990-02-08 | 1990-02-08 | 搬送装置の方向変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06102425B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102017012075A1 (de) * | 2016-12-31 | 2018-07-05 | Günther Zimmer | Bearbeitungsstation |
| DE102017012077B4 (de) * | 2016-12-31 | 2024-04-18 | Günther Zimmer | Transportsystem mit selbstfahrenden Werkstückwagen |
| CN113104524B (zh) * | 2021-05-20 | 2022-12-06 | 江苏达实久信医疗科技有限公司 | 一种医用物流小车转轨装置及其控制方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5969522A (ja) * | 1982-09-21 | 1984-04-19 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 磁気軸受装置 |
| JPS61171659A (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-02 | 株式会社日立製作所 | 回動位置決め駆動機構 |
-
1990
- 1990-02-08 JP JP2028879A patent/JPH06102425B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03235758A (ja) | 1991-10-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63157602A (ja) | 磁気浮上式搬送システム | |
| JPH0687603B2 (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| KR960010485A (ko) | 자기 부상 반송장치 | |
| JPH06102425B2 (ja) | 搬送装置の方向変換装置 | |
| WO2018139098A1 (ja) | 物品移載装置 | |
| JP2003500991A (ja) | 複合磁気により支持されたキャリッジ搬送装置 | |
| JP7397397B2 (ja) | 昇降搬送装置 | |
| JPH03223021A (ja) | 特殊環境下で用いられる搬送装置 | |
| JPH04365722A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| KR20140087739A (ko) | 방향 전환 기능을 갖는 자기부상 반송 장치 | |
| JP6742522B2 (ja) | 搬送路切替装置及びエレベータ装置 | |
| JPH0741992B2 (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JP3015566B2 (ja) | 交流磁気浮上搬送装置 | |
| JPH0624559A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS60160367A (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPH0684213B2 (ja) | リニアモ−タ−駆動の仕分け用搬送装置 | |
| JPS62264846A (ja) | 無接触推進装置 | |
| JP7325690B1 (ja) | リニア搬送装置 | |
| JP3393660B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JP2528677B2 (ja) | 磁気浮上型搬送装置 | |
| JPH0880703A (ja) | 旋回車輪を装備した台車 | |
| JPH04222402A (ja) | 磁気浮上式搬送装置およびその分岐機構 | |
| JPS63202204A (ja) | 磁気浮上型搬送装置 | |
| JPH01126113A (ja) | 磁気浮上搬送装置におけるマグネット懸架装置 | |
| JPH03124623A (ja) | 搬送装置に於ける搬送路の分岐装置 |