JPH0599651A - 三次元測定機 - Google Patents
三次元測定機Info
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- JPH0599651A JPH0599651A JP3256692A JP25669291A JPH0599651A JP H0599651 A JPH0599651 A JP H0599651A JP 3256692 A JP3256692 A JP 3256692A JP 25669291 A JP25669291 A JP 25669291A JP H0599651 A JPH0599651 A JP H0599651A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- piezoelectric element
- bridge structure
- legs
- carriage
- Prior art date
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ軸キャリッジ４の移動に伴って変わるブリ
ッジ構造体３の角度姿勢が一定になるように補正する。 【構成】 ブリッジ構造体３の一方の脚に圧電素子９を
設け、Ｘ軸ビーム３Ｂに設けられたＸ軸キャリッジ４の
座標を測定するための座標測定装置７ａ、７ｂと、その
座標値に応じた電圧を圧電素子９に出力するコントロー
ラ８とを設置し、Ｘ軸キャリッジ４の移動に伴って変わ
るブリッジ構造体３の角度姿勢が常に一定になるように
する。
ッジ構造体３の角度姿勢が一定になるように補正する。 【構成】 ブリッジ構造体３の一方の脚に圧電素子９を
設け、Ｘ軸ビーム３Ｂに設けられたＸ軸キャリッジ４の
座標を測定するための座標測定装置７ａ、７ｂと、その
座標値に応じた電圧を圧電素子９に出力するコントロー
ラ８とを設置し、Ｘ軸キャリッジ４の移動に伴って変わ
るブリッジ構造体３の角度姿勢が常に一定になるように
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、三次元測定機に関し、
特にブリッジ構造体の角度姿勢を補正した三次元測定機
に関するものである。
特にブリッジ構造体の角度姿勢を補正した三次元測定機
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の三次元測定機は図２のように構成
されている。図２において、Ｙ軸方向ガイド２が定盤１
上に固設され、Ｙ軸方向ガイド２に沿ってＹ軸方向（紙
面垂直方向）に移動するブリッジ構造体３が案内されて
いる。ブリッジ構造体３は、エアガイドａ、ｂ、ｄ（不
図示だがＹ軸方向ガイド２に対して前後２組配置されて
いる。）を有したガイド側脚３Ａと、エアガイドｃを有
したサポート側脚３Ｃと、ガイド側脚３Ａとサポート側
脚３Ｃとを上方で接続するＸ軸ビーム３Ｂとから構成さ
れている。ブリッジ構造体３のＸ軸ビーム３Ｂは、Ｘ軸
ビーム３Ｂを案内面として、Ｘ方向（紙面左右方向）に
移動するＸ軸キャリッジ４を案内している。Ｘ軸キャリ
ッジ４はＺ軸方向（紙面上下方向）に移動するＺ軸スピ
ンドル５を有し、Ｚ軸スピンドル５の下方先端には測定
子プローブ６を備える構成であった。
されている。図２において、Ｙ軸方向ガイド２が定盤１
上に固設され、Ｙ軸方向ガイド２に沿ってＹ軸方向（紙
面垂直方向）に移動するブリッジ構造体３が案内されて
いる。ブリッジ構造体３は、エアガイドａ、ｂ、ｄ（不
図示だがＹ軸方向ガイド２に対して前後２組配置されて
いる。）を有したガイド側脚３Ａと、エアガイドｃを有
したサポート側脚３Ｃと、ガイド側脚３Ａとサポート側
脚３Ｃとを上方で接続するＸ軸ビーム３Ｂとから構成さ
れている。ブリッジ構造体３のＸ軸ビーム３Ｂは、Ｘ軸
ビーム３Ｂを案内面として、Ｘ方向（紙面左右方向）に
移動するＸ軸キャリッジ４を案内している。Ｘ軸キャリ
ッジ４はＺ軸方向（紙面上下方向）に移動するＺ軸スピ
ンドル５を有し、Ｚ軸スピンドル５の下方先端には測定
子プローブ６を備える構成であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術における三
次元測定機の問題点を図３、図４に基づいて説明する。
従来のブリッジ移動型三次元測定機は、測定子プローブ
６を有するＺ軸スピンドル５を備えたＸ軸キャリッジ４
が、ブリッジ構造体３のＸ軸ビーム３Ｂに案内される構
造である。Ｘ軸キャリッジ４がＸ軸ビーム３Ｂの中心に
あるときを基準に考え、図３の如くＸ軸キャリッジ４が
サポート側脚３Ｃ付近にあるときはＸ軸キャリッジ４の
重量でエアガイドｃに掛かる荷重が増加する。
次元測定機の問題点を図３、図４に基づいて説明する。
従来のブリッジ移動型三次元測定機は、測定子プローブ
６を有するＺ軸スピンドル５を備えたＸ軸キャリッジ４
が、ブリッジ構造体３のＸ軸ビーム３Ｂに案内される構
造である。Ｘ軸キャリッジ４がＸ軸ビーム３Ｂの中心に
あるときを基準に考え、図３の如くＸ軸キャリッジ４が
サポート側脚３Ｃ付近にあるときはＸ軸キャリッジ４の
重量でエアガイドｃに掛かる荷重が増加する。
【０００４】一方、図４の如くＸ軸キャリッジ４がガイ
ド側脚３Ａ付近にあるときはエアガイドｃに掛かる荷重
は減少する。エアガイドの浮上量（クリアランス）は、
エアガイドの剛性が一定と見なせる領域においては、負
荷荷重の変化量に反比例するため図３、図４に示される
様に、ブリッジ構造体３はＸ軸キャリッジ４のＸ軸方向
位置に依存してＹ軸回りのローリング現象を生じてい
た。
ド側脚３Ａ付近にあるときはエアガイドｃに掛かる荷重
は減少する。エアガイドの浮上量（クリアランス）は、
エアガイドの剛性が一定と見なせる領域においては、負
荷荷重の変化量に反比例するため図３、図４に示される
様に、ブリッジ構造体３はＸ軸キャリッジ４のＸ軸方向
位置に依存してＹ軸回りのローリング現象を生じてい
た。
【０００５】この結果として、Ｘ軸キャリッジ４のＸ軸
方向位置に応じてブリッジ構造体３の角度姿勢が変化す
るという問題点があった。なお、上記ローリング現象が
生じてもエアガイドｂのエアパッドおよびエアガイドｄ
のエアパッドとガイド側脚３Ａとの間に鋼球を係合し
て、両エアガイドｂ、ｄのエアパッドに対してガイド側
脚３Ａが回転できるようにすることにより、両エアガイ
ドｂ、ｄとＹ軸方向ガイドとのエアギャップ間隔は変化
しない。
方向位置に応じてブリッジ構造体３の角度姿勢が変化す
るという問題点があった。なお、上記ローリング現象が
生じてもエアガイドｂのエアパッドおよびエアガイドｄ
のエアパッドとガイド側脚３Ａとの間に鋼球を係合し
て、両エアガイドｂ、ｄのエアパッドに対してガイド側
脚３Ａが回転できるようにすることにより、両エアガイ
ドｂ、ｄとＹ軸方向ガイドとのエアギャップ間隔は変化
しない。
【０００６】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたも
ので、ブリッジ移動型３次元測定機において、Ｘ軸キャ
リッジ４の移動に伴う偏荷重に起因したブリッジ構造体
の角度姿勢をＸ軸キャリッジ４の位置に関係なく常に一
定の角度姿勢に保つことを目的とする。
ので、ブリッジ移動型３次元測定機において、Ｘ軸キャ
リッジ４の移動に伴う偏荷重に起因したブリッジ構造体
の角度姿勢をＸ軸キャリッジ４の位置に関係なく常に一
定の角度姿勢に保つことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１における本発明
は、Ｘ軸キャリッジ４の移動に伴って変化する前記ブリ
ッジ構造体３の角度姿勢を補正するために前記２つの脚
の少なくとも一方の脚に圧電素子９を設け、Ｘ軸キャリ
ッジ４のＸ方向位置を検出し、その位置に応じた信号を
出力する位置検出手段７ａ、７ｂと、位置検出手段７ｂ
から出力される信号を入力し、Ｘ軸キャリッジ４の位置
にかかわらず、常にブリッジ構造体３の角度姿勢を一定
にする電圧を圧電素子９に出力する制御手段８を設置し
たものである。
は、Ｘ軸キャリッジ４の移動に伴って変化する前記ブリ
ッジ構造体３の角度姿勢を補正するために前記２つの脚
の少なくとも一方の脚に圧電素子９を設け、Ｘ軸キャリ
ッジ４のＸ方向位置を検出し、その位置に応じた信号を
出力する位置検出手段７ａ、７ｂと、位置検出手段７ｂ
から出力される信号を入力し、Ｘ軸キャリッジ４の位置
にかかわらず、常にブリッジ構造体３の角度姿勢を一定
にする電圧を圧電素子９に出力する制御手段８を設置し
たものである。
【０００８】請求項２における本発明は、Ｚ軸スピンド
ル５に設けた測定子プローブ６のＸ座標を測定するため
にＸ軸キャリッジ４とＸ軸ビーム３Ｂとの間に設けた座
標測定装置７ａを兼用したものである。請求項３におけ
る本発明は、ブリッジ構造体３の２つの脚の一方は定盤
１に設けたＹ軸方向ガイドによって案内され、圧電素子
９は２つの脚の他方に配置したものである。
ル５に設けた測定子プローブ６のＸ座標を測定するため
にＸ軸キャリッジ４とＸ軸ビーム３Ｂとの間に設けた座
標測定装置７ａを兼用したものである。請求項３におけ
る本発明は、ブリッジ構造体３の２つの脚の一方は定盤
１に設けたＹ軸方向ガイドによって案内され、圧電素子
９は２つの脚の他方に配置したものである。
【０００９】請求項４における本発明は、圧電素子９を
２つの脚の少なくとも一方の脚とエアガイドｃのエアパ
ッドとの間に設けたものである。
２つの脚の少なくとも一方の脚とエアガイドｃのエアパ
ッドとの間に設けたものである。
【００１０】
【作用】上記の構成によれば、Ｘ軸キャリッジ４がＸ軸
ビーム３Ｂの中央にあるときを基準に考えると、Ｘ軸キ
ャリッジ４を中央からガイド側脚３Ａに移動したときＸ
軸キャリッジ４の重量は次第にガイド側脚３Ａに設けら
れているエアガイドａに掛かるようになるため、エアガ
イドｃの浮上量は増加しようとし、エアガイドａの浮上
量は減少しようとする。このとき制御手段８により圧電
素子９に出力される電圧を次第に下げ、圧電素子９を縮
めることによってブリッジ構造体３の姿勢を一定に保つ
ことができる。これとは逆にＸ軸キャリッジ４をサポー
ト側脚へ移動させる場合は、制御手段８より圧電素子９
に出力される電圧を次第に高めて圧電素子９を伸ばすこ
とによってブリッジ構造体３の角度姿勢を一定に保つこ
とができる。
ビーム３Ｂの中央にあるときを基準に考えると、Ｘ軸キ
ャリッジ４を中央からガイド側脚３Ａに移動したときＸ
軸キャリッジ４の重量は次第にガイド側脚３Ａに設けら
れているエアガイドａに掛かるようになるため、エアガ
イドｃの浮上量は増加しようとし、エアガイドａの浮上
量は減少しようとする。このとき制御手段８により圧電
素子９に出力される電圧を次第に下げ、圧電素子９を縮
めることによってブリッジ構造体３の姿勢を一定に保つ
ことができる。これとは逆にＸ軸キャリッジ４をサポー
ト側脚へ移動させる場合は、制御手段８より圧電素子９
に出力される電圧を次第に高めて圧電素子９を伸ばすこ
とによってブリッジ構造体３の角度姿勢を一定に保つこ
とができる。
【００１１】以上のような構成で、Ｘ軸キャリッジ４の
移動に伴って変化するブリッジ構造体３の角度姿勢が一
定になるように圧電素子９の伸縮によって補正すること
ができる。
移動に伴って変化するブリッジ構造体３の角度姿勢が一
定になるように圧電素子９の伸縮によって補正すること
ができる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の実施例である。定盤１上には
Ｙ軸方向ガイド２が固設され、Ｙ軸方向ガイド２に沿っ
て移動可能なブリッジ構造体３が設置されている。ブリ
ッジ構造体３はエアガイドａ、ｂ、ｄ（不図示だがＹ軸
方向ガイド２に対して２組配置される。）を有したガイ
ド側脚３Ａと、エアガイドｃを有したサポート側脚３Ｃ
と、ガイド側脚３Ａとサポート側脚３Ｃとを上方で接続
するＸ軸ビーム３Ｂとから構成され、Ｙ軸方向ガイド２
および定盤１を案内面としてＹ軸方向（紙面垂直方向）
に移動可能である。ブリッジ構造体３には、Ｘ軸ビーム
３Ｂを案内としてＸ軸方向（紙面左右方向）に移動可能
なＸ軸キャリッジ４が備わっている。また、Ｘ軸キャリ
ッジ４にはＺ軸方向（紙面上下方向）に移動可能なＺ軸
スピンドル５を有し、Ｚ軸スピンドル５の下端には測定
子プローブ６を具備している。
Ｙ軸方向ガイド２が固設され、Ｙ軸方向ガイド２に沿っ
て移動可能なブリッジ構造体３が設置されている。ブリ
ッジ構造体３はエアガイドａ、ｂ、ｄ（不図示だがＹ軸
方向ガイド２に対して２組配置される。）を有したガイ
ド側脚３Ａと、エアガイドｃを有したサポート側脚３Ｃ
と、ガイド側脚３Ａとサポート側脚３Ｃとを上方で接続
するＸ軸ビーム３Ｂとから構成され、Ｙ軸方向ガイド２
および定盤１を案内面としてＹ軸方向（紙面垂直方向）
に移動可能である。ブリッジ構造体３には、Ｘ軸ビーム
３Ｂを案内としてＸ軸方向（紙面左右方向）に移動可能
なＸ軸キャリッジ４が備わっている。また、Ｘ軸キャリ
ッジ４にはＺ軸方向（紙面上下方向）に移動可能なＺ軸
スピンドル５を有し、Ｚ軸スピンドル５の下端には測定
子プローブ６を具備している。
【００１３】ブリッジ構造体３のＸ軸ビーム３ＢにはＸ
軸スケール７ａが設置され、Ｘ軸スケール７ａを走査す
る目盛検出器７ｂがＸ軸キャリッジ４に取り付けられて
いる。Ｘ軸スケール７ａの目盛りはＸ軸キャリッジ４の
目盛検出器７ｂによって読み取られて信号化され、その
検出された信号は信号線１０を通ってコントローラ８に
入力される。コントローラ８は、Ｘ軸キャリッジ４がＸ
軸ビーム３Ｂの中央にあるときを原点とするＸ軸座標に
対応した電圧を出力する。サポート側脚３Ｃの下端には
圧電素子９が配設され、圧電素子９を介してエアガイド
ｃのエアパッドが設置されている。コントローラ８から
Ｘ軸座標に対応した電圧は圧電素子９に出力される。
軸スケール７ａが設置され、Ｘ軸スケール７ａを走査す
る目盛検出器７ｂがＸ軸キャリッジ４に取り付けられて
いる。Ｘ軸スケール７ａの目盛りはＸ軸キャリッジ４の
目盛検出器７ｂによって読み取られて信号化され、その
検出された信号は信号線１０を通ってコントローラ８に
入力される。コントローラ８は、Ｘ軸キャリッジ４がＸ
軸ビーム３Ｂの中央にあるときを原点とするＸ軸座標に
対応した電圧を出力する。サポート側脚３Ｃの下端には
圧電素子９が配設され、圧電素子９を介してエアガイド
ｃのエアパッドが設置されている。コントローラ８から
Ｘ軸座標に対応した電圧は圧電素子９に出力される。
【００１４】以上の構成において、Ｘ軸キャリッジ４が
Ｘ軸ビーム３Ｂの中央にあるときを基準に考えると、図
５に示すようにＸ軸キャリッジ４を中央からガイド側脚
３Ａ方向（以下、この方向を正方向とする。）に移動し
たときＸ軸キャリッジ４の重量は次第にガイド側脚３Ａ
に設けられているエアガイドａに掛かるようになるた
め、エアガイドｃの浮上量は増加しようとし、エアガイ
ドａの浮上量は減少しようとする。このときＸ軸キャリ
ッジ４の目盛検出器７ｂからの信号によって、コントロ
ーラ８が圧電素子９にＸ軸キャリッジ４の中央から正方
向へのずれに応じて制御電圧を出力する。その結果、増
加したエアガイドｃの浮上量分だけ圧電素子９が縮まり
ブリッジ構造体３の角度姿勢は一定に保たれる。これと
は逆に、図６に示すようにＸ軸キャリッジ４がＸ軸ビー
ム３Ｂの中央からサポート側脚３Ｃ方向（以下、この方
向を負方向とする。）に移動する場合、Ｘ軸キャリッジ
４の目盛検出器７ｂからの信号によって、コントローラ
８が圧電素子９にＸ軸キャリッジ４の中央から負方向へ
のずれに応じて制御電圧を出力し、減少したエアガイド
ｃの浮上量分だけ圧電素子９を伸ばす。 以上のよう
に、Ｘ軸キャリッジ４のＸ方向位置に応じてコントロー
ラ８が圧電素子９にＸ軸座標に対応した電圧を出力する
ので、定盤１とエアガイドｃのエアギャップがＸ軸キャ
リッジの移動に伴って変化しても、ブリッジ構造体３の
角度姿勢を一定に保つことができる。
Ｘ軸ビーム３Ｂの中央にあるときを基準に考えると、図
５に示すようにＸ軸キャリッジ４を中央からガイド側脚
３Ａ方向（以下、この方向を正方向とする。）に移動し
たときＸ軸キャリッジ４の重量は次第にガイド側脚３Ａ
に設けられているエアガイドａに掛かるようになるた
め、エアガイドｃの浮上量は増加しようとし、エアガイ
ドａの浮上量は減少しようとする。このときＸ軸キャリ
ッジ４の目盛検出器７ｂからの信号によって、コントロ
ーラ８が圧電素子９にＸ軸キャリッジ４の中央から正方
向へのずれに応じて制御電圧を出力する。その結果、増
加したエアガイドｃの浮上量分だけ圧電素子９が縮まり
ブリッジ構造体３の角度姿勢は一定に保たれる。これと
は逆に、図６に示すようにＸ軸キャリッジ４がＸ軸ビー
ム３Ｂの中央からサポート側脚３Ｃ方向（以下、この方
向を負方向とする。）に移動する場合、Ｘ軸キャリッジ
４の目盛検出器７ｂからの信号によって、コントローラ
８が圧電素子９にＸ軸キャリッジ４の中央から負方向へ
のずれに応じて制御電圧を出力し、減少したエアガイド
ｃの浮上量分だけ圧電素子９を伸ばす。 以上のよう
に、Ｘ軸キャリッジ４のＸ方向位置に応じてコントロー
ラ８が圧電素子９にＸ軸座標に対応した電圧を出力する
ので、定盤１とエアガイドｃのエアギャップがＸ軸キャ
リッジの移動に伴って変化しても、ブリッジ構造体３の
角度姿勢を一定に保つことができる。
【００１５】このとき、Ｘ軸キャリッジ４のＸ方向位置
と圧電素子９の伸縮量の関係はエアガイドｃに掛かる負
荷やエアギャップによって決まる。すなわち、エアガイ
ドｃの浮上量と負荷との関係が線形であればＸ軸キャリ
ッジ４の座標値に対して圧電素子９の伸縮量は線形に制
御され、エアガイドｃの浮上量と負荷との関係が非線形
であればＸ軸キャリッジ４のＸ方向位置に対して圧電素
子９の伸縮量は非線形に制御される。
と圧電素子９の伸縮量の関係はエアガイドｃに掛かる負
荷やエアギャップによって決まる。すなわち、エアガイ
ドｃの浮上量と負荷との関係が線形であればＸ軸キャリ
ッジ４の座標値に対して圧電素子９の伸縮量は線形に制
御され、エアガイドｃの浮上量と負荷との関係が非線形
であればＸ軸キャリッジ４のＸ方向位置に対して圧電素
子９の伸縮量は非線形に制御される。
【００１６】なお、上述した本実施例では、圧電素子９
をブリッジ構造体３のサポート側脚３Ｃに取り付けた
が、ガイド側脚３Ａに取り付けてもよい。すなわち、ガ
イド側脚３Ａに圧電素子９を取り付けた場合は、ガイド
側脚３Ａの圧電素子９にＸ軸キャリッジ４のＸ方向位置
に応じた電圧を出力し、圧電素子９が伸縮するようにす
ればよい。ただし、この場合は、エアガイドａはＹ軸方
向ガイド２に対して２個あるため、それぞれに圧電素子
９を取り付けなければならない。
をブリッジ構造体３のサポート側脚３Ｃに取り付けた
が、ガイド側脚３Ａに取り付けてもよい。すなわち、ガ
イド側脚３Ａに圧電素子９を取り付けた場合は、ガイド
側脚３Ａの圧電素子９にＸ軸キャリッジ４のＸ方向位置
に応じた電圧を出力し、圧電素子９が伸縮するようにす
ればよい。ただし、この場合は、エアガイドａはＹ軸方
向ガイド２に対して２個あるため、それぞれに圧電素子
９を取り付けなければならない。
【００１７】また、エアガイドａとエアガイドｃの両方
に圧電素子９を取り付けることもできる。この場合にお
いては、１つのコントローラ８でＸ軸キャリッジ４のＸ
方向位置に応じた電圧をエアガイドａおよびエアガイド
ｃのそれぞれの圧電素子に出力するか、もしくは、それ
ぞれの圧電素子に専用のコントローラを使用し、Ｘ軸キ
ャリッジ４のＸ方向位置に応じた電圧をそれぞれの圧電
素子に出力してもよい。
に圧電素子９を取り付けることもできる。この場合にお
いては、１つのコントローラ８でＸ軸キャリッジ４のＸ
方向位置に応じた電圧をエアガイドａおよびエアガイド
ｃのそれぞれの圧電素子に出力するか、もしくは、それ
ぞれの圧電素子に専用のコントローラを使用し、Ｘ軸キ
ャリッジ４のＸ方向位置に応じた電圧をそれぞれの圧電
素子に出力してもよい。
【００１８】なお、上述の実施例の説明では、Ｘ軸キャ
リッジ４がＸ軸ビーム３Ｂの中央にあるときを原点とし
ているが、サポート側脚３Ｃ付近にあるときを原点と
し、圧電素子９に最高電圧を与え、圧電素子９を伸ばし
た状態にしてＸ軸キャリッジ４の位置に応じて圧電素子
９に出力する電圧を減少させ、圧電素子９を縮めていく
ような制御を行うこともできる。
リッジ４がＸ軸ビーム３Ｂの中央にあるときを原点とし
ているが、サポート側脚３Ｃ付近にあるときを原点と
し、圧電素子９に最高電圧を与え、圧電素子９を伸ばし
た状態にしてＸ軸キャリッジ４の位置に応じて圧電素子
９に出力する電圧を減少させ、圧電素子９を縮めていく
ような制御を行うこともできる。
【００１９】さらに、本実施例では門移動型三次元測定
機について説明を行ったが、その他の三次元測定機であ
るブリッジ・ベッド型三次元測定機、ガントリー型三次
元測定機等についても適用できることは言うまでもな
い。
機について説明を行ったが、その他の三次元測定機であ
るブリッジ・ベッド型三次元測定機、ガントリー型三次
元測定機等についても適用できることは言うまでもな
い。
【００２０】
【発明の効果】以上の様に本発明によれば、ブリッジ構
造体の角度姿勢を常に一定に保ち、定盤に対してのＺ軸
スピンドルの角度の変化を防ぐことができる。このこと
より測定精度の向上が期待できる。
造体の角度姿勢を常に一定に保ち、定盤に対してのＺ軸
スピンドルの角度の変化を防ぐことができる。このこと
より測定精度の向上が期待できる。
【図１】本発明による装置の実施例を示す正面図であ
る。
る。
【図２】従来の技術による装置の構成を示す正面図であ
る。
る。
【図３】従来技術による装置の挙動の１つを説明する正
面図である。
面図である。
【図４】従来技術による装置の挙動の１つを説明する正
面図である。
面図である。
【図５】本発明による装置の挙動の１つを説明する正面
図である。
図である。
【図６】本発明による装置の挙動の１つを説明する正面
図である。
図である。
１ 定盤 ２ Ｙ軸方向ガイド ３ ブリッジ構造体 ３Ａ ガイド側脚 ３Ｂ Ｘ軸ビーム ３Ｃ サポート側脚 ４ Ｘ軸キャリッジ ５ Ｚ軸スピンドル ６ 測定子プローブ ７ａ Ｘ軸スケール ７ｂ 目盛検出器 ８ コントローラ ９ 圧電素子 １０ 信号線 ａ、ｂ、ｃ、ｄ エアガイド
フロントページの続き (72)発明者 清水 房生 神奈川県横浜市栄区長尾台町471番地 株 式会社ニコン横浜製作所内
Claims (4)
- 【請求項１】２つの脚と該２つの脚を上端で連結するＸ
軸ビームとで構成され、定盤上をＹ軸方向に移動するブ
リッジ構造体と、前記２つの脚の下端と前記定盤との間
に形成されるエアガイドと、Ｚ軸スピンドルを備え前記
Ｘ軸ビームに案内されるＸ軸キャリッジと、を有する三
次元測定機において、 前記Ｘ軸キャリッジの移動に伴って変化する前記ブリッ
ジ構造体の角度姿勢を補正するために前記２つの脚の少
なくとも一方の脚に設けた圧電素子と、 前記Ｘ軸キャリッジのＸ方向位置を検出し、その位置に
応じた信号を出力する位置検出手段と、 前記位置検出手段から出力される信号を入力し、前記Ｘ
軸キャリッジの位置にかかわらず、常に前記ブリッジ構
造体の角度姿勢を一定にする電圧を前記圧電素子に出力
する制御手段と、 を有することを特徴とする三次元測定機。 - 【請求項２】前記位置検出手段は、前記Ｚ軸スピンドル
に設けた測定子プローブのＸ座標を測定するために前記
Ｘ軸キャリッジと前記Ｘ軸ビームとの間に設けた座標測
定装置を兼用したものであることを特徴とする請求項１
に記載の三次元測定機。 - 【請求項３】前記ブリッジ構造体の２つの脚の一方は前
記定盤に設けたＹ軸方向ガイドによって案内され、前記
圧電素子は前記２つの脚の他方に配置することを特徴と
する請求項１に記載の三次元測定機。 - 【請求項４】前記圧電素子は前記２つの脚の少なくとも
一方の脚と前記エアガイドのエアパッドとの間に設けた
ことを特徴とする請求項１に記載の三次元測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3256692A JPH0599651A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | 三次元測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3256692A JPH0599651A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | 三次元測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0599651A true JPH0599651A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17296155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3256692A Pending JPH0599651A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | 三次元測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0599651A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017167168A (ja) * | 2017-06-30 | 2017-09-21 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
| JP2018197761A (ja) * | 2018-08-20 | 2018-12-13 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
-
1991
- 1991-10-03 JP JP3256692A patent/JPH0599651A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017167168A (ja) * | 2017-06-30 | 2017-09-21 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
| JP2018197761A (ja) * | 2018-08-20 | 2018-12-13 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
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