JPH0599635A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検体の外形輪郭、表面状態に加えて裏面状態
および側面状態を撮像するようにして検体の微小化、検
査速度の高速化に対応すると共に、検体の全体を検査す
るようにした外観検査装置を提供する。 【構成】 ミラー１１上で検体であるチップ状部品１を
搬送する。チップ部品１の搬送方向と直角方向の側面、
裏面をミラー１１の反射を利用して照明手段１６、２
２、２４により照明し、各面の状態を撮像装置１７、２
３、２５により撮像する。チップ部品１の表面を照明手
段１８、２０により照明し、外形輪郭、表面状態を撮像
装置１９、２１により撮像する。チップ部品１の搬送方
向と平行方向の側面を照明手段２６、２８により照明
し、各面を撮像装置２７、２９により撮像する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、角板形チップ固定抵抗
器、積層セラミックチップ形コンデンサ等の検体の外形
輪郭と、表面、裏面および側面の状態の外観を検査する
ようにした外観検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】角板形チップ固定抵抗器等のチップ状電
子部品は、正常でなければこれをプリント基板に実装す
る際などにトラブルが生じる。このようなトラブルを未
然に防止するには、チップ状電子部品の外観、すなわ
ち、外形輪郭と、表面、裏面および側面の状態を検査す
る必要がある。従来、チップ状電子部品の外観を検査す
るには、テーピング用テープにチップ状電子部品を封入
してリールに巻き取り、このテーピング用テープを別の
リールに巻き替える際、走行するテーピング用テープの
カバーテープ上から肉眼で外観の良、不良について判断
している。

【０００３】また、従来、一般的に検体の外観を自動的
に検査するには、検体を光源により照明し、この照明さ
れた検体の外観を画像処理技術で把握するようにした構
成が知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、電子
部品は益々微小化しつつあり、例えば、角板形チップ固
定抵抗器は、数mm角ないし１mm角程度の大きさになりつ
つあり、上記従来例のような肉眼による検査方式では、
電子部品の微小化に対応することができない。また、最
近では１分間に１０００個程度の高速の検査速度が求め
られているが、肉眼による検査方式では、このような検
査速度を到底実現することができない。また、肉眼によ
る検査方式では、疲労による検査ミスの発生も懸念され
る上に、検査コストもかさみ、チップ状電子部品のコス
トを上昇させる要因ともなる。

【０００５】一方、上記従来例の画像処理方式では、検
体の外形輪郭と表面状態を撮像するのみであり、裏面や
側面の状態を撮像することができなかった。

【０００６】また、近年、光センサや静電容量センサを
用いてテーピング状態の電子部品を検査する装置が実用
化されているが、この装置では電子部品の有無等の単純
な検査しか行うことができない。

【０００７】本発明は、上記のような従来の問題を解決
するものであり、撮像装置を用いて搬送されるチップ状
電子部品等の検体の外形輪郭と表面状態の像に加えて裏
面状態および側面状態の像を得ることができ、したがっ
て、検体の微小化および検査速度の高速化に対応するこ
とができ、しかも、検体の全体が正常であるか否かにつ
いて検査することができるようにした外観検査装置を提
供することを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の技術的手段は、走行ガイドであるミラーと、
このミラー上で検体を搬送する搬送手段と、搬送される
上記検体の表面側から外形輪郭のために照明する照明手
段および外形輪郭を撮像する撮像装置と、搬送される上
記検体の表面を照明する照明手段および表面状態を撮像
する撮像装置と、搬送される上記検体の裏面を上記ミラ
ーの反射を利用して照明する照明手段および裏面状態を
撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の搬送方向と
直角方向の側面を上記ミラーの反射を利用して照明する
照明手段および側面状態を撮像する撮像装置と、搬送さ
れる上記検体の搬送方向と平行方向の側面を照明する照
明手段および側面状態を撮像する撮像装置とを備えたも
のである。

【０００９】上記目的を達成するための本発明の他の技
術的手段は、走行ガイドであるミラーと、このミラー上
で検体を搬送する搬送手段と、搬送される上記検体の表
面側から外形輪郭のために照明する照明手段および外形
輪郭を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の表面
を照明する照明手段および表面状態を撮像する撮像装置
と、搬送される上記検体の裏面を上記ミラーの反射を利
用して照明する照明手段および裏面状態を撮像する撮像
装置と、搬送される上記検体の搬送方向と直角方向の側
面を上記ミラーの反射を利用して照明する照明手段およ
び側面状態を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体
の搬送方向と平行方向の側面を上記ミラーの反射を利用
して照明する照明手段および側面状態を撮像する撮像装
置とを備えたものである。

【００１０】上記目的を達成するための本発明の他の技
術的手段は、走行ガイドであるハーフミラーと、このハ
ーフミラー上で検体を搬送する搬送手段と、搬送される
上記検体の表面側から外形輪郭のために照明する照明手
段および外形輪郭を撮像する撮像装置と、搬送される上
記検体の表面を照明する照明手段および表面状態を撮像
する撮像装置と、搬送される上記検体の裏面を上記ハー
フミラーを透過して照明する照明手段および裏面状態を
撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の搬送方向と
直角方向の側面を上記ハーフミラーの反射を利用して照
明する照明手段および側面状態を撮像する撮像装置と、
搬送される上記検体の搬送方向と平行方向の側面を照明
する照明手段および側面状態を撮像する撮像装置とを備
えたものである。

【００１１】上記目的を達成するための本発明の他の技
術的手段は、走行ガイドであるハーフミラーと、このハ
ーフミラー上で検体を搬送する搬送手段と、搬送される
上記検体の表面側から外形輪郭のために照明する照明手
段および外形輪郭を撮像する撮像装置と、搬送される上
記検体の表面を照明する照明手段および表面状態を撮像
する撮像装置と、搬送される上記検体の裏面を上記ハー
フミラーを透過して照明する照明手段および裏面状態を
撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の搬送方向と
直角方向の側面を上記ハーフミラーの反射を利用して照
明する照明手段および側面状態を撮像する撮像装置と、
搬送される上記検体の搬送方向と平行方向の側面を上記
ハーフミラーの反射を利用して照明する照明手段および
側面状態を撮像する撮像装置とを備えたものである。

【００１２】上記目的を達成するための本発明の更に他
の技術的手段は、上記各技術的手段における外形輪郭の
照明手段および撮像装置と、表面状態の照明手段および
撮像装置とが兼用されたものである。

【００１３】そして、ミラーを用いた上記各技術的手段
における搬送手段として、上記ミラーの裏面に沿って走
行可能に設けられた非磁性材製のベルトと、このベルト
に所望間隔で取り付けられ、上記ミラーの表面上の検体
を吸着するマグネットとを備えることができる。また、
ミラー、若しくはハーフミラーを用いた上記各技術手段
における搬送手段として、上記ミラー上に走行可能に設
けられ、検体収納用の凹入部が列設された透明なプラス
チック製のテープを備えることができ、または上記ミラ
ー上に走行可能に設けられ、検体収納用の穴が列設され
た透明なプラスチック製のテープを備えることができ
る。

【００１４】また、上記検体を連続的に搬送し、または
間歇的に搬送することができる。上記検体としては、角
板形チップ固定抵抗器、チップ形コンデンサ等の電子部
品のほか、錠剤等の固形物を挙げることができる。

【００１５】

【作用】したがって、本発明によれば、ミラー、若しく
はハーフミラー上で検体を搬送する途中において、検体
の表面を照明し、検体の外形輪郭、表面の状態を撮像
し、検体の裏面をミラーの反射を利用して照明し、若し
くはハーフミラーを透過して照明し、裏面の状態を撮像
し、検体の各側面をミラー、若しくはハーフミラーの反
射を利用して照明し、若しくは検体の搬送方向と平行方
向の側面を照明し、検体の搬送方向と直角方向の側面を
ミラー、若しくはハーフミラーの反射を利用して照明
し、側面の状態を撮像する。このように撮像装置を用
い、搬送される検体の外形輪郭と表面状態の像に加えて
裏面状態および側面状態の像を得ることができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の第１の実施例について図面を
参照しながら説明する。図１ないし図８は本発明の第１
の実施例における外観検査装置を示し、図１は一部破断
正面図、図２は検体の裏面の照明手段および撮像装置
と、検体の搬送方向と直角方向の側面の照明手段および
撮像装置とを省略した一部破断側面図、図３、図４はそ
れぞれ搬送装置を示し、図１、図２の一部拡大図、図５
は検体の搬送方向と直角方向の側面の外観検査動作説明
図、図６は検体の表面の外観検査動作説明図、図７は検
体の裏面の外観検査動作説明図、図８は検体の搬送方向
と平行方向の側面の外観検査動作説明図である。

【００１７】本実施例においては、図１９に示す検体で
あるチップ状電子部品（図示例は角板形チップ固定抵抗
器）の外観検査面説明図から明らかなように、チップ状
電子部品（以下、チップ部品と略称する）１の外形輪郭
１Ａと、表面の１Ｂの状態と、裏面１Ｃの状態と、四側
面１Ｄないし１Ｇの状態を撮像する。

【００１８】図１ないし図４に示すように、走行ガイド
であるミラー１１が水平方向に設けられている。ミラー
１１の裏面に沿って搬送ベルト１２が走行可能に設けら
れている。搬送ベルト１２は非磁性材製のベルト１３に
所望間隔で凹入部１４が列設され、各凹入部１４にマグ
ネット１５が取り付けられ、マグネット１５がミラー１
１の裏面に沿って走行し得るようになっている。そし
て、ミラー１１上に供給されたチップ部品１の電極等の
導電部を搬送ベルト１２のマグネット１１により吸着
し、搬送ベルト１２の走行に伴い、チップ部品１をミラ
ー１１上で搬送することができる。

【００１９】チップ部品１の搬送方向に沿って照明手段
１６、１８、２０、２２、２４、２６、２８および撮像
装置１７、１９、２１、２３、２５、２７、２９が順次
設けられている。照明手段１６はチップ部品１の搬送方
向と直角方向で後方の側面１Ｄを照明し、撮像装置１７
は照明手段１６により照明された側面１Ｄの状態を撮像
する。照明手段１８はチップ部品１の外形輪郭１Ａの撮
像のために照明し、撮像装置１９は照明手段１８により
照明された外形輪郭１Ａを撮像する。照明手段２０はチ
ップ部品１の表面１Ｂを照明し、撮像装置２０は照明手
段２０により照明された表面１Ｂの状態を撮像する。照
明手段２２はチップ部品の裏面１Ｃを照明し、撮像装置
２３は照明手段２２により照明された裏面１Ｃの状態を
撮像する。照明手段２４はチップ部品１の搬送方向と直
角方向で前方の側面１Ｅを照明し、撮像装置２５は照明
手段２４により照明された側面１Ｅの状態を撮像する。
照明手段２６はチップ部品１の搬送方向と平行方向で一
方の側面１Ｆを照明し、撮像装置２７は照明手段２６に
より照明された側面１Ｆの状態を撮像する。照明手段２
８はチップ部品１の搬送方向と平行方向で他方の側面１
Ｇを照明し、撮像装置２９は照明手段２８により照明さ
れた側面１Ｇの状態を撮像する。各照明手段１６、１
８、２０、２２、２４、２６、２８と、各撮像装置１
７、１９、２１、２３、２５、２７、２９はそれぞれ同
様に構成されている。各照明手段１６、１８、２０、２
２、２４、２６、２８はハロゲンランプ等の光源（図示
省略）と、この光源から放出された光を導く光ファイバ
３０とからなり、光ファイバ３０の出射部３１には照明
角度可変用の反射ミラー３２が設けられている。各撮像
装置１７、１９、２１、２３、２５、２７、２９はケー
ス３３内に撮像カメラ（ＣＣＤカメラ）３４が備えられ
ている。各照明手段１６、１８、２０、２２、２４、２
６、２８の出射部３１は一対備えられ、各一対の出射部
３１の間に撮像装置１７、１９、２１、２３、２５、２
７、２９の撮像カメラ３４が配置されている。

【００２０】側面１Ｄの照明手段１６および撮像装置１
７は、ミラー１１の反射を利用して側面１Ｄを照明し、
ミラー１１の反射を利用して側面１Ｄの状態を撮像する
ことができるようにミラー１１の上方で斜め方向に配置
されている（図５参照）。外形輪郭１Ａの照明手段１８
および撮像装置１９は、表面１Ｂ側を直接照明し、外形
輪郭１Ａを直接撮像することができるようにミラー１１
の上方で垂直方向に配置されている（図６参照）。表面
１Ｂの照明手段２０および撮像装置２１は、表面１Ｂを
直接照明し、表面１Ｂの状態を直接撮像することができ
るようにミラー１１の上方で垂直方向に配置されている
（図６参照）。裏面１Ｃの照明手段２２および撮像装置
２３は、ミラー１１の反射を利用して裏面１Ｃを照明
し、ミラー１１の反射を利用して裏面１Ｃの状態を撮像
することができるようにミラー１１の上方で斜め方向に
配置されている（図７参照）。側面１Ｅの照明手段２４
および撮像装置２５は、ミラー１１の反射を利用して側
面１Ｅを照明し、ミラー１１の反射を利用して側面１Ｅ
の状態を撮像することができるようにミラー１１の上方
で斜め方向に配置されている（図５参照）。側面１Ｆの
照明手段２６および撮像装置２７は、側面１Ｆを直接照
明し、側面１Ｆの状態を直接撮像することができるよう
にミラー１１の側方で水平方向に配置され、同様に、側
面１Ｇの照明手段２８および撮像装置２９は、側面１Ｇ
を直接照明し、側面１Ｇの状態を直接撮像することがで
きるようにミラー１１の側方で水平方向に配置されてい
る（図８参照）。上記のように各照明手段１６、１８、
２０、２２、２４、２６、２８は各撮像装置１７、１
９、２１、２３、２５、２７、２９の両側に配置されて
いるが、反射ミラー３２により両側の２方向から照明す
ることにより、チップ部品１の各面の全体を均一な明る
さに照明することができる。

【００２１】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。ミラー１１上に供給されたチップ部品１
は搬送ベルト１２の走行に伴い、そのマグネット１５の
吸着によりミラー１１上を順次連続的に搬送される。こ
の搬送の途中で、図１、図２、図５に示すように、照明
手段１６の出射部３１によりチップ部品１の搬送方向と
直角方向で後方の側面１Ｄをミラー１１の反射を利用し
て照明し、その反射光を撮像装置２７の撮像カメラ３４
に導き、側面１Ｄの状態を撮像する。このとき、撮像カ
メラ３４を斜め方向に配置しているので、撮像面積が実
際の側面１Ｄの面積よりも小さくなるため、撮像面積を
実際の側面１Ｄの大きさと等しくなるように変換する。
続いて図１、図２、図６に示すように、照明手段１８の
出射部３１によりチップ部品１の表面１Ｂ側を直接照明
し、その反射光を撮像装置１９の撮像カメラ３４に導
き、チップ部品１の外形輪郭１Ａを撮像する。続いて照
明手段２０の出射部３１によりチップ部品１の表面１Ｂ
を直接照明し、その反射光を撮像装置２１の撮像カメラ
３４に導き、表面１Ｂの状態を撮像する。続いて図１、
図２、図７に示すように、照明手段２２の出射部３１に
よりチップ部品１の裏面１Ｃをミラー１１の反射を利用
して照明し、その反射光を撮像装置２３の撮像カメラ３
４に導き、裏面１Ｃの状態を撮像する。このとき、側面
１Ｄの撮像の場合と同様に撮像面積が実際の裏面１Ｃの
面積より小さくなるため、等しい大きさになるように変
換する。続いて図１、図２、図５に示すように、チップ
部品１の搬送方向と直角方向で前方の側面１Ｅを上記側
面１Ｄの場合と同様に、照明手段２４の出射部３１によ
りミラー１１の反射を利用して照明し、その反射光を撮
像装置２５の撮像カメラ３４に導き、側面１Ｅの状態を
撮像する。続いて図１、図２、図８に示すように照明手
段２６の出射部３１によりチップ部品１の搬送方向と平
行方向で一方の側面１Ｆを直接照明し、その反射光を撮
像装置２７の撮像カメラ３４に導き、側面１Ｆの状態を
撮像する。続いて照明手段２８の出射部によりチップ部
品１の搬送方向と平行方向で他方の側面１Ｇを直接照明
し、その反射光を撮像装置２９の撮像カメラ３４に導
き、側面１Ｇの状態を撮像する。

【００２２】チップ部品１の検出方法の一例としては、
撮像装置１７、１９、２１、２３、２５、２７、２９に
より得られた映像を画像処理し、あらかじめ良品のデー
タとこのデータからの許容誤差をメモリに登録してお
き、撮像したチップ部品１の映像をメモリ上で比較す
る。このほか、チップ部品１の外形輪郭の直線性を判断
するなどの検出方法を採用することもできる。

【００２３】チップ部品１が固定抵抗器である場合、図
２０（ａ）に示すように、このチップ抵抗器１の外形輪
郭、表面等の状態が正常であれば、外観検査結果が正常
であるので、チップ抵抗器１を搬送ベルト１２の走行に
より連続的に搬送し、外観検査作業を続行する。本発明
により検出可能な不良例としては、チップ抵抗器１の外
縁部が欠けている状態、チップ抵抗器１が割れている状
態、チップ抵抗器１の電極の不良状態、チップ抵抗器１
のコート層が欠けている不良状態、チップ抵抗器１の抵
抗値の表示の不良状態等である。また、チップ部品１が
コンデンサである場合も、検出可能な不良例としては、
抵抗値の表示の不良を除いてチップ抵抗器の場合と同様
である。このような各種の不良が検出されると、搬送ベ
ルト１２の走行を停止し、チップ部品１の搬送を停止し
て不良のチップ部品１をミラー１１上から除去する。

【００２４】以下、本発明の第２の実施例について図面
を参照しながら説明する。図９ないし図１３は本発明の
第２の実施例における外観検査装置を示し、図９は一部
破断正面図、図１０は検体の搬送方向と直角方向の側面
の照明手段および撮像装置を省略した一部破断側面図、
図１１、図１２はそれぞれ搬送装置を示し、図９、図１
０の一部拡大図、図１３は検体の裏面の外観検査動作説
明図である。

【００２５】本実施例においては、図９ないし図１２に
示すように、走行ガイドであるハーフミラー３５が水平
方向に設けられ、ハーフミラー３５の表面に沿って透明
なプラスチック製のテープ３６が走行される。テープ３
６には凹入部３７が列設され、各凹入部３７にチップ部
品１が収納される。したがって、テープ３６の走行によ
り各凹入部３７に収納されたチップ部品１がハーフミラ
ー３５上で搬送される。テープ３６の上部には透明なガ
ラスからなる飛び出し防止板３８が水平方向に設けら
れ、テープ３６の走行に伴うチップ部品１の搬送の際、
チップ部品１が凹入部３７から外方へ飛び出すのを防止
している。チップ部品１の裏面１Ｃの照明手段２２およ
び撮像装置２３は、ハーフミラー３５を透過して裏面１
Ｃを照明し、ハーフミラー３５を透過して裏面１Ｃの状
態を撮像することができるようにハーフミラー３５の下
方で垂直方向に配置されている。そして照明手段２２の
出射部３１によりチップ部品１の裏面１Ｃをハーフミラ
ー３５を透過して照明し、その反射光を撮像装置２３の
撮像カメラ３４に導き、裏面１Ｃの状態を撮像するよう
になっている。その他の構成については上記第１の実施
例と同様であるので、第１の実施例と同一部分には同一
符号を付してその説明を省略する。

【００２６】以下、本発明の第３の実施例について図面
を参照しながら説明する。図１４、１５は本発明の第３
の実施例における外観検査装置に用いる搬送装置を示
し、図１４は図１１と同様の一部破断正面図、図１５は
図１２と同様の一部破断側面図である。

【００２７】本実施例においては、図１４および図１５
に示すように、透明なプラスチック製のテープ３９に穴
４０が列設され、各穴４０にチップ部品１が収納され、
テープ３９がハーフミラー３５と透明なガラスからなる
飛び出し防止板３８の間で走行することにより、チップ
部品１がハーフミラー３５上で搬送されるようになって
いる。その他の構成についは上記第２の実施例と同様で
ある。

【００２８】以下、本発明の第４の実施例について図面
を参照しながら説明する。図１６は本発明の第４の実施
例における外観検査装置を示し、検体の搬送方向と平行
方向の側面の外観検査動作説明図である。

【００２９】本実施例においては、図１６に示すよう
に、チップ部品１の搬送方向と平行方向の側面１Ｆ（１
Ｇ）をミラー１１、若しくはハーフミラー３５の反射を
利用して照明手段２４（２６）の出射部３１により照明
し、その反射光を撮像装置２７（２９）の撮像カメラ３
４に導き、側面１Ｆ（１Ｇ）の状態を撮像するようにし
たものである。その他の構成については上記第１、第２
の実施例と同様である。

【００３０】図１７は上記第１、第２の実施例における
チップ部品１の外形輪郭１Ａの照明方式、若しくは表面
１Ｂの照明方式の変形例を示している。本例において
は、図１７に示すように、照明手段１８、若しくは２０
の出射部３１からの出射光を反射ミラー４１を介してチ
ップ部品１の表面１Ｂに導いて照明するようにしたもの
である。本例の照明方式は、チップ部品１の裏面１Ｃ、
側面１Ｄないし１Ｇの照明についても適用することがで
きる。

【００３１】図１８は上記第１の実施例におけるチップ
部品１の裏面１Ｃの撮像方式の変形例を示している。本
例においては、図１８に示すように、チップ部品１の裏
面１Ｃのミラー１１、若しくはハーフミラー３５の反射
を利用して撮像する際、更に反射ミラー４２を用いて反
射させて実際の裏面１Ｃの大きさに復元して撮像装置２
３により撮像するようにしたものである。本例の撮像方
式は、チップ部品１の側面１Ｄないし１Ｅをミラー１
１、若しくはハーフミラー３５の反射を利用して撮像す
る場合にも適用することができる。

【００３２】なお、上記第２、第３の実施例においても
ハーフミラー３５をミラーに替え、チップ部品１の裏面
１Ｃをミラーの上方から反射方式を用いて照明すると共
に撮像することができる。また、チップ部品１の搬送手
段として、パレット状のミラーを連結部材により連結さ
せて走行させるようにし、各ミラーの表面上に供給した
チップ部品１を各ミラーの裏面に取り付けたマグネット
により吸着するなどにより保持して搬送するようにして
もよい。また、外形輪郭の照明手段１８および撮像装置
１９と表面の照明手段２０および撮像装置２１はいずれ
か一方で兼用することができる。また、チップ部品１は
連続的に搬送してもよく、間歇的に搬送してもよい。本
発明は、このほか、その基本的技術思想を逸脱しない範
囲で種々設計変更することができる。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ミ
ラー、若しくはハーフミラー上で検体を搬送する途中に
おいて、検体の表面を照明し、検体の外形輪郭、表面の
状態を撮像し、検体の裏面をミラーの反射を利用して照
明し、若しくはハーフミラーを透過して照明し、裏面の
状態を撮像し、検体の各側面をミラー、若しくはハーフ
ミラーの反射を利用して照明し、若しくは検体の搬送方
向と平行方向の側面を照明し、検体の搬送方向と直角方
向の側面をミラー、若しくはハーフミラーの反射を利用
して照明し、側面の状態を撮像する。このように撮像装
置を用い、搬送される検体の外形輪郭と表面状態の像に
加えて裏面状態および側面状態の像を得ることができ
る。したがって、検体の微小化および検査速度の高速化
に対応することができ、しかも、検体の全体が正常であ
るか否かについて検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における外観検査装置を
示す一部破断正面図

【図２】同外観検査装置を示し、検体の裏面の照明手段
および撮像装置と、検体の搬送方向と直角方向の側面の
照明手段および撮像装置とを省略した一部破断側面図

【図３】同外観検査装置に用いる搬送装置を示し、図１
の一部拡大図

【図４】同外観検査装置に用いる搬送装置を示し、図２
の一部拡大図

【図５】同外観検査装置を示し、検体の搬送方向と直角
方向の側面の外観検査動作説明図

【図６】同外観検査装置を示し、検体の裏面の外観検査
動作説明図

【図７】同外観検査装置を示し、検体の裏面の外観検査
動作説明図

【図８】同外観検査装置を示し、検体の搬送方向と平行
方向の側面の外観検査動作説明図

【図９】本発明の第２の実施例における外観検査装置を
示す一部破断正面図

【図１０】同外観検査装置を示し、検体の搬送方向と直
角方向の側面の照明手段および撮像装置を省略した一部
破断側面図

【図１１】同外観検査装置に用いる搬送装置を示し、図
９の一部拡大図

【図１２】同外観検査装置に用いる搬送装置を示し、図
１０の一部拡大図

【図１３】同外観検査装置を示し、検体の裏面の外観検
査動作説明図

【図１４】本発明の第３の実施例における外観検査装置
に用いる搬送装置を示し、図１１と同様の一部破断正面
図

【図１５】同搬送装置を示し、図１２と同様の一部破断
側面図

【図１６】本発明の第４の実施例における外観検査装置
を示し、検体の搬送方向と平行方向の側面の外観検査動
作説明図

【図１７】上記第１、第２の実施例における検体の外形
輪郭、表面の照明方式の変形例を示す説明図

【図１８】上記第１の実施例における検体の裏面の撮像
方式の変形例を示す説明図

【図１９】本発明の外観検査装置の検査対象であるチッ
プ状電子部品の外観検査面説明図

【符号の説明】

１ チップ状電子部品（検体） １Ａ 外形輪郭 １Ｂ 表面 １Ｃ 裏面 １Ｄ 側面 １Ｅ 側面 １Ｆ 側面 １Ｇ 側面 １１ ミラー １２ 搬送ベルト １５ マグネット １６ 側面１Ｄの照明手段 １７ 側面１Ｄの撮像装置 １８ 外形輪郭１Ａの照明手段 １９ 外形輪郭１Ａの撮像装置 ２０ 表面１Ｂの照明手段 ２１ 表面１Ｂの撮像装置 ２２ 裏面１Ｃの照明手段 ２３ 裏面１Ｃの撮像装置 ２４ 側面１Ｅの照明手段 ２５ 側面１Ｅの撮像装置 ２６ 側面１Ｆの照明手段 ２７ 側面１Ｆの撮像装置 ２８ 側面１Ｇの照明手段 ２９ 側面１Ｇの撮像装置 ３５ ハーフミラー ３６ テープ ３７ 凹入部 ３９ テープ ４０ 穴

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走行ガイドであるミラーと、このミラー
   上で検体を搬送する搬送手段と、搬送される上記検体の
   表面側から外形輪郭のために照明する照明手段および外
   形輪郭を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の表
   面を照明する照明手段および表面状態を撮像する撮像装
   置と、搬送される上記検体の裏面を上記ミラーの反射を
   利用して照明する照明手段および裏面状態を撮像する撮
   像装置と、搬送される上記検体の搬送方向と直角方向の
   側面を上記ミラーの反射を利用して照明する照明手段お
   よび側面状態を撮像する撮像装置と、搬送される上記検
   体の搬送方向と平行方向の側面を照明する照明手段およ
   び側面状態を撮像する撮像装置とを備えた外観検査装
   置。
2. 【請求項２】 走行ガイドであるミラーと、このミラー
   上で検体を搬送する搬送手段と、搬送される上記検体の
   表面側から外形輪郭のために照明する照明手段および外
   形輪郭を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の表
   面を照明する照明手段および表面状態を撮像する撮像装
   置と、搬送される上記検体の裏面を上記ミラーの反射を
   利用して照明する照明手段および裏面状態を撮像する撮
   像装置と、搬送される上記検体の搬送方向と直角方向の
   側面を上記ミラーの反射を利用して照明する照明手段お
   よび側面状態を撮像する撮像装置と、搬送される上記検
   体の搬送方向と平行方向の側面を上記ミラーの反射を利
   用して照明する照明手段および側面状態を撮像する撮像
   装置とを備えた外観検査装置。
3. 【請求項３】 走行ガイドであるハーフミラーと、この
   ハーフミラー上で検体を搬送する搬送手段と、搬送され
   る上記検体の表面側から外形輪郭のために照明する照明
   手段および外形輪郭を撮像する撮像装置と、搬送される
   上記検体の表面を照明する照明手段および表面状態を撮
   像する撮像装置と、搬送される上記検体の裏面を上記ハ
   ーフミラーを透過して照明する照明手段および裏面状態
   を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の搬送方向
   と直角方向の側面を上記ハーフミラーの反射を利用して
   照明する照明手段および側面状態を撮像する撮像装置
   と、搬送される上記検体の搬送方向と平行方向の側面を
   照明する照明手段および側面状態を撮像する撮像装置と
   を備えた外観検査装置。
4. 【請求項４】 走行ガイドであるハーフミラーと、この
   ハーフミラー上で検体を搬送する搬送手段と、搬送され
   る上記検体の表面側から外形輪郭のために照明する照明
   手段および外形輪郭を撮像する撮像装置と、搬送される
   上記検体の表面を照明する照明手段および表面状態を撮
   像する撮像装置と、搬送される上記検体の裏面を上記ハ
   ーフミラーを透過して照明する照明手段および裏面状態
   を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の搬送方向
   と直角方向の側面を上記ハーフミラーの反射を利用して
   照明する照明手段および側面状態を撮像する撮像装置
   と、搬送される上記検体の搬送方向と平行方向の側面を
   上記ハーフミラーの反射を利用して照明する照明手段お
   よび側面状態を撮像する撮像装置とを備えた外観検査装
   置。
5. 【請求項５】 外形輪郭の照明手段および撮像装置と、
   表面状態の照明手段および撮像装置とが兼用された請求
   項１ないし４のいずれかに記載の外観検査装置。
6. 【請求項６】 搬送手段がミラーの裏面に沿って走行可
   能に設けられた非磁性材製のベルトと、このベルトに所
   望間隔で取り付けられ、上記ミラーの表面上の検体を吸
   着するマグネットとを備えた請求項１、２または５記載
   の外観検査装置。
7. 【請求項７】 搬送手段がミラー上に走行可能に設けら
   れ、検体収納用の凹入部が列設された透明なプラスチッ
   ク製のテープを備えた請求項１ないし５のいずれかに記
   載の外観検査装置。
8. 【請求項８】 搬送手段がミラー上に走行可能に設けら
   れ、検体収納用の穴が列設された透明なプラスチック製
   のテープを備えた請求項１ないし５のいずれかに記載の
   外観検査装置。