JPH0597172A - 基板支持棒およびそれを用いた基板用カセツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 Ｌ字形構造を採用しながらも、組み立ての容
易さ、基板端面との接触面積の減少、液切れ性の向上、
吊り下げ移送の容易さなどの課題を解決した基板用カセ
ットおよびそれに用いる基板支持棒を提供することを目
的とする。 【構成】軸方向に貫通孔を有する樹脂製の棒体(2) の貫
通孔に金属棒(3) を内挿する。この棒体(2) は、その基
部(21)から背びれ状に張出部(22)が突出した形状とす
る。基部(21)には周方向に所定のピッチで溝(21a) を設
け、張出部(22)にも所定のピッチで溝(22a) を設ける。
このような構造を有する基板支持棒(4) を、対向配置し
たＬ字形フレーム(1), (1)間に所定本数架設して基板用
カセットとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基板などの基板
を互いに接触しないように分離して支持するための基板
用カセットおよびそれに用いる基板支持棒に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示用ガラス基板やプラズマ表示体
用ガラス基板、ハイブリッドＩＣ用セラミックス基板、
サーマルヘッド用ガラス基板など各種の基板の製造工程
においては、基板を加工、処理、洗浄、輸送、保管する
ために、各基板を互いに接触しないようにカセットに出
入、収容することが必要となる。

【０００３】この目的の基板用カセットとして、従来、
箱形の枠体の１対の相対向する側面を溝付き側板で形成
し、両側板の対応する溝間に基板を出入、収容しうるよ
うにしたカセットが用いられている。

【０００４】カセットの材質としては、たとえば、ガラ
ス繊維入りポリフェニレンサルファイド、パーフルオロ
アルコキシ置換ポリテトラフルオロエチレンなどが用い
られている。そのほか、ポリエーテルエーテルケトンを
用いるとの提案もなされている（特開昭６２−２４７３
２３号公報、特開昭６２−２７６８４９号公報参照）。

【０００５】溝付き側板の形状、デザインには種々のも
のがあるが、いずれも基本的には、側板背肉部から多数
のリブ状の棚片が張り出した形状を有している。隣接す
るリブ状の棚片間の空隙が溝となり、ここに基板が出
入、収容されるわけである。

【０００６】図３は、従来の箱形の基板用カセットの代
表的な全体形状の一例を示した斜視図である。(6) は枠
体であり、(61)は底面側フレーム、(62)は天井側フレー
ム、(63)は基板を受けとめるストッパーとしての受け側
フレームである。(7), (7)は１対の相対向する側面を構
成する溝付き側板である。

【０００７】この基板用カセットは、基板の出入時には
開口側が横を向くようにして使用し、基板の運搬時には
開口側が上を向くようにして使用するのが通常である。

【０００８】上記構造のカセットに対する基板の出入
は、底面側フレーム(61)の隙間から持ち上げたコンベア
ベルトの走行、開口側からのシャトルアームの操作、背
後側からのプッシャーによる突き出し等の手段により自
動的に行うが、作業員が手で行う場合もある。

【０００９】実公昭６２−２１５８６号公報（実開昭５
９−１９５７９号公報）には、ベースプレート上に適宜
の角度で立ち上がる第１支持部材を固設し、その第１支
持部材の下端近傍には該第１支持部材と直角をなしてベ
ースプレート上にロッドを固設し、該ロッドには上下に
摺動可能に第２支持部材が設け、両支持部材の相向かい
合う内側面には対応する溝を並設した構造を有する超薄
板ガラスの保持装置が示されている。この保持装置は、
要するに、２枚の溝付き支持部材を側面視でＬ字形に直
交配置したものである。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
基板用カセットの全体形状は箱形であり、基板は相対向
する溝付き側板(6) の溝部と擦れ合いながら出入される
ことから、基板との摩擦により棚面が削り取られて切削
屑を生じ、その切削屑が基板に付着して悪影響を与える
ことがあった。

【００１１】またこの箱形の基板用カセットは、多数の
基板を挿着収容した状態で水洗や液洗のために液槽内に
浸漬されるが、カセット自体の形状が複雑であるため、
カセットを液中より引き上げた際の液切れが悪く、次工
程に悪影響を及ぼすという問題点もあった。

【００１２】実公昭６２−２１５８６号公報の超薄板ガ
ラスの保持装置は、２枚の支持部材をＬ字形に配置する
ものであることから、基板の出入操作が大幅に改善され
る上、液切れ性も改善されるという利点がある。

【００１３】しかしながら、この保持装置にあっても、
ベースプレート、ロッド、溝の設置などの点で必ずしも
構造が簡素化されていないこと、両支持部材に付された
溝と基板端面との接触による擦れ合いも無視できないこ
と、基板をセットしたカセットの吊り下げ移送を行いに
くいこと、液切れ性をさらに改善する余地があることな
どの問題点を有している。

【００１４】本発明は、Ｌ字形構造を採用しながらも、
組み立ての容易さ、基板端面との接触面積の減少、液切
れ性の向上、吊り下げ移送の容易さなどの課題を解決し
た基板用カセットおよびそれに用いる基板支持棒を提供
することを目的とするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明の基板支持棒は、
軸方向に貫通孔を有する樹脂製の棒体(2) の貫通孔に金
属棒(3) を内挿した構造を有し、前記棒体(2) は、その
基部(21)から背びれ状に張出部(22)が突出した形状とす
ると共に、その基部(21)には周方向に所定のピッチで溝
(21a) を設け、張出部(22)にも所定のピッチで溝(22a)
を設けてなるものである。

【００１６】また本発明の基板用カセットは、上記の基
板支持棒(4) を、対向配置したＬ字形フレーム(1), (1)
間に所定本数架設してなるものである。

【００１７】以下本発明を詳細に説明する。

【００１８】基板支持棒 本発明の基板支持棒は、軸方向に貫通孔を有する樹脂製
の棒体(2) の貫通孔に金属棒(3) を内挿した構造を有す
る。

【００１９】貫通孔の径と金属棒(3) の外径は、金属棒
(3) が貫通孔にできるだけきっちりと入るように設定す
る。挿入に際しては、棒体(2) を加熱しておいて、その
貫通孔に金属棒(3) を圧入する方法が好適に採用され
る。金属棒(3) としては、ＳＵＳなど耐食性を有する材
質のものを用いることが好ましい。

【００２０】棒体(2) 用の樹脂としては、ポリテトラフ
ルオロエチレン、パーフルオロアルコキシ置換ポリテト
ラフルオロエチレン、ポリイミド、ポリエーテルイミ
ド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、
ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリス
ルホン、ポリアリルスルホン、ポリエーテルスルホンな
ど、必要な特性（強度、耐熱性、耐溶剤性、耐酸・耐ア
ルカリ性等）を有する成形可能な樹脂が選択され、特に
ポリテトラフルオロエチレンが重要である。

【００２１】この棒体(2) は、その基部(21)から背びれ
状に張出部(22)が突出した形状とする。基部(21)の断面
形状は、円形のほか、楕円形、卵形などとすることがで
きる。張出部(22)は１本の棒体(2) に１枚設けることが
多いが、２枚以上設けることもできる。棒体(2) の基部
(21)には周方向に所定のピッチで溝(21a) を設け、張出
部(22)にも所定のピッチで溝(22a) を設ける。これらの
溝(21a), (22a)は、図２の（ロ）のように基端側ほど狭
くなるようなテーパーを付することが望ましく、それに
より基板(B) が安定に支持される。

【００２２】基板用カセット

【００２３】本発明の基板用カセットは、上記の基板支
持棒(4) を、対向配置したＬ字形フレーム(1), (1)間に
所定本数架設してなるものである。基板支持棒(4) の架
設本数は、３本以上であれば任意である。

【００２４】このＬ字形フレーム(1), (1)は、カセット
の構造材の役割を担うものであるから金属製とすること
が望ましく、耐食性を考慮して通常はステンレス鋼を用
いる。

【００２５】Ｌ字形フレーム(1) は、座部(1a)と背部(1
b)とからなり、座部(1a)と背部(1b)とのなす角度は通常
は９０゜に設定される。座部(1a)と背部(1b)との連結
は、固定型でもよく、折り畳み可能にしてもよい。Ｌ字
形フレーム(1) の座部(1a)は遊端側の方が基端側よりも
高くなるようにし、基板をセットしたときにその基板が
安定するようにする。

【００２６】Ｌ字形フレーム(1) の座部(1a)の遊端側お
よび背部(1b)の遊端側、さらには必要に応じ座部(1a)ま
たは背部(1b)の基端側には、把手(5) を設けることが好
ましい。この把手(5) の材質も通常はステンレス鋼とす
る。

【００２７】上記構造のカセットに収容する基板として
は、ガラス基板をはじめ、セラミックス基板、金属芯基
板、コンポジット基板、シリコン基板など種々の基板が
用いられる。

【００２８】

【作用】本発明の基板用カセットは、従来汎用されてい
る箱形の基板用カセットとは形状が基本的に相違する。
また基板支持棒を用いている点で実公昭６２−２１５８
６号公報のＬ字形の超薄板ガラスの保持装置とも基本的
に相違する。

【００２９】本発明の基板用カセットを組み立てるにあ
たっては、Ｌ字形フレーム(1), (1)間に所定本数の基板
支持棒(4) を架設し、ビスどめなどに締結すればよい。
この際、図１のように、座部(1a)においては棒体(2) の
基部(21)の溝(21a) が上を向く姿勢とし、背部(1b)にお
いては棒体(2) の張出部(22)の溝(22a) が前方を向く姿
勢とすればよい。このように同一形状の基板支持棒(4)
を用いながらも、その姿勢を選ぶことにより、大部分の
力がかかる座部(1a)においては棒体(2) の基部(21)で基
板(B) を受けるようにし、加わる力が小さい背部(1b)に
おいては棒体(2) の張出部(22)で基板(B) を受けるよう
にすることができる点が本発明の特長の一つでもある。

【００３０】カセットに対する基板(B) のセットは、上
記の溝(21a) および溝(22a) に単に基板(B) を置くだけ
でよく、基板(B) 出入時の擦れ合いはほとんど生じな
い。

【００３１】またセットした基板(B) はＬ字形の２面で
しっかりと支持されるので、従来の箱形カセットにおい
ては不可避であった収容基板(B) のがたつきを生じ難
い。収容した基板(B) にがたつきが生じないことは、基
板(B) の損傷防止、基板(B) とカセット間の擦れ合いに
よる切削屑の発生防止の点で極めて好ましいものであ
る。

【００３２】加えて、Ｌ字形構造は種々の寸法の基板
(B) の支持を可能にするので、従来の箱形の基板用カセ
ットのように基板(B) の寸法が異なるごとにそれに合っ
たカセットを用意する必要がなくなる。しかも、Ｌ字形
フレーム(1) を越える大きさの基板(B) を支持すること
も自在であるので、基板(B) の検査が容易となる。

【００３３】基板(B) の処理工程においては、Ｌ字形フ
レーム(1), (1)の座部(1a)の遊端側および背部(1b)の遊
端側に設けた把手(5), (5)に適宜の吊り手段を係止して
カセットを吊持し、液に対する浸漬、取り出し、次工程
への移送がなされる。付着液は速やかに流下するので、
液切れ性は極めて良好である。

【００３４】カセットが２面で構成されていることは、
従来の箱形の基板用カセットに比し、部材コストおよび
組み立てコストが低減できることを意味し、製造コスト
の点でも著しく有利である。また実公昭６２−２１５８
６号公報の超薄板ガラスの保持装置のようなベースプレ
ートやロッドを要しないので、同じＬ字形でありながら
も製造が格段に容易となり、製造コストも低減する。

【００３５】

【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。

【００３６】図１は本発明の基板用カセットの一例を示
した斜視図である。図２は基板支持棒(4) の一例を示し
たものであり、（イ）はその側面図、（ロ）はその部分
正面図、（ハ）はその断面図である。

【００３７】(4) は基板支持棒であり、ポリテトラフル
オロエチレン製の棒体(2) の貫通孔にステンレス鋼製の
金属棒(3) をきっちりと内挿した構造を有する。

【００３８】棒体(2) は、図１に示したように、基部(2
1)から背びれ状に１枚の張出部(22)が突出した形状とし
てある。基部(21)には周方向に所定のピッチで溝(21a)
を設けてあり、張出部(22)にも所定のピッチでサインカ
ーブ状に溝(22a) を設けてある。図２の（ロ）に示した
ように、溝(21a) には基端側が狭くなるようにテーパー
を付してあり、その角度は６０°に設定してある。同様
に溝(22a) にも基端側が狭くなるようにテーパーを付し
てあり、その角度は同じく６０°に設定してある。

【００３９】(1), (1)はＳＵＳ３０４製の１対のＬ字形
フレームであり、Ｌ字形フレーム(1), (1)の座部(1a)と
背部(1b)とのなす角度は９０゜に設定してある。Ｌ字形
フレーム(1), (1)の片縁または両縁部は若干折り曲げて
あるが、これは構造的な強度を向上させるためである。

【００４０】Ｌ字形フレーム(1) の座部(1a)は、その基
端側から遊端側に向かって漸次高くなるようにしてあ
る。その傾斜角は５〜１０°とするのが適当である。

【００４１】(11)は座部(1a)に設けた切り欠き孔であ
り、Ｌ字型フレーム(1) の軽量化を図るためのものであ
る。(12)はビス孔、(13)はビスである。

【００４２】Ｌ字形フレーム(1), (1)間には、上述の基
板支持棒(4) がビスどめにより架設してある。この場
合、座部(1a)においては棒体(2) の基部(21)の溝(21a)
が上を向くように、背部(1b)においては棒体(2) の張出
部(22)の溝(22a) が前方を向くように締結してある。

【００４３】(5) は把手であり、Ｌ字形フレーム(1),
(1)の座部(1a)の遊端側、背部(1b)の遊端側、および座
部(1a)と背部(1b)の境界部に合計３本架設してある。

【００４４】図１のように組み立てた基板用カセットを
用いて基板(B) の出入操作を実施したが、上面が開放さ
れているため出入操作を極めて容易に行うことができ、
しかもその際に擦れ合いを生じなかった。また、収容し
た基板(B) はカセット取り扱い時に全くがたつきを生じ
なかった。

【００４５】このカセットに多数枚の基板(B) を収容し
てから、図示せざる吊り手段をＬ字形フレーム(1), (1)
の座部(1a)の遊端側および背部(1b)の遊端側に架設した
把手(5), (5)に係止して吊持し、搬送ロボットにより、
薬液槽への浸漬と取り出し、一次水洗槽への移送、浸
漬、取り出し、最終水洗槽への移送、浸漬、取り出し、
乾燥機への移送を順次行ったが、付着した液は速やかに
流下し、液切れ性は極めて好ましいものであった。

【００４６】

【発明の効果】作用の項でも述べたように、本発明の基
板用カセットは、組み立て性が良好であること、基板
(B) の出入操作が容易であること、基板(B) 出入時の擦
れ合いはほとんど生じないこと、収容した基板(B) のが
たつきを生じ難く、基板(B) の損傷防止、基板(B) とカ
セット間の擦れ合いによる切削屑の発生防止が図られる
こと、寸法の異なる基板(B) であっても同じカセットで
自在に対処しうること、Ｌ字形フレーム(1) を越える大
きさの基板(B) を支持することもできること、基板(B)
の処理工程における吊持が容易であり、しかも付着液の
液切れ性が極めて良いこと、部材コストおよび組み立て
コストが低減できることなどの種々の利点を有してい
る。

【００４７】従って、従来汎用されている箱形の基板用
カセットはもとより、従来提案されている溝付き支持部
材を２枚Ｌ字形に配置した基板用カセット（超薄板ガラ
スの保持装置）に比しても格段に有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板用カセットの一例を示した斜視図
である。

【図２】基板支持棒(4) の一例を示したものであり、
（イ）はその側面図、（ロ）はその部分正面図、（ハ）
はその断面図である。

【図３】従来の箱形の基板用カセットの代表的な全体形
状の一例を示した斜視図である。

【符号の説明】

(1) …Ｌ字型フレーム、(1a)…座部、(1b)…背部、(11)
…切り欠き孔、(12)…ビス孔、(13)…ビス、(2) …棒
体、(21)…基部、(21a) …溝、(22)…張出部、(22a) …
溝、(3) …金属棒、(4) …基板支持棒、(5) …把手、
(6) …枠体、(61)…底面側フレーム、(62)…天井側フレ
ーム、(63)…受け側フレーム、(7) …溝付き側板、(B)
…基板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】軸方向に貫通孔を有する樹脂製の棒体(2)
   の貫通孔に金属棒(3) を内挿した構造を有し、前記棒体
   (2) は、その基部(21)から背びれ状に張出部(22)が突出
   した形状とすると共に、その基部(21)には周方向に所定
   のピッチで溝(21a) を設け、張出部(22)にも所定のピッ
   チで溝(22a) を設けてなる基板支持棒。
2. 【請求項２】請求項１記載の基板支持棒(4) を、対向配
   置したＬ字形フレーム(1), (1)間に所定本数架設してな
   る基板用カセット。