JPH0596480A - ロボツトの可動範囲規制装置 - Google Patents
ロボツトの可動範囲規制装置Info
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- JPH0596480A JPH0596480A JP3253460A JP25346091A JPH0596480A JP H0596480 A JPH0596480 A JP H0596480A JP 3253460 A JP3253460 A JP 3253460A JP 25346091 A JP25346091 A JP 25346091A JP H0596480 A JPH0596480 A JP H0596480A
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】自走式ロボットへの作業指令から、ロボット動
作時の安全領域を判断して、旋回軸の可動範囲を電気的
な停止回路で規制し、システムの運転中に、人間が安全
領域で保守，点検等で介在できるようにする。 【構成】自走ロボット１の旋回軸に設置した、回転位置
検出センサ１２ａ〜１２ｄの信号を、自走ロボット１の
動作指令２０で選択して、電気的に可動範囲を設定する
選択回転と、実際に、可動範囲を越えるようなセンサの
信号をとりこんで自走ロボット１を停止する停止回路２
５と動作指令２０に応じてロボットの作業領域を表示す
る表示器２６の作業領域に進入した物体を検出するエリ
アセンサ２７を設け、この信号でロボットを停止させ
る。
作時の安全領域を判断して、旋回軸の可動範囲を電気的
な停止回路で規制し、システムの運転中に、人間が安全
領域で保守，点検等で介在できるようにする。 【構成】自走ロボット１の旋回軸に設置した、回転位置
検出センサ１２ａ〜１２ｄの信号を、自走ロボット１の
動作指令２０で選択して、電気的に可動範囲を設定する
選択回転と、実際に、可動範囲を越えるようなセンサの
信号をとりこんで自走ロボット１を停止する停止回路２
５と動作指令２０に応じてロボットの作業領域を表示す
る表示器２６の作業領域に進入した物体を検出するエリ
アセンサ２７を設け、この信号でロボットを停止させ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自走ロボットによる半
導体製造装置間のウエハ搬送装置に係り、特にロボット
の可動範囲を電気的ストッパで規制して半導体製造装置
の保守，点検，修理等を人間が介在して行なう場合のロ
ボット周辺の作業安全領域を確保するのに有効な自走式
ロボットの動作範囲規制装置に関する。
導体製造装置間のウエハ搬送装置に係り、特にロボット
の可動範囲を電気的ストッパで規制して半導体製造装置
の保守，点検，修理等を人間が介在して行なう場合のロ
ボット周辺の作業安全領域を確保するのに有効な自走式
ロボットの動作範囲規制装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】自走ロボットを用いた搬送システムで
は、個々の装置の動作状態と、全体システムの指令か
ら、ロボットに作業指示を与えるが、ある装置の保守，
点検，修理の場合、システム全体を停止させる事は不可
能に近い。また、人間が装置に介在する時は動作中のロ
ボットの可動範囲内に立ち入れないという問題があり、
このような状況を回避する方法としては、特開昭６３−
３１８２３７号公報のように、ロボットをもつ加工シス
テムに於いて、加工中に工具の寿命等で次の加工が不可
能となった場合は、機械的原点にアームを戻し、加工開
始前の状態の機械的原点に復帰させ人の介入を待つかホ
ストコンピュータに知らせて、次の動作を指示するとい
う方法がある。
は、個々の装置の動作状態と、全体システムの指令か
ら、ロボットに作業指示を与えるが、ある装置の保守，
点検，修理の場合、システム全体を停止させる事は不可
能に近い。また、人間が装置に介在する時は動作中のロ
ボットの可動範囲内に立ち入れないという問題があり、
このような状況を回避する方法としては、特開昭６３−
３１８２３７号公報のように、ロボットをもつ加工シス
テムに於いて、加工中に工具の寿命等で次の加工が不可
能となった場合は、機械的原点にアームを戻し、加工開
始前の状態の機械的原点に復帰させ人の介入を待つかホ
ストコンピュータに知らせて、次の動作を指示するとい
う方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来技術のも
のは加工機と、部品把持用のロボットで構成される加工
システムの障害退避方法であって、他の従属的な装置と
の動作関係がないときには有効な方法であるが本発明に
係る複数台の装置との連動動作時のトラブル処置方法に
ついての考慮はされていない。
のは加工機と、部品把持用のロボットで構成される加工
システムの障害退避方法であって、他の従属的な装置と
の動作関係がないときには有効な方法であるが本発明に
係る複数台の装置との連動動作時のトラブル処置方法に
ついての考慮はされていない。
【０００４】本発明のように、各装置と連動する自走ロ
ボットでは、装置の保守，点検，トラブル対策時はシス
テム全体を停止せずに装置の作業を行なう必要があるた
めに、従来技術のような原点復帰という停止状態にする
ことは製品コスト上問題である。
ボットでは、装置の保守，点検，トラブル対策時はシス
テム全体を停止せずに装置の作業を行なう必要があるた
めに、従来技術のような原点復帰という停止状態にする
ことは製品コスト上問題である。
【０００５】本発明の目的は、ロボット制御装置の作業
命令によって決まる作業領域の情報をもとに、電気的に
旋回軸の可動範囲を規制する停止回路と、ロボットの動
作領域と、非動作領域の境界を示す表示器を設け、動作
領域内に進入した物体を検出したときロボットを停止さ
せるストッパ回路を提供することにある。
命令によって決まる作業領域の情報をもとに、電気的に
旋回軸の可動範囲を規制する停止回路と、ロボットの動
作領域と、非動作領域の境界を示す表示器を設け、動作
領域内に進入した物体を検出したときロボットを停止さ
せるストッパ回路を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明ではロボットの構造上動きうる最大の範囲
（最大可動範囲）の範疇で、ロボット制御装置の作業命
令で決まる動作範囲に等しいか、それ以上を可動範囲と
限定するために回転位置検出センサを旋回軸の固定側に
取付け、センサ入切ブラケットを可動軸に取付けて、そ
の信号を取捨選択して所定の可動範囲外にセンサ入切ブ
ラケットが移動する時、ロボット停止信号を発生する回
路を設け、また、ロボット制御装置の作業命令で決まる
電気的な最大可動領域を表示する表示装置と、可動領域
に進入した物体を検出した時、ロボットを停止させる停
止回路を設ける事を特徴とする。
に、本発明ではロボットの構造上動きうる最大の範囲
（最大可動範囲）の範疇で、ロボット制御装置の作業命
令で決まる動作範囲に等しいか、それ以上を可動範囲と
限定するために回転位置検出センサを旋回軸の固定側に
取付け、センサ入切ブラケットを可動軸に取付けて、そ
の信号を取捨選択して所定の可動範囲外にセンサ入切ブ
ラケットが移動する時、ロボット停止信号を発生する回
路を設け、また、ロボット制御装置の作業命令で決まる
電気的な最大可動領域を表示する表示装置と、可動領域
に進入した物体を検出した時、ロボットを停止させる停
止回路を設ける事を特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明の装置において、電気的ストッパを用い
たロボットの最大可動範囲は、回転位置検出センサをオ
ン／オフさせるブラケットの位置と、選択回路で選択さ
れた信号で決定され、また、動作領域を表示器で表示し
て安全領域の明示をしながら、万一、物体が作業領域に
進入した時、ロボットを停止させる装置を設けた。
たロボットの最大可動範囲は、回転位置検出センサをオ
ン／オフさせるブラケットの位置と、選択回路で選択さ
れた信号で決定され、また、動作領域を表示器で表示し
て安全領域の明示をしながら、万一、物体が作業領域に
進入した時、ロボットを停止させる装置を設けた。
【０００８】
【実施例】図１に本発明の一実施例を示す。
【０００９】自走ロボット１は、全体システムのプログ
ラムに従って有限軌道上を、走行しながら、半導体製造
装置３ａ〜３ｅとの間で次工程へワークを運んだり処理
済みの完成ワークを取り出すための搬送装置である。
ラムに従って有限軌道上を、走行しながら、半導体製造
装置３ａ〜３ｅとの間で次工程へワークを運んだり処理
済みの完成ワークを取り出すための搬送装置である。
【００１０】ここで、ある半導体製造装置の保守，点
検，修理が必要となった場合、システム全体をそれだけ
のために停止することは製品コスト上難しいが、一方、
装置を停止しないで作業を行なう時は、製造装置と自走
ロボット１との間隙に人が立ち入ることになるため、安
全上問題である。
検，修理が必要となった場合、システム全体をそれだけ
のために停止することは製品コスト上難しいが、一方、
装置を停止しないで作業を行なう時は、製造装置と自走
ロボット１との間隙に人が立ち入ることになるため、安
全上問題である。
【００１１】図２に、ロボットの動作に係る可動範囲に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１２】１′は、自走ロボットを上面から見た外観
図でありロボットの可動範囲は、ロボット旋回軸の回転
中心８を基準として、最大可動範囲６で示される。すな
わち、扇形の領域はロボットアーム９の作業位置がどこ
であれ、ロボット動作中は立ち入ってはならない場所で
あり、この範囲内には人間が介在出来ない。しかし、６
の扇形の領域は、ロボットの構造上動きうる最大の範囲
（最大可動範囲）であり、この最大可動範囲内に電気的
または機械的ストッパがある場合はストッパにより作動
出来ない範囲は可動範囲から除かれると規定しているロ
ボット安全規則に従うと、電気的可動範囲７，７′に規
制することもできる。
図でありロボットの可動範囲は、ロボット旋回軸の回転
中心８を基準として、最大可動範囲６で示される。すな
わち、扇形の領域はロボットアーム９の作業位置がどこ
であれ、ロボット動作中は立ち入ってはならない場所で
あり、この範囲内には人間が介在出来ない。しかし、６
の扇形の領域は、ロボットの構造上動きうる最大の範囲
（最大可動範囲）であり、この最大可動範囲内に電気的
または機械的ストッパがある場合はストッパにより作動
出来ない範囲は可動範囲から除かれると規定しているロ
ボット安全規則に従うと、電気的可動範囲７，７′に規
制することもできる。
【００１３】次に、ロボットのワーク出し入れ作業は、
製造装置３ｇに対する場合と、３ｆに対する場合では、
動作領域がロボットの長手方向の中心線に関して対象的
である。従って、ロボットの可動範囲を作業状況に応じ
ての最大動作範囲か、それより幾分大きい値である７も
しくは７′に設定すれば、非可動領域、言い替えれば安
全領域が、拡大することになる。
製造装置３ｇに対する場合と、３ｆに対する場合では、
動作領域がロボットの長手方向の中心線に関して対象的
である。従って、ロボットの可動範囲を作業状況に応じ
ての最大動作範囲か、それより幾分大きい値である７も
しくは７′に設定すれば、非可動領域、言い替えれば安
全領域が、拡大することになる。
【００１４】図３は、本発明の実施例を示す、旋回軸の
正面図、図４は本発明の旋回軸断面図である。
正面図、図４は本発明の旋回軸断面図である。
【００１５】図４においてロボット固定用フランジ１１
は、図１の自走ロボット１の搬送車上に固定する円形板
で、内部は軸受を介して駆動モータ１８と、回転軸を機
械的に接続した構造である。
は、図１の自走ロボット１の搬送車上に固定する円形板
で、内部は軸受を介して駆動モータ１８と、回転軸を機
械的に接続した構造である。
【００１６】図において、駆動モータ１８が回転すると
ロボット固定用フランジ１１の固定側に設置した回転位
置検出センサ１２、１２′と可動側に対向配置したセン
サ入切用ブラケット１３で構成される回転位置検出機構
を複数組設ける。
ロボット固定用フランジ１１の固定側に設置した回転位
置検出センサ１２、１２′と可動側に対向配置したセン
サ入切用ブラケット１３で構成される回転位置検出機構
を複数組設ける。
【００１７】図５は、本実施例における、装置のブロッ
ク図である。
ク図である。
【００１８】図において、モータ固定フランジ１１の内
部に取付けた回転位置検出センサ１２ａ〜１２ｄの信号
は、全体システムの指令によって決まる、ロボットの作
業命令は、動作指令２０とロボット制御装置内に設置し
た選択器２１に送出される。選択器２１は、動作指令２
０をもとに、停止させるに該当する回転位置検出センサ
１２ａ〜１２ｄの信号を取捨選択して可動範囲の両端位
置信号２３，２４とする。ロボット動作中に位置信号が
オンしたときは停止回路２５がただちに、ロボットの回
転を停止させる。また、選択回路２１はロボットの動作
範囲も計算されるので、自走ロボット１の固定フランジ
取り付け面に設置した照光形の表示ランプを点灯させて
作業者に注意を喚起する。もし、ロボット動作領域内に
物体が進入した場合は、同じく、固定フランジ取り付け
面に固定したエリアセンサ２７等によって検出し、その
信号を停止回路２５に送って、直ちに、ロボットを停止
させる。このようにロボットの安全領域を拡大する回路
と、不安全領域を表示する表示装置、更に、不安全領域
に侵入した物体を検出してロボットを停止させる。これ
ら装置により、ロボットの非作業領域側での人間の介在
を可能にした。
部に取付けた回転位置検出センサ１２ａ〜１２ｄの信号
は、全体システムの指令によって決まる、ロボットの作
業命令は、動作指令２０とロボット制御装置内に設置し
た選択器２１に送出される。選択器２１は、動作指令２
０をもとに、停止させるに該当する回転位置検出センサ
１２ａ〜１２ｄの信号を取捨選択して可動範囲の両端位
置信号２３，２４とする。ロボット動作中に位置信号が
オンしたときは停止回路２５がただちに、ロボットの回
転を停止させる。また、選択回路２１はロボットの動作
範囲も計算されるので、自走ロボット１の固定フランジ
取り付け面に設置した照光形の表示ランプを点灯させて
作業者に注意を喚起する。もし、ロボット動作領域内に
物体が進入した場合は、同じく、固定フランジ取り付け
面に固定したエリアセンサ２７等によって検出し、その
信号を停止回路２５に送って、直ちに、ロボットを停止
させる。このようにロボットの安全領域を拡大する回路
と、不安全領域を表示する表示装置、更に、不安全領域
に侵入した物体を検出してロボットを停止させる。これ
ら装置により、ロボットの非作業領域側での人間の介在
を可能にした。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、ある装置の保守，点
検，修理を行なう場合、全体システムを停止することな
く、人間が介在しても安全を確保することができる。
検，修理を行なう場合、全体システムを停止することな
く、人間が介在しても安全を確保することができる。
【図１】自走ロボットの動作環境の斜視図、
【図２】ロボットの可動範囲の説明図、
【図３】旋回軸の正面図、
【図４】旋回軸の側面図、
【図５】本発明の装置のブロック図。
１…自走ロボット、３…半導体製造装置、６…最大可動
範囲、７…電気的可動範囲、１２…センサ、１３…ブラ
ケット、２０…動作指令、２１…選択回路、２２…表示
回路、２５…停止回路、２７…エリアセンサ。
範囲、７…電気的可動範囲、１２…センサ、１３…ブラ
ケット、２０…動作指令、２１…選択回路、２２…表示
回路、２５…停止回路、２７…エリアセンサ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｒ 7828−3Ｈ Ｔ 7828−3Ｈ
Claims (2)
- 【請求項１】無人搬送車に搭載したロボットアームとを
もち、前記無人搬送車を作業ステーション位置に移動さ
せ、前記ロボットアームが前記作業ステーションからワ
ークを把持し、或いは、把持した前記ワークを前記作業
ステーションに受けわたすようにした自走ロボットにお
いて、 旋回軸の固定ベースに設置した回転位置検出センサと、
可動側に配置したブラケットで構成された回転位置検出
信号を、ロボット制御装置の作業命令に応じて取捨選択
する選択回路と、検出した信号でモータの可動範囲を規
制する停止回路を設けた事を特徴とするロボットの可動
範囲規制装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記選択回路の信号か
ら前記自走ロボットの可動範囲と非可動範囲の境界線を
示す表示器と、前記自走ロボットの可動範囲内に進入し
た物体を検出するセンサと、前記センサ信号でロボット
を停止させる安全回路を備えた停止回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3253460A JPH0596480A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | ロボツトの可動範囲規制装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3253460A JPH0596480A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | ロボツトの可動範囲規制装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0596480A true JPH0596480A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17251700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3253460A Pending JPH0596480A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | ロボツトの可動範囲規制装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0596480A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006021322A (ja) * | 2005-08-31 | 2006-01-26 | Fanuc Ltd | 自動機械システムの安全装置 |
-
1991
- 1991-10-01 JP JP3253460A patent/JPH0596480A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006021322A (ja) * | 2005-08-31 | 2006-01-26 | Fanuc Ltd | 自動機械システムの安全装置 |
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