JPH0596034U - 識別マーク入り光学素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄いガラス基板にイオン拡散でレンズアレイ
等の光学素子部分を形成した素子において、表裏の識別
を容易化すると同時に、型式などのデータを恒久的に刻
印する。 【構成】 四辺形の透明ガラス基板１の片面側に、光学
素子部分として基板ガラスよりも高屈折率の微小レンズ
２群が稠密マトリクス状に、イオン拡散によって配列形
成してある。そして、レンズ形成領域３の外側の額縁状
領域の一部で、かつ中央から偏位した位置例えば角部近
くに識別マーク４を、レンズ２と同様の基板ガラス内へ
のイオン拡散で周囲よりも屈折率の高い領域として形成
しておく。識別マーク４としては、一般的には素子の型
番号、製造ロット番号などを付す。またマーク４の大き
さ及び線幅は、透過光または反射光により判別可能でし
かも低倍率のルーペでも読みとることができる程度の寸
法とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ガラス基板中にイオン拡散でレンズアレイ、光導波路等の光学素子 部分を一体に形成した光学素子の改良に関し、特に識別マークの刻印に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ガラス基板内に、基板表面の特定パターン領域を通してガラスの屈折率を変化 させる（通常は高める）イオンをガラス中のイオンとの交換で拡散させることに より、マイクロレンズアレイ、光導波路等の光学素子部分を一体形成した光学素 子が知られている。

【考案が解決しようとする課題】

前記のような平板光学素子において、特に基板の肉厚が１ｍｍないし数ｍｍと いった非常に薄いものである場合、平面視あるいは斜視で光学素子形成領域の輪 郭は見えるにしても、形成面が基板両表面のどちら側であるかの判別が難しいと いう問題があった。

【０００３】 また型式番号等を付す場合も、インクマーカー、ラベル添付のような方法では 、素子が汚れる、取扱い途中で消滅、脱落する、他の部品との積層組立の障害に なる等の問題があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

素子形成領域外でかつ中央から偏位した位置に、識別マークを光学素子形成時 に同時にイオン拡散によって形成しておく。 上記識別マークとしては、単に表裏区別の目的のみでなく、製品型式、製造ロッ ト番号など個々の素子を区別管理するために必要な文字、数字、記号を入れるこ とができる。

【０００５】

【作用】 識別マークが中央から偏位した位置に異屈折率領域として入っているので、こ のマークが中央からどちら側（左右あるいは上下）にあるかを見れば、一見して 基板の表裏を識別することができる。

【０００６】

【実施例】

図１（イ）は本考案の一実施例を示す平面図であり、四辺形の透明ガラス基板 １の片面側に、光学素子部分として基板ガラスよりも高屈折率の微小レンズ２群 が稠密マトリクス状に、イオン拡散によって配列形成してある。 上記レンズ形成領域を図中に３で示す。 このレンズ形成領域３は、平面視で基板１の中央にあり上下左右対称なので、 このままでは前述したようにレンズ形成面か裏面かの区別がつきにくい。

【０００７】 そこで本考案では、図１（ロ）に拡大して示すように、レンズ形成領域３の外 側の額縁状領域の一部で、かつ中央から偏位した位置例えば角部近くに識別マー ク４を、レンズ２と同様の基板ガラス内へのイオン拡散で周囲よりも屈折率の高 い領域として形成しておく。 識別マーク４としては、一般的には素子の型番号、製造ロット番号などを付す。 またマーク４の大きさ及び線幅は、透過光または反射光により判別可能でしかも 低倍率のルーペでも読みとることができる程度の寸法とする。

【０００８】 図２に本考案品の製造方法の好適例を示す。 まずガラス基板１の片側表面１Ａを、金属薄膜等のイオン透過防止機能をもつマ スク膜１１で被覆する。 なお、基板１の裏面側１Ｂは必要に応じて上記と同様にイオン透過防止機能マス ク膜で被覆する。

【０００９】 上記のマスク膜１１には、レンズアレイ、光導波路など所定の光学素子のパタ ーンの開口１２を周知のフォトリソグラフィ技術を用いて形成する。 この時、マスク膜１１の光学素子形成領域（有効領域）外の前述した位置に、識 別マークパターンの開口１３も同時形成する。

【００１０】 この後、上記マスク膜付きガラス基板１を、Ｔｌ、Ｃｓ、Ａｇなど基板ガラス の屈折率を増大させる一価の陽イオンを含む溶融塩１４中に浸漬する。 この処理により、溶融塩１４中の上記イオンが基板ガラス中のアルカリイオンと の交換で、マスク膜１１の開口１２、１３を通して基板１内に拡散する。 これにより、当初の基板ガラスの屈折率よりも高い屈折率を有する領域として、 レンズ２及び識別マーク４が基板１の肉厚内に形成される。

【００１１】

【考案の効果】

本考案によれば、識別マークの位置で容易に素子の表裏面が識別できるととも に、型番などの管理データマークが光学素子と同時に恒久的に埋め込み形成され るので、パターニング以後最終的な組立まで正確、確実な製品、部品管理を行う ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（イ）は本考案の一実施例を示す平面図、
（ロ）は同要部拡大図

【図２】（イ）、（ロ）は本考案品の製造方法の一例を
段階的に示す断面図

【符号の説明】

１ ガラス基板 ２ レンズ（光学素子部分） ３ 光学素子形成領域 ４ 識別マーク １１ イオン透過防止マスク膜 １２ 光学素子パターン開口 １３ 識別マークパターン開口 １４ 溶融塩

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 相対的に肉厚の薄い透明ガラス基板に、
   イオン拡散により周辺部と屈折率の異なる光学素子部分
   を一体に形成した光学素子において、前記素子形成領域
   外でかつ中央から偏位した位置に型番等の識別マークを
   前記イオン拡散で形成したことを特徴とする識別マーク
   入り光学素子。