JPH0590456A - 集積回路の冷却構造 - Google Patents

集積回路の冷却構造

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JPH0590456A
JPH0590456A JP3247951A JP24795191A JPH0590456A JP H0590456 A JPH0590456 A JP H0590456A JP 3247951 A JP3247951 A JP 3247951A JP 24795191 A JP24795191 A JP 24795191A JP H0590456 A JPH0590456 A JP H0590456A
Authority
JP
Japan
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integrated circuit
cooling
cooling member
heat
heat conduction
Prior art date
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Pending
Application number
JP3247951A
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English (en)
Inventor
Tomokazu Kaneko
智一 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH0590456A publication Critical patent/JPH0590456A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15312Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a pin array, e.g. PGA

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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 集積回路の冷却性能を向上させるとともに、
製造工数を低減できるようにする。 【構成】 集積回路の冷却構造において、セラミック基
板1に半田付けされた集積回路10との間にある一定の
微小間隔を保つように冷却部材8を取り付け、この冷却
部材8を熱伝導ブロック3に半田付けする。さらに、冷
媒6の流路を有するコールドプレート4を熱伝導ブロッ
ク3上に載置し、冷媒と集積回路との間に存在する金属
面の接触箇所を少なくして放熱させる。 【効果】 冷媒と集積回路との間の金属の接触面の数を
減少することができるために、冷却性能を向上させるこ
とができ、また、集積回路と冷却部材との半田付けを同
時に行うことができるために製造工数の低減をはかるこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路の実装構造に
利用する。本発明は、冷却性能を向上させることができ
る集積回路の冷却構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の集積回路の冷却構造は図3に示す
ように、集積回路10から発生する熱が熱伝導性コンパ
ウンド9を介して冷却部材8´に伝導される。冷却部材
8´はネジ12を締めつけることにより外側に開き集積
回路10とある一定の間隔の位置で熱伝導ブロック3に
密着する。これによって集積回路10からの熱は冷却部
材8´から熱伝導性ブロック3に伝導され、さらに冷媒
6が流れている流路5を有するコールドプレート4に伝
導し、集積回路10が冷却される構造になっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の集積
回路の冷却構造では、冷媒と熱の発生源の間に2ヵ所の
金属接触面があるために熱伝導の効率が悪く、かつ密着
させることにより熱を伝導させるために、表面に傷など
が存在すれば接触状態が悪くなり熱伝導を悪化させてし
まう問題がある。
【0004】また、集積回路の数だけ冷却部材のネジを
締めなければならないため、集積回路の数が多くなれば
なるほどネジ止めの工数がかかり、ネジの締め忘れの可
能性が高くなる問題を有している。
【0005】本発明はこのような問題を解決するもの
で、冷却性能を向上させることができ製造工数を低減す
ることができる集積回路の冷却構造を提供することを目
的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、外部に接続す
るピンを有するセラミック基板と、このセラミック基板
に一方の面が半田付けされた集積回路と、この集積回路
の他方の面と一定の間隔をもって熱伝動性コンパウンド
を介在して接触する冷却部材と、この冷却部材を挿通す
る挿通孔を有し前記集積回路からの熱を伝導する熱伝導
ブロックと、前記セラミック基板と前記熱伝導ブロック
とを固定する枠とを備えた集積回路の冷却構造におい
て、前記冷却部材が前記熱伝導ブロックの挿通孔に挿通
された状態で半田により結合されたことを特徴とする。
【0007】前記熱伝導ブロックに冷媒の流路を設ける
ことができ、また、前記集積回路を複数個備えることが
できる。
【0008】
【作用】集積回路から発生する熱は熱伝導性コンパウン
ドを経由して冷却部材に伝達され、冷却部材に伝達され
た熱は半田を経由して熱伝導ブロックに伝達され、さら
にコールドプレートを介してその内部に設けられた冷媒
から放熱される。このように熱伝導ブロックと冷却部材
が半田により結合されているために、面接触の箇所が少
なくなり冷却性能を向上させることができる。さらに、
従来用いていたネジが不要となるために、加工箇所数お
よび部品点数を削減することができ、製造コストを低減
することができる。
【0009】上記半田は、その融点が集積回路の内部構
造に損傷をきたすことのない低温のものが選ばれる。
【0010】
【実施例】次に、本発明実施例を図面に基づいて説明す
る。図1は本発明第一実施例の構成を示す断面図であ
る。
【0011】本発明第一実施例は、外部に接続するピン
を有するセラミック基板1と、このセラミック基板1に
一方の面が半田付けされた集積回路10と、この集積回
路10の他方の面と一定の間隔をもって熱伝動性コンパ
ウンド9を介在して接触する冷却部材8と、この冷却部
材8を挿通する挿通孔を有し前記集積回路10からの熱
を伝導する熱伝導ブロック3と、冷媒6の流路5を有し
熱伝導ブロック3に載置固定されるコールドプレート4
と、セラミック基板1と熱伝導ブロック3とを固定する
枠2とを備え、冷却部材8が熱伝導ブロック3の挿通孔
に挿通された状態で半田7により結合される。
【0012】集積回路10は複数個備えられ、外部接続
のためのピン11を有するセラミック基板1に半田付け
される。このとき半田付けされた複数個の集積回路10
は個々に高さのばらつきを生じる。熱伝導ブロック3は
冷却部材8を取り付けるための挿通孔を有し、この挿通
孔の内側にはあらかじめ予備の半田7が施される。この
半田7は多すぎないように厚さでその量が管理される。
【0013】冷却部材8にも熱伝導ブロック3と半田付
けする部分に予備の半田7が施される。この半田7も厚
さでその量が管理される。熱伝導ブロック3および冷却
部材8はアルミニウムなどの熱伝導の良い金属材料によ
り加工されるが、アルミニウムには直接半田付けするこ
とができないために、表面はメッキ処理されて半田7が
つきやすい状態にされる。また、このメッキ処理により
表面の腐食を防止することができる。
【0014】熱伝導ブロック3と冷却部材8との半田付
けは集積回路10の半田付けと同時に行われ、これによ
り前述した高さのばらつきがあっても冷却部材8は集積
回路10の高さに合った位置で、半田付けされる。この
半田付けの際に冷却部材8と集積回路10との間に一定
の厚みを有する熱に強いシリコンラバーなどをはさみこ
めば両者間に一定の微小間隔を容易に形成することがで
きる。
【0015】コールドプレート4は熱伝導性の良い金属
材料で製作され、冷媒6が流路5を常に循環して集積回
路10を冷却する。また、冷却性能を高めるためにコー
ルドプレート4と熱伝導ブロック3とは面粗度0.6s
程度の粗さを有する面で密着される。
【0016】枠2はセラミック基板1とエポキシ系接着
剤で固定され、集積回路10上に適量の熱伝動性コンパ
ウンド9が塗布された後にコールドプレート4と熱伝導
ブロック3および熱伝導ブロック3と枠2とが各々ネジ
止めされる。
【0017】図2は本発明第二実施例の構成を示す断面
図である。第二実施例は、コールドプレート4が取り除
かれて熱伝導ブロック3内に冷媒6の流路5が設けら
れ、その他は第一実施例と同様に構成される。
【0018】集積回路10は複数個備えられ、外部接続
のためのピン11を有するセラミック基板1に半田付け
される。このとき半田付けされた複数個の集積回路10
は個々に高さのばらつきを生じる。熱伝導ブロック3は
冷却部材8を半田付けするための挿通孔を有し、その挿
通孔の内側にもあらかじめ予備の半田7が施され、同様
に冷却部材8の半田付けする部分にも予備の半田7が施
される。その半田7の量は厚さで管理される。熱伝導ブ
ロック3および冷却部材8は第一実施例同様にアルミニ
ウムなどの熱伝導性の良い金属で加工され、その表面は
半田7をつきやすくし、かつ腐食を防止するためにメッ
キ処理が施される。
【0019】熱伝導ブロック3と冷却部材8の半田付け
は集積回路10の半田付けと同時に行われ、これにより
前述した高さのばらつきがあっても冷却部材8は集積回
路10の高さに合った位置で半田付けされる。この半田
付けの際に冷却部材8と集積回路10の間に一定の厚み
を有する熱に強いシリコンラバーなどをはさみこめば両
者間に一定の微小間隔を容易に形成することができる。
熱伝導ブロック3と冷却部材8とが半田付けされるとそ
の双方によって空間が形成され、この空間が冷媒6を流
すための流路5となる。
【0020】枠2はセラミック基板1とエポキシ系接着
剤で固定され、集積回路10上に適量の熱伝動性コンパ
ウンド9が塗布された後に熱伝導ブロック3と枠2とが
ネジにより固定される。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば熱伝
導ブロックと冷却部材を半田付けすることにより、金属
同士の接触による熱伝導を行う2ヵ所の接触部分を減ら
すことができ、冷却性能の向上を図ることができる効果
がある。
【0022】また、集積回路の個数にかかわらず熱伝導
ブロックと冷却部材との半田付けの過熱を一回で行うこ
とができるために製造工数を低減することができる効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明第一実施例の構成を示す断面図。
【図2】本発明第二実施例の構成を示す断面図。
【図3】従来例の構成を示す断面図。
【符号の説明】
1 セラミック基板 2 枠 3 熱伝導ブロック 4 コールドプレート 5 流路 6 冷媒 7 半田 8、8´ 冷却部材 9 熱伝動性コンパウンド 10 集積回路 11 ピン 12 ネジ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部に接続するピンを有するセラミック
    基板(1)と、 このセラミック基板に一方の面が半田付けされた集積回
    路(10)と、 この集積回路の他方の面と一定の間隔をもって熱伝動性
    コンパウンドを介在して接触する冷却部材(8)と、 この冷却部材を挿通する挿通孔を有し前記集積回路から
    の熱を伝導する熱伝導ブロック(3)と、 前記セラミック基板と前記熱伝導ブロックとを固定する
    枠(2)とを備えた集積回路の冷却構造において、 前記冷却部材が前記熱伝導ブロックの挿通孔に挿通され
    た状態で半田により結合されたことを特徴とする集積回
    路の冷却構造。
  2. 【請求項2】 前記熱伝導ブロックに冷媒の流路が設け
    られた請求項1記載の集積回路の冷却構造。
  3. 【請求項3】 前記集積回路が複数個備えられた請求項
    1記載の集積回路の冷却構造。
JP3247951A 1991-09-26 1991-09-26 集積回路の冷却構造 Pending JPH0590456A (ja)

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JP3247951A JPH0590456A (ja) 1991-09-26 1991-09-26 集積回路の冷却構造

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ID=17170977

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7581585B2 (en) 2004-10-29 2009-09-01 3M Innovative Properties Company Variable position cooling apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7581585B2 (en) 2004-10-29 2009-09-01 3M Innovative Properties Company Variable position cooling apparatus

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