JPH0494562A - 集積回路の冷却構造 - Google Patents
集積回路の冷却構造Info
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- JPH0494562A JPH0494562A JP2212396A JP21239690A JPH0494562A JP H0494562 A JPH0494562 A JP H0494562A JP 2212396 A JP2212396 A JP 2212396A JP 21239690 A JP21239690 A JP 21239690A JP H0494562 A JPH0494562 A JP H0494562A
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- JP
- Japan
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- integrated circuit
- cooling structure
- ceramic substrate
- heatsink
- block
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 10
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 7
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73253—Bump and layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15312—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a pin array, e.g. PGA
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は集積回路自体を冷却する集積回路の冷却構造に
関する。
関する。
従来の集積回路の冷却構造について図を参照して説明す
る。
る。
第2図は従来の集積回路の冷却構造の一例を示す縦断面
図である。
図である。
第2図において従来の集積回路の冷却構造は、集積回路
3からの放熱が熱伝導性コンパウンド9によって熱伝導
ブロック10に伝えられ、さらにその熱伝導ブロック1
0から冷媒8の流路7を持つコールドプレート11へと
伝達されることにより、集積回路3が冷却される構造と
なっていた。
3からの放熱が熱伝導性コンパウンド9によって熱伝導
ブロック10に伝えられ、さらにその熱伝導ブロック1
0から冷媒8の流路7を持つコールドプレート11へと
伝達されることにより、集積回路3が冷却される構造と
なっていた。
上述した従来の集積回路の冷却構造では、第2図に示す
ように集積回路3から冷媒8までの間に金属と金属の接
触面が2ケ所あるために、熱の伝導性が悪く、また、集
積回路3と冷媒8まで距離があるので冷却性能があがら
ないという欠点がある。
ように集積回路3から冷媒8までの間に金属と金属の接
触面が2ケ所あるために、熱の伝導性が悪く、また、集
積回路3と冷媒8まで距離があるので冷却性能があがら
ないという欠点がある。
本発明の集積回路の冷却構造は、外部接続のためのピン
を有するセラミック基板と、このセラミック基板に半田
付けされた集積回路と、この集積回路の半田付けする面
と反対の面には薄板でできた2枚のフィンを有する放熱
板と、この放熱板と密着するように前記集積回路に向か
ってテーパ上に突き出している形状で冷媒が流れる流路
を有するブロック体と、前記セラミック基板と前記ブロ
ック体とを固定する枠と、前記放熱板と前記ブロック体
との間にわずかな間隙を有してその間隙に熱伝導性のコ
ンパウンドとを有している。
を有するセラミック基板と、このセラミック基板に半田
付けされた集積回路と、この集積回路の半田付けする面
と反対の面には薄板でできた2枚のフィンを有する放熱
板と、この放熱板と密着するように前記集積回路に向か
ってテーパ上に突き出している形状で冷媒が流れる流路
を有するブロック体と、前記セラミック基板と前記ブロ
ック体とを固定する枠と、前記放熱板と前記ブロック体
との間にわずかな間隙を有してその間隙に熱伝導性のコ
ンパウンドとを有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例の縦断面図である。
第1図において、本実施例の冷却構造は集積回路3が外
部接続のためのピン2を有するセラミック基板1に半田
で接続され、また、その集積回路3の上部には、熱伝導
性の良い薄板で作られた放熱板5が接着され、熱伝導ブ
ロック6がその放熱板5と接触面積が大きく得られるよ
うに集積回路3に向かってテーバ状となっており、また
、放熱板5と熱伝導ブロック6の接触していない間隙に
は、熱伝導性の良いコンパウンド9がつめられており、
熱伝導ブロック6の内部には、流路7があり、その中を
冷却8が循環することにより集積回路3を冷却する構造
となっている。
部接続のためのピン2を有するセラミック基板1に半田
で接続され、また、その集積回路3の上部には、熱伝導
性の良い薄板で作られた放熱板5が接着され、熱伝導ブ
ロック6がその放熱板5と接触面積が大きく得られるよ
うに集積回路3に向かってテーバ状となっており、また
、放熱板5と熱伝導ブロック6の接触していない間隙に
は、熱伝導性の良いコンパウンド9がつめられており、
熱伝導ブロック6の内部には、流路7があり、その中を
冷却8が循環することにより集積回路3を冷却する構造
となっている。
尚、セラミック基板1と内部に流路7を持つ熱伝導ブロ
ック6とは枠4により固定されている。
ック6とは枠4により固定されている。
以上説明したように本発明は、集積回路に接着した放熱
板と冷媒が内部に流れるブロック体とを接触させる構造
にすることにより、従来の構造に比べ、冷媒から集積回
路まで熱伝導性の良い金属でつながるため、また、冷媒
と集積回路との距離が近くなるため、従来より冷却性能
を向上させることができるという効果がある。
板と冷媒が内部に流れるブロック体とを接触させる構造
にすることにより、従来の構造に比べ、冷媒から集積回
路まで熱伝導性の良い金属でつながるため、また、冷媒
と集積回路との距離が近くなるため、従来より冷却性能
を向上させることができるという効果がある。
第1図は本発明の一実施例の集積回路の冷却構造の縦断
面図、第2図は従来の集積回路の冷却構造の一例を示す
縦断面図である。 1・・・セラミック基板、2・・・ピン、3・・・集積
回路、4・・・枠、5・・・放熱板、6・・・熱伝導ブ
ロック、7・・・流路、8・・・冷媒、9・・・コンパ
ウンド、1o・・・熱伝導ブロック、11・・・コール
ドプレート。
面図、第2図は従来の集積回路の冷却構造の一例を示す
縦断面図である。 1・・・セラミック基板、2・・・ピン、3・・・集積
回路、4・・・枠、5・・・放熱板、6・・・熱伝導ブ
ロック、7・・・流路、8・・・冷媒、9・・・コンパ
ウンド、1o・・・熱伝導ブロック、11・・・コール
ドプレート。
Claims (1)
- 外部接続のためのピンを有するセラミック基板と、こ
のセラミック基板に半田付けされた集積回路と、この集
積回路の半田付けする面と反対の面には薄板でできた2
枚のフィンを有する放熱板と、この放熱板と密着するよ
うに前記集積回路に向かってテーパ上に突き出している
形状で冷媒が流れる流路を有するブロック体と、前記セ
ラミック基板と前記ブロック体とを固定する枠と、前記
放熱板と前記ブロック体との間にわずかな間隙を有して
その間隙に熱伝導性のコンパウンドとを有することを特
徴とする集積回路の冷却構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2212396A JPH0494562A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 集積回路の冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2212396A JPH0494562A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 集積回路の冷却構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0494562A true JPH0494562A (ja) | 1992-03-26 |
Family
ID=16621896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2212396A Pending JPH0494562A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 集積回路の冷却構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0494562A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6158232A (en) * | 1998-03-13 | 2000-12-12 | Nec Corporation | Advanced liquid cooling apparatus |
JP2005159346A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Lg Electronics Inc | 放熱装置を有する携帯端末機 |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP2212396A patent/JPH0494562A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6158232A (en) * | 1998-03-13 | 2000-12-12 | Nec Corporation | Advanced liquid cooling apparatus |
JP2005159346A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Lg Electronics Inc | 放熱装置を有する携帯端末機 |
US7286360B2 (en) | 2003-11-21 | 2007-10-23 | Lg Electronics Inc. | Heat radiating system and method for a mobile communication terminal |
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