JPH0588775B2 - - Google Patents
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- JPH0588775B2 JPH0588775B2 JP7192086A JP7192086A JPH0588775B2 JP H0588775 B2 JPH0588775 B2 JP H0588775B2 JP 7192086 A JP7192086 A JP 7192086A JP 7192086 A JP7192086 A JP 7192086A JP H0588775 B2 JPH0588775 B2 JP H0588775B2
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Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、超微小硬度試験方法に関する。
[従来技術]
磁気テープ等の極薄材やゴム等の材料の硬度測
定は、被試験体表面の金属蒸着膜や半導体基板上
の絶縁膜等の薄膜の硬度を測定する超微小硬度計
を用いて行なわれている。
定は、被試験体表面の金属蒸着膜や半導体基板上
の絶縁膜等の薄膜の硬度を測定する超微小硬度計
を用いて行なわれている。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、超微小硬度計により磁気テープ
やゴムなどを試験する際、第4図aに示すよう
に、磁気テープ7と試料台8との間に間隙(空気
層)9が生じやすく、この間隙によつて測定誤差
が生じるという問題点があつた。すなわち、この
ような間隙9が存在すると圧子による押込過程の
際、第5図に示すように間隙9がなくなるまで圧
子の押込深さが急激に増加するので、荷重と圧子
の押込み深さを計測の対象とする試験において大
きな測定誤差を生じるのである。また、同図aに
示すように、ゴム10等の変形しやすい試料では
圧子の押し込み時に弾性によつて横方向に逃げ、
場合によつては全く測定できなくなるという問題
点もあつた。
やゴムなどを試験する際、第4図aに示すよう
に、磁気テープ7と試料台8との間に間隙(空気
層)9が生じやすく、この間隙によつて測定誤差
が生じるという問題点があつた。すなわち、この
ような間隙9が存在すると圧子による押込過程の
際、第5図に示すように間隙9がなくなるまで圧
子の押込深さが急激に増加するので、荷重と圧子
の押込み深さを計測の対象とする試験において大
きな測定誤差を生じるのである。また、同図aに
示すように、ゴム10等の変形しやすい試料では
圧子の押し込み時に弾性によつて横方向に逃げ、
場合によつては全く測定できなくなるという問題
点もあつた。
そこで本発明は、これら磁気テープ等の試料を
も超微小硬度計により正確に測定できるような超
微小硬度試験方法を提供することを目的とする。
も超微小硬度計により正確に測定できるような超
微小硬度試験方法を提供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段]
上記問題点を解決するために、本発明は次のよ
うな構成を採用した。
うな構成を採用した。
すなわち、本発明にかかる超微小硬度試験方法
は、磁気テープやゴム材等の試料を接着剤を用い
て試料台上に付着させ、該接着剤を固化させた
後、圧子による押込みを行なうことを特徴とする
特徴とする。
は、磁気テープやゴム材等の試料を接着剤を用い
て試料台上に付着させ、該接着剤を固化させた
後、圧子による押込みを行なうことを特徴とする
特徴とする。
[作用]
接着剤が固化し試料が試料台に固定されるのを
持つて圧子の押込みを行なうので、試料と試料台
との間に空気層が生じることがなく、試料の横方
向への逃げも生じない。
持つて圧子の押込みを行なうので、試料と試料台
との間に空気層が生じることがなく、試料の横方
向への逃げも生じない。
[実施例]
第1図は、本発明を実施して行なう硬度試験を
説明する図であり、ガラス板やスチールの薄板を
鏡面仕上げした試料台5上に試料2を接着剤3に
より固定してから圧子1の押し込みを行なう。す
なわち、第2図に示すように、試料台5の表面若
しくは試料台2の裏面に接着剤3を塗布し(同図
イ)、試料2を試料台5上に付着させ接着剤3が
固化するのを待ち(同図ロ)、試料2が固定され
てから圧子1を降ろして押込みを行なう(同図
ハ)。
説明する図であり、ガラス板やスチールの薄板を
鏡面仕上げした試料台5上に試料2を接着剤3に
より固定してから圧子1の押し込みを行なう。す
なわち、第2図に示すように、試料台5の表面若
しくは試料台2の裏面に接着剤3を塗布し(同図
イ)、試料2を試料台5上に付着させ接着剤3が
固化するのを待ち(同図ロ)、試料2が固定され
てから圧子1を降ろして押込みを行なう(同図
ハ)。
第3図は、本発明を実施して得られた荷重−押
込み深さ特性を示す図で、従来のように空気層等
による逃げがなく正確な計測が行なわれることを
示す。
込み深さ特性を示す図で、従来のように空気層等
による逃げがなく正確な計測が行なわれることを
示す。
接着剤としては、固化したときに超微小硬度試
験負荷圧に耐える硬度を有するものを使用する必
要があり、たとえば、アロンアルフア若しくはプ
リツト(いずれも商品名)を使用する。
験負荷圧に耐える硬度を有するものを使用する必
要があり、たとえば、アロンアルフア若しくはプ
リツト(いずれも商品名)を使用する。
[発明の効果]
上記説明から明らかなように、本発明の超微小
硬度試験方法によれば、従来計測が不可能であつ
たゴム材等の変形しやすい試料の試験を行なうこ
とができるとともに、磁気テープ等の極薄材の試
験をより正確に行なうことができるようになつ
た。
硬度試験方法によれば、従来計測が不可能であつ
たゴム材等の変形しやすい試料の試験を行なうこ
とができるとともに、磁気テープ等の極薄材の試
験をより正確に行なうことができるようになつ
た。
第1図は本発明を実施して行なう超微小硬度試
験を説明する図、第2図イ,ロ,ハは本発明を実
施する手順を示す図である。第3図は本発明を実
施して得られた荷重−押込み深さ特性を示す図、
第4図a,bは従来法の欠点を説明する図、第5
図は従来法による荷重−押込み深さ特性を示す図
である。 1…圧子、2…試料、3…接着剤、5…試料
台。
験を説明する図、第2図イ,ロ,ハは本発明を実
施する手順を示す図である。第3図は本発明を実
施して得られた荷重−押込み深さ特性を示す図、
第4図a,bは従来法の欠点を説明する図、第5
図は従来法による荷重−押込み深さ特性を示す図
である。 1…圧子、2…試料、3…接着剤、5…試料
台。
Claims (1)
- 1 磁気テープやゴム材等の試料を接着剤を用い
て試料台上に付着させ、該接着剤を固化させた
後、圧子による押込みを行なうことを特徴とする
超微小硬度試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7192086A JPS62228134A (ja) | 1986-03-29 | 1986-03-29 | 超微小硬度試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7192086A JPS62228134A (ja) | 1986-03-29 | 1986-03-29 | 超微小硬度試験方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62228134A JPS62228134A (ja) | 1987-10-07 |
JPH0588775B2 true JPH0588775B2 (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=13474449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7192086A Granted JPS62228134A (ja) | 1986-03-29 | 1986-03-29 | 超微小硬度試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62228134A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013160589A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Nitto Denko Corp | ナノインデンター用試料固定部材 |
-
1986
- 1986-03-29 JP JP7192086A patent/JPS62228134A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62228134A (ja) | 1987-10-07 |
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