JPH058807B2 - - Google Patents
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- JPH058807B2 JPH058807B2 JP59171194A JP17119484A JPH058807B2 JP H058807 B2 JPH058807 B2 JP H058807B2 JP 59171194 A JP59171194 A JP 59171194A JP 17119484 A JP17119484 A JP 17119484A JP H058807 B2 JPH058807 B2 JP H058807B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0333—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect addressed by a beam of charged particles
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- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空容器中に形成した電子源に対向
して、電気光学結晶を配置し、電子源から放出さ
れる電子を前記結晶表面に蓄積し、前記結晶に前
記蓄積電荷を対応する屈折率の変化を発生させ、
その屈折率変化をレーザで読み出す空間光変調管
の製造方法に関する。
して、電気光学結晶を配置し、電子源から放出さ
れる電子を前記結晶表面に蓄積し、前記結晶に前
記蓄積電荷を対応する屈折率の変化を発生させ、
その屈折率変化をレーザで読み出す空間光変調管
の製造方法に関する。
（従来の技術）
まず空間光変調管の基本的な動作を簡単に説明
する。
する。
第２図は空間光変調管を示す概略図である。空
間光変調管のガラス容器３の内面の光電面４にイ
ンコヒーレント光で照明された入力パターン１か
らの像がレンズ２を介して入射させられる。
間光変調管のガラス容器３の内面の光電面４にイ
ンコヒーレント光で照明された入力パターン１か
らの像がレンズ２を介して入射させられる。
光電面４は入射像に対応した光電子を放出す
る。その光電子は加速・集束電子レンズ系５を介
して、マイクロチヤンネルプレート６に入射させ
られ、数千倍に増倍される。
る。その光電子は加速・集束電子レンズ系５を介
して、マイクロチヤンネルプレート６に入射させ
られ、数千倍に増倍される。
前記増倍された電子は、裏面に透明電極８ａが
形成されているLiNbO3などの電気光学結晶８の
表面に蓄積され、結晶８の屈折率を電荷像を対応
して変化させる。
形成されているLiNbO3などの電気光学結晶８の
表面に蓄積され、結晶８の屈折率を電荷像を対応
して変化させる。
レーザ光源１０からのレーザ光をハーフミラー
９を介して結晶８に照射すると、レーザ光の像１
１（コヒーレント像）が得られる。このレーザ光
の像１１は、コヒーレント並列光演算を行うとこ
とができる。
９を介して結晶８に照射すると、レーザ光の像１
１（コヒーレント像）が得られる。このレーザ光
の像１１は、コヒーレント並列光演算を行うとこ
とができる。
前記構成の空間光変調管において、電気光学結
晶８の厚さが比較的厚い時、第３図Ａに示すよう
に、結晶表面に微小な点電荷Ｐが帯電した時、そ
の電荷による電界はδ1で示すように広く拡がる。
晶８の厚さが比較的厚い時、第３図Ａに示すよう
に、結晶表面に微小な点電荷Ｐが帯電した時、そ
の電荷による電界はδ1で示すように広く拡がる。
これに対して、結晶８の厚さが比較的薄い時
は、第３図Ｂのように、拡がりは小さくなる。
は、第３図Ｂのように、拡がりは小さくなる。
この電界は、結晶８の屈折率は変化させ、レー
ザ１０からの光を変調するから、取り出されるコ
ヒーレント像は、結晶８が薄い方が解像度が良く
なることは容器に理解できる。
ザ１０からの光を変調するから、取り出されるコ
ヒーレント像は、結晶８が薄い方が解像度が良く
なることは容器に理解できる。
そのため、結晶８を平面度λ／10で、平行度５
秒以下の条件を保つたままで、できる限り薄く研
磨し、空間光変調管へ組み込んだ。
秒以下の条件を保つたままで、できる限り薄く研
磨し、空間光変調管へ組み込んだ。
すなわち直径25mm、厚さ0.3mmの55°カツト
LinNbO3単結晶板を用いた。
LinNbO3単結晶板を用いた。
このとき、空間光変調管の解像度は、
３ラインペア／mm（50％変調度）
であつた。
コヒーレント並列光演算を行なうには、この解
像度では不十分であり、解像度は向上させるため
には結晶８をさらに薄くする必要がある。
像度では不十分であり、解像度は向上させるため
には結晶８をさらに薄くする必要がある。
しかしながら、LiNbO3結晶が前述の厚さより
薄くすると、結晶が反つてしまい、使用に耐えら
れない。
薄くすると、結晶が反つてしまい、使用に耐えら
れない。
（発明の目的）
本発明の目的は、極めて薄い電気光学結晶板を
用いた解像度の優れた空間光変調管を製造する方
法を提供することにある。
用いた解像度の優れた空間光変調管を製造する方
法を提供することにある。
（発明の構成）
前記目的を達成するために本発明による空間光
変調管の製造方法は、 真空容器中に形成された電子源と、電子源から
放出された電子を蓄積し、光学的変化を生ずる電
気学結晶部から成る空間光変調管の製造方法にお
いて、 画面を研磨した第１の電気光学結晶の一面に透
明導電膜を形成し、 少なくとも一つ面を研磨した第２の電気光学結
晶をその研磨した面で前記透明導電膜に透明接着
剤で接着し、 前記第２の電気光学結晶を薄く研磨し、 前記第２の電気光学結晶が前記電子源に対向す
るように前記真空容器内に配置し、 前記容器を加熱下に排気するように構成されて
いる。
変調管の製造方法は、 真空容器中に形成された電子源と、電子源から
放出された電子を蓄積し、光学的変化を生ずる電
気学結晶部から成る空間光変調管の製造方法にお
いて、 画面を研磨した第１の電気光学結晶の一面に透
明導電膜を形成し、 少なくとも一つ面を研磨した第２の電気光学結
晶をその研磨した面で前記透明導電膜に透明接着
剤で接着し、 前記第２の電気光学結晶を薄く研磨し、 前記第２の電気光学結晶が前記電子源に対向す
るように前記真空容器内に配置し、 前記容器を加熱下に排気するように構成されて
いる。
（実施例）
以下図面等を参照して本発明による製造方法を
さらに詳しく説明する。
さらに詳しく説明する。
第１図は本発明による空間光変調管の製造方法
により製造された空間光変調管の電気光学結晶の
製造過程を説明するための略図である。
により製造された空間光変調管の電気光学結晶の
製造過程を説明するための略図である。
本発明による空間光変調管の基本的な構成は、
先に第２図に説明したものと異ならない。
先に第２図に説明したものと異ならない。
この実施例では極めて薄い電気光学結晶板を得
るために、直径25mm、厚さ10mmの55°カツト
LiNbO3板３１をその２つの面３１ａと３１ｂが
平行（平行度５秒程度）かつ平面度λ／10になる
ように研磨する。
るために、直径25mm、厚さ10mmの55°カツト
LiNbO3板３１をその２つの面３１ａと３１ｂが
平行（平行度５秒程度）かつ平面度λ／10になる
ように研磨する。
その後、一面３１ｂに透明導電膜（ITO）を一
様に蒸着する。
様に蒸着する。
一方、直径20mm、厚さ３mmの55°カツトLiNbO3
単結晶板３３の一面３３ａを平面度λ／10に研磨
する。
単結晶板３３の一面３３ａを平面度λ／10に研磨
する。
そして結晶３１と結晶３３を結晶軸方向が一致
するようにして面３１ｂと面３３ａとを透明接着
材３２（例えばエポキシ系接着材、またはアクリ
ル系接着剤）で接着固定する。
するようにして面３１ｂと面３３ａとを透明接着
材３２（例えばエポキシ系接着材、またはアクリ
ル系接着剤）で接着固定する。
次に３１ａ面を研磨治具に固定し、面３３ｂ研
磨する。
磨する。
そして結晶３３の厚さｄを50μｍ程度まで薄く
し、面３３ｂの平面度をλ／10、面３３ｂと面３
３ａの平行度を数秒になるように磨く。
し、面３３ｂの平面度をλ／10、面３３ｂと面３
３ａの平行度を数秒になるように磨く。
このようにして得られたものを、平面原器およ
びオートコリメータで測定し、所望の平面度、平
行度が得られていることを確認した後、空間光変
調管に組み込んた。透明導電膜は従来の場合と同
様に電極として使用される。
びオートコリメータで測定し、所望の平面度、平
行度が得られていることを確認した後、空間光変
調管に組み込んた。透明導電膜は従来の場合と同
様に電極として使用される。
前述の構成からなる空間光変調管の解像度を測
定したところ 15ラインペア／mm（50％変調度） が得られ、従来の５倍程度優れたものになり、コ
ーヒレント光情報処理の利用に耐えらる値となつ
た。
定したところ 15ラインペア／mm（50％変調度） が得られ、従来の５倍程度優れたものになり、コ
ーヒレント光情報処理の利用に耐えらる値となつ
た。
また、空間光変調管は、ガス抜きのため、ある
いは光電面を作るための200℃以上の高温にベー
キングするが、本発明は、同一材料同志を接着し
てあるから、熱膨張率の違いによる割れ、はがれ
などの問題は全くなかつた。
いは光電面を作るための200℃以上の高温にベー
キングするが、本発明は、同一材料同志を接着し
てあるから、熱膨張率の違いによる割れ、はがれ
などの問題は全くなかつた。
さらに、55°カツトのLiNbO3の場合のような自
然複屈折を持つ場合には、結晶３１の両面３１
ａ，３１ｂに透明導電膜を蒸着して、適当な電圧
を与えることにより、結晶３３の自然複屈折によ
る位相変化を補償できる。
然複屈折を持つ場合には、結晶３１の両面３１
ａ，３１ｂに透明導電膜を蒸着して、適当な電圧
を与えることにより、結晶３３の自然複屈折によ
る位相変化を補償できる。
（変形例）
以上の説明は、LiNbO3単結晶を例にして説明
したが、他の結晶、例えばＺカツトLiNbO3、
LiTaO3、Bi12SiO20なども同様に利用できる。
したが、他の結晶、例えばＺカツトLiNbO3、
LiTaO3、Bi12SiO20なども同様に利用できる。
上記実施例では、電子源として光電面の場合を
示したが、電子銃を電子源として書込みを行う形
式の場合も、本発明は同様に適用できる。
示したが、電子銃を電子源として書込みを行う形
式の場合も、本発明は同様に適用できる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明による空間光変調
管の電気光学結晶は、２枚の同種類の厚さの異な
る電気光学結晶板の透明導電膜を介して接着一体
化し、前記薄い結晶の表面を前記光電面に対向す
るように配置してある。
管の電気光学結晶は、２枚の同種類の厚さの異な
る電気光学結晶板の透明導電膜を介して接着一体
化し、前記薄い結晶の表面を前記光電面に対向す
るように配置してある。
そのため、研磨加工された薄い部分のみの電気
光学特性を利用できるので解像度を著しく向上さ
せることができた。
光学特性を利用できるので解像度を著しく向上さ
せることができた。
第１図は、本発明による空間光変調管に使用す
る電気光学結晶の製造過程を説明するための略図
である。第２図は空間光変調管の基本的な構成を
説明するための略図である。第３図は電気光学結
晶板の厚さと電界の関係を示す略図である。 １……入力像、２……レンズ、３……ガラス容
器、４……光電面、５……集束電極、６……マイ
クロチヤンネルプレート、７……メツシユ電極、
８……電気光学結晶、８ａ……透明電極、９……
ハーフミラー、１０……レーザ光源、１１……出
力像、３１……基板となる電気光学結晶、３２…
…接着材、３３……研磨される電気光学結晶。
る電気光学結晶の製造過程を説明するための略図
である。第２図は空間光変調管の基本的な構成を
説明するための略図である。第３図は電気光学結
晶板の厚さと電界の関係を示す略図である。 １……入力像、２……レンズ、３……ガラス容
器、４……光電面、５……集束電極、６……マイ
クロチヤンネルプレート、７……メツシユ電極、
８……電気光学結晶、８ａ……透明電極、９……
ハーフミラー、１０……レーザ光源、１１……出
力像、３１……基板となる電気光学結晶、３２…
…接着材、３３……研磨される電気光学結晶。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空容器中に形成された電子源と、電子源か
ら放出された電子を蓄積し、光学的変化を生ずる
電気学結晶部から成る空間光変調管の製造方法に
おいて、 両面を研磨した第１の電気光学結晶の一面に透
明導電膜を形成し、 少なくとも一つの面を研磨した第２の電気光学
結晶をその研磨した面で前記透明導電膜に透明接
着剤で接着し、 前記第２の電気光学結晶を薄く研磨し、 前記第２の電気光学結晶が前記電子源に対向す
るように前記真空容器内に配置し、 前記容器を加熱下に排気して構成した空間光変
調管の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59171194A JPS6148815A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 空間光変調管の製造方法 |
| US06/761,093 US4678286A (en) | 1984-08-17 | 1985-07-31 | Spatial light modulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59171194A JPS6148815A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 空間光変調管の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148815A JPS6148815A (ja) | 1986-03-10 |
| JPH058807B2 true JPH058807B2 (ja) | 1993-02-03 |
Family
ID=15918750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59171194A Granted JPS6148815A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 空間光変調管の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4678286A (ja) |
| JP (1) | JPS6148815A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4763996A (en) * | 1984-11-20 | 1988-08-16 | Hamamatsu Photonics Kabushiki Kaisha | Spatial light modulator |
| US4818983A (en) * | 1985-08-20 | 1989-04-04 | Hamamatsu Photonics Kabushiki Kaisha | Optical image generator having a spatial light modulator and a display device |
| JPS6242180A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-24 | Hamamatsu Photonics Kk | マイクロ波ホログラフイ装置 |
| US4741602A (en) * | 1985-08-20 | 1988-05-03 | Hamamatsu Photonics Kabushiki Kaisha | Spatial light modulator |
| JPH01189625A (ja) * | 1988-01-25 | 1989-07-28 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調器の製造方法 |
| US4856863A (en) * | 1988-06-22 | 1989-08-15 | Texas Instruments Incorporated | Optical fiber interconnection network including spatial light modulator |
| JPH024235A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5342751A (en) * | 1976-09-29 | 1978-04-18 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Electro-optical display device |
| JPS53104255A (en) * | 1977-02-23 | 1978-09-11 | Minolta Camera Co Ltd | Light passage controlling member using |
| JPS5459954A (en) * | 1977-10-20 | 1979-05-15 | Sony Corp | Electron beam scanning type electro-optic valve |
| JPS575028A (en) * | 1980-06-12 | 1982-01-11 | Ricoh Co Ltd | Joining method of transparent substrate to crystal plate |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3499157A (en) * | 1964-08-18 | 1970-03-03 | Nippon Electric Co | Light intensity amplifying device utilizing a semiconductor electron-sensitive variable resistance layer |
| US3702215A (en) * | 1971-03-08 | 1972-11-07 | Stewart E Cummins | Electron beam controlled bistable ferroelectric light valve |
| JPS57204510A (en) * | 1981-06-12 | 1982-12-15 | Ricoh Co Ltd | Optical image transducing element |
| JPS608822A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調管 |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP59171194A patent/JPS6148815A/ja active Granted
-
1985
- 1985-07-31 US US06/761,093 patent/US4678286A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5342751A (en) * | 1976-09-29 | 1978-04-18 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Electro-optical display device |
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| JPS575028A (en) * | 1980-06-12 | 1982-01-11 | Ricoh Co Ltd | Joining method of transparent substrate to crystal plate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6148815A (ja) | 1986-03-10 |
| US4678286A (en) | 1987-07-07 |
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