JPS6148815A - 空間光変調管の製造方法 - Google Patents
空間光変調管の製造方法Info
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- JPS6148815A JPS6148815A JP59171194A JP17119484A JPS6148815A JP S6148815 A JPS6148815 A JP S6148815A JP 59171194 A JP59171194 A JP 59171194A JP 17119484 A JP17119484 A JP 17119484A JP S6148815 A JPS6148815 A JP S6148815A
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- electro
- modulation tube
- spatial light
- light modulation
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0333—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect addressed by a beam of charged particles
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空容器中に形成した光電面に対向して、電
気光学結晶を配置し、光電面に形成された光像に対応し
て放射される光電子を前記結晶表面に蓄積し、前記結晶
に前記蓄積電荷に対応する屈折率の変化を発生させ、そ
の屈折率変化をレーザで読み出す空間光変調管に関する
。
気光学結晶を配置し、光電面に形成された光像に対応し
て放射される光電子を前記結晶表面に蓄積し、前記結晶
に前記蓄積電荷に対応する屈折率の変化を発生させ、そ
の屈折率変化をレーザで読み出す空間光変調管に関する
。
（従来の技ｉ１ｐテ）
まず空間光変調管の基本的な’ｆＪＪ作を節単に説明す
る。
る。
第２図は空間光変調管を示す概略図である。空間光変調
管のガラス容器３の内面の光電面４にインコヒーレント
光で照明された入カバターン１からの像がレンズ２を介
して入射させられる。
管のガラス容器３の内面の光電面４にインコヒーレント
光で照明された入カバターン１からの像がレンズ２を介
して入射させられる。
光電面４ば入射像に対応した光電子を放出する。
その光電子は加速・集束電子レンズ系５を介して、マイ
クロチャンネルプレー１−６に入射させられ、数千倍に
増倍される。
クロチャンネルプレー１−６に入射させられ、数千倍に
増倍される。
前記増倍された電子は、裏面に透明電極８ａが形成され
ているＬ ｉ Ｎ ｂ ０３などの電気光学結晶８の表
面に蓄禎され、結晶８の屈折率を電荷像に対応して変化
させる。
ているＬ ｉ Ｎ ｂ ０３などの電気光学結晶８の表
面に蓄禎され、結晶８の屈折率を電荷像に対応して変化
させる。
レーザ光−ｒＸ！ｘｏからのレーザ光をハーフミラ−９
を介して結晶８に照射すると、レーザ光の像１１（コヒ
ーレント像）がｉ与られる。このレーザ光の（象１１は
、コヒーレント並列光演算を行うことができる。
を介して結晶８に照射すると、レーザ光の像１１（コヒ
ーレント像）がｉ与られる。このレーザ光の（象１１は
、コヒーレント並列光演算を行うことができる。
前記構成の空間光変調管において、電気光学結晶８の厚
さが比較的厚い時、第３図（Ａ）に示すように、結晶表
面に微小な点電荷Ｐが帯電した時、その電荷による電界
はδ１で示すように広く拡がる。
さが比較的厚い時、第３図（Ａ）に示すように、結晶表
面に微小な点電荷Ｐが帯電した時、その電荷による電界
はδ１で示すように広く拡がる。
これに対して、結晶８の厚さが比較的薄い時は、第３図
（Ｂ）のように、拡がりは小さくなる。
（Ｂ）のように、拡がりは小さくなる。
この電界は、結晶８の屈折率を変化させ、レーデ１０か
らの光を変調するから、取り出されるコヒーレント像は
、結晶８が薄い方が解像度が良くなることは容易に理解
できる。
らの光を変調するから、取り出されるコヒーレント像は
、結晶８が薄い方が解像度が良くなることは容易に理解
できる。
そのため、結晶８を平面度λ／１０で、平行度５秒以下
の条件を保ったままで、できる限り薄く研磨し、空間光
変調管へ組み込んだ。
の条件を保ったままで、できる限り薄く研磨し、空間光
変調管へ組み込んだ。
すなわち直径２５ｍｍ、厚さ０．’３ｍｍの５５°カツ
）ＬｉＮｂＯ：、単結晶板を用いた。
）ＬｉＮｂＯ：、単結晶板を用いた。
このとき、空間光変調管の解像度は
３ラインペア／ｍｍ（５０％変調度）
であった。
コヒーレント並列光演算を行なうには、この解像度では
不十分であり、解像度を向上させるためには結晶８をさ
らに薄くする必要がある。
不十分であり、解像度を向上させるためには結晶８をさ
らに薄くする必要がある。
しかしながら、ＬｉＮｂＯ３結晶を前述の厚さより薄く
すると、結晶が反ってしまい、使用に耐えられない。
すると、結晶が反ってしまい、使用に耐えられない。
（発明の目的）
本発明の目的は、極めて薄い電気光学結晶板を用いた解
像度の優れた空間光変調管を提供することにある。
像度の優れた空間光変調管を提供することにある。
（発明の構成）
前記目的を達成するために本発明による空間光変調管は
、真空容器中に形成された光電面と、光電面から放出さ
れた光電子を重積し、光学的変化を生ずる電気光学結晶
部から成る空間光変調管において、前記電気光学結晶部
は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結晶板を透明
導電膜を介して接着一体化し、前記薄い結晶表面を前記
光電面に対向するように配置して構成されている。
、真空容器中に形成された光電面と、光電面から放出さ
れた光電子を重積し、光学的変化を生ずる電気光学結晶
部から成る空間光変調管において、前記電気光学結晶部
は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結晶板を透明
導電膜を介して接着一体化し、前記薄い結晶表面を前記
光電面に対向するように配置して構成されている。
（実施例）
以下、図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する
。
。
第１図は、本発明による空間光変調管に使用する電気光
学結晶の製造過程を説明するための略図である。
学結晶の製造過程を説明するための略図である。
同図（Ａ）は第１の実施例、同図ＣＢ）は第２の実施例
について示されている。
について示されている。
本発明による空間光変調管の基本的な構成は、先に第２
図で説明したものと異ならない。
図で説明したものと異ならない。
第１の実施例では極めて薄い電気光学結晶板を得るため
に、直径２５ｍｍ、厚さ１０ｍｍの５５゜カットｌ、１
Ｎｂ０３板３１をその２つの面３Ｌａと３１ｂが平行（
平行度５秒程度）かつ平面度λ／１０になるように研磨
する。
に、直径２５ｍｍ、厚さ１０ｍｍの５５゜カットｌ、１
Ｎｂ０３板３１をその２つの面３Ｌａと３１ｂが平行（
平行度５秒程度）かつ平面度λ／１０になるように研磨
する。
その後、−面３１ｂに透明導電膜（ＩＴＯ）を一様に蒸
着する。
着する。
一方、直径２０ｍｍ、厚さ３ｍｍの５５°カツトＬｉＮ
ｂＯ３単結晶板３３の一面３３ａを平面度λ／１０に研
磨する。
ｂＯ３単結晶板３３の一面３３ａを平面度λ／１０に研
磨する。
そして結晶３１と結晶３３を結晶軸方向が一致するよう
にして面３１ｂと面３３ａとを透明接着材３２（例えば
エポキシ系接着材、またはアクリル系接着材）で接着固
定する。
にして面３１ｂと面３３ａとを透明接着材３２（例えば
エポキシ系接着材、またはアクリル系接着材）で接着固
定する。
次に３１ａ面を研磨治具に固定し、而３３ｂを研耶する
。
。
そして結晶３３の厚さｄを５０μｍ程度まで薄くし、面
３３ｂの平面度をλ／１０、面３３ｂと面３３ａの平行
度を数秒になるように暦く。
３３ｂの平面度をλ／１０、面３３ｂと面３３ａの平行
度を数秒になるように暦く。
このようにして得られたものを、平面原器およびオート
コリメータで測定し、所望の平面度、平行度が得られて
いることを確認した後、空間光変調管に組み込んだ。透
明導電膜は従来の場合と同様に電極として使用される。
コリメータで測定し、所望の平面度、平行度が得られて
いることを確認した後、空間光変調管に組み込んだ。透
明導電膜は従来の場合と同様に電極として使用される。
前述の構成からなる空間光変調管の解像度を側定したと
ころ １５ラインペア／ｍｍ（５０％変調度）が得られ、従来
の５倍程度優れたものになり、コヒーレント光情報処理
の利用に耐えられる値となった。
ころ １５ラインペア／ｍｍ（５０％変調度）が得られ、従来
の５倍程度優れたものになり、コヒーレント光情報処理
の利用に耐えられる値となった。
また、空間光変調管は、ガス抜きのため、あるいは光電
面を作るため２００ ”ｃ以上の高温にベーキングする
が、本発明は、同一材料同志を接着しであるから、熱膨
張率の違いによる割れ、はがれなどの問題は全くなかっ
た。
面を作るため２００ ”ｃ以上の高温にベーキングする
が、本発明は、同一材料同志を接着しであるから、熱膨
張率の違いによる割れ、はがれなどの問題は全くなかっ
た。
さらに、５５°カツトのＬｉＮｂＯ３の場合のような自
然複屈折を持つ場合には、結晶３１の両面（３１ａ、
３ ｌ ｂ）に透明導電膜を蒸着して、通光な電圧を
与えることにより、結晶３３の自然複屈折による位相変
化を補償できる。
然複屈折を持つ場合には、結晶３１の両面（３１ａ、
３ ｌ ｂ）に透明導電膜を蒸着して、通光な電圧を
与えることにより、結晶３３の自然複屈折による位相変
化を補償できる。
以上説明した第１の実施例では、２枚の結晶板をあらか
じめ接着した後、一方の結晶板を薄く研磨加工したが、
以下のようにすることもできる。
じめ接着した後、一方の結晶板を薄く研磨加工したが、
以下のようにすることもできる。
第１図（Ｂ）に示すように、直径２５ｍｍ、厚さ１０ｍ
ｍの５５°カツト、数秒程度の誤差は許容される、のＬ
ｉ Ｎ ｂ Ｏ３板３１を、その２つの面３１ａと３
１ｂが平行かつ平面度λ／１０になるように研出する。
ｍの５５°カツト、数秒程度の誤差は許容される、のＬ
ｉ Ｎ ｂ Ｏ３板３１を、その２つの面３１ａと３
１ｂが平行かつ平面度λ／１０になるように研出する。
その後、−面３１ｂに透明導電膜（ＩＴＯ）を一様に蒸
着する。一方、直ｉ：ｆ、２０ｍ ｍ 、厚さ５０μｍ
〜１００μｍの５５° 力・ｙ ｌ−Ｌ ｉ Ｎ ｂ
Ｏ３単結晶板３４をその２つの面３４ａと３４ｂが平行
かつ平面度λ／１０程度になるように研磨する。この時
、このような薄い結晶を研出治具から取りはずすと、結
晶は反ってしまうが、これを上記基板となる単結晶板３
１に注意深く接着することにより、研磨直後の平面度、
平行度を再現できる。
着する。一方、直ｉ：ｆ、２０ｍ ｍ 、厚さ５０μｍ
〜１００μｍの５５° 力・ｙ ｌ−Ｌ ｉ Ｎ ｂ
Ｏ３単結晶板３４をその２つの面３４ａと３４ｂが平行
かつ平面度λ／１０程度になるように研磨する。この時
、このような薄い結晶を研出治具から取りはずすと、結
晶は反ってしまうが、これを上記基板となる単結晶板３
１に注意深く接着することにより、研磨直後の平面度、
平行度を再現できる。
（変形例）
以上の説明は、Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３単結晶を例にして
説明したが、他の結晶、例えばＺカ・ノドＬｉＮｂＯ３
、Ｌ ｉ’ｌ’ａＱ３ 、Ｂ ｉ＋２Ｓ ｉＱｓなども
同様に利用できる。
説明したが、他の結晶、例えばＺカ・ノドＬｉＮｂＯ３
、Ｌ ｉ’ｌ’ａＱ３ 、Ｂ ｉ＋２Ｓ ｉＱｓなども
同様に利用できる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明による空間光変調管の電気
光学結晶は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結晶
板を透明導電１１Ｑを介して接若一体化し、前記薄い結
晶の表面を前記光電面に対向するように配置しである。
光学結晶は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結晶
板を透明導電１１Ｑを介して接若一体化し、前記薄い結
晶の表面を前記光電面に対向するように配置しである。
そのため、研磨加工された薄い部分のみの電気光学特性
を利用できるので解像度を著しく向上させることができ
た。
を利用できるので解像度を著しく向上させることができ
た。
第１図は、本発明による空間光変調管に使用する電気光
学結晶の製造過程を説明するための略図である。 第２図は空間光変調管の基本的な構成を説明するための
略図である。 第３図は電気光学結晶板の厚さと電界の関係を示す略図
である。 １・・・入力１象 ２・・・レンズ３・
・・ガラス容器 ４・・・光電面５・・・集
束電極 ６・・・マイクロチャンネルプレート ７・・・メンシュ電極 ８・・・電気光学結晶 ８ａ・・・透明重視９
・・・ハーフミラ−１０・・・レーザ光源１１・・・出
力１象 ３１・・・基板となる電気光学結晶 ３２・・・接着材 ３３・・・ｒｔｌＦ！される電気光学結晶３４・・・薄
く研磨した電気光学結晶 １・」を守山願人 浜松ホトニクス株式会社代理人 弁
理士 井 ノ ロ 壽 ・旧 第３図 手続ネｉｆ？正書 １、事件の表示 昭和５９年１１￥ 許 願第１７１１９４号２、発明の
名称 空間）旨包閲管 ３、補正をする者 事件との関係 特工′「出１．２ｒＵ、４、代 理
人 ５、補正命令の日付 自 発６、 ７ｉｌｉ
正の対象 明 細 書補正の内容（特願昭５
９−１７１１９４）（１） 特許請求の範囲を以下のと
おり補正する。 ［２、特許請求の範囲 （Ｌ） ｒ！、空容器中に形成された電子源と、電子
源から放出された電子を蓄積し、光学的変化を生ずる電
気光学結晶部から成る空間光変調管において、前記電気
光学結晶部は、２枚の同種頬の厚さの異なる電気光学結
晶板を透明導電膜を介して接着一体化し、前記薄い結晶
表面を前記電子源に対向するように配置して構成した空
間光変調管。 （２）前記電気光学結晶は、５５°カツトのＬｉＮｂｏ
、結晶である特許請求の範囲第１項記載の空間光変調管
。 （３）前記電気光学結晶は１−ｉＴａ０３、Ｂ ｉｎ
Ｓ ｉ ０２０結晶のいずれかである特許請求の範囲第
１項記載の空間光変調管。 （４）前記接着一体化される電気光学結晶板は結晶軸の
方向が一致させられている特許請求の範囲第１項記載の
空間光変調管。」 （２） 明細書第２頁第２行目から同第５行目の「本発
明は、・・・茫積し、」を「本発明は、真空容器中に形
成した電子源に対向して、電気光学結晶を配置し、電子
源から放出される電子を前記結晶表面に蓄積し、」に補
正する。 （３） 明細書第４頁第１８行目から同第５頁第５行目
の「前記目的を達成するために・・・・・構成されてい
る。」を以下のとおり補正する。 ［前記目的を達成するために、本発明による空間光変調
管は、真空容器中に形成された電子源と、電子源から放
出された電子を蓄積し、光学的変化を生ずる電気光学結
晶部から成る空間光変調管において、前記電気光学結晶
部は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結晶板を透
明導電膜を介して接若一体化し、前記薄い結晶表面を前
記電子源に対向するように配置して構成されている。」
（４） 明細書第８頁第１７行目の「・・利用できる。 」の次に以下を加入する。 「上記実施例では、電子源として光電面の場合を示した
が、電子銃を電子源として書込みを行う形式の場合も、
本発明は同様に適用できる。」以 上
学結晶の製造過程を説明するための略図である。 第２図は空間光変調管の基本的な構成を説明するための
略図である。 第３図は電気光学結晶板の厚さと電界の関係を示す略図
である。 １・・・入力１象 ２・・・レンズ３・
・・ガラス容器 ４・・・光電面５・・・集
束電極 ６・・・マイクロチャンネルプレート ７・・・メンシュ電極 ８・・・電気光学結晶 ８ａ・・・透明重視９
・・・ハーフミラ−１０・・・レーザ光源１１・・・出
力１象 ３１・・・基板となる電気光学結晶 ３２・・・接着材 ３３・・・ｒｔｌＦ！される電気光学結晶３４・・・薄
く研磨した電気光学結晶 １・」を守山願人 浜松ホトニクス株式会社代理人 弁
理士 井 ノ ロ 壽 ・旧 第３図 手続ネｉｆ？正書 １、事件の表示 昭和５９年１１￥ 許 願第１７１１９４号２、発明の
名称 空間）旨包閲管 ３、補正をする者 事件との関係 特工′「出１．２ｒＵ、４、代 理
人 ５、補正命令の日付 自 発６、 ７ｉｌｉ
正の対象 明 細 書補正の内容（特願昭５
９−１７１１９４）（１） 特許請求の範囲を以下のと
おり補正する。 ［２、特許請求の範囲 （Ｌ） ｒ！、空容器中に形成された電子源と、電子
源から放出された電子を蓄積し、光学的変化を生ずる電
気光学結晶部から成る空間光変調管において、前記電気
光学結晶部は、２枚の同種頬の厚さの異なる電気光学結
晶板を透明導電膜を介して接着一体化し、前記薄い結晶
表面を前記電子源に対向するように配置して構成した空
間光変調管。 （２）前記電気光学結晶は、５５°カツトのＬｉＮｂｏ
、結晶である特許請求の範囲第１項記載の空間光変調管
。 （３）前記電気光学結晶は１−ｉＴａ０３、Ｂ ｉｎ
Ｓ ｉ ０２０結晶のいずれかである特許請求の範囲第
１項記載の空間光変調管。 （４）前記接着一体化される電気光学結晶板は結晶軸の
方向が一致させられている特許請求の範囲第１項記載の
空間光変調管。」 （２） 明細書第２頁第２行目から同第５行目の「本発
明は、・・・茫積し、」を「本発明は、真空容器中に形
成した電子源に対向して、電気光学結晶を配置し、電子
源から放出される電子を前記結晶表面に蓄積し、」に補
正する。 （３） 明細書第４頁第１８行目から同第５頁第５行目
の「前記目的を達成するために・・・・・構成されてい
る。」を以下のとおり補正する。 ［前記目的を達成するために、本発明による空間光変調
管は、真空容器中に形成された電子源と、電子源から放
出された電子を蓄積し、光学的変化を生ずる電気光学結
晶部から成る空間光変調管において、前記電気光学結晶
部は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結晶板を透
明導電膜を介して接若一体化し、前記薄い結晶表面を前
記電子源に対向するように配置して構成されている。」
（４） 明細書第８頁第１７行目の「・・利用できる。 」の次に以下を加入する。 「上記実施例では、電子源として光電面の場合を示した
が、電子銃を電子源として書込みを行う形式の場合も、
本発明は同様に適用できる。」以 上
Claims (4)
- （１）真空容器中に形成された光電面と、光電面から放
出された光電子を蓄積し、光学的変化を生ずる電気光学
結晶部から成る空間光変調管において、前記電気光学結
晶部は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結晶板を
透明導電膜を介して接着一体化し、前記薄い結晶表面を
前記光電面に対向するように配置して構成した空間光変
調管。 - （２）前記電気光学結晶は５５°カットのＬｉＮｂＯ＿
３結晶である特許請求の範囲第１項記載の空間光変調管
。 - （３）前記電気光学結晶は、ＬｉＴａＯ＿３、Ｂｉ＿１
＿２ＳｉＯ＿２＿０結晶のいずれかである特許請求の範
囲第１項記載の空間光変調管。 - （４）前記接着一体化される電気光学結晶板は結晶軸の
方向が一致させられている特許請求の範囲第１項記載の
空間光変調管。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59171194A JPS6148815A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 空間光変調管の製造方法 |
| US06/761,093 US4678286A (en) | 1984-08-17 | 1985-07-31 | Spatial light modulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59171194A JPS6148815A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 空間光変調管の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148815A true JPS6148815A (ja) | 1986-03-10 |
| JPH058807B2 JPH058807B2 (ja) | 1993-02-03 |
Family
ID=15918750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59171194A Granted JPS6148815A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 空間光変調管の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4678286A (ja) |
| JP (1) | JPS6148815A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4763996A (en) * | 1984-11-20 | 1988-08-16 | Hamamatsu Photonics Kabushiki Kaisha | Spatial light modulator |
| US4818983A (en) * | 1985-08-20 | 1989-04-04 | Hamamatsu Photonics Kabushiki Kaisha | Optical image generator having a spatial light modulator and a display device |
| JPS6242180A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-24 | Hamamatsu Photonics Kk | マイクロ波ホログラフイ装置 |
| US4741602A (en) * | 1985-08-20 | 1988-05-03 | Hamamatsu Photonics Kabushiki Kaisha | Spatial light modulator |
| JPH01189625A (ja) * | 1988-01-25 | 1989-07-28 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調器の製造方法 |
| US4856863A (en) * | 1988-06-22 | 1989-08-15 | Texas Instruments Incorporated | Optical fiber interconnection network including spatial light modulator |
| JPH024235A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5342751A (en) * | 1976-09-29 | 1978-04-18 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Electro-optical display device |
| JPS53104255A (en) * | 1977-02-23 | 1978-09-11 | Minolta Camera Co Ltd | Light passage controlling member using |
| JPS5459954A (en) * | 1977-10-20 | 1979-05-15 | Sony Corp | Electron beam scanning type electro-optic valve |
| JPS575028A (en) * | 1980-06-12 | 1982-01-11 | Ricoh Co Ltd | Joining method of transparent substrate to crystal plate |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3499157A (en) * | 1964-08-18 | 1970-03-03 | Nippon Electric Co | Light intensity amplifying device utilizing a semiconductor electron-sensitive variable resistance layer |
| US3702215A (en) * | 1971-03-08 | 1972-11-07 | Stewart E Cummins | Electron beam controlled bistable ferroelectric light valve |
| JPS57204510A (en) * | 1981-06-12 | 1982-12-15 | Ricoh Co Ltd | Optical image transducing element |
| JPS608822A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調管 |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP59171194A patent/JPS6148815A/ja active Granted
-
1985
- 1985-07-31 US US06/761,093 patent/US4678286A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5342751A (en) * | 1976-09-29 | 1978-04-18 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Electro-optical display device |
| JPS53104255A (en) * | 1977-02-23 | 1978-09-11 | Minolta Camera Co Ltd | Light passage controlling member using |
| JPS5459954A (en) * | 1977-10-20 | 1979-05-15 | Sony Corp | Electron beam scanning type electro-optic valve |
| JPS575028A (en) * | 1980-06-12 | 1982-01-11 | Ricoh Co Ltd | Joining method of transparent substrate to crystal plate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4678286A (en) | 1987-07-07 |
| JPH058807B2 (ja) | 1993-02-03 |
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