JPS59166916A - 空間光変調管の製造方法 - Google Patents
空間光変調管の製造方法Info
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- JPS59166916A JPS59166916A JP4118083A JP4118083A JPS59166916A JP S59166916 A JPS59166916 A JP S59166916A JP 4118083 A JP4118083 A JP 4118083A JP 4118083 A JP4118083 A JP 4118083A JP S59166916 A JPS59166916 A JP S59166916A
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明は空間光変調管の製造方法に関する。
（発明の背景）
第１図を参照して空間光変調装置の基本的構成と問題点
に言及する。
に言及する。
空間光変調管３は第１図に示すように有底円筒系の真空
気密容器４の一方の底面の内壁に光電面５、他の底面の
内壁に電気光学結晶から作られた光変調板９が設けられ
ている。
気密容器４の一方の底面の内壁に光電面５、他の底面の
内壁に電気光学結晶から作られた光変調板９が設けられ
ている。
前記２つの底面は透明である。
さらに前記光電面５と光変調板９０間に前記光電面５か
ら放出した電子像を前記光変調板９の面９２上に結像す
るための集束電極６および前記光変調板９の面９２から
放出した２次電子を捕集するだめの捕集電極８を設けた
ものである。なお、必要に応じてマイクロチャンネルプ
レートのような２次電子増倍器７を組み込むこともある
。
ら放出した電子像を前記光変調板９の面９２上に結像す
るための集束電極６および前記光変調板９の面９２から
放出した２次電子を捕集するだめの捕集電極８を設けた
ものである。なお、必要に応じてマイクロチャンネルプ
レートのような２次電子増倍器７を組み込むこともある
。
前述の空間光変調管３において、電源Ａ、Ｂ、Ｃおよび
Ｄより各電極に所定の電圧を印加しておき、光電面５に
光学像１′を投影すると前記光電面５から前記光学像１
′に対応する電子像が放出される。この電子像は、集束
、増倍および加速されて光変調板９の面９２に入射する
。この入射した電子像はそのまま光変調板９の面９２を
帯電するか、あるいは２次電子を放出させることにより
、面９２に電荷像を形成する。
Ｄより各電極に所定の電圧を印加しておき、光電面５に
光学像１′を投影すると前記光電面５から前記光学像１
′に対応する電子像が放出される。この電子像は、集束
、増倍および加速されて光変調板９の面９２に入射する
。この入射した電子像はそのまま光変調板９の面９２を
帯電するか、あるいは２次電子を放出させることにより
、面９２に電荷像を形成する。
光変調板９は電気光学結晶を極めて高い精度で均一な厚
さに研磨したものであり、光変調板９の第２の面に電極
９１を密着しである。電気光学結晶は前記面９２の電荷
と電極９１に加えられた電圧による電界によって光の屈
折率が単調に変化させられる性質を有するものである。
さに研磨したものであり、光変調板９の第２の面に電極
９１を密着しである。電気光学結晶は前記面９２の電荷
と電極９１に加えられた電圧による電界によって光の屈
折率が単調に変化させられる性質を有するものである。
したがって、前述のように光変調板９の第１の面９２に
電荷像が形成されると光変調板９の内部は前記電荷像に
対応した光の屈折率の分布の像か生成される。
電荷像が形成されると光変調板９の内部は前記電荷像に
対応した光の屈折率の分布の像か生成される。
図において１３は点光源、１２はコリメータレンズ、１
１は単色フィルタ、１０は半透明鏡であり、これ等によ
り、光変調板９は垂直に単色光で一様に照射される。
１は単色フィルタ、１０は半透明鏡であり、これ等によ
り、光変調板９は垂直に単色光で一様に照射される。
屈折率の分布が形成された前記光変調板９Ｇこ垂直に単
色光（波長λ）が一様に入射すると、干渉（象が得られ
る。前記光変調板９のは厚さく１）と各部分の屈折率（
ｎ）の積から得られる前記光変言周板９の厚さ方向の光
学距離ｐ（＝ｎｔ）が前記入射光の波長λの４分の１の
整数倍 Ｎ （１／４） λである部分から最も大きな強度で
、Ｎ （１／４） λ十（１／８）λである部分から最
も小さな強度で反射または透過した光が得られる。
色光（波長λ）が一様に入射すると、干渉（象が得られ
る。前記光変調板９のは厚さく１）と各部分の屈折率（
ｎ）の積から得られる前記光変言周板９の厚さ方向の光
学距離ｐ（＝ｎｔ）が前記入射光の波長λの４分の１の
整数倍 Ｎ （１／４） λである部分から最も大きな強度で
、Ｎ （１／４） λ十（１／８）λである部分から最
も小さな強度で反射または透過した光が得られる。
すなわち前記光電面５に入射した光学像１’に対応した
光学像が前記光変調板９から得られる。
光学像が前記光変調板９から得られる。
前記光変調板９から得られる光学像は半透明鏡１０によ
って光源１３と垂直な方向にある面１４４こ形成される
。
って光源１３と垂直な方向にある面１４４こ形成される
。
このようにして空間光変調管は光学像を増強し、あるい
は点光源１３がレーザ光源であれば、インコヒーレント
光による光学像をコヒーレフト光１ｒ：Ｃよる光学像に
変換することができる。
は点光源１３がレーザ光源であれば、インコヒーレント
光による光学像をコヒーレフト光１ｒ：Ｃよる光学像に
変換することができる。
前記構成の空間光変調管３において光変調板９の厚さか
比較的に厚いとき、面９２上の微小な点Ｐに１１電した
電荷による電界は第２図ａに示すように前記の点を中心
としてその周囲に６１で示すように広く拡がる。
比較的に厚いとき、面９２上の微小な点Ｐに１１電した
電荷による電界は第２図ａに示すように前記の点を中心
としてその周囲に６１で示すように広く拡がる。
これに対して光変調板９の厚さが比較的に薄いときは第
２図Ｂで示すように面９２の上の微小な点Ｐに帯電した
電荷による電界δ２のように小さくなる。
２図Ｂで示すように面９２の上の微小な点Ｐに帯電した
電荷による電界δ２のように小さくなる。
このことから空間光変調管３から取り出される出力像は
光変調板９が薄い方が解像度が良くなることが容易に理
解できる。
光変調板９が薄い方が解像度が良くなることが容易に理
解できる。
本願発明者は、可視領域の波長の４分の１より小さな平
坦度で可能な限り電気光学結晶を薄く研磨して、空間変
調管に組み込んだ。すなわち直径２０關、厚さ０．５鶴
のニオブ酸リチウム結晶を用いて装置を構成した。この
ようにして得られた空間光変調装置の解像度は ５１ｉｎｅ／ｍｕ である。
坦度で可能な限り電気光学結晶を薄く研磨して、空間変
調管に組み込んだ。すなわち直径２０關、厚さ０．５鶴
のニオブ酸リチウム結晶を用いて装置を構成した。この
ようにして得られた空間光変調装置の解像度は ５１ｉｎｅ／ｍｕ である。
ニオブ酸リチウム結晶を前述の厚さより薄くしようとし
ても、結晶が反ってしまうので使用に耐えられない。
ても、結晶が反ってしまうので使用に耐えられない。
（発明の目的）
本発明の目的は、極めて薄い電気光学結晶により光変調
板を得て、解像度の優れた空間光変調管を得ることがで
きる製造方法を提供することにある。
板を得て、解像度の優れた空間光変調管を得ることがで
きる製造方法を提供することにある。
（発明の構成および作用）
前記目的を達成するために、本発明による空間光変調管
の製造方法は、真空気密容器の透明な第１の底面の内壁
に形成した光電面と、透明な第２の底面の内壁に形成し
た電気光学結晶からなる光変調板と、前記光電面と前記
光変調板との間に配置した光電面から発生した電子像を
加速し、前記光変調板の面に結像する電子光学系を形成
する集束電極と前記光変調板の面から放出した二次電子
を捕集する捕集電極を有する空間光変調管の製造方法に
おいて、前記真空気密容器の第２の底面を形成するガラ
ス円板の内面に透明導電膜を形成し、少なくとも一つの
面を研磨した電気光学結晶をその研磨した面において前
記透明導電膜に透明接着剤で接着し、前記電気光学結晶
を前記透明導電膜に接着した面に平行な面で研磨した後
前記電気光学結晶を対向せしめて前記ガラス円板を前記
真空気密容器の側壁を構成する円筒端面に接合して構成
されている。
の製造方法は、真空気密容器の透明な第１の底面の内壁
に形成した光電面と、透明な第２の底面の内壁に形成し
た電気光学結晶からなる光変調板と、前記光電面と前記
光変調板との間に配置した光電面から発生した電子像を
加速し、前記光変調板の面に結像する電子光学系を形成
する集束電極と前記光変調板の面から放出した二次電子
を捕集する捕集電極を有する空間光変調管の製造方法に
おいて、前記真空気密容器の第２の底面を形成するガラ
ス円板の内面に透明導電膜を形成し、少なくとも一つの
面を研磨した電気光学結晶をその研磨した面において前
記透明導電膜に透明接着剤で接着し、前記電気光学結晶
を前記透明導電膜に接着した面に平行な面で研磨した後
前記電気光学結晶を対向せしめて前記ガラス円板を前記
真空気密容器の側壁を構成する円筒端面に接合して構成
されている。
（実施例の説明）
内径３８闘、長さ１５０鮪のガラス円筒の一端に円形の
ガラス板で封着して、光電面形成用の第１の底面を形成
する。
ガラス板で封着して、光電面形成用の第１の底面を形成
する。
次に略円筒系の集束電極６．マイクロチャンネルプレー
ト７、細状の捕集電極８を順次このガラス円筒の中に組
み込む（第３図参照）。
ト７、細状の捕集電極８を順次このガラス円筒の中に組
み込む（第３図参照）。
他方、第２の底面となる直径３８鵬のガラス円板１９の
１つの面に酸化インジウム錫からなる導電層２０を形成
する。この酸化インジウム錫からなる層に１つの面を研
磨した厚さｌ ｍｉのニオブ酸リチウムの板状の結晶２
２を透明なエポキシ樹脂２１で貼りつける。
１つの面に酸化インジウム錫からなる導電層２０を形成
する。この酸化インジウム錫からなる層に１つの面を研
磨した厚さｌ ｍｉのニオブ酸リチウムの板状の結晶２
２を透明なエポキシ樹脂２１で貼りつける。
次に前記ニオブ酸リチウムを下記のようにして研磨する
。前記ガラス円板１９を前記結晶２２を下向きにして治
具に固定する。
。前記ガラス円板１９を前記結晶２２を下向きにして治
具に固定する。
回転研磨板に前記結晶２２を接触させる。
前記回転研磨板は、結晶表面の平滑度が良くなるにつれ
て、順次、鉄板、はんだ板、フェルト板に切換え、結晶
の厚さかＱ、 ｌ ｍｕに達するまで研磨する。
て、順次、鉄板、はんだ板、フェルト板に切換え、結晶
の厚さかＱ、 ｌ ｍｕに達するまで研磨する。
研磨したニオブ酸リチウムの厚さの均一性は以下のよう
に検査した。ヘリウムネオンレーザ光を光源とするマイ
ケルソンの干渉計を用いて測定したところ直線の干渉縞
が観測された。
に検査した。ヘリウムネオンレーザ光を光源とするマイ
ケルソンの干渉計を用いて測定したところ直線の干渉縞
が観測された。
すなわち前述の研磨により平面度をヘリウムネオンレー
ザ光の波長６３２．８ ｎａｎｏ ｍの４分の１より
十分小さくすることができた。
ザ光の波長６３２．８ ｎａｎｏ ｍの４分の１より
十分小さくすることができた。
前記ニオブ酸リチウムの結晶を研磨した後、結晶の面を
円筒の開口端に対向してガラス円筒と前記結晶を貼りつ
けたガラス円板１９とを封着する。
円筒の開口端に対向してガラス円筒と前記結晶を貼りつ
けたガラス円板１９とを封着する。
次にガラス気密容器内を真空に排気する。
次にガラス気密容器の第１の底面内壁にあらかしめ内蔵
しであるモリブデン線に取イ」けたアンチモン球（図示
してない）からモリブデン線を通電過熱してアンチモン
を蒸着し、さらにアルカリ金属のアンプルを包む枝管（
図示してない）からアルカリ金属を導入して前記底面内
壁に光電面を形成する。
しであるモリブデン線に取イ」けたアンチモン球（図示
してない）からモリブデン線を通電過熱してアンチモン
を蒸着し、さらにアルカリ金属のアンプルを包む枝管（
図示してない）からアルカリ金属を導入して前記底面内
壁に光電面を形成する。
（発明の詳細な説明）
前述のようにして製造された空間光変調管の光電面にテ
ストチャートの像を投影し、波長ヘリウムネオンレーザ
６３２．８ ｎａｎｏ ｍのレーザ光を光変調板に照
射したところ １８ ｌ ｉｎｅ／ ｍｍ の解像度の像が得られた。
ストチャートの像を投影し、波長ヘリウムネオンレーザ
６３２．８ ｎａｎｏ ｍのレーザ光を光変調板に照
射したところ １８ ｌ ｉｎｅ／ ｍｍ の解像度の像が得られた。
すなわち本発明方法によれば、従来の装置より３倍以上
解像度の優れた装置が提供できる。
解像度の優れた装置が提供できる。
第１図は空間光変調装置の基本構成を示す略図である。
第２図は光変調板と電界の関係を示す略図である。
第３図は本発明による空間光変調管の製造方法を説明す
るだめの略図である。 第４図は研磨工程を説明するための略図である。 １・・・被写体 ２・・・レンズ ３・・・空間光変調管４
・・・真空気密容器 ５・・・光電面６・・・集
束電極 ７・・・マイクロチャンネルプレート（２次電子増倍器
） ８・・・捕集電極 ９・・・光変調板１０・
・・半透明鏡 １１・・・単色フィルタ１２・
・・コリメータレンズ １３・・・点光源１９・・・第
２の底面 ２０・・・導電層２１・・・エポキシ
層 ２２・・・結晶特許出願人 浜松テレビ
株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽
るだめの略図である。 第４図は研磨工程を説明するための略図である。 １・・・被写体 ２・・・レンズ ３・・・空間光変調管４
・・・真空気密容器 ５・・・光電面６・・・集
束電極 ７・・・マイクロチャンネルプレート（２次電子増倍器
） ８・・・捕集電極 ９・・・光変調板１０・
・・半透明鏡 １１・・・単色フィルタ１２・
・・コリメータレンズ １３・・・点光源１９・・・第
２の底面 ２０・・・導電層２１・・・エポキシ
層 ２２・・・結晶特許出願人 浜松テレビ
株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽
Claims (1)
- 真空気密容器の透明な第１の底面の内壁に形成した光電
面と、透明な第２の底面の内壁に形成した電気光学結晶
からなる光変調板と、前記光電面と前記光変調板との間
に配置した光電面から発生した電子像を加速し、前記光
変調板の面に結像する電子光学系を形成する集束電極と
前記光変調板の面から放出した二次電子を捕集する捕集
電極を有する空間光変調管の製造方法において、前記真
空気密容器の第２の底面を形成するガラス円板の内面に
透明導電膜を形成し、少なくとも一つの面を研磨した電
気光学結晶をその研磨した面において前記透明導電膜に
透明接着剤で接着し、前記電気光学結晶を前記透明導電
膜に接着した面に平行な面で研磨した後前記電気光学結
晶を対向せしめて前記ガラス円板を前記真空気密容器の
側壁を構成する円筒端面に接合して構成したことを特徴
とする空間光変調管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4118083A JPH0228127B2 (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | Kukanhikarihenchokannoseizohoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4118083A JPH0228127B2 (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | Kukanhikarihenchokannoseizohoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59166916A true JPS59166916A (ja) | 1984-09-20 |
| JPH0228127B2 JPH0228127B2 (ja) | 1990-06-21 |
Family
ID=12601226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4118083A Expired - Lifetime JPH0228127B2 (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | Kukanhikarihenchokannoseizohoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0228127B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124887A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Hamamatsu Photonics Kk | 立体像観察用合成ホログラム記録方法 |
| JPH01189625A (ja) * | 1988-01-25 | 1989-07-28 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調器の製造方法 |
| JPH02244117A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-09-28 | Ngk Insulators Ltd | 光画像変換素子 |
| JPH04256920A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-11 | Ngk Insulators Ltd | 空間光変調素子の製造法 |
| US7766637B2 (en) | 2006-03-03 | 2010-08-03 | Fmc Corporation | Method and apparatus for the preparation of capsules |
| EP2289494A1 (en) | 2002-04-04 | 2011-03-02 | FMC Biopolymer AS | Polysaccharide capsules and methods of preparation |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03120123U (ja) * | 1990-03-20 | 1991-12-10 |
-
1983
- 1983-03-11 JP JP4118083A patent/JPH0228127B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124887A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Hamamatsu Photonics Kk | 立体像観察用合成ホログラム記録方法 |
| JPH01189625A (ja) * | 1988-01-25 | 1989-07-28 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調器の製造方法 |
| US4923287A (en) * | 1988-01-25 | 1990-05-08 | Hamamatsu Photonics Kabushiki Kaisha | Spatial light modulating devices utilizing electro-optic crystal |
| JPH0447289B2 (ja) * | 1988-01-25 | 1992-08-03 | Hamamatsu Photonics Kk | |
| JPH02244117A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-09-28 | Ngk Insulators Ltd | 光画像変換素子 |
| JPH04256920A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-11 | Ngk Insulators Ltd | 空間光変調素子の製造法 |
| US7972620B2 (en) | 2002-04-04 | 2011-07-05 | Fmc Biopolymer As | Polysaccharide capsules and methods of preparation |
| EP2289494A1 (en) | 2002-04-04 | 2011-03-02 | FMC Biopolymer AS | Polysaccharide capsules and methods of preparation |
| EP2289495A1 (en) | 2002-04-04 | 2011-03-02 | FMC Biopolymer AS | Polysaccharide capsules and methods of preparation |
| US9017720B2 (en) | 2002-04-04 | 2015-04-28 | FMC Bioploymer AS | Polysaccharide capsules and method of preparation |
| US7766637B2 (en) | 2006-03-03 | 2010-08-03 | Fmc Corporation | Method and apparatus for the preparation of capsules |
| US8153037B2 (en) | 2006-03-03 | 2012-04-10 | Fmc Corporation | Method and apparatus for the preparation of capsules |
| US8916192B2 (en) | 2006-03-03 | 2014-12-23 | Fmc Corporation | Method and apparatus for the preparation of capsules |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0228127B2 (ja) | 1990-06-21 |
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