JPS608823A - 空間光変調装置 - Google Patents
空間光変調装置Info
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- JPS608823A JPS608823A JP11726883A JP11726883A JPS608823A JP S608823 A JPS608823 A JP S608823A JP 11726883 A JP11726883 A JP 11726883A JP 11726883 A JP11726883 A JP 11726883A JP S608823 A JPS608823 A JP S608823A
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- Japan
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- electro
- optic crystal
- image
- lens
- fourier transform
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0338—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect structurally associated with a photoconductive layer or having photo-refractive properties
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野の説明）
本発明ば光電面をもつ真空容器内に電気光学結晶板を１
４人し、前記光電面に形成された電子像に対応する屈折
率の分布を前記電気光学結晶に形成する空間光変調管を
用いた空間光変調装置に関する。
４人し、前記光電面に形成された電子像に対応する屈折
率の分布を前記電気光学結晶に形成する空間光変調管を
用いた空間光変調装置に関する。
この空間光変調装置によればインコヒーレント光により
形成される像をコヒーシン１−光による像に変換できる
。
形成される像をコヒーシン１−光による像に変換できる
。
（従来技術の説明）
本願出願人は特開昭５８−６４７４２号として空間変調
装置の提案をしている。
装置の提案をしている。
前記提案に係る空間光変調管は、真空容器内に光電面、
集束電極、マイクロチャンネルプレート、二次電子捕集
電極、電気光学結晶をこの順で配置したものである。
集束電極、マイクロチャンネルプレート、二次電子捕集
電極、電気光学結晶をこの順で配置したものである。
マイクロチャンネルプレー１・により増倍された像によ
り電気光学結晶内に前記像に対応する屈折率の分布を形
成する。
り電気光学結晶内に前記像に対応する屈折率の分布を形
成する。
マイクロチャンネルプレー１・と電気光学結晶の間に設
けられた二次電子捕集電極に適当な電位を与えておくこ
とによって、前記電気光学結晶に入射する一次電子（マ
イクロチャンネルプレートの出力）の入射によって結晶
表面から放出される二次電子が結晶表面に再分布するの
を防止している。
けられた二次電子捕集電極に適当な電位を与えておくこ
とによって、前記電気光学結晶に入射する一次電子（マ
イクロチャンネルプレートの出力）の入射によって結晶
表面から放出される二次電子が結晶表面に再分布するの
を防止している。
これにより電気光学結晶への書込め・消去動作が速くな
り、かつ正電荷像・負電荷像の書込みも可能となった。
り、かつ正電荷像・負電荷像の書込みも可能となった。
しかしながら、マイクロチャンネルプレートと二次電子
捕集電極、二次電子捕集電極と電気光学結晶の間隔を小
さく保つことが困難であるために、マイクロチャンネル
プレー１−から電気光学結晶に入射する前記−次電子が
広がってしまい、解像度の劣化を招くおそれがあった。
捕集電極、二次電子捕集電極と電気光学結晶の間隔を小
さく保つことが困難であるために、マイクロチャンネル
プレー１−から電気光学結晶に入射する前記−次電子が
広がってしまい、解像度の劣化を招くおそれがあった。
そのため本願発明者等は、前記−次電子の拡散の問題を
解決し、高い解像度を得ることかできる空間光変調管を
ｉ４るために、真空気密容器内に光電面、集束電極、マ
イクロチャンネルプレー１−、電気光学結晶をこの順に
配列し、前記電気光学結晶に前記光電面に形成された像
に対応する屈折率の分布を生成させる空間光変調管にお
いて、前記電気光学結晶の前記マイクロチャンネルプレ
ー１〜側の面に小ピツチの導電性のパターンを形成した
空間光変調管を発明して、本願発明と同時に出願してい
る。
解決し、高い解像度を得ることかできる空間光変調管を
ｉ４るために、真空気密容器内に光電面、集束電極、マ
イクロチャンネルプレー１−、電気光学結晶をこの順に
配列し、前記電気光学結晶に前記光電面に形成された像
に対応する屈折率の分布を生成させる空間光変調管にお
いて、前記電気光学結晶の前記マイクロチャンネルプレ
ー１〜側の面に小ピツチの導電性のパターンを形成した
空間光変調管を発明して、本願発明と同時に出願してい
る。
前記マイクロチャンネルプレー１−側の面に小ピツチの
導電性のパターンを形成して、これにより電気光学結晶
からの２次電子の再分布を防止することができる。
導電性のパターンを形成して、これにより電気光学結晶
からの２次電子の再分布を防止することができる。
また前記小ピンチの導電性のパターンは電気光学結晶の
表面に密着して形成されており、これにより前記２次電
子の再分布を防止することができるから、先行例に示し
た捕集電極は不要となる。そのためマイクロチャンネル
プレーｊ〜と電気光学結晶間の距離を短くすることがで
き解像度を大幅に向上できる。
表面に密着して形成されており、これにより前記２次電
子の再分布を防止することができるから、先行例に示し
た捕集電極は不要となる。そのためマイクロチャンネル
プレーｊ〜と電気光学結晶間の距離を短くすることがで
き解像度を大幅に向上できる。
しかしながら導電性のパターンの存否により、読み取り
用の反射率の違いにより、パターンの像が直接あ℃み出
されてしまうという問題が残される。
用の反射率の違いにより、パターンの像が直接あ℃み出
されてしまうという問題が残される。
（本発明の目的）
本発明の目的は前記問題を解決した空間光変調装置を提
供することにある。
供することにある。
（構成および作用）
前記目的を達成するために、本発明による空間光変調装
置は、真空気密容器中に形成された光電面、光電面に対
向した表面上に、一定ピツチａの導電性パターンを形成
した電気光学結晶、前記光電面に形成された電子像に対
応する電荷像を前記電気光学結晶の前記導電性パターン
形成面に形成する電荷像形成手段を有する空間光変調管
と、前記空間光変調管の真空気密容器の外から前記電気
光学結晶の裏面に波長λのレーザ光を垂直に入射するレ
ーザ光源と、前記電気光学結晶により反則させられてｆ
ｊＪられたレーザ光像をフーリエ変換する焦点距離ｆの
レンズと、前記レンズのフーリエ変換面に配置した大き
さ２λｆ／ａ以下の透過孔をもつフィルタと、前記透過
孔を透過した光像をフーリエ逆変換する第２のレンズか
ら構成されている。
置は、真空気密容器中に形成された光電面、光電面に対
向した表面上に、一定ピツチａの導電性パターンを形成
した電気光学結晶、前記光電面に形成された電子像に対
応する電荷像を前記電気光学結晶の前記導電性パターン
形成面に形成する電荷像形成手段を有する空間光変調管
と、前記空間光変調管の真空気密容器の外から前記電気
光学結晶の裏面に波長λのレーザ光を垂直に入射するレ
ーザ光源と、前記電気光学結晶により反則させられてｆ
ｊＪられたレーザ光像をフーリエ変換する焦点距離ｆの
レンズと、前記レンズのフーリエ変換面に配置した大き
さ２λｆ／ａ以下の透過孔をもつフィルタと、前記透過
孔を透過した光像をフーリエ逆変換する第２のレンズか
ら構成されている。
前記構成によれば、導電性パターンに原因する雑音を完
全に除去することができ、解像度の高し）コヒーレント
像が得られる。
全に除去することができ、解像度の高し）コヒーレント
像が得られる。
（実施例の説明）
以下図面等を参照して前記空間光度ｇＩ！ｉｌ管の構成
とともに、本発明による装置をさらに詳しく説明する。
とともに、本発明による装置をさらに詳しく説明する。
第１図は本発明による装置で使用する前記導電性パター
ンが電気光学結晶に設けられている空間光変調管を用い
た空間光変調装置を示す略図である。
ンが電気光学結晶に設けられている空間光変調管を用い
た空間光変調装置を示す略図である。
空間光変調管の光電面３へは入力インコヒーレント像１
がレンズ２で投影される。
がレンズ２で投影される。
光電面３から放出された光電子は、集束レンズ系４によ
って加速集束され、マイクロチャンネルブレート５の入
力面に電子像を形成する。
って加速集束され、マイクロチャンネルブレート５の入
力面に電子像を形成する。
マイクロチャンネルプレート５によって数千倍に増倍さ
れた電子像は、Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３の電気光学結晶６
の而６ａに電荷像を形成する。
れた電子像は、Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３の電気光学結晶６
の而６ａに電荷像を形成する。
この電気光学結晶６の直ｆ’Ｍは２０ｍｍ、厚さ０．５
ｍｍである。
ｍｍである。
この電気光学結晶６の面６ａには、第２図に示すように
、ビソヂａ（ｍｍ）のメツシュ状の導電性パターン７が
形成されている。
、ビソヂａ（ｍｍ）のメツシュ状の導電性パターン７が
形成されている。
このメソシュ状の導電性パターン７は次にょうにして形
成する。
成する。
前記面６ａに一様にＩｎ１．１−Ｘ１Ｓｎｘ０３を蒸着
する。
する。
フォトエツチング法によって不要部分を除去しメンンユ
ピソチ０．０２５ｍｍのメソシュパターンを形成する。
ピソチ０．０２５ｍｍのメソシュパターンを形成する。
先に提案した装置では、マイクロチャンネルプレートと
、電気光学結晶の表面までの距離は１ｍｍ以上必要であ
ったが、この実施例装置では、その間隔を０．５ｍｍと
小さくしである。
、電気光学結晶の表面までの距離は１ｍｍ以上必要であ
ったが、この実施例装置では、その間隔を０．５ｍｍと
小さくしである。
なお電気光学結晶６とは別に例えば００Ｍメソシュを用
意して結晶の前記面に機械的に接触させることによって
もメソシュパターンを形成することかできる。
意して結晶の前記面に機械的に接触させることによって
もメソシュパターンを形成することかできる。
ＬｉＮｂＯ３の結晶は、それ自体２次電子放出面となり
（Ｍるものでありマイクロチャンネルプレ＝１−５から
の電子により２次電子を放出する。
（Ｍるものでありマイクロチャンネルプレ＝１−５から
の電子により２次電子を放出する。
この２次電子は、前記メツシュ状の導電性パターン７に
適当な電位、例えば２ｋＶ、を供給しておくことによっ
て、有効に捕集される。
適当な電位、例えば２ｋＶ、を供給しておくことによっ
て、有効に捕集される。
電気光学結晶６の６ａ面に形成された電荷像により電気
光学結晶６の内部にこれに対応する屈折率の分布が形成
される。この屈折率の変化は、コヒーレント光であるレ
ーザ光によりδ売み出される。
光学結晶６の内部にこれに対応する屈折率の分布が形成
される。この屈折率の変化は、コヒーレント光であるレ
ーザ光によりδ売み出される。
電気光学結晶６の６ｂ側の管外にハーフミラ−８が管軸
に４５°領斜させられて設けられている。
に４５°領斜させられて設けられている。
ハーフミラ−８を介して前記電気光学結晶６の６ｂ面か
ら入射させられた光は６ａ面で反射させられる。この光
路長は、前記電気光学結晶６内部の屈折率によって異な
り６ａ面の電荷像に対応する干渉像が取り出され、フィ
ルム１０に干渉像が形成される。
ら入射させられた光は６ａ面で反射させられる。この光
路長は、前記電気光学結晶６内部の屈折率によって異な
り６ａ面の電荷像に対応する干渉像が取り出され、フィ
ルム１０に干渉像が形成される。
前記構成による空間光変調管の実施例と先に提案した装
置（特開昭５８−６４７４２号）の空間光変調管の特性
を比較して以下の結果を得た。
置（特開昭５８−６４７４２号）の空間光変調管の特性
を比較して以下の結果を得た。
（実施例）
電気光学結晶６の直径 ２０ｍｍ
電気光学結晶６の厚さ Ｑ、 ５ ｒｎ ｍメソシュ状
の導電性パターン７のメンシュピッチ０．０２５ｍｍ マイクロチャンネルプレート５と電気光学結晶６の６ａ
面までの距離 Ｑ、５ｍｍ 電子ビームの拡がり（￥ ３０μｍ 解像度 １５βｐ ／ ｍ ｍ以上 （先行例） 電気光学結晶の直径 ２０ｍｍ 電気光学結晶の厚ざ ０．５ｍｍ ｔｄｉ集電極（メソシュ状の導電性パターンなし）マイ
クロチャンネルプレート５と電気光学結晶６の６ａ面ま
での距離 １．０ｍｍ 電子ビームの拡がり径 ５０μｍ以上 解像度 ＩＱ１ｐ／ｍｍ以上 このようにして、良好な解像が得られるが、第１図に示
す装置では、パターンの有無による反射率の違いにより
、パターンの像が直接読め出されてしまう。
の導電性パターン７のメンシュピッチ０．０２５ｍｍ マイクロチャンネルプレート５と電気光学結晶６の６ａ
面までの距離 Ｑ、５ｍｍ 電子ビームの拡がり（￥ ３０μｍ 解像度 １５βｐ ／ ｍ ｍ以上 （先行例） 電気光学結晶の直径 ２０ｍｍ 電気光学結晶の厚ざ ０．５ｍｍ ｔｄｉ集電極（メソシュ状の導電性パターンなし）マイ
クロチャンネルプレート５と電気光学結晶６の６ａ面ま
での距離 １．０ｍｍ 電子ビームの拡がり径 ５０μｍ以上 解像度 ＩＱ１ｐ／ｍｍ以上 このようにして、良好な解像が得られるが、第１図に示
す装置では、パターンの有無による反射率の違いにより
、パターンの像が直接読め出されてしまう。
第３図は本発明による装置の実施例を示す略図である。
前述のように、電気光学結晶６のマイクロチャンネルプ
レート５側に形成される電極７のメッシュのピッチａは
０．０２５ｍｍであるから、ｚｏ７！ｐ／ ｍ ｍ程度
の入力空間周波数を持つことになる。
レート５側に形成される電極７のメッシュのピッチａは
０．０２５ｍｍであるから、ｚｏ７！ｐ／ ｍ ｍ程度
の入力空間周波数を持つことになる。
この発明によれば、原画像を光学的フィルタ処理するこ
とにより、メツシュパターンを除去して再生できた。
とにより、メツシュパターンを除去して再生できた。
空間光変調管から送出されたコヒーレント像は、レンズ
１２でフーリエ変換される。そのフーリエ変換面に、フ
ィルタ１３を配置する。
１２でフーリエ変換される。そのフーリエ変換面に、フ
ィルタ１３を配置する。
フィルタＩ３には、２λｆ／ａ（ｍｍ）か、これよりわ
ずかに小さい直径の孔が設けられている。
ずかに小さい直径の孔が設けられている。
なおλは読シ出し用レーザ光９の波長、ｆはレンズ１２
の焦点距離である。
の焦点距離である。
λ−６３２．８ｘｌＯ−６ｍｍ、ｆ−２００ｍｍのもの
を用いたので、フーリエ変換面でのフィルタ１３の透過
孔の直径は１０ｍｍとなる。
を用いたので、フーリエ変換面でのフィルタ１３の透過
孔の直径は１０ｍｍとなる。
このフィルタ１３を透過した光を、逆変換レンズ１４で
フーリエ逆変換すると、スクリーン１５に格子の除去さ
れた像が形成される。
フーリエ逆変換すると、スクリーン１５に格子の除去さ
れた像が形成される。
（発明の詳細な説明）
以上説明したように、本発明によれば、前記電気光学結
晶により反射させられて得られたレーザ光像をフーリエ
変換する焦点距離ｆのレンズでフーリエ変換し、前記レ
ンズのフーリエ変換面に配置した大きさ２λｆ／ａ以下
の透過孔をもつフィルタを配置し、前記透過孔を透過し
た光像を第２のレンズでフーリエ逆変換することより、
空間光変調管の前記小ピツチの導電性のパターンに原因
する雑音を完全に除去することができる。
晶により反射させられて得られたレーザ光像をフーリエ
変換する焦点距離ｆのレンズでフーリエ変換し、前記レ
ンズのフーリエ変換面に配置した大きさ２λｆ／ａ以下
の透過孔をもつフィルタを配置し、前記透過孔を透過し
た光像を第２のレンズでフーリエ逆変換することより、
空間光変調管の前記小ピツチの導電性のパターンに原因
する雑音を完全に除去することができる。
この結果、害込み時、消去時に結晶の透明導電膜に印加
する電圧を変える毎に白−馬と反転してはっきりと現れ
てしまったメツシュ状のパターンを解像度を損なうこと
なく、はぼ完全に除去することができた。
する電圧を変える毎に白−馬と反転してはっきりと現れ
てしまったメツシュ状のパターンを解像度を損なうこと
なく、はぼ完全に除去することができた。
第１図は本発明による装置で使用する空間光変調管を用
いた空間光変調装置を示す略図である。 第２図は前記空間光変調管の一面に形成されたメツシュ
状の導電性パターンを示す略図である。 第３図は本発明による空間光変調装置の実施例を示す略
図である。 １・・・入力インコヒーレント像 ２・・・レンズ ３・・・光電面 ４・・・集束レンズ系 ５・・・マイクロチャンネルプレート ６・・・電気光学結晶 ７・・・メソシュ状の導電性パターン ８・・・ハーフミラ−９・・・レーザ光１２・・・レン
ズ １３・・・フィルタ１４・・・レンズ １５・・・
フィルム特許用１頭人 浜松ボトニクス株式会社代理人
弁理士 井 ノ ロ 壽 第１図 第２シ１ ォ・３図
いた空間光変調装置を示す略図である。 第２図は前記空間光変調管の一面に形成されたメツシュ
状の導電性パターンを示す略図である。 第３図は本発明による空間光変調装置の実施例を示す略
図である。 １・・・入力インコヒーレント像 ２・・・レンズ ３・・・光電面 ４・・・集束レンズ系 ５・・・マイクロチャンネルプレート ６・・・電気光学結晶 ７・・・メソシュ状の導電性パターン ８・・・ハーフミラ−９・・・レーザ光１２・・・レン
ズ １３・・・フィルタ１４・・・レンズ １５・・・
フィルム特許用１頭人 浜松ボトニクス株式会社代理人
弁理士 井 ノ ロ 壽 第１図 第２シ１ ォ・３図
Claims (3)
- （１）真空気密容器中に形成された光電面、光電面に対
向した表面上に、一定ピツチａの導電性パターンを形成
した電気光学結晶、前記光電面に形成された電子像に対
応する電荷像を前記電気光学結晶の前記導電性パターン
形成面に形成する電荷像形成手段を有する空間光変調管
と、前記空間光変調管の真空気密容器の外から前記電気
光学結晶の裏面に波長λのレーザ光を垂直に入射するレ
ーザ光源と、前記電気光学結晶により反射させられてｉ
↓１られたレーザ光像をフーリエ変換する焦点距離ｆの
レンズと、前記レンズのフーリエ変換面に配置した大き
さ２λｆ ／ ａ以下の透過孔をもつフィルタと、前記
透過孔を透過した光像をフーリエ逆変換する第２のレン
ズから構成した空間光変調装置。 - （２）前記空間変調管の電荷像形成手段は、集束電極と
マイクロチャンネルプレートにより形成されている特許
請求の範囲第１項記載の空間光変調装置。 - （３）前記導電性パターンは格子状であり前記フィルタ
の開口は円である特許請求の範囲第１項記載の空間光変
調装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11726883A JPS608823A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 空間光変調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11726883A JPS608823A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 空間光変調装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS608823A true JPS608823A (ja) | 1985-01-17 |
Family
ID=14707547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11726883A Pending JPS608823A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 空間光変調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608823A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6242119A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 書込み装置をもつ空間光変調管 |
| JPS6242180A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-24 | Hamamatsu Photonics Kk | マイクロ波ホログラフイ装置 |
| JPS6343251A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 透過形電子顕微鏡の収差観測装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5550558A (en) * | 1978-10-09 | 1980-04-12 | Iwatsu Electric Co Ltd | Operating method of scanning conversion type storage tube |
| JPS5633621A (en) * | 1979-08-28 | 1981-04-04 | Agency Of Ind Science & Technol | Directional high cut space frequency filter |
| JPS5864742A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-18 | Hamamatsu Tv Kk | 空間変調装置 |
-
1983
- 1983-06-29 JP JP11726883A patent/JPS608823A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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| JPS5550558A (en) * | 1978-10-09 | 1980-04-12 | Iwatsu Electric Co Ltd | Operating method of scanning conversion type storage tube |
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| JPS6343251A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 透過形電子顕微鏡の収差観測装置 |
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