JPS6242118A - 空間光変調管 - Google Patents
空間光変調管Info
- Publication number
- JPS6242118A JPS6242118A JP18279585A JP18279585A JPS6242118A JP S6242118 A JPS6242118 A JP S6242118A JP 18279585 A JP18279585 A JP 18279585A JP 18279585 A JP18279585 A JP 18279585A JP S6242118 A JPS6242118 A JP S6242118A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- org
- substrate
- sio2
- prescribed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空容器中に光電面や電子銃等の電子源と、
表面に付着した電子による電界の変化によりその光学的
性質が変化する有機フィルムを設けて構成した空間光変
調管に関する。
表面に付着した電子による電界の変化によりその光学的
性質が変化する有機フィルムを設けて構成した空間光変
調管に関する。
（従来の技術）
従来の空間光変調管は、真空容器中に形成された電子源
と、それらから放出された電子を表面に与えられて屈折
率（複屈折性）が変化する電気光学結晶を用いて構成さ
れている。
と、それらから放出された電子を表面に与えられて屈折
率（複屈折性）が変化する電気光学結晶を用いて構成さ
れている。
この方式では、解像度を良好にするためには結晶を非常
に薄く加工する必要がある。
に薄く加工する必要がある。
結晶を薄くすると書き込み電荷量が増し、応答速度が遅
くなるおそれがある。
くなるおそれがある。
そこで、最近電気光学結晶のかわりに、有機フィルムを
利用しようとする試みがある。
利用しようとする試みがある。
（発明が解決しようとする問題点）
ところが、前記有機フィルムを用いる空間光変調管では
、有機物質が真空容器中に封入されることになるから、
その有機物質からガスが放出される。
、有機物質が真空容器中に封入されることになるから、
その有機物質からガスが放出される。
このガスが、光電面作製の妨げとなったり、光電面作製
後においても、光電面感度を低下させるおそれがある。
後においても、光電面感度を低下させるおそれがある。
また、電子源として光電面のかわりに電子銃を用いる空
間光変調管においても、前記有機物質からのガス放出に
より装置の寿命を損なうおそれがある。
間光変調管においても、前記有機物質からのガス放出に
より装置の寿命を損なうおそれがある。
本発明の目的は、前述した有機フィルムを用いた空間光
変調管における前記ガスの発生に関連する問題を解決し
た空間光変調管を提供することにある。
変調管における前記ガスの発生に関連する問題を解決し
た空間光変調管を提供することにある。
（問題を解決するための手段）
前記目的を達成するために、本発明による空間光変調管
は、真空容器中に形成された電子源からの電子が表面に
与えられることにより光学的変化を生ずる有機フィルム
を用いた空間光変調管において、前記有機フィルムを透
明電極を介して基板に固定し、その表面を蒸気圧の低い
物質でコーティングして覆い密封層を形成して構成され
ている。
は、真空容器中に形成された電子源からの電子が表面に
与えられることにより光学的変化を生ずる有機フィルム
を用いた空間光変調管において、前記有機フィルムを透
明電極を介して基板に固定し、その表面を蒸気圧の低い
物質でコーティングして覆い密封層を形成して構成され
ている。
（実施例）
以下、図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する
。
。
第１図は本発明による空間光変調管の使用例を示す略図
である。まず、この図面により動作原理等を簡単に説明
する。
である。まず、この図面により動作原理等を簡単に説明
する。
インコヒーレント光像１は、レンズ２で空間光変調管３
の光電面４に投影される。
の光電面４に投影される。
光電面４からは像１に対応した光電子が放出され、マイ
クロチャンネルプレー１・５によって増倍された後、有
機フィルノ・７０表面に電荷像として落稍される。
クロチャンネルプレー１・５によって増倍された後、有
機フィルノ・７０表面に電荷像として落稍される。
この有機フィルム７はメタニトロアニリンのフィルムで
、前記電荷像により有機フィルム７に像に対応する屈折
率の変化が生じる。
、前記電荷像により有機フィルム７に像に対応する屈折
率の変化が生じる。
そこで、レーザ光ＩＯを出力ガラス窓８を通して有機フ
ィルム７に照射すると、有機フィルム７の中でレーザ光
は変調され、出力にコヒーレント像１１が得られる。
ィルム７に照射すると、有機フィルム７の中でレーザ光
は変調され、出力にコヒーレント像１１が得られる。
このようなコヒーレント像はコヒーレント並列光演算に
使用される。
使用される。
第２図は有機フィルムと基板の固定構造の実施例を示す
断面図である。
断面図である。
有機フィルム７は基板となる出力ガラス而（及８に、透
明導電膜（ＩＴＯ）１０１を介して接ｎ剤（紫外線硬化
接着剤）１０３で接着されている。
明導電膜（ＩＴＯ）１０１を介して接ｎ剤（紫外線硬化
接着剤）１０３で接着されている。
あるいは、を機フィルムは透明導電膜（ＩＴＯ）上に蒸
発法などにより直接形成されている。
発法などにより直接形成されている。
その後、５ｉ０２を、高周波スパッタで一面にコーティ
ングする。
ングする。
このとき、５ｉ０２層を一層蒸着するだけでなく、５ｉ
０２とＺ ｒ Ｏ２のように高低屈折率物質を交互に蒸
着し、誘電体ミラーとすることもできる。
０２とＺ ｒ Ｏ２のように高低屈折率物質を交互に蒸
着し、誘電体ミラーとすることもできる。
有機フィルムとして、前記のほか、尿素、メチルニトロ
アニリンなども用いることができる。
アニリンなども用いることができる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明による空間光変調管は、電
気光学効果を持つ有機物質の表面を低蒸気圧物質で覆っ
てしまうので、有機物質からのガス放出を完全に防止で
きる。
気光学効果を持つ有機物質の表面を低蒸気圧物質で覆っ
てしまうので、有機物質からのガス放出を完全に防止で
きる。
そのため、光電面作製の妨げとなるガスの発生は防止さ
れ、また光電面の感度低下を防止できる。
れ、また光電面の感度低下を防止できる。
また電子源として電子銃を用いる空間光変調管において
も、寿命の低下を防止できる。
も、寿命の低下を防止できる。
第１図は本発明による空間光変調管の実施例の使用例を
示す略図である。 第２図は、本発明の実施例で、出力部の断面を示す図で
ある。 １・・・インコヒーレント像 ２・・・レンズ ３・・・空間光変調管 ４・・・光電面 ５・・・マイクロチャンネルプレート ６・・・メソシュ電掻 ７・・・有機フィルム ８・・・出力ガラス面１反 ９・・・ハーフミラ− １０・・・レーザ光 １０１・・・透明導電膜 １０２・・・ＳｉＯ２膜 １０３・・・接着剤層 １１・・・コヒーレント光像
示す略図である。 第２図は、本発明の実施例で、出力部の断面を示す図で
ある。 １・・・インコヒーレント像 ２・・・レンズ ３・・・空間光変調管 ４・・・光電面 ５・・・マイクロチャンネルプレート ６・・・メソシュ電掻 ７・・・有機フィルム ８・・・出力ガラス面１反 ９・・・ハーフミラ− １０・・・レーザ光 １０１・・・透明導電膜 １０２・・・ＳｉＯ２膜 １０３・・・接着剤層 １１・・・コヒーレント光像
Claims (1)
- 真空容器中に形成された電子源からの電子が表面に与え
られることにより光学的変化を生ずる有機フィルムを用
いた空間光変調管において、前記有機フィルムを透明電
極を介して基板に固定し、その表面を蒸気圧の低い物質
でコーティングして覆い密封層を形成して構成したこと
を特徴とする空間光変調管。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18279585A JPS6242118A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 空間光変調管 |
| US06/887,610 US4741602A (en) | 1985-08-20 | 1986-07-21 | Spatial light modulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18279585A JPS6242118A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 空間光変調管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6242118A true JPS6242118A (ja) | 1987-02-24 |
| JPH028290B2 JPH028290B2 (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=16124550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18279585A Granted JPS6242118A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 空間光変調管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6242118A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05103399A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-04-23 | Fujitsu Ten Ltd | 音響用デジタル信号処理装置 |
-
1985
- 1985-08-20 JP JP18279585A patent/JPS6242118A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH028290B2 (ja) | 1990-02-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |