JPH0587681A - 被覆状態測定方法及び装置 - Google Patents

被覆状態測定方法及び装置

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JPH0587681A
JPH0587681A JP4057935A JP5793592A JPH0587681A JP H0587681 A JPH0587681 A JP H0587681A JP 4057935 A JP4057935 A JP 4057935A JP 5793592 A JP5793592 A JP 5793592A JP H0587681 A JPH0587681 A JP H0587681A
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Susumu Inoue
享 井上
Takehito Kobayashi
勇仁 小林
Hideji Shinoki
秀次 篠木
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 表面に被覆が施された線状体の被覆状態を連
続的に正確に測定する。 【構成】 線状体100の側面に平行光を照射し、特定
方向への表面反射光Aと境界面反射光Bとを集光レンズ
121及びピンホール部材122を用いて選択してイメ
ージセンサ124で検出して、その反射光間の特定方向
に直交する方向の距離d2 及び該反射光を形成する入射
光A′,B′間の距離d1を測定し、これらd1 ,d2
から被覆状態を推定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、線状体に施された被覆
の厚さ及び偏肉(偏肉度、偏肉方向)を測定する被覆状
態測定方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光ファイバは材質的な問題からそのまま
光伝送用媒体として使用するのは極めて困難であるの
で、従来より光ファイバの線引き直後に樹脂被覆を施し
て被覆光ファイバとし、光ファイバ製造直後の初期強度
の維持を図ると共に長期使用に耐えうるようにしてい
る。
【0003】すなわち、図36に示すように、光ファイ
バ母材1の先端を加熱炉2により加熱・溶融しつつ線引
きして形成された光ファイバ3は、一般に、第一の加圧
ダイ4A、第一の硬化炉5A、第二の加圧ダイ4B、第
二の硬化炉5Bに順次挿通されることにより、その外表
面に二層の樹脂被覆が施された被覆光ファイバ6となっ
てキャプスタン7を介して巻取機8に巻取られるように
なっている。ここで、かかる被覆光ファイバ6に使用さ
れている樹脂被覆材料は、例えば、シリコーン樹脂、ウ
レタン樹脂、エポキシ樹脂などの熱硬化型樹脂や、エポ
キシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエステ
ルアクリレートなどの紫外線硬化型樹脂、その他、放射
線硬化型樹脂などの高分子材料である。
【0004】ところで、このような被覆光ファイバ6に
おいては、その伝送特性及び機械的特性を向上するた
め、光ファイバ1の周囲に施される樹脂被覆が同心円状
となっていることが重要である。一方、光ファイバの生
産性向上のため線速を大きくすると、光ファイバ1の温
度が上昇して加圧ダイ4A,4B中での樹脂の流れが不
均一となるためか樹脂被覆に偏肉が生じ易いという問題
がある。また、偏肉は樹脂内にゴミが混入した場合など
にも生じる。そこで、光ファイバ線引きラインにおいて
は、インラインで被覆光ファイバ6の偏肉を測定し、偏
肉の発生に応じて線速を小さくしたり、線引きを停止し
たりする制御を行う必要がある。
【0005】ここで、従来の偏肉測定方法の一例を図3
7を参照しながら説明する。同図に示すように、従来に
おいては、線引きされる被覆光ファイバ10の側面にレ
ーザ光源11からのレーザビーム12を照射し、その前
方散乱光パターン13を検出することにより偏肉を測定
している(特開昭60−238737号公報参照)。か
かる方法の原理を図38に示す。同図に示すように、被
覆光ファイバ10を簡単のためにガラス部10aと樹脂
部10bとからなるとすると、両者の屈折率の違い(通
常、ガラス部10aの屈折率ng =1.46、樹脂部1
0bの屈折率nr =1.48〜1.51程度である)か
ら、前方散乱光パターン13には、樹脂部10b−ガラ
ス部10a−樹脂部10bと通過した中央部分の光束1
3aと、樹脂部10bのみを通過した周辺部の光束13
bとが存在する。したがって、前方散乱光パターン13
の左右の対称性及び左右の受光パワーの比により偏肉を
検出することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た方法では、前方散乱光パターン13の左右側におい
て、樹脂部10b及びガラス部10aの両方を通過した
光と、樹脂部10bのみを通過した光とが明確に区別さ
れなければ偏肉を検出できないので、例えば図に示すよ
うに被覆径が小さくて樹脂部10bの肉厚が小さい場合
(図39)、又は偏肉が大きすぎる場合(図40)には
偏肉が良好には検出できない。すなわち、図39の場合
には、樹脂部10bの肉厚が小さすぎるので、樹脂部1
0bを通過する光が存在せず、全て樹脂部10b及びガ
ラス部10aの両方を通過してしまい、偏肉が検出でき
ない。また、図40の場合には、図中下側において樹脂
部10bが薄肉となるので、やはり図中下側の樹脂部1
0bのみを通過する光が存在しないので、偏肉が生じて
いることは判断できるが、どの程度の偏肉なのかが検出
できない。
【0007】したがって、光ファイバ生産分野におい
て、高性能な光ファイバを生産性よく製造するために、
被覆光ファイバの被覆厚及び偏肉をインラインで正確に
測定しうる技術の出現が望まれている。また、かかる技
術は種々の分野に適用可能である。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明に係る被覆状態測定方法は、表面に少なくとも一層か
らなる被覆が施された円柱状線状体の側面に対して該円
柱状線状体の長手方向軸に平行でない方向から測定光を
照射し、該円柱状線状体の被覆表面で少なくとも一つの
特定方向に反射した表面反射光と、該被覆と円柱状線状
体本体との境界面若しくは被覆の各層の境界面で上記表
面反射光と平行な方向に反射した境界面反射光とを検出
し、これら表面反射光及び境界面反射光間のその特定方
向に直交する方向の距離である反射光位置ずれ量から該
円柱状線状体の被覆厚及び偏肉を推定することを特徴と
し、また、表面に少なくとも一層からなる被覆が施され
た円柱状線状体の側面に対して該円柱状線状体の長手方
向軸に平行でない方向から測定光を照射し、該円柱状線
状体の被覆表面で少なくとも一つの特定方向に反射した
表面反射光と、該被覆と円柱状線状体本体との境界面若
しくは被覆の各層の境界面で上記表面反射光と平行な方
向に反射した境界面反射光とを検出し、該表面反射光を
与える入射光及び該境界面反射光を与える入射光間のそ
の入射方向に直交する方向の距離である入射光位置ずれ
量から該円柱状線状体の被覆厚及び偏肉を推定すること
を特徴とし、さらに、表面に少なくとも一層からなる被
覆が施された円柱状線状体の側面に対して該円柱状線状
体の長手方向軸に平行でない方向から測定光を照射し、
該円柱状線状体の被覆表面で少なくとも一つの特定方向
に反射した表面反射光と、該被覆と円柱状線状体本体と
の境界面若しくは被覆の各層の境界面で上記表面反射光
と平行な方向に反射した境界面反射光とを検出し、これ
ら表面反射光及び境界面反射光間のその特定方向に直交
する方向の距離である反射光位置ずれ量と、該表面反射
光を与える入射光及び該境界面反射光を与える入射光間
のその入射方向に直交する方向の距離である入射光位置
ずれ量との両方から該円柱状線状体の被覆厚及び偏肉を
推定することを特徴とする。
【0009】一方、本発明に係る被覆状態測定装置は、
表面に少なくとも一層からなる被覆が施された円柱状線
状体の側面に対して該円柱状線状体の長手方向軸に平行
でない方向から測定光を照射する光照射部と、該円柱状
線状体の被覆表面で少なくとも一つの特定方向に反射し
た表面反射光と、該被覆と円柱状線状体本体との境界面
もしくは被覆の各層の境界面で上記表面反射光と平行な
方向に反射した境界面反射光とを検出する光検出部と、
これら表面反射光及び境界面反射光間のその特定方向に
直交する方向の距離である反射光位置ずれ量から該円柱
状線状体の被覆厚及び偏肉を求める制御部、とを備えた
ことを特徴とし、また、表面に少なくとも一層からなる
被覆が施された円柱状線状体の側面に対して該円柱状線
状体の長手方向軸に平行でない方向から測定光を照射す
る光照射部と、該円柱状線状体の被覆表面で少なくとも
一つの特定方向に反射した表面反射光と、該被覆と円柱
状線状体本体との境界面若しくは被覆の各層の境界面で
上記表面反射光と平行な方向に反射した境界面反射光と
を検出する光検出部と、該表面反射光を与える入射光及
び該境界面反射光を与える入射光間のその入射方向に直
交する方向の距離である入射光位置ずれ量から該円柱状
線状体の被覆厚及び偏肉を求める制御部、とを備えたこ
とを特徴とし、さらに、表面に少なくとも一層からなる
被覆が施された円柱状線状体の側面に対して該円柱状線
状体の長手方向軸に平行でない方向から測定光を照射す
る光照射部と、該円柱状線状体の被覆表面で少なくとも
一つの特定方向に反射した表面反射光と、該被覆と円柱
状線状体本体との境界面若しくは被覆の各層の境界面で
上記表面反射光と平行な方向に反射した境界面反射光と
を検出する光検出部と、これら表面反射光及び境界面反
射光間のその特定方向に直交する方向の距離である反射
光位置ずれ量と、該表面反射光を与える入射光線及び該
境界面反射光を与える入射光線間のその入射方向に直行
する方向の距離である入射光位置ずれ量との両方から該
円柱状線状体の被覆厚及び偏肉を求める制御部、とを備
えたことを特徴とする。
【0010】以下、本発明を図面を参照しながら説明す
る。
【0011】図34に示すように、被検体である線状体
の一例としての被覆光ファイバ100はガラス部100
a及び樹脂部100bからなるものとし、該被覆光ファ
イバ100の側方から測定光を照射する。そして、特定
方向への表面反射光及び境界面反射光である光A,Bを
測定し、これら光A,Bの距離である反射光位置ずれ量
2 を測定する。また、必要により、これら光A,Bに
対応する入射光A′,B′間の距離である入射光位置ず
れ量d1 も測定する。なお、図34では簡単のため、光
A,B,A′,B′は被覆光ファイバ100の長手方向
軸に直交する面内にあるとし、特定方向と照射方向とは
直交するものとする。
【0012】ここで、上述した距離d1 ,d2 に基づい
て被覆状態を推定する方法の一例を図34を参照しなが
ら説明する。なお、ここでは、被覆光ファイバ100の
ガラス部100aの半径r1 、樹脂部100bの半径r
2 、被覆光ファイバ100の周囲の屈折率n1 、樹脂部
100bの屈折率n2 が既知とする。樹脂部100bの
表面を表す半径r2 の円の中心をxy座標の原点
(C2 )とすると、光Aの反射点P0 の座標は下記数1
で示され、また、光B′の樹脂部100bへの入射点P
1 、及び光Bの樹脂部100bからの出射点P2 の座標
はそれぞれ数2及び数3で示される。
【0013】
【数1】
【0014】
【数2】
【0015】
【数3】
【0016】一方、光B′の樹脂部100bへの入射角
θ1 は、P1 の座標(P1x,P1y)を用いて数4で表さ
れ、また、光Bの出射角θ3 はP2 の座標(P2x
2y)を用いて数5で表される。さらに、P1 及びP2
での屈折の関係はそれぞれ数6、数7で表される。
【0017】
【数4】
【0018】
【数5】
【0019】
【数6】
【0020】
【数7】
【0021】また、光B′の樹脂部100bとガラス部
100aとの境界面での反射点P3 の座標(P3x
3y)を満たす条件は数8及び数9で表される。
【0022】
【数8】
【0023】
【数9】
【0024】ここで、tan (π−θ1 +θ2 )=T1
tan (θ3 −θ4 )=T2とおいて解くと、P3x,P3y
はそれぞれ数10、数11で表される。
【0025】
【数10】
【0026】
【数11】
【0027】そして、ガラス部100aの中心座標C1
は反射点P3 における入射光と出射光とがなす角の二等
分線上でP3 からr1 の位置にあるので、数10、数1
1より座標(C1x,C1y)は数12で表される。
【0028】
【数12】
【0029】すなわち、C1 (C1x,C1y)はガラス部
100aの中心の樹脂部100bの中心C2 からのずれ
(偏心量)を表しており、これにより偏肉度(最大肉厚
に対する最小肉厚の比で表される)及び偏肉方向などの
被覆状態を知ることができる。なお、以上の説明は簡単
のため、被覆が一層で反射光である光A,Bが入射光で
ある光A′,B′と直交するものとしたが、被覆が複数
層でも、他の方向への反射光を測定しても同様に被覆状
態を知ることができる。
【0030】また、通常の光ファイバの製造ラインにお
いては、品種によって樹脂部100bの外径r2 が変化
し、n1 ,n2 も変化する場合があるが、この場合に
は、被覆光ファイバ100の周囲の複数方向から上述し
たような方法で同様な測定を行うことにより、同じく偏
肉を知ることができる。すなわち、図35に示すよう
に、上述したd1 ,d2 を測定すると同時に、他方向か
ら光を入射して光C′,D′に対応する表面反射光及び
境界面反射光である光C,Dを受光して、光C′,D′
の距離d3 及び光C,Dの距離d4 を測定し、次の手続
で被覆状態を測定する。 d1 ,d2 より、P0 ,P1 ,P2 の座標を算出
し、d3 ,d4 より、P 4,P5 , P6 の座標を算出す
る。 P0 ,P4 の座標から樹脂部100bの外径r2
中心C2 を算出する。 P3 ,P7 ,C1 の座標を、それぞれn1 ,n2
未知数とする関数で示す。 P3 ,P7 のそれぞれに関し、これらがC1 を中心
とする半径r1 の円周上に位置する旨の条件式をつく
る。 のP3 ,P7 ,C1 の座標と、のP3 ,P7
関する条件式を解き、座標C1 (x,y)を算出する。 C1 ,C2 の座標より被覆状態を推定する。
【0031】以上説明したのは、一組のd1 ,d2 に基
づいて被覆状態を推定する例ではあるが、d1 ,d2
何れか一方からでも推定することができる。また、一方
向から測定光を照射して複数の特定方向への反射光を検
出することにより求めた複数の入射光位置ずれ量d1
あるいは複数の反射光位置ずれ量d2 からも被覆状態を
推定することができる。さらに、複数の方向から測定光
を照射すると共に複数の特定方向へ反射光を検出するこ
とにより、複数組のd1 ,d2 を求めれば、さらに、精
密に被覆状態を推定することができる。
【0032】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【0033】図1には本発明方法を実施するための第一
の実施例に係る被覆状態測定装置を概念的に示す。同図
に示すように、被検体である線状体の一例としての被覆
光ファイバ100は、ガラス部100a及び樹脂部10
0bからなるものとし、該被覆光ファイバ100の側方
には実質的な平行光を出力する平行光照射部110及び
反射光受光部120が配されている。ここで、平行光照
射部110は、被覆光ファイバ100の側面に対向して
設けられ光軸が被覆光ファイバ100の長手方向と直交
するコリメートレンズ111と、このコリメートレンズ
111の後方に設けられた光源112とを具えており、
平行光を被覆光ファイバ100の側面に平行光を照射で
きるようになっている。一方、反射光受光部120は、
被覆光ファイバ100の側面に対向して配されて該被覆
光ファイバ100の長手方向及び上記コリメートレンズ
111の光軸と直交する光軸を有する集光レンズ121
と、この集光レンズ121の後方の焦点位置にスリット
122aを有するピンホール部材122と、このピンホ
ール部材122の後方に設けられると共にピンホール部
材122aが焦点位置となるコリメートレンズ123
と、このコリメートレンズ123の後方に設けられてピ
ンホール122a及びコリメートレンズ123を通過し
た光を受光して検知するイメージセンサ124とを具
え、集光レンズ121の光軸に平行な反射光のみをイメ
ージセンサ124が受光できるようになっている。そし
て、制御部130はイメージセンサ124からデータを
処理することにより反射光位置ずれ量を求めるようにな
っている。図1に示す装置は、特定方向の表面反射光及
び境界面反射光を選択的に受光するために、集光レンズ
121及びピンホール部材122を用いるものであり、
非常に簡単な設備で被覆状態測定を実現することができ
る。なお、本発明でイメージセンサとは固体撮像素子を
いい、MOSトランジスタやCCDメモリの配列上に光
を受けて各セルの出力を電子的に走査することにより光
を電気信号に変換する装置をいう。またピンホール部材
122の代りにスリットを有する部材を用いてもよい。
【0034】次に、図1の装置により行う偏肉測定の原
理を説明する。平行光照射部110から平行光を照射す
ると、まず、被覆光ファイバ100の樹脂部100bの
表面で反射した表面反射光である光Aと、樹脂部100
bとガラス部100aとの境界面で反射した境界面反射
光である光Bと選択的にイメージセンサ124に受光さ
れ、この他の反射光は受光されない。したがって、光A
及び光Bを受光した位置から、光A及び光B間の距離d
2 を検知することができる。また、被覆状態を測定する
ためには、光A及び光Bに対応する入射光である光A′
及び光B′間の距離d1 も検知する必要はあるが、これ
は例えば光を逆行させて同様に測定することにより求め
ることができる。なお、これらd1 、d2 に基づいて被
覆状態を推定する方法は上述した通りであるのでここで
の説明は省略する。
【0035】図2に示す装置は、反射光位置ずれ量(光
A,B間の距離d2)と同時に、入射光位置ずれ量(光
A′,B′間の距離d2 )を測定できるようにしたもの
であり、反射光受光部120側には、ビームスプリッタ
141を介して第二の平行光照射部150が結合されて
おり、平行光照射部110側にはビームスプリッタ14
2を介して第二の反射光受光部160が結合されてい
る。ここで、第二の平行光照射部150は、上述した反
射光(光A,B)に逆行する平行光を被覆光ファイバ1
00に照射するものであり、ビームスプリッタ142に
対向するコリメートレンズ151と、このコリメートレ
ンズ151の後方に配される光源152とを具えてい
る。一方、第二の反射光受光部160は、上述した入射
光(光A′,B′)に逆行する反射光を受光するもので
あり、ビームスプリッタ142に対向する集光レンズ1
61と、この集光レンズ161の焦点にピンホール16
2aを有するピンホール部材162と、このピンホール
部材162の後方に配されると共にピンホール162a
が焦点位置となり該ピンホール162aを通過した反射
光を平行光とするコリメートレンズ163と、ピンホー
ル112a及びコリメートレンズ163を通過した光を
受光するイメージセンサ164とを具えている。なお、
制御部は図1の装置に準じて構成すればよい。
【0036】かかる偏肉測定装置で被覆状態を推定する
方法は、図1に示す装置で説明したものと同様であるの
で、ここでの説明は省略するが、本装置によれば、上述
した入射光である光A′,B′の距離d1 と共に反射光
である光A,Bの距離d2 も同時に測定することができ
る。すなわち、図3、4に示すように、イメージセンサ
124及びイメージセンサ164で検出される出力ピー
クの位置関係によりd1 ,d2 を算出することができ
る。したがって、これらd1 ,d2 を用いることによ
り、上述した手法で被覆状態を推定することができる。
【0037】ここで、実際に偏肉を生じている被覆光フ
ァイバ(r1 =125/2μm,r 2 =170/2μ
m)について、d1 ,d2 を測定した例を示す。 (測定例1)d1 =10μm,d2 =20μmとなり、
1 の座標は(−1.732294,−7.6861
2)として求められた。なお、この例の被覆状態を図示
すると図5のようになる。 (測定例2)d1 =20μm,d2 =0μmとなり、C
1 の座標は(−4.73828,7.53631)とし
て求められた。なお、この例の被覆状態を図示すると図
6のようになる。 (測定例3)d1 =−10μm,d2 =30μmとな
り、C1 の座標は(14.0952,−10.384
7)として求められた。なお、この例の被覆状態を図示
すると図7のようになる。
【0038】また、図1の装置では、ピンホール部材1
22とイメージセンサ124との間にコリメートレンズ
124を設けているが、これは必ずしも必要ではない。
また、上述した装置を二セット以上設けることにより、
樹脂部100bの外径r2 、樹脂部100bの屈折率n
2 及び周囲の屈折率n1 が未知でも偏肉が測定できる。
さらに、樹脂部100bの表面での反射率と、樹脂部1
00bとガラス部100aとの境界面での反射率との差
が大きく、受光器で検出しにくい場合には、被覆光ファ
イバ100の周囲に反射率整合剤を配して、上述した表
面の反射率と境界面の反射率との差を小さくするのが好
ましい。
【0039】また、図1に示す装置では、特定方向の表
面反射光及び境界面反射光のみを選択的に受光するため
に、集光レンズ121及びピンホール部材122を用い
てるが、これらを用いずに、受光レンズ及び撮像素子か
らなる検出系を用いてもよい。
【0040】図8には受光レンズ125及びCCD撮像
素子126からなる検出系を用いた例を示す。この場合
におけるCCD撮像素子126での受光をテレビモニタ
で観察すると、図9のようになる。同図において、A,
B,C,Dは反射光を示し、図10のA〜Dでの反射光
に対応する。よって、B,Cの距離が上述した反射光位
置ずれ量d2 になる。
【0041】また、図1又は図8において、測定光とし
ての平行光の代りに被覆光ファイバ100の長手方向軸
に交差する方向に幅広いスリット光を用いることもでき
る。なお、スリット光はスリット部材、円柱レンズ、あ
るいはプリズムなどのスリット生成手段により生成す
る。そして、図8において平行光の代りにスリット光を
照射した場合の測定結果を図11に示す。この場合のA
〜Dは図10のA〜Dの反射光に対応する。
【0042】さらに、これらの場合において、平行光又
はスリット光の照射を被覆光ファイバ100の長手方向
軸に直交する面に対して傾いた方向から行ってもよい。
この様子を示したのが図12及び図13である。
【0043】図12の場合には撮像光学系が被覆光ファ
イバ100の長手方向に垂直な断面に対して傾いている
ので、撮像光学系の合焦位置が被覆光ファイバ100の
長手方向に亘って変化することになる。したがって、被
覆光ファイバ100が線引中であり微動している場合に
も、図8のようなテレビモニタにおいて縦方向の何れか
の位置で合焦することになるという効果がある。
【0044】また、図13に示すようにスリット光を傾
めから照射した場合には、図14に示すような測定結果
が得られる。すなわち、この場合、図10の場合と比べ
て反射光B,C間の距離が大きくなり、両者が分離し易
く、測定精度が向上するという効果がある。
【0045】図8、12、13においては、観測光学系
の受光開口数を制限して焦点深度を大きくすると共にC
CD撮像素子126に到達する反射光の角度範囲を限定
すると、測定対象となる反射光の検出が容易になる。具
体的には図15に示すように、受光レンズ125とCC
D撮像素子126との間に絞り部材127を設ければよ
い。
【0046】図15に示すように絞り部材127を設け
ると、円柱状の被覆光ファイバ100の表面の反射光の
うち例えば破線で示す周囲の光が除去されて、必要な反
射光を含む一定範囲の反射光を受光することができ、観
察し易くなるというメリットがある。また、絞り部材1
27の作用により焦点深度が深くなるので、被覆光ファ
イバ100の表面及びガラス部100aと樹脂部100
bとの境界の両方に焦点が合い易くなり、また、被覆光
ファイバ100の位置が不安定であっても観測が容易と
なる。
【0047】図16にはスリット光を用いた他の被覆状
態測定装置の一例を概念的に示す。同図に示すように、
被検体である円柱状の一例としての被覆光ファイバ10
0は、ガラス部100a及び樹脂部100bからなるも
のとし、該被覆光ファイバ100の側方にはスリット光
照射部210と反射光受光部220とが配されている。
ここで、スリット光照射部210は、光源としてレーザ
光源又はダイオードなどを有し、被覆光ファイバ100
の長手方向の直交面と傾斜し、図面では紙面とも直交す
る面に沿ってのスリット光を被覆光ファイバ100の側
面にストロボ状に照射するものである。また、反射光受
光部220はスリット光照射部210の中心と被覆光フ
ァイバ100の中心軸とを含む面内に配されてスリット
光の反射光を受光するものであり、本実施例では二次元
イメージセンサを具えている。そして、これらスリット
光照射部210及び反射光受光部220からのデータを
処理して被覆状態を推定するデータ処理部230は、反
射光受光部220からの画像データを読み出して記憶す
るイメージメモリ231と、このイメージメモリ231
からの画像データとスリット光照射部210からのスト
ロボ同期信号とを受けてデータを処理して被覆状態を推
定するCPU232とからなる。
【0048】次に、図16の装置により行う被覆状態測
定の原理を説明する。
【0049】図17に示すように、スリット光のうち被
覆光ファイバ100の中心に向かう光L0 が入射各φ1
で入射するとすると、偏肉がない状態では樹脂部100
b表面で反射した光L1 と、樹脂部100bとガラス部
100aとの境界面で反射した光L2 とが得られる。こ
のときの光L1 と光L2 との距離Sと肉厚Dとの間に
は、樹脂部100bの屈折率をn1 とすると、数13に
示す関係があるので、Sを測定することにより肉厚Dを
求めることができる。
【0050】
【数13】
【0051】しかし、偏肉が生じていると光L2 は光L
1 と平行には反射せず、図18、19に示すように、ガ
ラス部100aが偏心した方向にずれた光L0 ′がP1
から樹脂部100bに入射してガラス部100aの中心
に向い、該ガラス部100aのP2 で反射してその反射
光がP3 から光L1 と平行な方向に出射する。このと
き、光L0 ′の中心軸に直交する面中の入射角をθ1
出射角θ2 とし、同面内におけるP1 とP2 との距離を
k、光L0 と光L0 ′との距離をdとすると、図18に
示すP1 及びP2 の座標は数14、数15で示される。
なお、樹脂部100bの外径(半径)をr2 とする。
【0052】
【数14】
【0053】
【数15】
【0054】また、P1 ,P2 を含み、中心軸に平行な
面内においてP1 における光L0 ′の入射角及び屈折角
をそれぞれφ1 ,φ2 とし、同面内における反射光L2
と反射光L2 ′との距離をhとすると、hは数16で示
され、さらに数16よりkは数17で示される。なお、
ガラス部100aの半径をr1 とする。
【0055】
【数16】
【0056】
【数17】
【0057】ここで、図18におけるガラス部100a
の中心C1 はP1 からガラス部100aの半径方向(r
1 +k)だけ離れた位置にあるので、その座標(C1x,
1y)は数18で表される。すなわち、図16に示す装
置でh,dを検出することにより、被覆状態を推定する
ことができる。
【0058】
【数18】
【0059】図16に示す装置でh,dを求めるには、
反射光受光部220のイメージセンサから得られる反射
光のデータを、樹脂部100bでの屈折等を考慮した補
正を加えて処理すればよい。なお、以上の説明は簡単の
ため、被覆が一層のものとしたが、被覆が複数層でも同
様に被覆状態を知ることができる。
【0060】図16に示す偏肉測定装置で被覆状態を測
定した。すなわち、スリット光照射部210からスリッ
ト光をストロボ状に照射すると共にその反射光を反射光
受光部220で受光し、CPU132によりイメージメ
モリ131に読み込まれたデータを処理することにより
d,hを求め、これにより被覆状態を推定する。
【0061】実際に観察されているのは図20に示すよ
うな2本の円弧状の反射部RA,B である。ここで、反
射部RA は樹脂部100b表面での反射光からなるもの
であり、中心のスポットPA からP0 に一致するものと
考えられる。また、反射部R B はガラス部100aでの
反射光が樹脂部100bの表面であらわれたものであ
り、やはりスポットPB が観察される。そして、このス
ポットPB の位置に樹脂部100bでの屈折等の補正を
加えることにより上述したP3 の位置が求めることがで
きるが、簡易にはこのスポットPB の位置をP3 の位置
とすることができる。この場合、PA とPB との上下方
向の距離が図19に示すh′に対応し、P A とPB との
左右方向の距離が図18のdに対応する。したがって、
これらh′(h),dを用いることにより上述した方法
で被覆状態を推定することができる。
【0062】なお、上述した装置を二セット以上設ける
ことにより、樹脂部100bの外径r2 、樹脂部100
bの屈折率n1 及び周囲の屈折率n0 が未知でも偏肉が
測定できる。また、樹脂部100bの表面での反射率
と、樹脂部100bとガラス部100aとの境界面での
反射率との差が大きく、反射光受光部で検出しにくい場
合には、被覆光ファイバ100の周囲に反射率整合剤を
配して、上述した表面の反射率と境界面の反射率との差
を小さくするのが好ましい。
【0063】図16に示す装置において、データ処理部
230では、スリット光照射部210のストロボ状の照
射に同期してデータを処理しているが、これによると、
被覆光ファイバ100の位置が長手方向軸に交差する方
向に変動している場合でも確実に行うことができるとい
う効果が得られる。なお、かかる技術は他の実施例の装
置すべてに適用できることが言うまでもない。
【0064】次に、測定光としてレーザ走査光を用いた
実施例を説明する。図21にはレーザ走査光を用いた被
覆状態測定装置の一例を概念的に示す。同図に示すよう
に、被検体である線状体の一例としての被覆光ファイバ
100は、ガラス部100a及び樹脂部100bからな
るものとし、該被覆光ファイバ100の側方にはレーザ
光走査部310及び反射光受光部320が配されてい
る。ここで、レーザ光走査部310は、被覆光ファイバ
100の側面に対向して設けられ光軸が被覆光ファイバ
100の長手方向と直交するコリメートレンズ311
と、このコリメートレンズ311の焦点位置に設けられ
て該焦点位置を通り且つ被覆光ファイバ100の長手方
向と平行な軸中心に回転する回転ミラー312と、この
回転ミラー312の回転中心部にレーザ光を照射するレ
ーザ光源313とを具えており、レーザ光を被覆光ファ
イバ100の長手方向に直交する面内でレーザ光を走査
できるようになっている。一方、反射光受光部320
は、被覆光ファイバ100の側面に対向して配されて該
被覆光ファイバ100の長手方向及び上記コリメートレ
ンズ311の光軸と直交する光軸を有する集光レンズ3
21と、この集光レンズ321の後方の焦点位置にスリ
ット322aを有するスリット部材322と、このスリ
ット部材322の後方に設けられてスリット322aを
通過した光を受光して検知する、例えばフォトダイオー
ドなどの受光器323とを具え、集光レンズ321の光
軸に平行な反射光のみを受光器323が受光できるよう
になっている。そして、制御部330はこれらレーザ光
走査部310及び反射光受光部320からデータを処理
することにより被覆状態を推定する働きをしている。す
なわち、制御部330は、回転ミラー312にミラー駆
動信号を送ると共にその同期信号を出力する回転ミラー
ドライバ331と、受光器323の出力信号を増幅して
出力する増幅器332と、回転ミラードライバ331か
らの同期信号及び増幅器332からの出力信号をA/D
変換するA/D変換器333と、このA/D変換器33
3からの信号を処理して受光器323が反射光を受光し
たときの走査位置を検出するCPU334とを具えてい
る。図21に示す装置は、特定方向の表面反射光及び境
界面反射光を選択的に受光するために、集光レンズ32
1及びスリット部材322を用いるものであり、本発明
方法を非常に簡単な設備で実現することができる。な
お、本発明で受光器とは、光の受光を検出してその光に
応じた電気的信号を出力する素子をいう。また、本発明
で用いるレーザ光のビーム径は、求められる分解能との
関係で適宜選定すればよいが、少なくとも測定する被覆
の最小値より小さく設定するのが望ましい。さらに、ス
リット部材322の代りにピンホールを有する部材を用
いてもよいことは言うまでもない。
【0065】次に、図21の装置により行う偏肉測定の
原理を説明する。回転ミラー312の回転駆動によりレ
ーザ光源313からのレーザ光を図中右から左へ向って
走査すると、まず、被覆光ファイバ100の樹脂部10
0bの表面で反射した表面反射光である光Aが受光器3
23に受光され、次いで、樹脂部100bとガラス部1
00aとの境界面で反射した境界面反射光である光Bが
受光器323に受光され、この他の反射光は受光されな
い。したがって、光A及び光Bを受光したときの出力と
回転ミラードライバ331からの同期信号とにより、光
A及び光Bに対応する入射光である光A′及び光B′間
の走査方向の距離d 1 を検知することができる。また、
被覆状態を測定するためには、必要により光A及び光B
間の距離d2 も検知する必要があるが、これは例えば光
を逆行させて同様に測定することができる。又は、光A
及び光Bを二つに分離して一方をその受光位置が検出で
きる他の検出手段、例えばイメージセンサ等により、同
時に検出することにより求めることができる。さらに、
上記表面反射光及び境界面反射光を検出するものとし
て、光入射面側の両端にそれぞれ位置信号電極を有する
と共に底面側を基準電極とする半導体からなり、光入射
面に入射した入射光により発生してその入射位置と上記
各位置信号電極までの距離に反比例した大きさに分かれ
た光電流を各位置検出電極から出力する位置検出用半導
体装置(PSD;Position Sensitiv
e Device)を用い、両位置信号電極の上記基準
電極に対する電位の和の出力と時間との関係より上記入
射光ずれ量d 1 を求めると共に、各位置信号電極の上記
基準電極に対する電位の大きさから算出される入射位置
の情報より上記反射光ずれ量d2 を求めることができ
る。
【0066】図22には他の実施例に係る被覆状態測定
装置の構成を概念的に示したものである。なお、図21
と同一作用を示す部材には同一符号を付して重複した説
明は省略する。 図22に示す装置は、入射光位置ずれ
量(光A′,B′間の距離d 1 )と同時に、反射光位置
ずれ量(光A,B間の距離d2 )を測定できるようにし
たものであり、反射光受光部320側には、ビームスプ
リッタ341を介して第二のレーザ光走査部350が結
合されており、レーザ光走査部310側にはビームスプ
リッタ342を介して第二の反射光受光部360が結合
されている。ここで、第二のレーザ光走査部350は、
上述した反射光(光A,B)に逆行するレーザ光を被覆
光ファイバ100に走査するものであり、ビームスプリ
ッタ341に対向するコリメートレンズ351と、この
コリメートレンズ351の焦点位置に配される回転ミラ
ー352と、この回転ミラー352にレーザ光を照射す
るレーザ光源353とを具えている。一方、第二の反射
光受光部360は、上述した入射光(光A′,B′)に
逆行する反射光を受光するものであり、ビームスプリッ
タ342に対向する集光レンズ361と、この集光レン
ズ361の焦点にスリット362aを有するスリット部
材362と、このスリット部材362の後方に配されて
スリット362aを通過した光を受光する受光器363
とを具えている。なお、制御部は図21の装置に準じて
構成すればよい。
【0067】かかる被覆状態測定装置で被覆状態を推定
する方法は、図21に示す装置で説明したものと同様で
あるので、ここでの説明は省略するが、本装置によれ
ば、上述した入射光である光A′,B′の距離d1 と共
に反射光である光A,Bの距離d2 も同時に測定するこ
とができる。すなわち、図23、24に示すように、受
光器323及び受光器363で検出される出力ピーク間
の時間と走査の同期信号との関係によりd1 ,d2 を算
出することができる。したがって、これらd1 ,d2
用いることにより、上述した手法で被覆状態を推定する
ことができる。
【0068】また、上述した装置を二セット以上設ける
ことにより、樹脂部100bの外径r2 、樹脂部100
bの屈折率n2 及び周囲の屈折率n1 が未知でも被覆状
態が測定できる。さらに、樹脂部100bの表面での反
射率と、樹脂部100bとガラス部100aとの境界面
での反射率との差が大きく、受光器で検出しにくい場合
には、被覆光ファイバ100の周囲に反射率整合剤を配
して、上述した表面の反射率と境界面の反射率との差を
小さくするのが好ましい。
【0069】図25にはレーザ走査光を用いる他の被覆
状態測定装置の一例を概念的に示す。同図に示すよう
に、被検体である線状体の一例としての被覆光ファイバ
100の側方にはレーザ光走査部410及び反射光受光
部420が配されている。ここで、レーザ光走査部41
0は、被覆光ファイバ100の側面に対向して設けられ
光軸が被覆光ファイバ100の長手方向と直交するコリ
メートレンズ411と、このコリメートレンズ411の
焦点位置に設けられて該焦点位置を通り且つ被覆光ファ
イバ100の長手方向と平行な軸中心に回転する回転ミ
ラー412と、この回転ミラー412の回転中心部にレ
ーザ光を照射するレーザ光源413とを具えており、レ
ーザ光を被覆光ファイバ100の長手方向に直交する面
内でレーザ光を走査できるようになっている。一方、反
射光受光部420は、被覆光ファイバ100の側面に対
向して配されて該被覆光ファイバ100の長手方向及び
上記コリメートレンズ411の光軸と直交する光軸を有
する集光レンズ421と、この集光レンズ421の後方
の焦点位置にスリット422aを有するスリット部材4
22と、このスリット部材422の後方に設けられてス
リット422aを通過した光を受光して検知する、位置
検出用半導体装置(PSD;PositionSens
itive Deviceという)423とを具え、集
光レンズ421の光軸に平行な反射光のみをPSD42
3が受光できるようになっている。そして、制御部43
0はこれらレーザ光走査部410及び反射光受光部42
0からデータを処理することにより被覆状態を推定する
働きをしている。すなわち、制御部430は、回転ミラ
ー412にミラー駆動信号を送ると共にその同期信号を
出力する回転ミラードライバ431と、PSD423の
出力信号を処理するPSDドライバ432と、回転ミラ
ードライバ431からの同期信号及びPSDドライバ4
32からの出力信号をA/D変換するA/D変換器43
3と、このA/D変換器433からの信号を処理して入
射光位置ずれ量及び反射光位置ずれ量を検出するCPU
434とを具えている。図25に示す装置は、特定方向
の表面反射光及び境界面反射光を選択的に受光するため
に、集光レンズ421及びスリット部材422を用いる
ものであり、被覆状態測定を非常に簡単な設備で実現す
ることができる。また、スリット部材422の代りにピ
ンホールを有する部材を用いてもよいことは言うまでも
ない。
【0070】ここで、本実施例で用いるPSD423の
構成を図26を参照しながら説明する。同図に示すよう
に、PSD423は、平板状シリコン基板501の表面
にP型半導体層502、裏面にN型半導体層503を形
成し、表面側両端に位置信号電極504,505を設け
ると共に、裏面側を基準電極506としたものである。
PSD423はこのような構成を有しているので、表面
側の位置信号電極504、505間に光スポットLが入
射すると該入射位置に光エネルギーに比例した電荷が発
生し、この電荷が光電流I1 ,I2 となって両方の位置
信号電極504、505から出力される。このとき、光
電流I1 ,I2 は光スポットLの入射位置と位置信号電
極504、505との距離(抵抗値)に逆比例した大き
さとなるので、この電流I1 ,I2 を例えば基準電極5
06を基準とする電圧V1 ,V2 として取り出せば、割
算信号(V1 −V2 )/(V1 +V2 )より入射位置を
求めることができる。すなわち、光A及び光Bについて
の入射位置より反射光位置ずれ量d2を求めることがで
きる。PSD423は、通常はこのように、光スポット
Lの入射位置を求めることに使用されるが、本発明で
は、和信号(V1 +V2 )と時間との関係をモニタし、
これと走査の同期信号とにより、光A及び光BがPSD
423に受光したときの走査位置を求めるようにしてい
る。したがって、これにより、光A,Bに対応する入射
光である光A′,B′間の距離d1 を求めることができ
る。このように、本発明では、PSD423から割算信
号と同時に和信号を時間との関係でとり出すことによ
り、反射光位置ずれ量d2 と共に入射光位置ずれ量d 1
を同時に検出することができる。
【0071】次に、図25の装置により行う被覆状態測
定の原理を説明する。回転ミラー412の回転駆動によ
りレーザ光源413からのレーザ光を図中右から左へ向
って走査すると、まず、被覆光ファイバ100の樹脂部
100bの表面で反射した表面反射光である光Aが受光
器423に受光され、次いで、樹脂部100bとガラス
部100aとの境界面で反射した境界面反射光である光
BがPSD423に受光され、この他の反射光は受光さ
れない。したがって、光A及び光Bを受光したときの出
力と回転ミラードライバ431からの同期信号とによ
り、光A及び光Bに対応する入射光である光A′及び光
B′間の走査方向の距離d 1 及び光A及び光B間の距離
2 を検知することができる。
【0072】図25に示す被覆状態測定装置で被覆状態
を求めた。すなわち、回転ミラードライバ431からの
ミラー駆動信号により回転ミラー412を回転すること
によりレーザ光源413からのレーザ光を走査し、PS
Dドライバ432ではPSD423からの出力に応じて
和信号(V1 +V2 )及び割算信号(V1 −V2 )/
(V1 +V2 )を求める。そして、CPU434では、
同期信号を基準として和信号(V1 +V2 )を時間との
関係でモニタし、同時にその出力がピークを形成したと
きの割算信号(V1 −V2 )/(V1 +V2 )を求め
る。このときの出力状態を図27に示す。そして、同図
において、和信号出力のピークの位置からd1 を求める
ことができ、このピーク時の割算信号からd2 を求める
ことができる。したがって、これらd1 ,d2 を用いる
ことにより、上述した手法で被覆状態を推定することが
できる。
【0073】なお、図25に示す装置では、スリット部
材422のスリット422aを通過した反射光をそのま
まPSD423で受光しているが、スリット部材422
とPSD423との間に焦点がスリット422aに一致
するコリメートレンズを設けると、反射光がPSD42
3に垂直に入るようになり、より好ましい。また、上述
した装置を二セット以上設けることにより、樹脂部10
0bの外径r2 、樹脂部100bの屈折率n2 及び周囲
の屈折率n1 が未知でも偏肉が測定できる。さらに、樹
脂部100bの表面での反射率と、樹脂部100bとガ
ラス部100aとの境界面での反射率との差が大きく、
PSDで検出しにくい場合には、被覆光ファイバ100
の周囲に反射率整合剤を配して、上述した表面の反射率
と境界面の反射率との差を小さくするのが好ましい。
【0074】図28にはさらに、レーザ光走査を用いる
他の被覆状態測定装置を概念的に示す。同図に示すよう
に、被検体である線状体の一例としての被覆光ファイバ
100の側方にはレーザ光走査部610及び反射光受光
部620が配されている。ここで、レーザ光走査部61
0は、被覆光ファイバ100の側面に対向して設けられ
光軸が被覆光ファイバ100の長手方向と直交するコリ
メートレンズ611と、このコリメートレンズ611の
焦点位置に設けられて該焦点位置を通り且つ被覆光ファ
イバ100の長手方向と平行な軸中心に回転する回転ミ
ラー612と、この回転ミラー612の回転中心部にレ
ーザ光を照射するレーザ光源613とを具えており、レ
ーザ光を被覆光ファイバ100の長手方向に直交する面
内でレーザ光を走査できるようになっている。一方、反
射光受光部620は、被覆光ファイバ100の側面に対
向して配されて該被覆光ファイバ100の長手方向及び
上記コリメートレンズ611の光軸と直交する光軸を有
する集光レンズ621と、この集光レンズ621の後方
に配されたビームスプリッタ622と、このビームスプ
リッタ622で分岐された光の焦点位置にそれぞれスリ
ット623a,624aを有するスリット部材623,
624と、これらスリット部材623,624の後方に
設けられてスリット623a,624aを通過した光を
受光して検知する一次元イメージセンサ625と、例え
ばフォトダイオードなどの受光器626とを具え、集光
レンズ621の光軸に平行な反射光のみを一次元イメー
ジセンサ625及び受光器626が受光できるようにな
っている。ここで、一次元イメージセンサ625は、反
射光を受けた図中上下方向の位置情報を出力するもので
あり、受光器626は、反射光を受けたときに電気的信
号を出力するものである。そして、制御部630はこれ
らレーザ光走査部610及び反射光受光部620からデ
ータを処理することにより被覆状態を推定する働きをし
ている。すなわち、制御部630は、回転ミラー612
にミラー駆動信号を送ると共にその同期信号を出力する
回転ミラードライバ631と、回転ミラードライバ63
1からの同期信号を受けると共に定期的に一次元イメー
ジセンサ625から情報を読み出して処理する一次元画
像処理装置632と、回転ミラードライバ631からの
同期信号及び受光器623からの出力信号をA/D変換
するA/D変換器633と、一次元画像処理装置632
及びA/D変換器633からの信号を処理するCPU6
34とを具えている。なお、ここでイメージセンサとは
固体撮像素子をいい、MOSトランジスタやCCDメモ
リの配列上に光を受けて各セルの出力を電子的に走査す
ることにより光を電気信号に変換する装置をいう。ま
た、ここで受光器とは、光の受光を検出してその光に応
じて電気的信号を出力する素子をいう。さらに、スリッ
ト部材623,624の代りにピンホールを有する部材
を用いてもよいことは言うまでもない。
【0075】次に、図28の装置により行う被覆状態測
定の原理を説明する。回転ミラー612の回転駆動によ
りレーザ光源613からのレーザ光を図中右から左へ向
って走査すると、まず、被覆光ファイバ100の樹脂部
100bの表面で反射した表面反射光である光Aが一次
元イメージセンサ625及び受光器626に受光され、
次いで、樹脂部100bとガラス部100aとの境界面
で反射した境界面反射光である光Bが一次元イメージセ
ンサ625及び受光器626に受光され、この他の反射
光は受光されない。したがって、一次元イメージセンサ
625の光A及び光Bの受光位置から光A及び光Bのそ
の反射方向に直交する方向の距離d2 を検知することが
できる。また、受光器626が光A及び光Bを受光した
ときの出力と回転ミラードライバ631からの同期信号
とにより、光A及び光Bに対応する入射光である光A′
及び光B′間の走査方向の距離d1 を検知することがで
きる。
【0076】図28に示す装置を用いて入射光位置ずれ
量d1 と反射光位置ずれ量d2 とを測定する一例につい
て具体的に説明する。図29には本実施例による偏肉測
定を示すタイミングチャートを示す。同図に示すよう
に、本実施例では回転ミラードライバ631からのミラ
ー駆動信号により回転ミラー612を往復回転運動する
ことにより、レーザ光源613からのレーザ光を被覆光
ファイバ100の側面に向って往復走査し、そのときの
反射光である光A,Bを一次元イメージセンサ625及
び受光器626で検出する。なお、回転ミラードライバ
631は、走査方向を変換する毎に同期信号を出してい
る。一次元イメージセンサ625では、一回の走査(一
往路又は一復路)の間中電荷を蓄積しておき、走査方向
の切り替え(同期信号の出力)と同時に1次元画像処理
装置632がその受光信号を読み取るようにする。この
出力信号は、例えば図30に示すように各画素の受光強
度と画素アドレスとの関係で得ることができ、光Aの出
力と光Bの出力との位置関係によりd2 を求めることが
できる。一方、受光器626は、反射光を受光したとき
にA/D変換器633に信号を出力するものであり、A
/D変換器633は、同期信号が出力されてから一定時
間(次の同期信号が出力される少し前まで)A/D変換
して信号を出力するようになっており、これにより、反
射光である光A,光Bの受光間の時間を知ることができ
る。すなわち、図31に示すような出力ピークを得るこ
とができ、2本のピーク間の時間から入射光である光
A′,光B′間の距離d1 と求めることができる。この
ように求めたd1 ,d2 を用いることにより、上述した
手法で被覆状態を推定することができる。
【0077】以上、種々の実施例について説明したが、
次にこれらの各実施例において被覆状態測定の精度を向
上する手法について説明する。
【0078】上述した被覆状態測定方法においては、表
面反射光に対して境界面反射光の光量が少ないので測定
し難いという面があるが、例えば光照射部に偏光子を設
けるか、光検出部に検光子を設けるかして、円柱状線状
体の長手方向に垂直な方向の偏光成分のみを検出するよ
うにすればよい。かかる偏光成分においては表面反射光
と比較して境界面反射光の光量が相対的に向上するから
である。なお、測定光の光源が偏光したレーザ光を出力
するものである場合には、上述した偏光子や検光子は必
要ないことは言うまでもない。
【0079】ガラス部の周囲に径180μmで屈折率が
1.497の第1被覆層と、径250μmで屈折率が
1.51の第2被覆層とを設けた被覆光ファイバにおけ
る、第1被覆層と第2被覆層との境界面反射光量/表面
反射光量の比と偏光方向との関係を図32に示す。な
お、入射光と観測する反射光との角度は90度とした。
同図から明らかなように、被覆光ファイバの長手方向に
垂直な偏光方向(90度)近傍において、表面反射光量
に対して境界面反射光量が相対的に向上する。したがっ
て、かかる偏光成分を検出すると、境界面反射光の測定
が確実になる。なお、かかる効果は被覆層とガラス部と
の境界面でも生じ、境界における屈折率差に依存する。
したがって、上述した例より一般に屈折率差が大きい被
覆層とガラス部との境界面においては上述した効果は向
上する。
【0080】また、上述したように偏光子あるいは検光
子を用いる代りに、測定光の中で円柱状線状体の被覆表
面にブリュースター角で入射する光の反射方向を特定方
向として、その表面反射光及び境界面反射光を検出する
ようにすると、上述した場合と同様に境界面反射光が検
出し易くなるという効果が得られる。さらに、この場
合、上述したように被覆光ファイバの長手方向に垂直な
直線偏光を測定光とすると、より効果が顕著になる。
【0081】ガラス部の周囲に径180μmで屈折率が
1.497の第1被覆層と、径250μmで屈折率が
1.51の第2被覆層とを設けた被覆光ファイバについ
て、ブリュースター角θ(θ=tan-1(1.51)=
56.49度)で入射する光の反射光を観測できる方向
から表面反射光及び境界面反射光を観測し、測定光の偏
光方向を変化させたときの境界面反射光量/表面反射光
量の比の変化を図33に示す。同図に示すように、被覆
光ファイバの長手方向に垂直な偏光方向の測定光を用い
且つブリュースター角θで入射させた場合には、さらに
境界面反射光量が相対的に大きくなり、境界面反射光が
より検出し易くなるということがわかる。
【0082】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
被覆表面での特定方向への反射光と被覆と線状体本体と
の境界面での特定方向への反射光とを測定することによ
り被覆状態を連続的に正確に測定できるので、例えば光
ファイバ製造ラインにおいて光ファイバ被覆の状態をイ
ンラインで測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施例に係る被覆状態測定装置を示す概念図
である。
【図2】他の実施例に係る被覆状態測定装置を示す概念
図である。
【図3】図2の装置の受光器の出力ピークを示す説明図
である。
【図4】図2の装置の受光器の出力ピークを示す説明図
である。
【図5】被覆状態の測定例を示す説明図である。
【図6】被覆状態の測定例を示す説明図である。
【図7】被覆状態の測定例を示す説明図である。
【図8】検出系の他の例を示す構成図である。
【図9】テレビモニタの観測例を示す説明図である。
【図10】測定光の反射状態を示す説明図である。
【図11】テレビモニタの観測例を示す説明図である。
【図12】平行光の斜め入射による測定を示す説明図で
ある。
【図13】スリット光の斜め入射による測定を示す説明
図である。
【図14】図13の測定結果を示す説明図である。
【図15】絞り部材の一例を示す説明図である。
【図16】スリット光照射による被覆状態測定装置を示
す構成図である。
【図17】図16の装置による測定を示す説明図であ
る。
【図18】図16の装置による測定を示す説明図であ
る。
【図19】図16の装置による測定を示す説明図であ
る。
【図20】図16の装置による測定を示す説明図であ
る。
【図21】レーザ光走査による被覆状態測定装置を示す
構成図である。
【図22】レーザ光走査による被覆状態測定装置を示す
構成図である。
【図23】図22の装置の測定結果を示す説明図であ
る。
【図24】図22の装置の測定結果を示す説明図であ
る。
【図25】レーザ光走査による被覆状態測定装置を示す
構成図である。
【図26】PSDを示す構成図である。
【図27】図25の測定結果を示す説明図である。
【図28】レーザ光走査による被覆状態測定装置を示す
構成図である。
【図29】図28の装置による一実施例に係るタイミン
グチャートである。
【図30】図28の装置の測定結果を示す説明図であ
る。
【図31】図28の装置の測定結果を示す説明図であ
る。
【図32】境界面反射光量/表面光反射光量と偏光方向
との関係を示すグラフである。
【図33】図32において測定光の入射方向をブリュー
スタ角とした場合の関係を示すグラフである。
【図34】本発明の原理を説明するための説明図であ
る。
【図35】本発明の原理を説明するための説明図であ
る。
【図36】光ファイバの製造ラインの一例を示す概念図
である。
【図37】従来技術に係る偏肉測定を説明するための原
理図である。
【図38】従来技術に係る偏肉測定の原理を説明するた
めの説明図である。
【図39】従来技術に係る偏肉測定の問題点を示す説明
図である。
【図40】従来技術に係る偏肉測定の問題点を示す説明
図である。
【符号の説明】
100 被覆光ファイバ 100a ガラス部 100b 樹脂部 110 平行光照射部 111 コリメートレンズ 112 光源 120 反射光受光部 121 集光レンズ 122 ピンホール部材 124 イメージセンサ 130 制御部 210 スリット光照射部 220 反射光受光部 230 データ処理部 310 レーザ光走査部 311 コリメートレンズ 312 回転ミラー 313 レーザ光源 320 反射光受光部 321 集光レンズ 322 スリット部材 323 受光部 330 制御部 410 レーザ光走査部 411 コリメートレンズ 412 回転ミラー 413 レーザ光源 420 反射光受光部 421 集光レンズ 422 スリット部材 423 PSD 430 制御部 610 レーザ光走査部 611 コリメートレンズ 612 回転ミラー 613 レーザ光源 620 反射光受光部 621 集光レンズ 622 ビームスプリッタ 623、624 スリット部材 625 一次元イメージセンサ 626 受光器 630 制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G02B 6/44 331 7036−2K 351 7820−2K (31)優先権主張番号 特願平3−95441 (32)優先日 平3(1991)4月25日 (33)優先権主張国 日本(JP) (31)優先権主張番号 特願平3−95442 (32)優先日 平3(1991)4月25日 (33)優先権主張国 日本(JP)

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面に少なくとも一層からなる被覆が施
    された円柱状線状体の側面に対して該円柱状線状体の長
    手方向軸に平行でない方向から測定光を照射し、該円柱
    状線状体の被覆表面で少なくとも一つの特定方向に反射
    した表面反射光と、該被覆と円柱状線状体本体との境界
    面若しくは被覆の各層の境界面で上記表面反射光と平行
    な方向に反射した境界面反射光とを検出し、これら表面
    反射光及び境界面反射光間のその特定方向に直交する方
    向の距離である反射光位置ずれ量から該円柱状線状体の
    被覆厚及び偏肉を推定することを特徴とする被覆状態測
    定方法。
  2. 【請求項2】 表面に少なくとも一層からなる被覆が施
    された円柱状線状体の側面に対して該円柱状線状体の長
    手方向軸に平行でない方向から測定光を照射し、該円柱
    状線状体の被覆表面で少なくとも一つの特定方向に反射
    した表面反射光と、該被覆と円柱状線状体本体との境界
    面若しくは被覆の各層の境界面で上記表面反射光と平行
    な方向に反射した境界面反射光とを検出し、該表面反射
    光を与える入射光及び該境界面反射光を与える入射光間
    のその入射方向に直交する方向の距離である入射光位置
    ずれ量から該円柱状線状体の被覆厚及び偏肉を推定する
    ことを特徴とする被覆状態測定方法。
  3. 【請求項3】 表面に少なくとも一層からなる被覆が施
    された円柱状線状体の側面に対して該円柱状線状体の長
    手方向軸に平行でない方向から測定光を照射し、該円柱
    状線状体の被覆表面で少なくとも一つの特定方向に反射
    した表面反射光と、該被覆と円柱状線状体本体との境界
    面若しくは被覆の各層の境界面で上記表面反射光と平行
    な方向に反射した境界面反射光とを検出し、これら表面
    反射光及び境界面反射光間のその特定方向に直交する方
    向の距離である反射光位置ずれ量と、該表面反射光を与
    える入射光及び該境界面反射光を与える入射光間のその
    入射方向に直交する方向の距離である入射光位置ずれ量
    との両方から該円柱状線状体の被覆厚及び偏肉を推定す
    ることを特徴とする被覆状態測定方法。
  4. 【請求項4】 請求項1において、照射する測定光が実
    質的な平行光であると共に、表面及び境界面上の反射点
    の像を撮像素子を具備する撮像光学系を用いて観測する
    ことにより反射光位置ずれ量を測定することを特徴とす
    る被覆状態測定方法。
  5. 【請求項5】 請求項4において、照射する測定光が該
    円柱状線状体の長手方向軸に垂直なスリット光であるこ
    とを特徴とする被覆状態測定方法。
  6. 【請求項6】 請求項4又は5において、照射する測定
    光がパルス光であると共に、該パルス光の照射タイミン
    グと同期させて撮像素子を駆動することにより、反射光
    位置ずれ量を測定することを特徴とする被覆状態測定方
    法。
  7. 【請求項7】 請求項1又は3において、照射する測定
    光がレーザ走査光であると共に、表面及び境界面上の反
    射点の像を撮像素子を具備する撮像光学系を用いて観測
    することにより反射光位置ずれ量を測定することを特徴
    とする被覆状態測定方法。
  8. 【請求項8】 請求項4、6又は7において、撮像光学
    系の一部または全体を該円柱状線状体の長手方向に垂直
    な断面に対して平行でない方向に傾けることにより、該
    円柱状線状体の長手方向に沿って撮像光学系の合焦位置
    を変化させたことを特徴とする被覆状態測定方法。
  9. 【請求項9】 請求項2において、照射する測定光がレ
    ーザ走査光であると共に、表面及び境界面からの反射光
    を受光素子上に導き、受光素子出力の時間変化より入射
    光位置ずれ量を測定することを特徴とする被覆状態測定
    方法。
  10. 【請求項10】 請求項1又は3において、照射する測
    定光がレーザ走査光であると共に、表面及び境界面上の
    反射点の像を、光入射面側の両端にそれぞれ位置信号電
    極を有すると共に底面側を基準電極とする半導体からな
    り且つ光入射面に入射した入射光により発生してその入
    射位置と上記各位置信号電極までの距離に反比例した大
    きさに分かれた光電流を各位置検出電極から出力する位
    置検出用半導体装置であるPSD素子上に結像し、該P
    SD素子によって検知される光重心位置の変化から反射
    光位置ずれ量を測定することを特徴とする被覆状態測定
    方法。
  11. 【請求項11】 請求項3において、照射する測定光が
    レーザ走査光であると共に、表面及び境界面上の反射点
    の像を、光入射面側の両端にそれぞれ位置信号電極を有
    すると共に底面側を基準電極とする半導体からなり且つ
    光入射面に入射した入射光により発生してその入射位置
    と上記各位置信号電極までの距離に反比例した大きさに
    分かれた光電流を各位置検出電極から出力する位置検出
    用半導体装置であるPSD素子上に結像し、該PSD素
    子によって検知される光重心位置の変化及び光強度の変
    化より反射光位置ずれ量を測定すると共に同時に入射光
    位置ずれ量を測定することを特徴とする被覆状態測定方
    法。
  12. 【請求項12】 請求項1〜11の何れかにおいて、観
    測光学系の受光開口数を制限して焦点深度を大きくする
    と共に受光器に到達する反射光の角度範囲を限定するこ
    とにより、特定方向の表面反射光及び境界面反射光を検
    出することを特徴とする被覆状態測定方法。
  13. 【請求項13】 請求項12において、観測光学系が、
    特定方向に光軸が一致すると共に平行光を焦点面上の1
    点に集束するレンズ系と該レンズ系の焦点面上に配置さ
    れたピンホール若しくはスリットとを通過する光を当該
    特定方向の表面反射光及び境界面反射光として検出する
    ものであることを特徴とする被覆状態測定方法。
  14. 【請求項14】 請求項1〜13の何れかにおいて、照
    射する測定光が円柱状線状体の長手方向に垂直な方向に
    偏光された直線偏光であるか、又は円柱状線状体での反
    射光の中の円柱状線状体の長手方向に垂直な方向の偏光
    成分のみを光検出部で検出することを特徴とする被覆状
    態測定方法。
  15. 【請求項15】 請求項1〜14の何れかにおいて、測
    定光の中で円柱状線状体の被覆表面にブリュースター角
    で入射する光の反射方向を特定方向として表面反射光及
    び境界面反射光を検出することを特徴とする被覆状態測
    定方法。
  16. 【請求項16】 請求項1〜15の何れかにおいて、円
    柱状線状体の周囲に屈折率整合剤を設け、円柱状線状体
    の被覆表面での反射率と、被覆と円柱状線状体との境界
    面若しくは被覆の各層の境界面での反射率との差を小さ
    くしたことを特徴とする被覆状態測定方法。
  17. 【請求項17】 表面に少なくとも一層からなる被覆が
    施された円柱状線状体の側面に対して該円柱状線状体の
    長手方向軸に平行でない方向から測定光を照射する光照
    射部と、 該円柱状線状体の被覆表面で少なくとも一つの特定方向
    に反射した表面反射光と、該被覆と円柱状線状体本体と
    の境界面もしくは被覆の各層の境界面で上記表面反射光
    と平行な方向に反射した境界面反射光とを検出する光検
    出部と、 これら表面反射光及び境界面反射光間のその特定方向に
    直交する方向の距離である反射光位置ずれ量から該円柱
    状線状体の被覆厚及び偏肉を求める制御部、とを備えた
    ことを特徴とする被覆状態測定装置。
  18. 【請求項18】 表面に少なくとも一層からなる被覆が
    施された円柱状線状体の側面に対して該円柱状線状体の
    長手方向軸に平行でない方向から測定光を照射する光照
    射部と、 該円柱状線状体の被覆表面で少なくとも一つの特定方向
    に反射した表面反射光と、該被覆と円柱状線状体本体と
    の境界面若しくは被覆の各層の境界面で上記表面反射光
    と平行な方向に反射した境界面反射光とを検出する光検
    出部と、 該表面反射光を与える入射光及び該境界面反射光を与え
    る入射光間のその入射方向に直交する方向の距離である
    入射光位置ずれ量から該円柱状線状体の被覆厚及び偏肉
    を求める制御部、とを備えたことを特徴とする被覆状態
    測定装置。
  19. 【請求項19】 表面に少なくとも一層からなる被覆が
    施された円柱状線状体の側面に対して該円柱状線状体の
    長手方向軸に平行でない方向から測定光を照射する光照
    射部と、 該円柱状線状体の被覆表面で少なくとも一つの特定方向
    に反射した表面反射光と、該被覆と円柱状線状体本体と
    の境界面若しくは被覆の各層の境界面で上記表面反射光
    と平行な方向に反射した境界面反射光とを検出する光検
    出部と、 これら表面反射光及び境界面反射光間のその特定方向に
    直交する方向の距離である反射光位置ずれ量と、該表面
    反射光を与える入射光線及び該境界面反射光を与える入
    射光線間のその入射方向に直行する方向の距離である入
    射光位置ずれ量との両方から該円柱状線状体の被覆厚及
    び偏肉を求める制御部、とを備えたことを特徴とする被
    覆状態測定装置。
  20. 【請求項20】 請求項17において、光照射部が、実
    質的な平行光を出射する平行光源を備えると共に、光検
    出部が光検出素子としての撮像素子を有する撮像光学系
    を備えたことを特徴とする被覆状態測定装置。
  21. 【請求項21】 請求項20において、光照射部が円柱
    状線状体の長手方向軸に垂直な方向に延びるスリット形
    状を有する光を生成するスリット生成手段を具備し、該
    スリット生成手段を介して測定光を照射することを特徴
    とする被覆状態測定装置。
  22. 【請求項22】 請求項20又は21において、光照射
    部がパルス光源を備えると共に、該パルス光源の照射タ
    イミングと光検出部の撮像素子の撮像タイミングとを同
    期させる同期回路を備えたことを特徴とする被覆状態測
    定装置。
  23. 【請求項23】 請求項17又は19において、光照射
    部がレーザ光源とレーザ光走査機構とを備えると共に、
    光検出部が光検出素子としての撮像素子を備えたことを
    特徴とする被覆状態測定装置。
  24. 【請求項24】 請求項20、22又は23において、
    光検出部が撮像光学系の一部又は全体を円柱状線状体の
    長手方向に垂直な断面に対して平行でない方向に傾ける
    ことにより、該円柱状線状体の長手方向に沿って合焦位
    置が変化するものであることを特徴とする被覆状態測定
    装置。
  25. 【請求項25】 請求項18において、光照射部がレー
    ザ光源とレーザ光走査機構とを備えると共に、光検出部
    が表面及び境界面からの反射光を受光する受光素子を備
    え、制御部が該受光素子からの出力の時間変化とレーザ
    光走査の速度とより入射光位置ずれ量を求める回路を備
    えたことを特徴とする被覆状態測定装置。
  26. 【請求項26】 請求項17又は19において、光照射
    部がレーザ光源とレーザ光走査機構とを備えると共に、
    光検出部が表面及び境界面からの反射光を受光する素子
    として、光入射面側の両端にそれぞれ位置信号電極を有
    すると共に底面側を基準電極とする半導体からなり且つ
    光入射面に入射した入射光により発生してその入射位置
    と上記各位置信号電極までの距離に反比例した大きさに
    分かれた光電流を各位置検出電極から出力する位置検出
    用半導体装置であるPSD素子を備え、制御部が該PS
    D素子によって検知される光重心位置の変化から反射光
    ずれ量を求める回路を備えたことを特徴とする被覆状態
    測定装置。
  27. 【請求項27】 請求項19において、光照射部がレー
    ザ光源とレーザ光走査機構とを備えると共に、光検出部
    が表面及び境界面からの反射光を受光する素子として、
    光入射面側の両端にそれぞれ位置信号電極を有すると共
    に底面側を基準電極とする半導体からなり且つ光入射面
    に入射した入射光により発生してその入射位置と上記各
    位置信号電極までの距離に反比例した大きさに分かれた
    光電流を各位置検出電極から出力する位置検出用半導体
    装置であるPSD素子を備え、制御部が該PSD素子に
    よって検知される光重心位置の変化より反射光ずれ量を
    求めると同時に光強度の変化より入射光位置ずれ量を求
    める回路を備えたことを特徴とする被覆状態測定装置。
  28. 【請求項28】 請求項17〜27の何れかにおいて、
    光照射部が観測光学系の受光開口数を制限する絞りを具
    備したことを特徴とする被覆状態測定装置。
  29. 【請求項29】 請求項28において、観測光学系の受
    光開口数を制限するための絞りが特定方向に光軸が一致
    すると共に平行光を焦点面上の1点に集束するレンズ系
    の焦点面上に配置されたピンホール若しくはスリットで
    あることを特徴とする被覆状態測定装置。
  30. 【請求項30】 請求項17〜29の何れかにおいて、
    光照射部が光源からの光を円柱状線状体の長手方向に垂
    直な方向の直線偏光とする偏光子を具備するか、又は光
    検出部が円柱状線状体からの反射光の中の円柱状線状体
    の長手方向に垂直な方向の偏光成分のみを検出すること
    を特徴とする被覆状態測定装置。
  31. 【請求項31】 請求項17〜30の何れかにおいて、
    光照射部の光軸と光検出部の光軸とが測定光の反射点に
    おける円柱状線状体の被覆表面の法線に対してブリュー
    スター角をなすことを特徴とする被覆状態測定装置。
  32. 【請求項32】 請求項17〜31の何れかにおいて、
    円柱状線状体の周囲に屈折率整合剤を設けてあり、円柱
    状線状体の被覆表面での反射率と、被覆と円柱状線状体
    本体との境界面若しくは被覆の各層の境界面での反射率
    との差を小さくしたことを特徴とする被覆状態測定装
    置。
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