JPH0585727A

JPH0585727A - セラミツク原料微粉の製造方法

Info

Publication number: JPH0585727A
Application number: JP3276589A
Authority: JP
Inventors: Kazumi Okabe; 参省岡部; Yuriko Tsukioka; 百合子月岡; Saburo Kuze; 三郎久世; Yukio Hamachi; 幸生浜地; Yukio Sakabe; 行雄坂部
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1991-09-26
Filing date: 1991-09-26
Publication date: 1993-04-06
Anticipated expiration: 2016-12-17
Also published as: JP3240643B2

Abstract

(57)【要約】【目的】反応工程で、生成物（沈殿）の再溶解、析出
による粒成長を防止し、粒度分布のばらつきや構成比の
ずれをなくして、目標とする構成比を有するセラミック
原料微粉を得る。【構成】所定の金属元素の水酸化物と、前記水酸化物
１モルに対して、ＮａＯＨ，ＫＯＨ，ＬｉＯＨ，ＮＨ₄
ＯＨ及びアミンからなる群から選ばれる１種または２種
以上の混合物１〜４モルを含有する６０〜９５℃の第１
溶液１ａと、所定の金属元素の複合アルコキシドを含有
する第２溶液２ａとを、それぞれ別経路から静止型ライ
ンミキサ３に送り込み、静止型ラインミキサ３において
第１溶液１ａと第２溶液２ａとを均一に混合して反応さ
せる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本願発明は、セラミック原料の製
造方法に関し、詳しくは、微細で比表面積が大きく、か
つ、粒度分布の狭い電子セラミック原料用の微粉（セラ
ミック原料微粉）を製造する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の電子セラミック用の原料微粉の製
造方法としては、例えば、本願発明の発明者らが提案し
た湿式合成法がある（特開昭５９−１２８２６３号公
報）。このセラミック原料の製造方法は、第１の槽に
おいて、構成元素として少なくともＢａ，Ｓｒ，Ｃａ，
Ｍｇの１種類を含む硝酸塩あるいは塩化物の水溶液に炭
酸ガスまたは、炭酸ナトリウム、炭酸アンモニウムなど
の可溶性炭酸塩水溶液を加えて、ｐＨを７〜１０に調整
し、構成元素を炭酸塩として沈殿させ、第２の槽におい
て、構成元素として少なくとも、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｐ
ｂの１種を含む硝酸塩または塩化物の水溶液に、ＮａＯ
Ｈ，ＮＨ₄ＯＨなどの苛性アルカリを加えてｐＨを７〜
１０に調整し、構成元素を水酸化物として沈殿させる第
１の工程と、第１の工程で得られた各沈殿を含むスラ
リーを混合し、濾過、水洗、乾燥を行う第２の工程と、
得られた混合沈殿粉体を仮焼、粉砕する第３の工程と
から構成されている。

【０００３】また、この他にも、従来の湿式合成法とし
て、特開昭５９−１９５５７４号公報、特開昭５９−１
９５５７６号公報に記載された湿式合成法がある。そし
て、これら２つの方法のいずれもが、例えば、Ｂａにつ
いてみると、Ｂａの塩化物の溶液に炭酸ナトリウムなど
の沈殿剤を含む溶液を加えてｐＨを７〜１０に調整し、
炭酸塩として構成元素を沈殿させる工程を含んでいる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の湿式合成法
は、いずれも、セラミック原料の構成成分を含む溶液に
沈殿剤を含む溶液を添加する工程を備えているが、沈殿
剤を含む溶液の体積は、セラミック原料の構成成分を含
む溶液の体積に対して小さく、沈殿剤を含む溶液をセラ
ミック原料の構成成分を含む溶液に添加する場合、両者
を、速やかに均一に混合することは困難であり、その分
散状態にかたよりが生じる。その結果、セラミック原料
の構成成分を含む溶液のｐＨ値が高い部分と、あまり高
くない部分が生じ、沈殿の生成状態にばらつきが生じ
る。

【０００５】また、従来の方法においては、沈殿剤を含
む溶液を大量のセラミック原料の構成成分を含む溶液に
徐々に添加してゆくため、沈殿剤を含む溶液を添加する
にしたがってｐＨ値が徐々に変化する。したがって、反
応工程において、時系列的に、前駆体−中間生成物−セ
ラミック化合物と、各生成物が順次生成してゆくが、沈
殿剤を含む溶液を添加しはじめた初期の段階のセラミッ
ク化合物と、沈殿剤を含む溶液を相当に添加した後の段
階のセラミック化合物とでは、粉体特性が異なり、均一
なセラミック原料微粉を得ることができないという問題
点がある。

【０００６】さらに、沈殿剤を含む溶液をセラミック原
料の構成成分を含む溶液に添加した段階で、混合状態が
不均一になり、各生成物（沈殿）が安定に存在するｐＨ
の範囲を外れると、沈殿の再溶解や、構成比のずれ（目
的とする構成比（組成）と異なる構成比になること）が
生じ、良好なセラミック原料微粉が得ることができない
という問題点がある。

【０００７】本願発明は、上記従来のセラミック原料微
粉の製造方法の問題点を解決するものであり、反応工程
で、生成物（沈殿）の再溶解や、構成比のずれを生じる
ことがなく、目標とする構成比を有するセラミック原料
微粉を得ることが可能なセラミック原料微粉の製造方法
を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願第１の発明のセラミック原料微粉の製造方法
は、一般式ＡＢＯ₃（但し、ＡはＢａ，Ｓｒ，Ｍｇ，Ｃ
ａ等の２価のアルカリ土類金属からなる群から選ばれる
少なくとも一種であり、ＢはＴｉ，Ｚｒ，Ｓｎ等の４価
金属元素からなる群から選ばれる少なくとも一種であ
る）で示される複合ペロブスカイト化合物からなるセラ
ミック原料微粉の製造方法であって、Ａを構成する金属
元素の水酸化物と、前記水酸化物１モルに対して、Ｎａ
ＯＨ，ＫＯＨ，ＬｉＯＨ，ＮＨ₄ＯＨ及びアミンからな
る群から選ばれる１種または２種以上の混合物１〜４モ
ルを含有する液温６０〜９５℃の第１溶液と、Ｂを構成
する金属元素の複合アルコキシドを含有する第２溶液と
を、それぞれ別経路からＡとＢのモル比が１対１になる
ように、流体の通路となる筒状部に設けたひねり羽根な
どの流動制御部材により流体の流れを制御して通過流体
を混合させる静止型ラインミキサに送り込み、前記静止
型ラインミキサにおいて両者を均一に混合して反応させ
ることにより、所定の組成を有するセラミック原料微粉
を沈殿析出させることを特徴とする。

【０００９】また、本願第２の発明のセラミック原料微
粉の製造方法は、一般式ＡＢＯ₃（但し、ＡはＢａ，Ｓ
ｒ，Ｍｇ，Ｃａ等の２価のアルカリ土類金属からなる群
から選ばれる少なくとも一種であり、ＢはＴｉ，Ｚｒ，
Ｓｎ等の４価金属元素からなる群から選ばれる少なくと
も一種である）で示される複合ペロブスカイト化合物か
らなるセラミック原料微粉の製造方法であって、上記本
願第１の発明の第１溶液と第２溶液とを、それぞれ別経
路からＡとＢのモル比が１対１になるように、第１段目
の静止型ラインミキサに送り込み、第１段目の前記静止
型ラインミキサにおいて両者を均一に混合して第１次反
応を行わせた後、引続き、第１次反応により生成した複
合ペロブスカイト化合物の沈殿を含むスラリーと、温度
係数を向上させるのに必要な金属元素の複合アルコキシ
ドなどの成分を含有する第３溶液とを、第２段目の静止
型ラインミキサに送り込み、均一に混合して第２次反応
を行わせることにより、所定の組成を有するセラミック
原料微粉を沈殿析出させることを特徴としている。

【００１０】さらに、第２溶液に、半導体化剤（金属元
素など）その他の成分を共存させることも可能である。

【００１１】また、前記静止型ラインミキサとして、筒
状部内の軸方向に、所定形状のひねり羽根を複数段配設
固定し、該筒状部を通過する流体を各段のひねり羽根を
通過する度に２分割し、ｎ段のひねり羽根を通過したと
きに通過流体を２ⁿ個に分割するような静止型ラインミ
キサを用いることができる。

【００１２】以下に、図１及び図２を参照しつつ本願発
明の構成を詳しく説明する。

【００１３】図１は、本願第１の発明のセラミック原料
微粉の製造方法を実施するのに用いられる装置例を示す
図である。この装置は、第１溶液を貯めるタンク１、第
２溶液を貯めるタンク２、第１溶液と第２溶液を混合さ
せる静止型ラインミキサ３及び第１溶液と第２溶液を混
合させることにより生成したセラミック原料微粉（沈
殿）を回収する回収タンク４を備えている。そして、タ
ンク１，タンク２から、第１溶液及び第２溶液を静止型
ラインミキサ３に供給するライン（パイプ）５，６に
は、定量ポンプ７，８が配設されている。

【００１４】本願発明において用いられる静止型ライン
ミキサは、例えば、ライン５，６と連通する筒状部内
に、ひねり羽根など、流体の流れを制御したり、流体を
分割したりする部材（流動制御部材）を配設し、そこを
通過する流体の流れを利用して、液・液混合や、固・液
混合などを行うミキサであって、可動部をもたず、高い
混合効率を得ることが可能なミキサを意味するものであ
り、筒状部や流動制御部材の形状などに特に制約を受け
るものではない。

【００１５】また、静止型ラインミキサのうち、流体を
２分割する固定ひねり羽根を筒状部内の軸方向に複数段
（ｎ段）配設固定した静止型ラインミキサ（例えば、日
本陶器（株）製、ノリタケリアクター（商品名））は、
生成したセラミック原料微粉を含むスラリーを２ⁿ個
（例えば、２７段のひねり羽根を有するものにあって
は、２²⁷個＝１．４×１０⁸個）に分割して混合するこ
とが可能で、従来の攪拌羽根を回転させる方式の攪拌混
合機では実現できないような、十分な攪拌混合を行い、
均一なスラリーを得ることができるため、本願発明のセ
ラミック原料微粉の製造方法を実施するのに特に適して
いる。

【００１６】図１に示すような装置を用いて、本願第１
の発明のセラミック原料微粉の製造方法によりセラミッ
ク原料微粉を製造する場合、タンク１に貯められた、Ａ
を構成する金属元素の少なくとも１種の水酸化物と苛性
アルカリを含有する６０〜９５℃の第１溶液１ａと、タ
ンク２に貯められた、Ｂを構成する金属元素の複合アル
コキシド溶液である第２溶液２ａは、定量ポンプ７，８
により、Ａを構成する金属元素イオンの合計当量と、Ｂ
を構成する金属イオン元素の合計当量が互に等しくなる
ような割合で、それぞれ別のライン５，６から、流体混
合器９を経て、可動部を有しない静止型ラインミキサ３
に送り込まれる。

【００１７】そして、静止型ラインミキサ３において、
第１溶液１ａと第２溶液２ａとが接触し、十分に混合さ
れてセラミック原料となる微細な沈殿を生じる。この工
程においては、定量ポンプ７，８により、第１溶液１
ａ，第２溶液２ａが、構成金属元素の当量比で１対１の
割合で定量的に静止型ラインミキサ３に供給されるた
め、均一なセラミック原料微粉沈殿が生成し、その組成
や性状が時系列的に変化するようなことがない。したが
って、静止型ラインミキサ３に第１溶液１ａ及び第２溶
液２ａを供給しはじめた初期の段階で生成する沈殿と、
その後の段階で生成する沈殿との間に粉体特性のばらつ
きがなく、安定したセラミック原料微粉の沈殿を生成さ
せることができる。そして、静止型ラインミキサ３にお
いて生成した沈殿を含むスラリー１１は、ライン１０を
通って回収タンク４に送られ、通常の固液分離手段（図
示せず）により固液分離され、水洗乾燥することにより
セラミック原料微粉が製造される。

【００１８】ところで、従来の湿式合成法に準じた方
法、すなわち、Ａを構成する少なくとも１種の金属元素
の水酸化物及び苛性アルカリを含有する６０〜９５℃の
溶液（第１溶液）中に、Ｂを構成する少なくとも１種の
金属元素の複合アルコキシドを含有する溶液（第２溶
液）を徐々に添加して反応させる方法では、初期の段階
においては添加される第２溶液の量（体積）が第１溶液
の量（体積）に対して小さいため、生成するセラミック
原料の沈殿濃度が低く、生成した沈殿は再溶解と析出を
繰り返して粒径の大きな沈殿となる。一方、ある程度時
間が経過し、相当量の第２溶液を添加した後の段階にな
ると、反応槽中の沈殿濃度が高くなり、生成する不溶性
沈殿の粒径が小さくなる。その結果、時系列的に生成す
る沈殿の粒径が変化し、粒度分布の狭い（すなわち粒度
の集中度の高い）セラミック原料微粉を得ることができ
ない。

【００１９】これに対し、本願発明のセラミック原料微
粉の製造方法では、第１溶液と第２溶液を定量的に静止
型ラインミキサに送り込みつつ反応を行わせるので、セ
ラミック原料の沈殿生成条件（沈殿濃度など）が時系列
的に変動することがなく、粒度分布の狭いセラミック原
料微粉を得ることができる。

【００２０】さらに、第２溶液に、原料微粉を半導体化
させるのに必要な金属元素など（半導体化剤）を添加し
ておくことも可能であり、これにより、得られるセラミ
ック原料微粉の特性を向上させることが可能になる。な
お、半導体化に必要な金属元素としては、例えば、Ｌａ
やＺｒなどが挙げられるが、その他の金属元素を用いる
ことも可能である。さらに、第２溶液には、半導体化剤
以外の、例えば、他の特性を向上させるために必要な成
分などを含有させることも可能である。

【００２１】また、図２は、本願第２の発明のセラミッ
ク原料微粉の製造方法を実施するのに用いられる装置例
を示す図である。この装置は、本願第１の発明のセラミ
ック原料微粉の製造方法を実施するための装置（図１）
の、静止型ラインミキサ３の後に、さらに、もう１台の
（第２段目の）静止型ラインミキサ１３を接続し、第１
段目の静止型ラインミキサ３において第１次反応を行わ
せることにより得られたセラミック原料微粉の沈殿を含
むスラリー液と、第３溶液１４ａとを流体混合器１５に
供給して、第２段目の静止型ラインミキサ１３において
両者を混合させるように構成したものである。なお、第
３溶液１４ａはタンク１４に貯められ、定量ポンプ１７
により、ライン１６を経て、流体混合器１５に供給され
る。最終沈殿生成物を含むスラリー１８は、ライン１９
を経て、回収タンク２０に送られ、通常の固液分離手段
（図示せず）により固液分離され、水洗乾燥することに
よりセラミック原料微粉が製造される。

【００２２】この方法においては、第１次反応により生
成したセラミック原料の微細な沈殿を含むスラリーに、
温度特性（温度係数）を向上させる金属元素の複合アル
コキシドなどの成分を含有する第３溶液を添加して、混
合させることにより、さらに温度特性に優れたセラミッ
ク原料微粉を製造することができる。なお、温度特性を
向上させる複合アルコキシド用の金属元素としては、Ｍ
ｎなどが例示されるが、その他の金属元素を用いること
も可能である。さらに、第３溶液には、温度特性の向上
に必要な成分以外の、他の特性を向上させるために必要
な成分を含有させることも可能である。

【００２３】なお、図２の装置は、第１段目及び第２段
目の２つの静止型ラインミキサを設けた装置であるが、
さらに第３段目以降の静止型ラインミキサを設けて、複
数次反応を連続的に行わせることも可能である。

【００２４】また、本願発明のセラミック原料微粉の製
造方法において用いられるアミンとしては、例えば、メ
チルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチ
ルアミンなどの脂肪属アミン、ｏ−，ｍ−，ｐ−トルイ
ジン、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミンなどを代表的な
ものとして挙げることができる。

【００２５】また、チタンアルコキシドとしては、チタ
ンイソプロポキシド、チタンブトキシド、チタンエトキ
シド、ジブトキシ−ジトリエタノ−ルアミナトチタン、
ジブトキシジ（２−ヒドロキシエチルアミノエトキシ）
チタンなどが挙げられる。

【００２６】チタンと複合アルコキシド化を行わせる金
属化合物としては、エステル交換反応を起こしやすい酢
酸ジルコニルや酢酸ランタンなどの酢酸塩を用いる方が
コスト的に有利であるが、アルコシス反応を利用して複
合化することが可能な金属アルコキシドを用いてもよ
い。

【００２７】

【実施例】以下、本願発明の実施例を比較例とともに示
して、発明の特徴をさらに詳しく説明する。原料溶液（第１、第２、第３溶液）の調製Ａを構成する金属元素とＮａＯＨを表１に示すような割
合で正確に秤量し、９０℃の純水１Ｌに溶解して第１溶
液を調製する。

【００２８】

【表１】

【００２９】そして、表１の実験No.１，２について
は、表１に示す量のチタンイソプロポキシド（Ｔｉ（Ｏ
Ｃ₃Ｈ₇）₄）を正確に秤取し、これにイソプロピルアル
コールを添加し、全量を１リットルにして第２溶液を調
製する。

【００３０】また、実験No.３については、表１にした
がって、チタンイソプロポキシド（Ｔｉ（ＯＣ
₃Ｈ₇）₄）と酢酸ジルコニル（ＺｒＯ（ＣＨ₃ＣＯ
Ｏ）₂）を正確に秤取し、丸底フラスコに入れて加熱還
流し、エステル交換反応により、Ｔｉ−Ｏ−Ｚｒの複合
アルコキシドを生成させ、これに、イソプロピルアルコ
ールを添加し、全量を１Ｌにして第２溶液を調製する。

【００３１】さらに、実験No.４については、表１にし
たがって、チタンイソプロポキシド（Ｔｉ（ＯＣ₃Ｈ₇）
₄）と酢酸ランタン（Ｌａ（ＣＨ₃ＣＯＯ）₃・3/2Ｈ
₂Ｏ）を正確に秤取し、丸底フラスコに入れて加熱還流
し、エステル交換反応により、Ｔｉ−Ｏ−Ｌａの複合ア
ルコキシドを生成させ、これに、イソプロピルアルコー
ルを添加し、全量を１Ｌにして第２溶液を調製する。さ
らに、実験No.４においては、アミン変成したマンガン
アルコキシドをイソプロピルアルコールに溶解し、全量
を２Ｌにして第３溶液を調製する。

【００３２】反応及び生成したセラミック原料微粉沈殿
の回収実験No.１〜３については、図１に示すような装置を用
い、第１溶液及び第２溶液を定量ポンプで、それぞれ、
１Ｌ／minの割合で、１０段のひねり羽根を設けた静止
型ラインミキサに送り込み、反応を行わせる。それか
ら、生成した原料微粉の沈殿を濾過器などの固液分離手
段で分離して水洗乾燥を行い、セラミック原料微粉を得
る。

【００３３】また、実験No.４については、図２に示す
ような装置を用いて、実験No.１〜３と同様にして、第
１溶液と第２溶液とを第１段目の静止型ラインミキサに
送り込み、第１次反応を行わせた後、第１次反応で生成
した沈殿を含むスラリーと第３溶液とを、第２段目の静
止型ラインミキサに送り込んで、第１次反応により生じ
た沈殿を含むスラリーと第３溶液とを、それぞれ２Ｌ／
minの割合で１０段のひねり羽根を設けた静止型ライン
ミキサに送り込み、第２次反応を行わせる。それから、
生成したセラミック原料微粉の沈殿を濾過器などの固液
分離手段を用いて分離し、水洗乾燥を行い、セラミック
原料微粉を得る。

【００３４】比較例塩化バリウム水溶液に、炭酸アンモニウム水溶液を滴下
し、ｐＨを９〜９．５に調整して炭酸バリウムを沈殿さ
せ、また、四塩化チタン水溶液に過酸化水素水（３０
％）１５mlを添加するとともに、アンモニア水を添加
し、ｐＨを９〜９．５に調整してチタン化合物を沈殿さ
せた。それから、炭酸バリウム及びチタン化合物の沈殿
を濾過水洗した後、乾燥し、これを９００℃で仮焼して
チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ₃）の粉体を得た。

【００３５】評価実験No.１において得られた粉体をＸ線回折法により、
分析した結果、粉体は、立方晶単相のＢａＴｉＯ₃であ
ることが確認された。

【００３６】また、実験No.２，No.３及びNo.４につい
ても、Ｘ線回折法による分析の結果、得られた粉体（セ
ラミック原料微粉）は一般式ＡＢＯ₃で示される複合ペ
ロブスカイト化合物であることが確認された。

【００３７】さらに、実験例２において得られた粉体
（セラミック原料微粉）を透過分析電子顕微鏡を用い、
３μmスポット径で１０点、ランダムに構成成分のモル
比分析を行った。その結果を表２に示す。

【００３８】

【表２】

【００３９】また、比較例の方法により得たＢａＴｉＯ
₃粉体についても同様の方法で構成成分のモル比分析を
行った。その結果を表３に示す。

【００４０】

【表３】

【００４１】表２及び表３から、比較例の方法により得
られた粉体は、ミクロ的にみるとモル比が理論値から大
きくずれた部分がみられ、比較例の方法では、各粒子に
ついて理論値に近い構成比率を有するセラミック粉体を
得ることができないのに対し、本願発明の方法により得
られたセラミック原料微粉は、個々の粒子が、それぞれ
理論値に近い構成比率（モル比）になっていることがわ
かる。

【００４２】なお、表２には特に示していないが、実験
No.１，No.３及びNo.４により得られたセラミック原料
微粉についても、同様のモル比分析を行い、実験No.
１，No.３及びNo.４のいずれの試料についても、個々の
粒子が理論値に近い構成比率を有する、一般式ＡＢＯ₃
で示される複合ペロブスカイト化合物であることが確認
されている。

【００４３】

【発明の効果】上述ように、本願第１の発明のセラミッ
ク原料微粉の製造方法は、第１溶液中の金属元素の合計
当量と、第２溶液中の金属元素の合計当量との比が１対
１になるような割合で、第１溶液と第２溶液とを定量的
に静止型ラインミキサに送り込んで接触反応を行わせる
ようにしているので、沈殿の生成条件（沈殿濃度など）
が時系列的に変化せず、安定しているため、粒度分布が
狭く、かつ、比表面積の大きい、一般式ＡＢＯ₃で表さ
れる複合ペロブスカイト化合物からなるセラミック原料
微粉を得ることができる。

【００４４】また、本願第２の発明のセラミック原料微
粉の製造方法は、第１溶液と第２溶液とを反応（第１次
反応）させるとともに、引続き、第１次反応により生成
した複合ペロブスカイト化合物の沈殿を含むスラリー
と、温度係数を向上させるのに必要な金属元素の複合ア
ルコキシドなど、Ａ，Ｂ以外の成分を含有する第３溶液
とを、第２段目の静止型ラインミキサに送り込み、均一
に混合して第２次反応を行わせることにより、微細で、
粒度分布が狭いばかりでなく、温度特性に優れた、一般
式ＡＢＯ₃で表される複合ペロブスカイト化合物からな
るセラミック原料微粉を得ることができる。

【００４５】さらに、本願発明のセラミック原料微粉の
製造方法において用いられる静止型ラインミキサは、従
来の攪拌羽根を回転させる方式の混合攪拌機に比べては
るかに小型であり、リアクターの取付スペースを小さく
することが可能である。

【００４６】また、本願第２の発明の方法に関しては、
静止型ラインミキサを連結するだけで複数次反応を連続
的に行わせることが可能になり、反応操作が簡潔になる
ばかりでなく、製造装置を小型化することが可能で、経
済性にも優れている。さらに、第１次反応により生成し
たセラミック原料微粉の沈殿を含むスラリーを、引続
き、第２段目の静止型ラインミキサに導いて、第３溶液
と接触させることができるため、先の工程で生成する沈
殿と後の工程で生成する沈殿とを均一に混合することが
可能になり、温度特性などの特性に優れたセラミック原
料微粉を容易、かつ、確実に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願第１の発明のセラミック原料微粉の製造方
法を実施するのに用いられる装置を示す図である。

【図２】本願第２の発明のセラミック原料微粉の製造方
法を実施するのに用いられる装置を示す図である。

【符号の説明】

１ａ第１溶液２ａ第２溶液３静止型ラインミキサ１３第２段目の静止型ラインミキ
サ１４ａ第３溶液

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者浜地幸生京都府長岡京市天神二丁目26番10号株式会社村田製作所内 (72)発明者坂部行雄京都府長岡京市天神二丁目26番10号株式会社村田製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一般式ＡＢＯ₃（但し、ＡはＢａ，Ｓ
ｒ，Ｍｇ，Ｃａ等の２価のアルカリ土類金属からなる群
から選ばれる少なくとも一種であり、ＢはＴｉ，Ｚｒ，
Ｓｎ等の４価金属元素からなる群から選ばれる少なくと
も一種である）で示される複合ペロブスカイト化合物か
らなるセラミック原料微粉の製造方法であって、Ａを構
成する金属元素の水酸化物と、前記水酸化物１モルに対
して、ＮａＯＨ，ＫＯＨ，ＬｉＯＨ，ＮＨ₄ＯＨ及びア
ミンからなる群から選ばれる１種または２種以上の混合
物１〜４モルを含有する液温６０〜９５℃の第１溶液
と、Ｂを構成する金属元素の複合アルコキシドを含有す
る第２溶液とを、それぞれ別経路からＡとＢのモル比が
１対１になるように、流体の通路となる筒状部に設けた
ひねり羽根などの流動制御部材により流体の流れを制御
して通過流体を混合させる静止型ラインミキサに送り込
み、前記静止型ラインミキサにおいて両者を均一に混合
して反応させることにより、所定の組成を有するセラミ
ック原料微粉を沈殿析出させることを特徴とするセラミ
ック原料微粉の製造方法。
【請求項２】一般式ＡＢＯ₃（但し、ＡはＢａ，Ｓ
ｒ，Ｍｇ，Ｃａ等の２価のアルカリ土類金属からなる群
から選ばれる少なくとも一種であり、ＢはＴｉ，Ｚｒ，
Ｓｎ等の４価金属元素からなる群から選ばれる少なくと
も一種である）で示される複合ペロブスカイト化合物か
らなるセラミック原料微粉の製造方法であって、請求項
１記載の第１溶液と、請求項１記載の第２溶液とを、そ
れぞれ別経路からＡとＢのモル比が１対１になるよう
に、請求項１記載の静止型ラインミキサに送り込み、前
記静止型ラインミキサにおいて両者を均一に混合して第
１次反応を行わせた後、引続き、前記第１次反応により
生成した複合ペロブスカイト化合物の沈殿を含むスラリ
ーと、温度係数を向上させるのに必要な金属元素の複合
アルコキシドなどの成分を含有する第３溶液とを、第２
段目の静止型ラインミキサに送り込み、均一に混合して
第２次反応を行わせることにより、所定の組成を有する
セラミック原料微粉を沈殿析出させることを特徴とする
セラミック原料微粉の製造方法。
【請求項３】前記第２溶液に、さらに半導体化剤その
他の成分を共存させることを特徴とする請求項１または
２記載のセラミック原料微粉の製造方法。
【請求項４】前記静止型ラインミキサが、筒状部内の
軸方向に所定形状のひねり羽根を複数段配設固定し、該
筒状部を通過する流体を各段のひねり羽根を通過する度
に２分割し、ｎ段のひねり羽根を通過したときに通過流
体を２ⁿ個に分割するような静止型ラインミキサである
ことを特徴とする請求項１，２または３記載のセラミッ
ク原料微粉の製造方法。